KR20060111248A

KR20060111248A - 검사 지그 및 검사 장치

Info

Publication number: KR20060111248A
Application number: KR1020050095610A
Authority: KR
Inventors: 겐지 쓰치하시; 고지 오자와; 미쓰히코 이토; 가즈히코 모로즈미; 신지 이이노
Original assignee: 가부시키가이샤 코요 테크노스
Priority date: 2005-04-21
Filing date: 2005-10-11
Publication date: 2006-10-26
Also published as: TW200638046A; TWI292826B; CN100535676C; KR100824394B1; CN1854744A

Abstract

본 발명의 과제는 검사 지그(jig) 및 검사 장치에 관한 것으로서, 굴곡 가능하며 탄성을 가지는 프로브(probe)의 휨을 이용하여 검사를 행하기 위한 검사 지그에 있어서, 프로브의 교환이 용이하면서도, 구조의 단순화가 가능한 새로운 구성의 검사 지그를 실현하는 것이다.

검사 지그(10)는, 검사 대상으로 향하는 프로브 안내 방향을 가지는 선단측 삽통공(揷通孔)을 구비한 선단측 지지체(11)와, 선단측 지지체(11)의 후방에 간격을 두고 배치되고, 선단측 삽통공의 프로브 안내 방향에 대하여 경사진 프로브 안내 방향을 가지는 후단측 삽통공을 구비한 후단측 지지체(12)와, 그 선단이 검사 대상측에서 출몰 가능하도록 선단측 삽통공에 삽통된 선단측 부분 및 후단측 삽통공에 삽통된 후단측 부분을 가지는 굴곡 가능하며 탄성을 구비한 프로브(14)와, 후단측 지지체(12)의 후방에 배치되고, 상기 후단측 부분에 맞닿는 전극(16)을 구비하고, 프로브(14)의 선단측 부분은, 후단측 부분에 대해서 후단측 삽통공의 프로브 안내 방향에 경사진 측으로 어긋난 위치에 배치되어 있다.

프로브, 지그, 삽통공, 위치 결정, 굴곡, 탄성

Description

검사 지그 및 검사 장치{INSPECTION JIG AND INSPECTION APPARATUS}

도 1은 본 발명의 실시예 1에 관한 검사 지그(jig)의 구조를 나타내는 개략 사시도이다.

도 2는 도 1에 나타내는 검사 지그의 단면 구조를 나타내는 종단면도이다.

도 3은 도 1에 나타내는 선단측 지지체의 단면 구조를 나타내는 확대 부분 단면도이다.

도 4는 도 1에 나타내는 후단측 지지체의 단면 구조를 나타낸 확대 부분 단면도이다.

도 5는 본 발명의 실시예 1에 관한 프로브(probe)의 후단 부위와 전극의 도전 접촉 상태를 나타낸 확대 부분 사시도이다.

도 6은 도 1에 나타내는 검사 지그를 탑재하여 이루어지는 검사 장치의 개략적인 구성을 나타낸 개략 구성도이다.

도 7은 도 1에 나타낸 검사 지그를 소정의 검사 대상으로 적용한 경우의 접촉 저항치와 프로브의 압입량의 관계를 나타내는 그래프이다.

도 8은 본 발명의 실시예 2에 관한 후단측 지지체의 도 4에 나타내는 단면과 상이한 단면 구조를 나타내는 확대 부분 단면도이다.

도 9는 본 발명의 실시예 2에 관한 검사 지그의 일부 단면 구조를 나타내는 종단면도이다.

도 10은 본 발명의 실시예 2에 관한 프로브의 선단 부위와 후단 부위의 배치 관계를 도 9의 Z 방향으로부터 나타낸 도면이다.

도 11은 본 발명의 다른 형태에 관한 선단측 지지체의 단면 구조를 나타내는 확대 부분 단면도이다.

도 12는 본 발명의 다른 형태에 관한 후단측 지지체의 단면 구조를 나타내는 확대 부분 단면도이다.

도 13은 본 발명의 다른 형태에 관한 프로브의 선단 부위와 후단 부위의 배치 관계를 도 9의 Z 방향으로부터 나타내는 도면이다.

도 14는 본 발명의 다른 형태에 관한 프로브의 선단 부위와 후단 부위의 배치 관계를 도 9의 Z 방향으로부터 나타내는 도면이다.

도 15는 본 발명의 다른 형태 관한 선단측 지지체 및 후단측 지지체의 단면 구조를 나타내는 확대 부분 단면도이다.

도 16은 본 발명의 다른 형태 관한 선단측 지지체 및 후단측 지지체의 단면 구조를 나타내는 확대 부분 단면도이다.

<부호의 설명>

10: 검사 지그 11, 11', 51: 선단측 지지체

11a, 51a: 대향면 11X, 11X', 51X: 선단측 삽통공

12, 12', 52, 62: 후단측 지지체

12X, 12X', 12X1, 12Y, 12Y1, 52X, 62X: 후단측 삽통공

14: 프로브 14s: 선단측 부분

14u: 후단측 부분 15: 전극 지지체

16: 전극 18: 위치 결정판

18a: 위치 결정공 100: 검사 장치

110: 제어부(전기적 검사 수단)

A: 선단측 삽통공의 배열 방향 B: 일방향

C: 다른 방향 V1: 프로브 안내 방향

V2: 프로브 안내 방향 W: 검사 대상

θ1, θ2: 각도(경사 각도)

[특허 문헌 1] 일본국 특개평 9(1997)-274054호 공보

[특허 문헌 2] 일본국 특개 2002-90419호 공보

본 발명은 검사 지그 및 검사 장치에 관한 것으로서, 특히 회로 기판이나 전자 부품 등의 전기 시험을 행하는 경우에 바람직한 검사 지그의 구조에 관한 것이다.

일반적으로, 회로 기판의 배선 패턴이나 IC 등의 집적 회로의 단락(short circuit)이나 단선 등의 이상(異常)을 발견하기 위한 전기적 검사에는, 검사 대상 에 도전(導電) 접촉되는 복수개의 프로브를 구비한 검사 지그를 탑재한 검사 장치가 사용되고 있다. 이 경우, 복수개의 프로브의 선단부는 검사 대상에 맞닿을 때에 탄성적으로 변형 가능하게 구성함으로써, 검사 대상에 대해서 모든 프로브가 적절한 접촉압을 가함과 동시에 전기적으로 도통(導通)하도록 되어 있다.

최근, 회로 기판의 배선 패턴의 복잡화나 집적회로의 고집적화 등에 따라, 검사 지그의 프로브의 배열 피치(pitch)가 작아지므로, 개개의 프로브 직경도 작게 할 필요가 있다. 그러므로, 종래의 스프링을 내장한 프로브 핀 대신에, 굴곡 가능하며 탄성을 가지는 와이어 형태의 프로브를 사용하는 검사 지그가 많아지고 있다. 이와 같은 검사 지그는, 검사 대상측에 배치되는 선단측 지지판과, 상기 선단측 지지판의 후방에 간격을 두고 배치되는 후단측 지지판을 설치하고, 상기 선단측 지지판에는 프로브의 선단부를 출몰 가능하게 삽통(揷通)시키는 프로브 삽통공을 형성하고, 후단측 지지판에는 프로브의 후단부를 고정하고, 선단측 지지판과 후단측 지지판 사이에 있는 프로브의 중간 부분을 적절하게 굴곡시켜서 이루어지는 구조가 알려져 있다(예를 들어, 특허 문헌 1 참조).

또, 상기한 바와 마찬가지의 선단측 지지판 및 굴곡 가능하며 탄성을 가지는 프로브를 구비하고, 선단측 지지판의 후방에 간격을 두고 배치된 후단측 지지판에도 프로브 삽통공을 형성하며, 상기 프로브 삽통공에 프로브를 삽통하고, 상기 프로브의 후단부가 후단측 지지판의 배후에 배치된 전극에 걸리도록 함으로써, 프로브와 전극 사이의 도전 접속의 신뢰성을 향상시키고, 또한 프로브를 용이하게 교환 가능한 검사 지그도 알려져 있다(예를 들어, 특허 문헌 2 참조). 상기 검사 지그 에서는, 선단측 지지판의 프로브 삽통공과, 후단측 지지판의 프로브 삽통공이 평면적으로 겹치는 위치에 배치되도록 양쪽 지지판을 구성한 상태에서 프로브를 양쪽 지지판의 프로브 삽통공에 삽통한 후에, 선단측 지지판과 후단측 지지판을 평면 방향으로 서로 시프트시킴으로써, 선단측 지지판과 후단측 지지판 사이에서 프로브의 중간 부분이 굴곡되도록 하고 있다.

그러나, 전술한 굴곡 가능하며 탄성을 가지는 프로브를 사용한 검사 지그 중, 후단측 지지판에 프로브의 후단부를 고정한 검사 지그에서는, 일부의 프로브에 문제가 생길 경우에 프로브를 교환하기 곤란하기 때문에, 유지 관리가 번거롭고, 검사 지그 전체를 교환해야 하는 문제점이 있다.

또, 프로브의 후단부가 후단측 지지판의 배후에 배치된 전극에 걸리도록 하는 구조에서는, 전극을 떼어내게 되면, 문제가 있는 프로브를 후단측 지지판의 배면측으로부터 용이하게 교환할 수 있는 이점이 있다. 그러나, 프로브의 교환을 용이하게 하기 위해서는, 선단측 지지판과 후단측 지지판을 평면 방향으로 시프트시키는 구조를 가질 필요가 있기 때문에, 검사 지그의 구조가 복잡하게 되는 문제점이 있다.

그래서, 본 발명의 과제는, 굴곡 가능하며 탄성을 가지는 프로브의 휨을 이용하여 검사를 행하는 검사 지그에서, 프로브의 교환이 용이하면서도, 구조의 단순화가 가능한 새로운 구성의 검사 지그를 실현하는 것이다.

상기의 과제를 해결하기 위하여, 본 발명의 검사 지그는, 검사 대상으로 향하는 프로브 안내 방향을 가지는 선단측 삽통공을 구비한 선단측 지지체와, 선단측 지지체의 후방에 간격을 두고 배치되고, 선단측 삽통공의 프로브 안내 방향에 대하여 경사진 프로브 안내 방향을 가지는 후단측 삽통공을 구비한 후단측 지지체와, 그 선단이 검사 대상측에서 출몰 가능하도록 선단측 삽통공에 삽통된 선단측 부분 및 후단측 삽통공에 삽통된 후단측 부분을 가지는 굴곡 가능하며 탄성을 구비한 프로브와, 후단측 지지체의 후방에 배치되어, 후단측 부분과 맞닿는 전극을 구비하고, 프로브의 선단측 부분은, 후단측 부분에 대해서 후단측 삽통공의 프로브 안내 방향의 경사진 측으로 어긋난 위치에 배치되어 있는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 의하면, 후단측 지지공의 프로브 안내 방향이 선단측 삽통공의 프로브 안내 방향에 대하여 경사져 있으므로, 선단측 지지체와 후단측 지지체의 사이에서 프로브의 중간 부분을 경사지게 하는 것이 가능하기 때문에, 프로브의 선단이 검사 대상과 맞닿을 때에 스무드하게 프로브를 휘게 할 수 있다. 이 때, 프로브의 선단측 부분이 후단측 부분에 대해서 후단측 삽통공의 프로브 안내 방향의 경사진 측으로 어긋난 위치에 배치되어 있어서, 후단측 삽통공의 프로브 안내 방향의 경사의 방향과, 장착되어 있는 프로브 또는 장착해야 할 프로브의 경사 자세의 방향이 일치하므로, 프로브를 후단측 지지체의 후방으로부터 용이하게 빼거나 꽂을 수 있다. 따라서, 종래와 같이 선단측 지지체와 후단측 지지체를 평면 방향으로 시프트하기 위한 기구 등의 복잡한 구조를 형성하지 않아도, 프로브를 용이하게 교환할 수 있게 된다.

본 발명에 있어서, 선단측 삽통공의 후단측의 개구 위치는, 후단측 삽통공에서 보았을 때, 후단측 삽통공의 프로브 안내 방향으로 배치되어 있는 것이 바람직하다. 이에 따라, 선단측 삽통공의 후단측의 개구 위치가 후단측 삽통공에서 보았을 때, 상기 프로브 안내 방향으로 배치되어 있어서, 후단측 지지체의 후방에서 후단측 삽통공에 직선형의 프로브를 삽통할 때, 후단측 지지체를 관통하여 나아가는 프로브의 선단부가 선단측 지지체의 선단측 삽통공의 후단측의 개구 위치에 그대로 도달하므로, 프로브의 장착 작업을 더욱 용이하게 행할 수 있게 된다.

본 발명에 있어서, 선단측 삽통공, 후단측 삽통공 및 프로브는 복수개 설치되고, 복수개의 후단측 삽통공의 프로브 안내 방향은, 선단측 삽통공의 프로브 안내 방향에 대하여 같은 방향으로 경사지게 구성할 수 있다. 이에 따라, 복수개의 후단측 삽통공의 프로브 안내 방향이 선단측 삽통공의 프로브 안내 방향에 대하여 같은 방향으로 경사져 있어서, 선단측 지지체와 후단측 지지체의 사이에 있는 복수개의 프로브의 중간 부분도 서로 같은 방향으로 경사지기 때문에, 프로브의 배열 피치를 작게 구성해도, 검사 시에 프로브가 휠 때 프로브의 중간 부분끼리 서로 쉽게 접촉하지 않기 때문에, 프로브의 접촉압의 안정성이나 균일성을 확보할 수 있다.

본 발명에 있어서, 선단측 삽통공, 후단측 삽통공 및 프로브는 복수개 설치되고, 인접하는 복수개의 후단측 삽통공의 프로브 안내 방향은, 선단측 삽통공의 프로브 안내 방향에 대하여 상이한 방향으로 경사지도록 구성할 수 있다. 이에 따라, 프로브의 선단측 부분의 배열 피치를 작게 구성해도, 복수개의 프로브의 후단 측 부분의 상호간의 거리를 크게 취할 수 있다. 그러므로, 프로브의 후단측 부분이 맞닿는 전극의 배치가 용이하게 된다. 또, 복수개의 프로브의 후단측 부분의 상호간의 거리를 크게 취할 수 있기 때문에, 전극을 크게 형성하는 것이 가능하다. 따라서, 프로브 직경을 작게 구성해도, 프로브의 후단측 부분과 전극을 확실하게 맞닿게 할 수 있다.

본 발명에 있어서, 인접하는 복수개의 후단측 삽통공의 프로브 안내 방향은 교대로, 선단측 삽통공의 배열 방향과 직교하는 일방향과, 상기 일방향의 반대 방향인 타방향의 상이한 방향으로 경사져 있는 것이 바람직하다. 이에 따라, 후단측 삽통공에 삽통된 프로브의 후단측 부분을 규칙적으로 배열할 수 있다. 그러므로, 프로브의 후단측 부분에 맞닿는 전극을 효율적으로 배치할 수 있다.

본 발명에 있어서, 복수개의 후단측 삽통공의 프로브 안내 방향이 경사지는 각도로서, 복수개의 상이한 경사 각도가 설정되어 있는 것이 바람직하다. 이에 따라, 프로브의 선단측 부분의 배열 피치를 작게 구성해도, 복수개의 프로브의 후단측 부분의 상호간의 거리를 보다 크게 취할 수 있다. 그러므로, 프로브의 후단측 부분이 맞닿는 전극의 배치가 보다 용이하게 된다. 또, 전극을 크게 형성할 수 있기 때문에, 프로브의 직경을 작게 구성해도, 프로브의 후단측 부분과 전극을 보다 확실하게 접촉시킬 수 있다.

본 발명에 있어서, 전극을 지지하는 전극 지지체를 가지고, 후단측 지지체와 전극 지지체가 착탈(着脫) 가능하게 구성되어 있는 것이 바람직하다. 이에 따라, 전극을 지지하는 전극 지지체를 형성함으로써 조립이나 유지 관리가 용이하게 되 고, 또한 후단측 지지체와 전극 지지체가 착탈 가능하게 구성되어 있으므로, 전극 지지체를 후단측 지지체로부터 떼어내는 것만으로 프로브를 교환 가능한 상태로 할 수 있다. 특히 복수개의 프로브 및 전극이 형성되어 있는 경우에는, 전극 지지체에 의해 복수개의 전극이 일체로 지지되는 구조로 형성하는 것이 효과적이다.

본 발명에 있어서, 후단측 지지체와 전극 사이에는 위치 결정판이 착탈 가능하게 배치되고, 위치 결정판에는, 후단측 삽통공에 연통하고, 후단측 삽통공보다 작은 직경으로 구성된 위치 결정공이 형성되어 있는 것이 바람직하다. 이에 따라, 위치 결정판과 후단측 삽통공보다 작은 구경으로(작은 개구 범위를 가지도록) 구성된 위치 결정공에 의해 후단측 삽통공에 삽통된 프로브의 후단측 부분의 위치를 결정할 수 있으므로, 전극에 대한 도전 접촉 상태를 보다 확실하게 얻을 수 있다. 또, 위치 결정판을 설치함으로써, 후단측 삽통공의 구멍 직경을, 프로브를 용이하게 빼거나 꽂을 수 있도록 확대할 수 있기 때문에, 프로브의 교환이 더욱 용이하도록 구성할 수 있다. 여기서, 상기 위치 결정공은, 프로브의 후단 부위와 전극 사이의 도전 접촉을 저해하지 않는 구멍 직경(개구 범위)을 구비하고 있으면 된다.

또, 상기의 과제를 해결하기 위하여, 본 발명의 검사 지그는, 소정의 프로브 안내 방향을 가지는 선단측 삽통공과, 검사 대상과 대향하는 대향면을 구비한 선단측 지지체와 선단측 지지체의 후방에 간격을 두고 배치되고, 소정의 프로브 안내 방향을 가지는 후단측 삽통공을 구비한 후단측 지지체와, 그 선단이 검사 대상측에서 출몰 가능하도록 선단측 삽통공에 삽통된 선단측 부분 및 후단측 삽통공에 삽통된 후단측 부분을 가지는 굴곡 가능하며 탄성을 구비한 프로브와, 후단측 지지체의 후방에 배치되고, 후단측 부분에 맞닿는 전극을 구비하고, 선단측 삽통공 및 후단측 삽통공 중 적어도 어느 한쪽은, 해당 프로브 안내 방향이 대향면의 직교 방향에 대하여 경사지는 경사부를 구비하고, 프로브의 선단측 부분 및 후단측 부분 중 어느 한쪽은, 선단측 부분 및 후단측 부분 중 어느 하나의 다른 쪽에 대하여, 경사부의 경사진 측으로 어긋난 위치에 배치되어 있는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 의하면, 선단측 삽통공 및 후단측 삽통공 중 적어도 어느 한쪽은, 상기 프로브 안내 방향이 대향면의 직교 방향에 대하여 경사지는 경사부를 구비하고, 프로브의 선단측 부분 및 후단측 부분 중 어느 한쪽은, 선단측 부분 및 후단측 부분 중 어느 하나의 다른 쪽에 대하여, 경사부의 경사진 측으로 어긋난 위치에 배치되어 있기 때문에, 선단측 지지체와 후단측 지지체 사이에서 프로브의 중간 부분을 경사지게 할 수 있어서, 프로브의 선단이 검사 대상과 맞닿을 때에 스무드하게 프로브를 휘게 할 수 있다. 또, 프로브의 선단측 부분 및 후단측 부분의 어느 한쪽은, 선단측 부분 및 후단측 부분의 어느 하나의 다른쪽에 대하여, 경사부의 경사진 측으로 어긋난 위치에 배치되어 있기 때문에, 경사부의 경사의 방향과, 장착되어 있는 프로브 또는 장착해야 할 프로브의 경사 자세의 방향이 일치한다. 따라서, 프로브를 선단측 지지체의 전방 또는 후단측 지지체의 후방으로부터 용이하게 빼거나 꽂을 수 있다. 그 결과, 종래와 같이 선단측 지지체와 후단측 지지체를 평면 방향으로 시프트하기 위한 기구 등의 복잡한 구조를 형성하지 않아도, 프로브를 용이하게 교환할 수 있게 된다.

또, 본 발명의 검사 장치는, 상기의 어느 하나에 기재된 검사 지그와, 상기 검사 지그의 복수개의 전극에 도전 접속된 전기적 검사 수단을 구비한 것을 특징으로 한다. 전기적 검사 수단으로서는, 배선 패턴이나 회로의 단락이나 단선을 발견하는 오픈 테스트 또는 쇼트 테스트를 들 수 있다. 또, 전기적 검사의 대상물로서는, 프린트 배선 기판이나 반도체 집적 회로 등을 들 수 있다.

그리고, 상기 각각의 발명에 있어서, 프로브는, 적어도 선단측 지지체로부터 검사 대상을 향하여 돌출하는 선단 부위 및 전극에 맞닿는 후단 부위 이외의 부분에 전기 절연 피복되어 있는 것이 바람직하다. 이에 따라, 전기 절연 피복에 의하여 프로브 사이의 단락 사고가 발생하는 위험성을 없앨 수가 있다. 이 경우에, 프로브의 선단측의 전기 절연 피복의 끝주위는, 선단측 삽통공에 대해서 검사 대상측을 향하여 걸어 맞출 수 있도록 구성되며, 프로브의 검사 대상측으로의 이탈 방지부로 이루지는 것이 바람직하다. 이에 따라, 프로브의 전기 절연 피복의 끝주위가 선단측 삽통공에 대해서 검사 대상측에 걸어 맞추어지는 이탈 방지부로 이루어져 있으므로, 프로브가 검사 대상측으로 빠져나오는 것을 방지할 수 있다.

또, 선단측 지지체의 프로브 안내 방향은, 선단측 지지체의 검사 대상측의 표면과 직교하는 방향인 것이 바람직하다. 이 경우에는, 검사 대상의 표면과 수직으로 프로브를 접촉시킬 수 있으므로, 검사 대상이 쉽게 손상되지 않고, 또 안정된 접촉 저항을 얻을 수 있다.

이하, 본 발명을 실시하기 위한 최선의 형태를 도면을 참조하여 설명한다.

[실시예 1]

도 1은, 본 발명의 실시예 1에 관한 검사 지그(10)의 구조를 나타내는 개략 사시도이다. 도 2는, 도 1에 나타내는 검사 지그(10)의 종단면도이다. 도 3은, 도 1에 나타내는 선단측 지지체(11)의 단면 구조를 나타내는 확대 부분 단면도이다. 도 4는, 도 1에 나타내는 후단측 지지체(12)의 단면 구조를 나타내는 확대 부분 단면도이다. 도 5는, 본 발명의 실시예 1에 관한 프로브(14)의 후단 부위(14v)와 전극(16)의 도전 접촉 상태를 나타내는 확대 부분 사시도이다. 도 6은, 도 1에 나타내는 검사 지그(10)를 탑재하여 이루어지는 검사 장치(100)의 개략적인 구성을 나타내는 개략 구성도이다. 도 7은, 도 1에 나타내는 검사 지그(10)를 소정의 검사 대상 W에 적용한 경우의 접촉 저항치와 프로브(14)의 압입량의 관계를 나타내는 그래프이다.

본 실시예의 검사 지그(10)는, 선단측 지지체(11)와, 상기 선단측 지지체(11)의 후방에 간격을 두고 배치된 후단측 지지체(12)와, 선단측 지지체(11)와 후단측 지지체(12)를 연결 고정하기 위한 지지 기둥(13)을 구비하고 있다. 선단측 지지체(11) 및 후단측 지지체(12)는 각각 판형으로 구성되며, 그들의 표면이 서로 평행하게 배치되어 있다. 선단측 지지체(11)와 후단측 지지체(12)에는 프로브(14)가 삽통되고, 상기 프로브의 선단은 선단측 지지체(11)의 표면에서 약간 돌출되어 있다.

후단측 지지체(12)의 후방에는 전극 지지체(15)가 장착되어 있다. 상기 전극 지지체(15)는, 도 2에 나타낸 바와 같이, 프로브(14)에 도전 접촉되는 복수개의 전극(16)을 지지 고정하고 있다. 그리고, 도 2에서, 프로브(14) 및 전극(16)은 하나만 나타내고 있지만, 실제로는 복수개의 프로브(14) 및 전극(16)이 평면 방향( 즉, 선단측 지지체(11), 후단측 지지체(12)의 표면을 따른 방향)으로 배열되어 있다. 또, 도 2에서는, 선단측 지지체(11) 및 후단측 지지체(12)에 형성되는 후술하는 선단측 삽통공(11X) 및 후단측 삽통공(12X)의 도시도 생략하고 있다.

프로브(14)는, 텅스텐, 하이스강(SKH), 베릴륨동(Be-Cu) 등의 금속, 그 외의 도전체로 구성되며, 굴곡 가능하며 탄성을 가지는 와이어 형태로 구성되어 있다. 본 실시예에서는, 프로브(14)는, 상기와 같은 도전체로 구성되는 도전 와이어(14a)와, 상기 도전 와이어(14a)의 외면을 덮는 전기 절연 피복(14b)을 구비하고 있다. 전기 절연 피복(14b)은 합성 수지 등의 절연체로 구성되며, 특히 절연 도장(塗裝)을 실시함으로써 도전 와이어(14a)의 표면에 코팅된 것이 바람직하다. 도 3 및 도 4에 나타낸 바와 같이, 프로브(14)의 선단측 부분(14s)과 후단측 부분(14u)에서는, 전기 절연 피복(14b)이 형성되지 않고, 도전 와이어(14a)가 노출된 상태가 되어 있다. 상기 프로브(14)의 선단 부위(14t)나 후단 부위(14v)는 도시한 바와 같이 구면 형태로 구성되는 것이 바람직하고, 또 이들 선단 부위(14t)나 후단 부위(14v)의 표면에 도전 접촉 특성(접촉성)을 높이거나 유지하기 위한 표면층을 도금 등에 의해 형성하는 것이 바람직하다. 이와 같은 표면층으로서는, 니켈층 상에 금(Au), 파라듐(Pd), 로듐(Rh) 등의 층을 적층한 도금층 등을 들 수 있다.

선단측 지지체(11)는, 검사 대상이 배치되는 측(도면 상측)으로부터 순서대로 복수개의 지지판(111, 112, 113)이 적층됨으로써 구성되어 있다. 도 3에 나타내는 바와 같이, 각 지지판(111, 112, 113)에는 각각 관통공(111a, 112a, 113a)이 형성되어 있다. 상기 관통공(111a, 112a, 113a)에 의해, 프로브(14)의 선단측 부 분(14s)이 삽통되는 하나의 선단측 삽통공(11X)이 구성되어 있다. 상기 선단측 삽통공(11X)은, 선단측 지지체(11)의 검사 대상에 대향하는 대향면(도면 상측의 표면)(11a)과 직교하는 프로브(14)의 안내 방향(도면의 상하 방향)을 가지고 있다. 또, 상기 선단측 삽통공(11X)은, 검사 지그(10)에 설치된 프로브(14)의 개수만큼 형성되어 있다.

3개의 관통공(111a, 112a, 113a)은 동심형으로 형성되어 있다. 보다 구체적으로는, 관통공(111a)은, 소경공(111a1)과, 소경공(111a1)보다 직경이 큰 대경공(111a2)에 의해 구성되고, 관통공(113a)은, 소경공(113a1)과, 소경공(113a1)보다 직경이 큰 대경공(113a2)에 의해 구성되어 있다. 또, 소경공(111a1)과 소경공(113a1)은 직경의 크기가 거의 동일하고, 또한 도전 와이어(14a)의 외경보다 약간 크며, 전기 절연 피복(14b)의 부분의 프로브(14)의 외경보다 약간 작은 내경으로 형성되어 있다. 그리고, 관통공(112a)은, 소경공(111a1, 113a1)보다 직경이 크고, 또한 대경공(111a2, 113a2)보다 직경이 작게 형성되어 있다.

후단측 지지체(12)는, 선단측 지지체(11) 측으로부터 순서대로 복수개의 지지판(121, 122, 123)이 적층됨으로써 구성되어 있다. 도 4에 나타낸 바와 같이, 각 지지판(121, 122, 123)에는 각각 관통공(121a, 122a, 123a)이 형성되어 있다. 상기 관통공(121a, 122a, 123a)에 의해, 프로브(14)의 후단측 부분(14u)이 삽통되는 하나의 후단측 삽통공(12X)이 구성되어 있다. 상기 후단측 삽통공(12X)은, 선단측 삽통공(11X)의 프로브 안내 방향(즉, 대향면(11a)의 직교 방향)에 대해서 경사진 프로브 안내 방향 V1을 가지고 있다. 즉, 3개의 관통공(121a, 122a, 123a) 는, 각각의 중심이 조금씩 어긋난 상태로 형성되어 있고, 후단측 삽통공(12X)의 전체가 대향면(11a)의 직교 방향에 대해서 경사지는 경사부가 되어 있다. 보다 구체적으로는, 도 4에 나타낸 바와 같이, 관통공(121a, 122a, 123a)의 순서대로 그 중심이 도면 우측 방향으로 조금씩 어긋난 상태로, 3개의 관통공(121a, 122a, 123a)이 형성되어 있다. 그러므로, 프로브 안내 방향 V1은, 후단측 지지체(12)의 표면과 직교하는 법선 n1에 대해서 도 4에서 반시계 방향으로 각도 θ1만큼 경사져 있다. 또, 상기 후단측 삽통공(12X)는, 검사 지그(10)에 설치된 프로브(14)의 개수만큼 형성되어 있다.

또, 상기 관통공(121a)은, 소경공(121a1)과, 소경공(121a1)보다 직경이 큰 대경공(121a2)으로 구성되고, 관통공(122a)은 소경공(122a1)과, 소경공(122a1)보다 직경이 큰 대경공(122a2)으로 구성되고, 관통공(123a)은, 소경공(123a1)과, 소경공(123a1)보다 직경이 큰 대경공(123a2)으로 구성되어 있다. 소경공(123a1)은, 도전 와이어(14a)의 외경보다 약간 크고, 또한, 전기 절연 피복(14b)의 부분의 프로브(14)의 외경보다 약간 작은 내경으로 형성되고, 소경공(121a1)과 소경공(122a1)은 크기가 동일한 직경이며, 또한 절연 피막(14b)이 형성된 부분의 프로브(14)의 외경 보다 약간 큰 내경으로 형성되어 있다.

또, 각 프로브(14)에 있어서는, 선단측 삽통공(11X)에 삽통된 선단측 부분(14s)이 후단측 삽통공(12X)에 삽통된 후단측 부분(14u)보다 후단측 삽통공(12X)의 프로브 안내 방향 V1의 경사 방향으로 어긋난 위치에 배치되어 있다. 즉, 하나의 프로브(14)의 선단측 부분(14s)이 도입되는 선단측 삽통공(11X)의 후단측의 개구 위치(즉, 지지판(113)의 관통공(113a)의 개구 위치)는, 도 4에 나타내는 바와 같이, 상기 프로브(14)의 후단측 부분(14u)이 도입되는 후단측 삽통공(12X)에서 보았을 때, 상기 후단측 삽통공(12X)의 프로브 안내 방향 V1의 경사측으로 배치되어 있다. 보다 상세하게 설명하면, 본 실시예에서는, 하나의 프로브(14)의 선단측 부분(14s)이 도입되는 선단측 삽통공(11X)의 후단측의 개구 위치(즉, 관통공(113a)의 개구 위치)는, 상기 프로브(14)의 후단측 부분(14u)이 도입되는 후단측 삽통공(12X)에서 보았을 때, 상기 후단측 삽통공(12X)의 프로브 안내 방향 V1으로 배치되어 있다.

프로브(14)의 선단측의 전기 절연 피복(14b)의 끝주위(14bs)는, 도 3에 나타내는 바와 같이, 선단측 삽통공(11X)의 관통공(113a)의 소경공(113a1)보다 후방에 배치되어 있다. 또, 전술한 바와 같이, 관통공(113a)의 소경공(113a1)는, 도전 와이어(14a)의 외경보다 약간 크고, 또한, 전기 절연 피복(14b)의 부분의 프로브(14)의 외경보다 약간 작은 내경으로 형성되어 있다. 그러므로, 전기 절연 피복(14b)의 끝주위(14bs)는, 선단측 삽통공(11X)의 관통공(113a)의 소경공(113a1)의 개구 에지(113b)에 대해서 검사 대상측(도면 상측)을 향하여 걸어 맞출 수 있도록 구성되어 있다. 이와 같이, 전기 절연 피복(14b)의 끝주위(14bs)가 선단측 삽통공(11X)에 걸어 맞추어지는 이탈 방지부로 구성되어 있으므로, 프로브(14)가 검사 대상측으로 빠지지 않게 되어 있다.

도 5는, 프로브(14)의 후단 부위(14v)와, 전극(16)의 표면(16a)의 접촉 상태를 나타내는 확대 사시도이다. 후단 부위(14v)는 상기 설명한 바와 같이 구면 형 태로 구성되어 있으므로, 경사진 프로브 안내 방향 V1을 가지는 후단측 삽통공(12X)의 내부를 따라서 프로브(14)의 후단측 부분(14u)이 경사져도, 후단 부위(14v)와 전극(16)의 표면(16a)의 도전 접촉 상태에는 영향을 미치지 않는다.

전극 지지체(15)는, 도 2에 나타낸 바와 같이, 복수개의 전극(16)을 매설한 지지판(151, 152)과, 전극(16)에 도전 접속되는 배선(17)을 유지하는 지지판(153)이 적층된 구조를 가지고 있다. 배선(17)은 후술하는 검사 장치(100)의 제어부(110)에 접속된다. 전극 지지체(15)는 후단측 지지체(12)에 대해서 볼트 등의 고정 수단에 의해 착탈 가능하게 고정되어 있다.

도 6은, 검사 지그(10)를 탑재한 검사 장치(100)의 전체 구성을 모식적으로 나타낸 개략 구성도이다. 상기 검사 장치(100)는, 전기적인 판정을 행하는 검사 회로를 포함하는 제어부(110)와, 상기 제어부(110)에 접속된 구동부(120)와, 상기 구동부(120)에 의해 구동되는 검사 기구(130)를 구비하고 있다. 검사 기구(130)에는, 검사 지그(10)가 장착되는 제1 지지반(131)과, 상기 제1 지지반(131)에 대향 배치되는 제2 지지반(132)과, 제1 지지반(131)과 제2 지지반(132)을 상대적으로 접근 및 이격 가능하게 이동시키는 이동 기구(133)를 가진다. 상기 이동 기구(133)는, 볼 나사(ball screw) 기구나 유압 기구 등에 의해 구성되며, 구동부(120)에 의해 구동된다.

제1 지지반(131)에 장착 고정된 검사 지그(10)의 전극(16)은 배선(17)을 통하여 배선(109)에 접속되고, 상기 배선(109)을 통하여 제어부(11O)에 도전 접속되어 있다. 또, 제2 지지반(132) 상에는 검사 대상 W(회로 기판 등)의 위치가 결정 된 상태에서 탑재된다. 그리고, 제어부(110)의 제어 신호에 의해 구동부(120)가 이동 기구(133)를 구동하여, 제1 지지반(131)이 제2 지지반(132)을 향하여 접근하고, 소정 압력으로 검사 지그(10)를 검사 대상 W으로 누른다. 검사 지그(10)의 각 프로브(14)가 검사 대상 W에 도통하면, 제어부(110)는 배선(109)을 통하여 검사 지그(10)로 소정의 신호를 공급하거나, 검사 지그(10)에서 검출한 전위 등을 받음으로써, 검사 대상 W의 전기적 시험을 행한다.

다음에, 이상 설명한 실시예 1의 검사 지그(10)의 작용 효과에 대하여 설명한다. 본 실시예의 검사 지그(10)를 조립하는 경우에는, 먼저 복수개의 프로브(14)를 선단측 지지체(11)와 후단측 지지체(12)에 삽통시킨 후에, 지지 기둥(13)에 의해 선단측 지지체(11)와 후단측 지지체(12)를 연결 고정한 후에, 전극 지지체(15)를 후단측 지지체(12)에 장착 고정한다.

또, 프로브(14)를 교환하는 경우에는, 먼저, 전극 지지체(15)를 후단측 지지체(12)로부터 분리한 후에, 지지판(123)을 분리하고, 후단측 지지체(12)(지지판(121, 122))의 후단측 삽통공(12X)으로부터 프로브(14)를 빼낸다. 이 때, 프로브(14)의 선단측 부분(14s)은, 후단측 삽통공(12X)의 경사 방향으로 어긋난 위치(즉, 경사부의 경사진 측으로 어긋난 위치)에 배치되어 있으므로, 경사진 프로브 안내 방향 V1을 가지는 후단측 삽통공(12X)을 따라서 프로브(14)를 용이하게 빼낼 수 있다. 또, 새로운 프로브(14)를 후단측 지지체(12)(지지판(121, 122))의 후단측 삽통공(12X)에 삽통한 채로 선단측 부분(14s)을, 선단측 지지체(11)의 선단측 삽통공(11X)에 삽통한다. 이 때, 선단측 삽통공(11X)은, 후단측 삽통공(12X)에 대해서 상기 프로브 안내 방향 V1의 경사 측으로 어긋난 위치(즉, 경사부의 경사진 측으로 어긋난 위치)에 있으므로, 프로브(14)를 용이하게 선단측 지지체(11)에 삽통시킬 수 있다. 그 후, 지지판(123)을 고정하고, 후단측 지지체(12)를 완성한다. 이로써, 프로브(14)는 선단 부위(14t) 측에서도 후단 부위(14v) 측에서도 빠지지 않게 된다.

특히, 본 실시예에서, 하나의 프로브(14)의 선단측 부분(14s)이 도입되는 선단측 삽통공(11X)의 후단측의 개구 위치는, 상기 프로브(14)의 후단측 부분(14u)이 도입되는 후단측 삽통공(12X)에서 보았을 때, 상기 후단측 삽통공(12X)의 프로브 안내 방향 V1으로 배치되어 있다. 그러므로, 후단측 지지체(12)의 후방으로부터 프로브(14)를 후단측 삽통공(12X)에 삽통했을 때, 프로브(14)가 직선형으로 구성되어 있으면, 그대로 프로브(14)는 후단측 삽통공(12X)의 프로브 안내 방향 V1으로 진행하여, 프로브(14)의 선단측 부분(14s)은 선단측 지지체(11)의 선단측 삽통공(11X)의 후단측의 개구 위치에 도달하기 때문에, 프로브(14)의 삽통 작업을 매우 용이하게 행할 수 있다.

본 실시예에서는, 선단측 지지체(11)와 후단측 지지체(12)의 사이에 있는 프로브(14)의 중간 부분은, 후단측 삽통공(12X) 내에서 후단측 부분(14u)이 경사진 방향으로 경사져서 진행하여, 그대로 선단측 삽통공(11X)에 도입된 상태가 된다. 이에 따라, 프로브(14)의 선단 부위(14t)가 검사 대상과 맞닿아서 밀어 넣어지면, 상기와 같이 경사 자세로 있던 프로브(14)의 중간 부분은 용이하게 휘어지고(굴곡되고), 또 상기 중간 부분의 휘는 방향(굴곡 자세)이 상기 경사 방향으로 제한된 다.

후단측 삽통공(12X)의 프로브 안내 방향 V1의 경사의 방향은, 복수개의 후단측 삽통공(12X)에서 서로 동일한 것이 바람직하고, 본 실시예에서는, 그와 같이 구성되어 있다. 그러므로, 복수개의 프로브(14)의 배열 피치가 작아도, 검사 시에 프로브(14)가 휠 때, 프로브(14)의 중간 부분이 서로 접촉하기 곤란하기 때문에, 프로브(14)와 검사 대상 사이에 발생하는 접촉압이 프로브(14)가 휘는 양에 대하여 안정되고, 또 복수개의 프로브(14)의 접촉압도 균일화된다.

도 7은, 본 실시예의 구성을 사용한 때의, 프로브(14)와 검사 대상 사이의 접촉 저항치와 프로브의 압입량과의 관계를 나타내는 그래프이다. 여기서, 프로브의 저항치는 300mΩ, 배선의 저항치는 500mΩ이다. 상기 그래프에 나타내는 바와 같이, 프로브의 압입량이 극히 작은 영역(압입량이 0.04mm 이상 0.1mm 이하의 영역)에서도 안정된 접촉 상태를 얻을 수 있다. 또, 프로브 사이의 접촉 저항의 특성 차이도 극히 작은 것을 알 수 있다.

[실시예 2]

도 8은, 본 발명의 실시예 2에 관한 후단측 지지체(12)의 도 4에 나타내는 단면과는 상이한 단면 구조를 나타내는 확대 부분 단면도이다. 도 9는, 본 발명의 실시예 2에 관한 검사 지그의 일부의 단면 구조를 나타낸 종단면도이다. 도 10은, 본 발명의 실시예 2에 관한 프로브(14)의 선단 부위(14t)와 후단 부위(14v)의 배치 관계를 도 9의 Z 방향으로부터 나타내는 도면이다.

전술한 실시예 1에서는, 후단측 삽통공(12X)의 프로브 안내 방향 V1의 경사 의 방향은, 복수개의 후단측 삽통공(12X)에서 선단측 삽통공(11X)의 프로브 안내 방향에 대하여 서로 동일하도록 구성되어 있다. 한편, 실시예 2에서는, 후단측 삽통공의 프로브 안내 방향의 경사의 방향은, 인접하는 복수개의 후단측 삽통공에서 선단측 삽통공(11X)의 프로브 안내 방향에 대하여 교대로 상이하도록 구성되어 있고, 이것이 실시예 1의 구성과 실시예 2의 구성의 상이한 점이다. 따라서, 이하에서는, 상기 상이점을 중심으로 본 실시예의 구성을 설명한다. 그리고, 본 실시예에서는, 상기의 구성을 제외한 다른 구성은 실시예 1의 구성과 공통되므로, 동일한 구성에 대해서는 동일한 부호를 부여하고, 공통되는 부분에 대한 상세한 설명은 생략한다. 또는, 실시예 1과 공통되는 부분에 대한 도시 및 설명은 생략한다.

실시예 2에서는, 후단측 지지체(12)를 구성하는 각 지지판(121, 122, 123)의 소정 부위에는, 실시예 1과 마찬가지로, 도 4에 나타낸 바와 같이, 각각 관통공(121a, 122a, 123a)이 형성되어 있다. 상기 관통공(121a, 122a, 123a)에 의해, 소정 부위에서, 프로브(14)의 후단측 부분(14u)가 삽통되는 1개의 후단측 삽통공(12X)이 구성되어 있다.

또, 각 지지판(121, 122, 123)의 도 4에 나타낸 부위와 다른 부위에는, 도 8에 나타낸 바와 같이, 각각 관통공(121b, 122b, 123b)이 형성되어 있다. 상기 관통공(121b, 122b, 123b)에 의해, 다른 부위에서 프로브(14)의 후단측 부분(14u)이 삽통되는 1개의 후단측 삽통공(12Y)이 구성되어 있다. 상기 후단측 삽통공(12Y)은, 선단측 삽통공(11X)의 프로브 안내 방향에 대하여 경사진 프로브 안내 방향 V2를 가지고 있다. 즉, 3개의 관통공(121b, 122b, 123b)은, 각각의 중심이 조금씩 어긋난 상태에서 형성되어 있다. 보다 구체적으로는, 도 8에 나타내는 바와 같이, 관통공(121b, 122b, 123b)의 순서대로, 그 중심이 도면의 좌측 방향으로 조금씩 어긋난 상태로, 3개의 관통공(121b, 122b, 123b)이 형성되어 있다. 그러므로, 프로브 안내 방향 V2는, 후단측 지지체(12)의 표면과 직교하는 법선 n1에 대하여 도 8에서 시계 방향으로 각도 θ1만큼 경사져 있다.

또, 관통공(121b)은, 관통공(121a)의 소경공(121a1) 및 대경공(121a2)과 마찬가지의 소경공(121b1) 및 대경공(121b2)에 의해 구성되고, 관통공(122b)는, 관통공(122a)의 소경공(122a1) 및 대경공(122a2)과 마찬가지의 소경공(122b1)과 대경공(122b2)에 의해 구성되고, 관통공(123b)은, 관통공(123a)의 소경공(123a1) 및 대경공(123a2)과 마찬가지의 소경공(123b1)과 대경공(123b2)에 의해 구성되어 있다.

후단측 지지체(12)에는, 도 9 및 도 10에 나타내는 바와 같이, 그 표면과 직교하는 법선 n1에 대해서 프로브 안내 방향 V1이 반시계 방향으로 각도θ1만큼 경사진 후단측 삽통공(12X), 법선 n1에 대해서 프로브 안내 방향 V2가 시계 방향으로 각도 θ1만큼 경사진 후단측 삽통공(12Y), 법선 n1에 대해서 프로브 안내 방향이 반시계 방향으로 각도 θ1보다 큰 각도 θ2만큼 경사진 후단측 삽통공(12X1), 및, 법선 n1에 대해서 프로브 안내 방향이 시계 방향으로 각도θ2만큼 경사진 후단측 삽통공(12Y1)이 이 순번대로, 또한 이 순번을 반복하면서, 인접하도록 프로브(14)의 개수에 대응하는 개수만큼 형성되어 있다.

즉, 도 9 및 도 10에 나타내는 바와 같이, 전술한 4종류의 인접하는 후단측 삽통공(12X, 12Y, 12X1, 12Y1)의 프로브 안내 방향은 교대로, 선단측 삽통공(11X) 의 배열 방향(도면의 상하 방향 A)과 직교하는 일방향(도면의 우측 방향 B)과 일방향 B와 반대 방향인 다른 방향(도면의 좌측 방향 C)와 같이, 서로 상이한 방향으로 경사지게 되어 있다.

상기와 같이, 인접하는 후단측 삽통공(12X, 12Y, 12X1, 12Y1)은, 후단측 지지체(12)의 표면과 직교하는 법선 n1에 대해서, 프로브 안내 방향이 교대로 상이한 방향으로 경사지도록 형성되어 있다. 또, 후단측 삽통공(12X, 12Y)의 경사의 각도 θ1과 후단측 삽통공(12X1, 12Y1)의 경사의 각도 θ2가 상이하도록, 후단측 삽통공(12X, 12Y, 12X1, 12Y1)이 형성되어 있다. 즉, 후단측 삽통공(12X, 12Y, 12X1, 12Y1)의 프로브 안내 방향이 경사지는 각도로서 2개의 상이한 경사 각도 θ1, θ2가 설정되어 있다.

환언하면, 본 실시예에서는, 프로브(14)의 선단 부위(14t)에 대해서 후단 부위(14v)가, 도 10의 일방향 B 및 다른 방향 C(좌우 방향)으로 오프셋되고, 또한 선단측 삽통공(11X)의 배열 방향 A(상하 방향)에 인접하는 후단 부위(14v)의 오프셋 양이 상이하도록 되어 있다. 예를 들어, 본 실시예에서는, 도 10에 나타내는 바와 같이, 후단측 삽통공(12X, 12Y)에 삽통되는 후단 부위(14v)의 선단 부위(14t)에 대한 오프셋 양 L1은 0.35mm, 후단측 삽통공(12X1, 12Y1)에 삽통되는 후단 부위(14v)의 선단 부위(14t)에 대한 오프셋 양 L2는 0.75mm로 되어 있다.

그리고, 본 실시예에서는, 후단측 삽통공(12X, 12Y, 12X1, 12Y1)에 삽통되는 후단 부위(14v)의 오프셋 양으로서 2개의 오프셋 양이 설정되어 있지만, 설정되는 오프셋 양은 1개로 설정할 수도 있고, 3개 이상의 오프셋 양을 설정할 수도 있다. 즉, 본 실시예에서는, 후단측 삽통공(12X, 12Y, 12X1, 12Y1)의 프로브 안내 방향이 경사지는 각도로서 2개의 상이한 경사 각도 θ1, θ2가 설정되어 있지만, 설정되는 프로브 안내 방향의 경사 각도는 1개로 설정할 수도 있고, 3개 이상의 경사 각도를 설정할 수도 있다.

이상 설명한 바와 같이, 본 실시예에서는, 인접하는 복수개의 후단측 삽통공(12X, 12Y, 12X1, 12Y1)의 프로브 안내 방향은, 선단측 삽통공(11X)의 프로브 안내 방향과 상이한 방향으로 경사지도록 구성되어 있다. 그러므로, 프로브(14)의 선단 부위(14t)의 배열 피치를 작게 구성해도, 복수개의 프로브(14)의 후단 부위(14v)의 상호간의 거리를 크게 취할 수 있다. 예를 들어, 선단 부위(14t)의 배열 피치를 80㎛로 해도, 후단 부위(14v)의 상호간의 거리를 크게 취할 수 있다. 따라서, 프로브(14)의 후단 부위(14v)가 맞닿는 전극의 배치가 용이하게 된다.

또, 복수개의 프로브(14)의 후단 부위(14v)의 상호간의 거리를 크게 취할 수 있기 때문에, 전극(16)을 크게 형성할 수 있다. 예를 들어, 50㎛의 직경을 가지는 프로브(14)에 대해서 300㎛(0.3mm)의 직경을 가지는 전극부(16)를 형성할 수 있다. 따라서, 선단측 삽통공(11X)이나 후단측 삽통공(12X, 12Y, 12X1, 12Y1)의 가공 정밀도, 또는, 전극(16)의 위치 정밀도가 낮은 경우라도, 프로브(14)의 후단 부위(14v)와 전극(16)을 확실하게 접촉시킬 수 있다.

본 실시예에서는, 인접하는 복수개의 후단측 삽통공(12X, 12Y, 12X1, 12Y1)의 프로브 안내 방향은 교대로, 선단측 삽통공(11X)의 배열 방향 A와 직교하는 일방향 B와, 일방향 B의 반대 방향인 방향 C와 같이, 상이한 방향으로 경사져 있다. 그러므로, 후단측 삽통공(12X, 12Y, 12X1, 12Y1)에 삽통된 프로브(14)의 후단 부위(14v)를 규칙적으로 배열할 수 있다. 따라서, 프로브(14)의 후단 부위(14v)가 맞닿는 전극(16)을 효율적으로 배치할 수 있다.

본 실시예에서는, 복수개의 후단측 삽통공(12X, 12Y, 12X1, 12Y1)의 프로브 안내 방향이 경사지는 각도로서 2개의 상이한 경사 각도 θ1, θ2가 설정되어 있다. 그러므로, 프로브 안내 방향이 경사지는 각도로서 1개의 경사 각도(예를 들어, 각도 θ1)만을 설정하는 경우와 비교하여, 복수개의 프로브(14)의 후단 부위(14v)의 상호간의 거리를 보다 크게 취할 수 있다. 따라서, 프로브(14)의 후단 부위(14v)가 맞닿는 전극(16)의 배치가 보다 용이하게 된다. 또, 전극(16)을 크게 형성할 수 있기 때문에, 프로브(14)의 직경을 작게 구성해도, 프로브(14)의 후단 부위(14v)와 전극(16)을 보다 확실하게 접촉시킬 수 있다.

[다른 실시예]

상기 설명한 각각의 실시예는, 본 발명의 바람직한 형태의 일례이지만, 이에 한정되지 않고 본 발명의 요지를 변경하지 않는 범위에서 여러 가지로 변형 가능하다. 예를 들어, 전술한 각 실시예의 선단측 지지체(11) 대신, 도 11에 나타내는 바와 같은 선단측 지지체(11')를 사용할 수도 있다. 상기 선단측 지지체(11')는 2개의 지지판(111' 및 112)이 적층되어 구성되어 있다. 또, 지지판(111')에 설치된 관통공(111a')과 지지판(112)에 설치된 관통공(112a')에 의하여 선단측 삽통공(11X')가 구성되어 있다.

보다 구체적으로는, 소경공(111a1')과, 소경공(111a1')보다 직경이 큰 대경 공(111a2')에 의해 구성되는 관통공(111a')과, 소경공(112a1')과 소경공(112a1')보다 직경이 큰 대경공(112a2')에 의해 구성되는 관통공(112a')이 동심형으로 형성되어 있다. 상기 선단측 삽통공(11X')에는, 프로브(14)의 전기 절연 피복(14b)의 끝주위(14bs)가 후방으로부터 걸어 맞추어지도록 구성되어 있다. 즉, 프로브(14)가 선단측으로 이동하려고 하면, 전기 절연 피복(14b)의 끝주위(14bs)가 지지판(112')의 관통공(112a')의 개구 에지(112b)에 걸리므로, 프로브(14)가 검사 대상측으로 빠지는 것이 방지된다.

상기 선단측 지지체(11')는, 2개의 지지판(111' 및 112')만으로 구성되지만, 선단측 삽통공(11X')의 가장 선단측과 후단측에는, 각각 직경이 작은 소경공(111a1')과 소경공(112a1')이 형성되어 있으므로, 충분한 선단측 삽통공(11X')의 길이, 즉 프로브 안내 길이를 확보할 수 있다.

또, 상기 설명한 각가의 실시예의 후단측 지지체(12)를 대신하여 도 12에 나타내는 바와 같은 후단측 지지체(12')를 사용하고, 또한 위치 결정판(18)을 사용할 수도 있다. 상기 후단측 지지체(12')와 위치 결정판(18)은 적층 상태에서 고정되지만, 위치 결정판(18)은 후단측 지지체(12')으로부터 간단하게 분리될 수 있도록 구성되어 있다. 또, 위치 결정판(18)은, 후단측 지지체(12')와 전극 지지체(15)의 사이에 배치되어 있다.

상기 후단측 지지체(12')는 지지판(121, 122 및 123')이 적층됨으로써 구성되며, 각 지지판(121, 122, 123')의 관통공(121a, 122a 및 123a')에 의해 후단측 삽통공(12X')이 구성된다. 그리고, 관통공(123a')은, 소경공(123a1)과, 소경공 (123a1')보다 직경이 큰 대경공(123a2')에 의해 구성되어 있다.

또, 위치 결정판(18)에는 프로브(14)의 후단 부위(14v)의 위치를 결정하기 위한 위치 결정공(18a)이 형성되어 있다. 상기 위치 결정공(18a)은, 후단측 삽통공(12X')의 내경, 특히, 후단측 삽통공(12X')의 가장 후단측의 관통공(123a')의 소경공(123a1')의 내경보다 작게 구성되어 있다. 따라서, 후단측 삽통공(12X')에 삽통된 프로브(14)의 후단측 부분(14u)의 위치에 어느 정도 여유가 있어도, 위치 결정판(18)의 위치 결정공(18a)에 의해 프로브(14)의 후단 부위(14v)는 보다 정확하게 위치를 결정할 수 있으므로, 전극(16)에 대한 도전 접촉 상태의 신뢰성을 높일 수 있다. 또, 전극(16)에 대한 도전 접촉 상태가 위치 결정판(18)에 의해 보장되므로, 후단측 삽통공(12X')의 내경을 어느 정도 크게 할 수 있게 된다.

여기서, 프로브(14)를 교환하는 경우에는, 위치 결정판(18)을 떼어내면, 프로브(14)의 후단 부위(14v)가 후단측 지지체(12')의 후방에 돌출된 상태가 되고, 또한, 후단측 삽통공(12X')은 상기 설명한 바와 같이 큰 내경으로 구성 가능하므로, 프로브(14)를 후방으로 빼어내거나 또는, 새로운 프로브(14)를 장착하기가 매우 용이하게 된다.

또한, 인접하는 후단측 삽통공의 프로브 안내 방향을, 도 13 또는 도 14에 나타낸 바와 같은 방향으로 할 수도 있다. 여기서, 도 13 및 도 14에서는, 도 10과 마찬가지로, 프로브(14)의 선단 부위(14t)와 후단 부위(14v)의 배치 관계를 도 9의 Z 방향으로부터 나타내고 있다. 즉, 도 13에 나타낸 바와 같이, 인접하는 후단측 삽통공의 프로브 안내 방향을, 일방향 B로부터 도시 반시계 방향으로 각도α1 만큼 경사진 방향으로, 또한, 일방향 B를 향하여 경사지는 방향과, 다른 방향 C로부터 도면에서 시계 방향으로 각도α2만큼 경사진 방향으로, 또한, 다른 방향 C를 향하여 경사지는 방향의 2개의 방향으로 할 수도 있다. 이 때, 각도α1과 각도α2는 동일할 수도 있고, 상이할 수도 있다. 또, 도 14에 나타내는 바와 같이, 인접하는 후단측 삽통공의 프로브 안내 방향을, 일방향 B로부터 도면의 시계 방향으로 각도β1만큼 경사진 방향으로, 또한, 일방향 B을 향하여 경사지는 방향과, 다른 방향 C로부터 도면의 시계 방향으로 각도 β2만큼 경사진 방향으로, 또한, 다른 방향 C를 향하여 경사지는 방향의 2개의 방향으로 할 수도 있다. 이 때, 각도 β1과 각도β2는 동일할 수도 있고, 상이할 수도 있다.

또한, 상기 설명한 각각의 실시예에서는, 선단측 지지체(11, 11') 및 후단측 지지체(12, 12')는 각각 복수개의 지지판(111) 등이 적층된 구조이지만, 각각을 단일 부재에 의해 구성할 수도 있다. 또, 상기 설명한 각각의 실시예의 지지판(111) 등에는, 소경공(111a1) 등과 대경공(111a2) 등으로 구성되는 관통공(111a) 등이 형성되어 있지만, 관통공은 축선 방향으로 동일한 개구 단면을 가지는 형상으로 구성될 수도 있다.

또, 상기 설명한 각각의 실시예에서는, 선단측 삽통공(11X)이, 선단측 지지체(11)의 대향면(11a)과 직교하고, 또한 후단측 삽통공(12X)이 선단측 지지체(11)의 대향면(11a)의 직교 방향에 대하여 경사지는 경사부로 이루어져 있다. 또, 프로브(14)의 선단측 부분(14s)은, 후단측 삽통공(12X)의 경사 방향과 어긋난 위치, 즉 경사부의 경사진 측으로 어긋난 위치에 배치되어 있다. 그러나, 도 15에 나타 내는 바와 같이, 후단측 삽통공(52X)을 선단측 지지체(51)의 대향면(51a)에 대해서 직교하도록 형성하고, 또한 선단측 삽통공(51X)이, 대향면(51a)의 직교 방향에 대하여 경사지는 경사부를 구비하도록 구성하고, 프로브(14)의 후단측 부분(14u)이, 경사부의 경사진 측(경사 방향)으로 어긋난 위치에 배치될 수도 있다.

더 구체적으로는, 다음과 같이 구성할 수도 있다. 예를 들어, 선단측 지지체(51)의 검사 대상과 대향하는 대향면(51a)에 직교하는 관통공(211a)을 가지는 지지판(211)과, 대향면(51a)의 직교 방향에 대하여 경사지는 관통공(212a)를 가지는 지지판(212)를 적층하여 선단측 지지체(51)를 구성한다. 선단측 삽통공(51X)는, 관통공(211a)과 관통공(212a)에 의해 구성되고, 관통공(212a)이 형성된 부분이, 선단측 삽통공(51X)의 경사부가 되어 있다. 또, 후단측 지지체(52)에는, 대향면(51a)에 직교하는 방향으로 후단측 삽통공(52X)이 형성되어 있다. 또한, 프로브(14)의 후단측 부분(14u)이, 선단측 부분(14s)에 대해서, 선단측 삽통공(51X)의 경사부의 경사진 측(경사 방향)으로 어긋난 위치에 배치되어 있다.

이와 같이 구성한 경우에는, 선단측 삽통공(51X)으로부터 도면의 상측으로 프로브(14)를 빼내거나 도면의 상측으로부터 선단측 삽통공(51X)에 프로브(14)를 삽통한다. 이와 같이 구성하더라도, 상기 설명한 실시예 1에 기재한 효과와 마찬가지의 효과를 얻을 수 있다. 예를 들어, 경사부의 경사 방향과 프로브(14)의 경사 자세의 방향이 대략 일치하므로, 용이하게 프로브(14)를 빼낼 수가 있다. 또, 후단측 삽통공(52X)이, 선단측 삽통공(51X)의 경사부의 경사 방향으로 어긋난 위치에 배치되어 있어서, 프로브(14)를 용이하게 후단측 지지체(52)에 삽통시킬 수 있 다.

또, 도 16에 나타낸 바와 같이, 선단측 삽통공(51X)의 경사부에 가세해 후단측 삽통공(62X)가 대향면(51a)의 직교 방향에 대하여 경사 하는 경사부를 구비하도록 구성하면 모두, 선단측 삽통공(51X)의 경사부의 경사 방향과 후단측 삽통공(62X)의 경사부의 경사 방향이 대략 일치 하도록, 선단측 삽통공(51X)와 후단측 삽통공(62X)을 배치할 수도 있다. 즉, 프로브(14)의 선단측 부분(14s) 및 후단측 부분(14u) 중 어느 한쪽은, 선단측 부분(14s) 및 후단측 부분(14u) 중 어느 하나의 다른 쪽에 대하여, 경사부의 경사진 측으로 어긋난 위치에 배치되도록 할 수도 있다.

보다 구체적으로는, 다음과 같이 구성할 수도 있다. 예를 들어, 전술한 바와 같이, 대향면(51a)에 직교하는 관통공(211a)를 가지는 지지판(211)과, 대향면(51a)의 직교 방향에 대하여 경사지는 관통공(212a)을 가지는 지지판(212)을 적층하여 선단측 지지체(51)을 구성한다. 또, 대향면(51a)에 직교하는 관통공(222a)을 가지는 지지판(222)과, 대향면(51a)의 직교 방향에 대하여 경사지는 관통공(221a)을 가지는 지지판(221)을 적층하여 후단측 지지체(62)를 구성한다. 선단측 삽통공(51X)은, 관통공(211a)와 관통공(212a)에 의해 구성되어, 관통공(212a)이 형성된 부분이, 선단측 삽통공(51X)의 경사부가 되어 있다. 또, 후단측 삽통공(62X)은, 관통공(221a)과 관통공(222a)에 의해 구성되고, 관통공(221a)이 형성된 부분이, 후단측 삽통공(62X)의 경사부가 되어 있다. 또한, 선단측 삽통공(51X)의 경사부의 경사 방향과, 후단측 삽통공(62X)의 경사부의 경사 방향이 대략 일치하도록, 선단 측 삽통공(51X)과 후단측 삽통공(62X)이 배치되고, 또한 프로브(14)의 선단측 부분(14s) 및 후단측 부분(14u) 중 어느 한쪽은, 선단측 부분(14s) 및 후단측 부분(14u) 중 어느 하나의 다른 쪽에 대하여, 경사부의 경사진 측으로 어긋난 위치에 배치되어 있다.

상기와 같이 구성한 경우에는, 선단측 삽통공(51X)의 상측으로, 또는 후단측 삽통공(62X)으로부터 하측으로 프로브(14)를 빼내거나 상측에서 선단측 삽통공(51X)으로, 또는 아래쪽에서 후단측 삽통공(62X)으로 프로브(14)를 삽통한다. 이와 같이 구성한 경우라도, 전술한 실시예 1에 기재한 효과와 마찬가지의 효과를 얻을 수 있다. 예를 들어, 경사부의 경사 방향과 프로브(14)의 경사 자세의 방향이 일치하므로, 용이하게 프로브(14)를 빼낼 수 있다. 또, 상측에서 선단측 삽통공(51X)으로 프로브(14)를 삽통하는 경우에는, 후단측 삽통공(62X)이, 선단측 삽통공(51X)의 경사부의 경사 방향으로 어긋난 위치에 배치되므로, 프로브(14)를 용이하게 후단측 지지체(62)에 삽통시킬 수 있어서 하측에서 후단측 삽통공(62X)으로 프로브(14)를 삽통하는 경우에는, 선단측 삽통공(51X)이, 후단측 삽통공(62X)의 경사부의 경사 방향으로 어긋난 위치에 배치되어 있으므로, 프로브(14)를 용이하게 선단측 지지체(51)에 삽통시킬 수 있다. 그리고, 선단측 지지체나 후단측 지지체에서의 지지판의 적층 개수는 2매로 한정되지 않는다.

본 발명에 의하면, 간단하고 쉬운 구조이면서, 프로브를 용이하게 교환할 수 있는 검사 지그를 제공하는 효과를 얻을 수 있다.

Claims

검사 대상으로 향하는 프로브(probe) 안내 방향을 가지는 선단측 삽통공(揷通孔)을 구비한 선단측 지지체와,

상기 선단측 지지체의 후방에 간격을 두고 배치되고, 상기 선단측 삽통공의 프로브 안내 방향에 대하여 경사진 프로브 안내 방향을 가지는 후단측 삽통공을 구비한 후단측 지지체와,

그 선단이 상기 검사 대상측에서 출몰 가능하도록 상기 선단측 삽통공에 삽통되는 선단측 부분 및 상기 후단측 삽통공에 삽통되는 후단측 부분을 가지는 굴곡 가능하며 탄성을 구비한 프로브와,

상기 후단측 지지체의 후방에 배치되고, 상기 후단측 부분과 맞닿는 전극

을 구비하고,

상기 프로브의 상기 선단측 부분은, 상기 후단측 부분에 대해서 상기 후단측 삽통공의 프로브 안내 방향의 경사진 측으로 어긋난 위치에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 검사 지그(inspection jig).
제1항에 있어서,

상기 선단측 삽통공의 후단측의 개구 위치는, 상기 후단측 삽통공에서 보았을 때, 상기 후단측 삽통공의 프로브 안내 방향으로 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 검사 지그.
제1항 또는 제2항에 있어서,

상기 선단측 삽통공, 상기 후단측 삽통공 및 상기 프로브는 복수개 설치되고, 복수개의 상기 후단측 삽통공의 프로브 안내 방향은, 상기 선단측 삽통공의 프로브 안내 방향과 동일한 방향으로 경사져 있는 것을 특징으로 하는 검사 지그.
제1항 또는 제2항에 있어서,

상기 선단측 삽통공, 상기 후단측 삽통공 및 상기 프로브는 복수개 설치되고, 인접하는 복수개의 상기 후단측 삽통공의 프로브 안내 방향은, 상기 선단측 삽통공의 프로브 안내 방향과 상이한 방향으로 경사져 있는 것을 특징으로 하는 검사 지그.
제4항에 있어서,

인접하는 복수개의 상기 후단측 삽통공의 프로브 안내 방향은 교대로, 상기 선단측 삽통공의 배열 방향과 직교하는 일방향과, 상기 일방향의 반대 방향인 타방향의, 서로 다른 방향으로 경사져 있는 것을 특징으로 하는 검사 지그.
제4항 또는 제5항에 있어서,

복수개의 상기 후단측 삽통공의 프로브 안내 방향이 경사지는 각도로서, 복수개의 상이한 경사 각도가 설정되어 있는 것을 특징으로 하는 검사 지그.
제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 전극을 지지하는 전극 지지체를 가지고, 상기 후단측 지지체와 상기 전극 지지체가 착탈(着脫) 가능하게 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 검사 지그.
제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 후단측 지지체와 상기 전극 사이에는 위치 결정판이 착탈 가능하게 배치되고, 상기 위치 결정판에는, 상기 후단측 삽통공에 연통하고, 상기 후단측 삽통공보다 작은 직경으로 구성된 위치 결정공이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 검사 지그.
소정의 프로브 안내 방향을 가지는 상기 선단측 삽통공과 검사 대상에 대향하는 대향면을 구비한 선단측 지지체와,

상기 선단측 지지체의 후방에 간격을 두고 배치되고, 소정의 프로브 안내 방향을 가지는 후단측 삽통공을 구비한 상기 후단측 지지체와,

그 선단이 상기 검사 대상측에서 출몰 가능하도록 상기 선단측 삽통공에 삽통된 선단측 부분 및 상기 후단측 삽통공에 삽통된 후단측 부분을 가지는 굴곡 가능하며 탄성을 구비한 상기 프로브와,

상기 후단측 지지체의 후방에 배치되고, 상기 후단측 부분에 맞닿는 전극

을 구비하고,

상기 선단측 삽통공 및 상기 후단측 삽통공 중 적어도 어느 한쪽은, 상기 프로브 안내 방향이 상기 대향면의 직교 방향에 대하여 경사지는 경사부를 구비하고,

상기 프로브의 상기 선단측 부분 및 상기 후단측 부분 중 어느 한쪽은, 상기 선단측 부분 및 상기 후단측 부분 중 어느 하나의 다른 쪽에 대하여, 상기 경사부의 경사진 측으로 어긋난 위치에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 검사 지그.
제1항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 검사 지그와 상기 검사 지그의 복수개의 상기 전극에 도전 접속된 전기적 검사 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 검사 장치.