KR101042514B1

KR101042514B1 - 프로브 카드

Info

Publication number: KR101042514B1
Application number: KR1020080118297A
Authority: KR
Inventors: 사토시 나리타; 히사오 나리타; 노부유키 야마구치
Original assignee: 가부시키가이샤 니혼 마이크로닉스
Priority date: 2007-12-03
Filing date: 2008-11-26
Publication date: 2011-06-17
Also published as: US7791364B2; JP2009139104A; JP5069542B2; TWI383149B; KR20090057902A; TW200925610A; US20090140760A1

Abstract

본 발명의 목적은, 서로 어긋나 있는 3개 이상의 열(列)에 복수의 전극을 배치한 전자 디바이스의 각 전극에 1개의 프로브의 침선을, 나란히 인접해 있는 프로브끼리 서로 접촉하지 않고, 각 전극에 일대일의 형태로 확실히 접촉시키는데 있다. 본 발명의 프로브 카드는, 기판의 한쪽 면 쪽에 배치된 복수의 프로브를 포함한다. 이들 프로브는, 피검사체의 제1 전극열의 전극에 접촉하는 복수의 프로브를 포함하는 제1 프로브 그룹과, 피검사체의 제2 전극열의 전극에 접촉하는 복수의 프로브를 포함하는 제2 프로브 그룹과, 피검사체의 중간 전극열의 전극에 번갈아 접촉하는 복수의 프로브를 포함하는 제3 및 제4 프로브 그룹에, 각각 속해 있다.

프로브 카드, 프로브, 베이스부(針元部, probe base portion), 본체부(針主體部, probe main body portion), 침선부(針先部, probe tip portion), 니들 홀더(針押, needle holder)

Description

프로브 카드 {Probe Card}

본 발명은, 반도체 소자 등과 같은 전자 디바이스의 전기적 시험을 하기 위한 프로브 카드에 관한 것이다.

통상적으로, 프로브 카드는 가늘고 긴 다수의 프로브를 갖추고 있고, 각 프로브의 침선부(침선)를 전자 디바이스의 각 전극에 일대일의 형태로 접촉시켜 그 전자 디바이스에 통전시키는 방법으로 전기적 시험을 하고 있다.

최근, 이러한 전자 디바이스는 사회적 필요성과 함께 이를 뒷받침하는 기술의 진보로 인하여 소형화 및 고집적화가 진행되고 있고, 이에 따라 전자 디바이스의 전극도 소형화되고 있으며, 그 간격(pitch) 또한 협소화되고 있다. 이밖에, 전자 디바이스에 따라서는, 그 전극이 다수의 열을 이루어 배치되거나, 전극의 위치나 간격이 열마다 다른 경우도 있다.

이 같은 전자 디바이스의 전기적 시험을 할 경우, 전극 간의 협소화된 간격이나 전극 간마다 다른 간격으로 대응하는 프로브 간에 서로 접촉할 우려가 컸다.

종래에는, 이러한 프로브 간의 접촉을 막기 위한 여러 가지 기술이 제안되어 왔다. 예를 들어, 프로브가 서로 교차하지 않도록, 이들 프로브의 침선(針先)을 전자 디바이스의 전극의 좌우 방향으로 번갈아 배치한 지그재그형 배열의 프로브 카드가 있다(특허문헌 1). 또한, 복수의 프로브를, 본체부(針主體部, probe main body portion)가 침선부(針先部, probe tip portion)로부터 한쪽으로 연장하는 제1 프로브 그룹과, 본체부가 침선부로부터 다른 한쪽으로 연장하는 제2 프로브 그룹으로 나누어, 제1 및 제2 프로브 그룹의 프로브를 이들 프로브의 침선의 배열 방향으로 번갈아 위치시킨 프로브 카드가 있다(특허문헌 2). 나아가, 제1층 프로브, 제2층 프로브 및 제3층(최하층) 프로브가 니들 홀더(針押, needle holder)의 밑면에 수직 방향으로 간격을 두고 고정되고, 전자 디바이스의 전극의 위치에 대응하여 어느 한 층의 프로브 침을 사용하는 프로브 카드가 있다(특허문헌 3).

특허문헌 1: 일본 특허출원 공개 제2000-216204호 공보 (단락 0017)

특허문헌 2: 일본 특허출원 공개 제2001-108708호 공보 (청구항 2)

특허문헌 3: 일본 특허출원 공개 제2003-14780호 공보 (단락 0011, 등)

그러나, 종래의 프로브 카드에 의하면, 복수의 전극열을 갖는 전자 디바이스에 있어서, 각 열(列)의 전극 간의 간격이 다른 경우나 각 열의 전극의 위치가 열 (列)방향으로 어긋나 있는 경우에는, 프로브 간의 간격은 일정하기 때문에, 각 프로브를 각 전극에 일대일의 형태로 접촉시킬 수 없어, 상기 전자 디바이스의 전기적 시험을 하는 것이 곤란했다.

특히, 다수의 전극이 불규칙적으로 배열된 특별한 형태의 전자 디바이스에 있어서는, 종래의 프로브 카드에서는 프로브를 전극에 일대일의 형태로 접촉시키는 구조로 만드는 것이 불가능하다.

또한, 각 열의 전극 간의 간격이 프로브 간의 간격보다 작은 전자 디바이스에 대하여, 그 프로브를 갖는 프로브 카드를 사용하면, 프로브끼리 서로 접촉하여, 전기적 시험을 하는 것이 불가능하다.

본 발명의 목적은, 1개의 프로브의 침선부의 침선을, 복수의 전극을 갖는 전자 디바이스, 예를 들어, 전극이 3개 이상의 열에 배치되고, 각 열이 다른 열에 대하여 어긋나게 배치된 전자 디바이스의 전극에, 나란히 인접해 있는 프로브가 서로 접촉하지 않고, 일대일의 형태로 확실히 접촉시키도록 하는 데 있다.

본 발명에 따른 프로브 카드는, 복수의 접속부가 배치된 밑면을 갖는 기판과, 각각이 상기 접속부에 위쪽 끝이 접속된 베이스부와, 그 베이스부의 아래쪽 끝으로부터 좌우 방향으로 연장하는 본체부와, 그 본체부의 앞쪽 끝으로부터 아래쪽으로 연장하며 아래쪽 끝에 침선을 갖는 침선부를 구비한 복수의 프로브를 각각 포함하는 제1, 제2, 제3 및 제4 프로브 그룹을 포함한다.

상기 제1 및 제3 프로브 그룹의 프로브의 본체부는 대응하는 상기 베이스부 의 아래쪽 끝으로부터 상기 제2 및 제4 프로브 그룹의 프로브 쪽으로 연장되어 있고, 상기 제2 및 제4 프로브 그룹의 프로브의 본체부는 대응하는 상기 베이스부의 아래쪽 끝으로부터 상기 제1 및 제3 프로브 그룹의 프로브 쪽으로 연장되어 있고, 상기 제3 및 제4 프로브 그룹의 프로브의 침선은 전후 방향으로 번갈아 위치해 있다.

상기 복수의 접속부는 제1 및 제2 접속부 그룹 중 어느 한 그룹 또는 다른 그룹에 속하고, 상기 제1 접속부 그룹에 속하는 접속부와 상기 제2 접속부 그룹에 속하는 접속부는 상기 좌우 방향으로 간격을 두고 상기 기판의 밑면에 배치되어 있다. 각 프로브 그룹에 속하는 상기 복수의 프로브의 상기 침선부는 상기 본체부의 길이 방향 축선(longitudinal axis)에 대하여 상기 전후 방향의 어느 한 방향 또는 다른 방향으로 구부러져 있어도 된다.

또한, 상기 제3 프로브 그룹의 프로브의 침선부의 구부러진 방향과 상기 제4 프로브 그룹의 프로브의 침선부의 구부러진 방향은 서로 달라도 된다. 나아가, 상기 제3 프로브 그룹의 프로브에 가장 인접하는, 상기 제1 프로브 그룹의 프로브 중 2개의 프로브의 침선부의 구부러진 방향은 서로 달라도 되고, 또한, 상기 제4 프로브 그룹의 프로브에 가장 인접하는, 상기 제2 프로브 그룹의 프로브 중 2개의 프로브의 침선부의 구부러진 방향은 서로 달라도 된다.

또한, 상기 가장 인접하는, 상기 제1 프로브 그룹의 프로브 중 2개의 프로브의 침선부의 침선은 서로 상기 좌우 방향으로 엇갈려 있고, 또한 상기 가장 인접하는, 상기 제2 프로브 그룹의 프로브 중 2개의 프로브의 침선부의 침선은 서로 상기 전후 방향으로 엇갈리게 할 수 있다.

상기 침선은 상기 전후 방향으로 직선상에 위치해도 된다. 또한, 상기 제3 및 제4 프로브 그룹은, 각각, 적어도 2개의 프로브 서브 그룹을 포함할 수 있다. 나아가, 상기 2개의 프로브 서브 그룹의 프로브의 침선은 상기 전후 방향으로 2열 구성으로 위치해 있어도 되며, 또한 각 열의 침선은 직선상에 배열되어 있어도 된다.

본 발명에 따른 프로브 카드에 의하면, 상기 제3 및 제4 프로브 그룹의 프로브의 침선이 상기 전후 방향으로 번갈아 위치해 있기 때문에, 제3 및 제4 프로브 그룹에 속하는 프로브는 나란히 인접해 있는 프로브들을 서로 접촉시키지 않고, 프로브를 위치시킬 수 있다.

특히, 전자 디바이스의 3열 이상의 전극열의 중간열의 각 전극에 대해, 제3 및 제4 프로브 그룹에 속하는 프로브를, 나란히 인접하는 프로브끼리 서로 접촉하지 않고, 번갈아 위치시킬 수 있다.

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 가장 적합한 실시 형태에 관하여 설명한다.

[용어에 관하여]

본 발명에 있어서는, 전자 디바이스의 전극의 세로열 또는 프로브의 세로열 방향(도2 및 도3의 상하 방향)을 전후 방향이라 하고, 전후 방향으로 교차하는 방향이며 프로브의 본체부가 연장하는 방향(도2 및 도3의 좌우 방향)을 좌우 방향이라 하고, 도2 및 도3의 종이 뒷면을 향한 방향(즉, 수직인 방향)을 상하 방향이라 한다. 그러나, 이들 방향은, 피시험체인 전자 디바이스를, 프로브 카드를 설치하는 시험 장치에 배치할 때의 그 디바이스의 자세에 따라 다르다.

[변형예]

[제1 실시예]

도1~도4를 참조하여 본 발명에 따른 프로브 카드의 제1 실시예에 관하여 설명한다.

도1 및 도2를 참조하여 보면, 프로브 카드(10)는, 뒤에서 설명하듯이 좌우 방향으로 간격을 둔 3열에 배치된 복수의 전극(12)을 갖는 반도체 집적 회로와 같은 전자 디바이스(14)의 전기적 특성을 측정하는 통전 시험에 사용된다. 도시된 예에서는, 전자 디바이스(14)의 일부가 나타나 있고, 그 전극(12)은 사각형의 형상을 갖는다. 전극(12)은 작은 두께 치수를 갖도록 나타나 있으나, 프로브 카드(10)는 범프 전극처럼 큰 두께 치수를 갖는 전극에도 적용 가능하다.

프로브 카드(10)는, 복수의 프로브(16, 18, 20, 22, 24, 26)를, 이들 각각의 침선(34d)(도4(B))이 각 열의 전극(12) 위를 전후 방향으로 연장하는 직선상에 위치하는 상태로, 기판(28)의 밑면(28a)에 배치시키고 있다(도2 및 도3). 도시된 예 에서, 각 프로브는, 도전성 금속의 가느다란 줄(細線)로 이루어진 바늘 타입이다. 프로브(16, 18, 24)는 한쪽 니들 홀더(30)에 의해 기판(28)에 장착되어 있고, 프로브(20, 22, 26)는 다른 쪽 니들 홀더(32)에 의해 기판(28)에 장착되어 있다.

각 프로브는, 침선부(34b)(도4(B))가 본체부(34a)(도4(B))에 대하여, 아래쪽 방향으로, 그리고 전후 방향의 한 방향 또는 다른 방향으로 굽어져 있다. 각 프로브는, 침선부(34b)가 아래쪽을 향한 상태로, 본체부(34a)(도4(B))에서 접착제에 의해 니들 홀더(30 또는 32)에 부착되어 있다. 각 프로브(16, 18, 20, 22, 24, 26)는 직경 치수가 침선 쪽으로 갈수록 작아지는 원뿔형(圓錐形)(즉, 테이퍼 형)의 형상을 갖는다.

기판(28)은, 직사각형 형태의 개구(開口)(36)를 중앙부에 갖고, 개구(36)의 둘레에 복수의 배선(도시되어 있지 않음)을 갖고, 이들 배선 각각에 전기적으로 접속된 복수의 접속부(랜드, land)(38a, 38b)를 갖는 배선 기판으로, 전기 절연 재료로 이루어져 있다. 각 프로브의 후단부(後端部)(34c)(도4(B))는, 기판(28)에 형성된 상기 접속부에 땜납 또는 도전성 접착제 등의 접합재에 의해 전기적으로 접속되어 있다.

도시된 예에서, 접속부(38a 및 38b)는, 각각, 좌측 1열 및 우측 1열의 구성으로 열마다 전후 방향으로 간격을 두고 기판(28)의 밑면에 형성되어 있다.

도면 중, 좌측 1열의 접속부(38a)는 프로브(16, 18, 24)용 랜드(land)가 된다. 마찬가지로, 우측 1열의 접속부(38b)는 프로브(20, 22, 26)용 랜드가 된다.

도1 및 도2에 나타나 있듯이, 각 프로브는 캔틸레버(cantilever, 외팔보) 형 태로 각 접속부에 접속되어 있고, 각 프로브의 침선부(34b)의 침선(34d)은 기판(28)의 개구(36)의 아래쪽 공간(36a)에 위치되어 있다. 도시된 예에서는, 접속부를 좌측 1열 및 우측 1열의 구성으로 형성했으나, 좌우 방향으로 간격을 둔 다수의 열로 구성할 수 있다.

니들 홀더(30, 32)는, 기판(28)의 개구(36)의 대향하는 2개의 변에 대응하는 부분의 아래쪽에, 접착제 및 복수의 나사 부재 등에 의해 장착되어 있다. 도시된 예에서, 니들 홀더(30, 32)는 개별적인 부재로 형성되어 있지만, 하나의 부재로 형성해도 된다.

니들 홀더(30)에 장착된 프로브(16, 18, 24)는, 기판(28)으로부터 본체부(38a)의 높이 위치는 같고, 본체부(34a)는 침선부(34b)로부터 동일한 방향이며 프로브(20, 22, 26)측과 반대쪽인 방향으로 연장해 있다. 다른 쪽 니들 홀더(32)에 장착된 프로브(20, 22, 26)는, 기판(28)으로부터의 본체부(34a)의 높이 위치는 같고, 본체부(34a)는 침선부(34b)로부터 동일한 방향이며 프로브(16, 18, 24)측과 반대쪽인 방향으로 연장해 있다.

도3은, 도1의 프로브 카드(10)의 복수의 프로브(16, 18, 20, 22, 24, 26)의 배치를 확대하여 나타낸 개략 평면도이고, 각 프로브(16, 18, 20, 22, 24, 26)는, 각각, 전자 디바이스(14)의 복수의 전극(12)에 일대일의 형태로 접촉하고 있다.

도면에서, 전자 디바이스(14)는, 좌우 방향으로 간격을 둔 제1~3 전극열(42a, 42b, 42c)에 속하는 복수의 전극(12)을 갖고, 각 전극열(42a, 42b, 42c)의 전극(12)은 전후 방향으로 서로 동일한 간격(等間隔)을 두고 배치되어 있다. 또한, 각 전극열의 전극은, 그 열(列)방향(전후 방향)으로 다른 전극열의 전극에 대하여 약간 어긋나게 배치되어, 이들 전극열은 좌우 방향으로 정렬되어 있지 않다.

도시된 예에서, 제1 전극열(42a) 및 제2 전극열(42b)은, 각각, 제1열 및 최종열(제3열)이며, 또한 제3 전극열(42c)은 중간열이다. 제1 전극열(42a) 및 제3 전극열(42c)에는, 각각, 7개의 전극(12)이 나타나 있고, 제2 전극열(42b)에는 8개의 전극(12)이 나타나 있다. 전자 디바이스(14)의 단부(端部)(44)에서 가까운 전극은 순서대로, 제2 전극열(42b)의 제1 전극(12), 제3 전극열(42c)의 제1 전극(12), 제1 전극열(42a)의 제1 전극(12)이며, 이후 이 순서대로 전극이 각 전극열에 배치된다.

복수의 프로브(16, 18)는, 침선이 가장 왼쪽에 위치한 제1 프로브 그룹(46a)을 형성하고, 복수의 프로브(20, 22)는, 침선이 가장 오른쪽에 위치한 제2 프로브 그룹(46b)을 형성하고 있다. 또한, 복수의 프로브(24)는, 침선이 제1 프로브 그룹(46a)의 오른쪽에 위치된 제3 프로브 그룹(46c)을 형성하고, 복수의 프로브(26)는, 침선이 제2 프로브 그룹(46b)의 왼쪽에 위치한 제4 프로브 그룹(46d)을 형성하고 있다.

전자 디바이스(14)의 시험시, 제1 전극열(42a)의 각 전극에 대해서는, 제1 프로브 그룹(46a)의 각 프로브의 침선이 일대일의 형태로 접촉되고, 또한, 제2 전극열(42b)의 각 전극에 대해서는, 제2 프로브 그룹(46b)의 각 프로브의 침선이 일대일의 형태로 접촉된다. 제3 전극열(42c)에 대해서는, 제3 프로브 그룹(46c) 및 제4 프로브 그룹(46d)의 각 프로브(24, 26)의 침선이 번갈아 일대일의 형태로 접촉된다.

각 프로브는, 뒤에서 설명하듯이, 침선부의 구부러진 방향이 서로 다른 2개의 타입의 프로브(A) 및 (B)의 어느 하나에 속한다. 프로브(16, 20)는 제1 타입의 프로브(A)로 구성되고, 프로브(18, 22)는 제2 타입의 프로브(B)(도4(B))로 구성된다. 또한, 프로브(24, 26)는 제2 타입의 프로브(B)로 구성된다.

제3 프로브 그룹(46c)의 프로브(24)는, 제1 프로브 그룹(46a)의 서로 인접하는 프로브(16) 및 프로브(18)이며 침선부의 구부러진 방향이 교차하는 프로브(16) 및 프로브(18)의 사이에 위치된다. 또한, 제4 프로브 그룹(46d)의 프로브(26)는, 제2 프로브 그룹(46b)의 서로 인접하는 프로브(22) 및 프로브(20)이며 침선부의 구부러진 방향이 교차하는 프로브(22) 및 프로브(20)의 사이에 위치된다.

도3의 예에서, 제3 프로브 그룹(46c)의 각 프로브의 침선은 단부(端部)(44)와 반대인 방향(전후 방향 중 뒤쪽 방향)으로 구부러져 있고, 또한 제4 프로브 그룹(46d)의 각 프로브의 침선은 단부(44)쪽 방향(전후 방향 중 앞쪽 방향)으로 구부러져 있다.

도4(A)~도4(C)에는, 제2 타입의 프로브(B)의 형상이 나타나 있다. 제1 타입의 프로브(A)와 제2 타입의 프로브(B)의 침선부의 구부러진 방향은(도4(C)에 나타나 있듯이, 본체부(34a)의 길이 방향에 관하여 대칭의 형상을 갖는, 즉) 서로 반대이다.

프로브(B)는, 프로브 카드(10)의 접속부(38a)들로부터 수직 방향으로 소정의 길이만큼 연장하고 아래쪽 끝부분에서 90도에 가까운 둔각(純角)으로 굴곡되어 있는 베이스부(34c)와, 그 베이스부의 앞쪽 끝부분에서 직선으로 연장하는 상기 본체 부(34a)와, 본체부(34a)에서 90도에 가까운 둔각으로 아래쪽으로 굴곡되어 있음과 동시에 좌우 방향의 어느 한 방향으로 굴곡되어 있는 상기 침선부(34b)를 포함한다. 프로브(B)는 전체적으로, 베이스부(34c)의 단부(端部)로부터 침선부(34b)의 침선(34d)에 이르기까지 일체적으로 만들어진, 연속하여 점차 직경이 줄어드는 형태의 침이다. 침선부(34b)는 본체부(34a)의 길이 방향 축선(48)에 대하여 △x만큼 벗어난 침선(34d)을 갖는다. 또한, 각 프로브의 침선부는, 침선이 본체부와 침선부의 경계부보다도 상대쪽 프로브 그룹에 속하는 프로브 쪽에 위치하도록 본체부에 대하여 굴곡되어 있다.

도4(C)의 예에서, △x만큼 벗어난 침선(34d)의 구부러진 방향은, 도면의 프로브(B)를 마주볼 때, 즉 본체부(34a)의 길이 축선에 관하여, 왼쪽이다.

도3의 예에서, 프로브(16, 22, 26)의 침선부(34b)는 본체부(34a)로부터 단부(44)의 방향으로 비스듬히 연장해 있고, 또한 프로브(18, 20, 24)의 침선부(34b)는 본체부(34a)로부터 단부(44)와는 반대인 방향으로 연장해 있다. 각 프로브의 침선(34d)은, 대응하는 전극(12)에 대하여 미끄러져 이동하며, 그 전극(12)에 마찰 작용을 가한다. 이에 따라, 각 전극(12)의 표면에 존재하는 산화막과 같은 전기 절연막이 닳아 없어지므로, 프로브와 전극이 전기적으로 확실히 접속된다.

[제1 실시예의 변형예]

도5 및 도6을 참조하여 본 발명에 따른 프로브 카드의 제1 실시예의 변형예에 관하여 설명한다.

도5 및 도6은, 도1~도3에 나타나 있는 프로브의 배치와 유사한 프로브의 배 치를 나타낸다. 도1~3에 나타나 있는 프로브 카드 및 전자 디바이스에 사용되는 구성요소와 동일한 구성요소에는 동일한 참조 번호를 달아, 그 설명을 생략한다.

도6에 나타나 있듯이, 제3 프로브 그룹(46c)은 복수의 프로브(24a)를 포함하고, 제4 프로브 그룹(46d)은 복수의 프로브(26a)를 포함한다. 도6에 나타나 있는 프로브(24a)와 도3에 나타나 있는 프로브(24)는 기판(28)(도5)에 배치된 프로브의 접속부의 위치에 관해서만 다르며, 그 이외는 동일하다. 마찬가지로, 도6에 나타나 있는 프로브(26a)와 도3에 나타나 있는 프로브(26)는 기판(28)에 배치된 프로브의 접속부의 위치에 관해서만 다르며, 그 이외는 동일하다. 이하, 다른 점에 관해서만 설명한다.

도5에 나타나 있듯이, 프로브(24a)의 접속부(38c)는, 프로브(16, 18)의 접속부(38a)의 위치보다 오른쪽 방향으로 변위된, 기판(28)의 밑면(28a) 부분에 배치되어 있다. 또한, 프로브(26a)의 접속부(38d)는, 프로브(20, 22)의 접속부(38b)의 위치보다 왼쪽 방향으로 변위된, 기판(28)의 밑면(28a) 부분에 배치되어 있다.

[제2 실시예]

도7 및 도8을 참조하여 본 발명에 따른 프로브 카드의 제2 실시예에 관하여 설명한다.

도7 및 도8은, 도1~도3에 나타나 있는 프로브의 배치와는 다른 프로브의 배치를 나타낸다. 또한, 도1~도4에 나타나 있는 프로브 카드, 전자 디바이스 및 프로브에 사용되는 구성요소와 동일한 구성요소에는 동일한 참조 번호를 달아, 그 설명을 생략한다.

도8에 나타나 있는 프로브의 배치와, 도3에 나타나 있는 프로브의 배치는, 제1 프로브 그룹(46a)의 프로브(16, 18) 및 제2 프로브 그룹(46b)의 프로브(20, 22)가 전극(12)에 접촉하는 침선의 위치에 관한 점에서 다르다. 이하 다른 점에 관해서만 설명한다.

도7에 나타나 있듯이, 제1 프로브 그룹(46a)의 프로브(18)의 침선 위치는 전극열(42a)의 전극(12)의 왼쪽 반 부분의 범위에 있고, 제2 프로브 그룹(46b)의 프로브(22)의 침선 위치는 전극열(42b)의 전극(12)의 오른쪽 반 부분의 범위에 있다.

프로브(16a)와 프로브(16)는 동일한 제1 타입의 프로브(A)로 이루어져 있으나, 프로브(16a)의 본체부(34a)가 프로브(16)의 본체부(34a)보다 길다는 점에서 다르다. 마찬가지로, 프로브(20a)와 프로브(20)는, 동일한 제2 타입의 프로브(B)로 이루어져 있으나, 프로브(20a)의 본체부(34a)가 프로브(20)의 본체부(34a)보다 길다는 점에서 다르다.

[제2 실시예의 변형예]

도9 및 도10을 참조하여 본 발명에 따른 프로브 카드의 제2 실시예의 변형예에 관하여 설명한다.

도9 및 도10은, 도7 및 도8에 나타나 있는 프로브의 배치와 유사한 프로브의 배치를 나타낸다. 도7 및 도8에 나타나 있는 프로브 카드 및 전자 디바이스에 사용되는 구성요소와 동일한 구성요소에는 동일한 참조 번호를 달아, 그 설명을 생략한다.

도10에 나타나 있듯이, 제1 프로브 그룹(46a)은 복수의 프로브(16b) 및 복수 의 프로브(18)를 포함하고, 제2 프로브 그룹(46b)은 복수의 프로브(20b) 및 복수의 프로브(22)를 포함한다. 제3 프로브 그룹(46c)은 복수의 프로브(24b)를 포함하고, 제4 프로브 그룹(46d)은 복수의 프로브(26b)를 포함한다.

도10에 나타나 있는 프로브(24b)와 도8에 나타나 있는 프로브(24a)는 기판(28)(도9)에 배치된 프로브의 접속부의 위치에 관해서만 다르며, 그 이외는 동일하다. 마찬가지로, 프로브(26b)와 도8에 나타나 있는 프로브(26a)는 기판(28)에 배치된 프로브의 접속부의 위치에 관해서만 다르며, 그 이외는 동일하다. 이하, 다른 점에 관해서만 설명한다.

도9에 나타나 있듯이, 프로브(16b)의 접속부(38a')는, 프로브(18)의 접속부(38a)의 위치보다 오른쪽 방향으로 변위된, 기판(28)의 밑면(28a) 부분에 배치되어 있다. 프로브(20b)의 접속부(38b')는, 프로브(20)의 접속부(38b)의 위치보다 왼쪽 방향으로 변위된, 기판(28)의 밑면(28a) 부분에 배치되어 있다.

또한, 프로브(24b)의 접속부(38c)는 프로브(16b)의 접속부(38a')의 위치보다 오른쪽 방향으로 변위된, 기판(28)의 밑면(28a) 부분에 배치되어 있다. 프로브(26b)의 접속부(38d)는 프로브(20b)의 접속부(38b')의 위치보다 왼쪽 방향으로 변위된, 기판(28)의 밑면(28a) 부분에 배치되어 있다.

이 변형예에 나타나 있는 프로브(16b)의 접속부(38a')의 위치에 따라, 프로브(18)와 동일한 길이의 프로브를 프로브(16b)로서 사용할 수 있다. 마찬가지로, 프로브(20b)의 접속부(38b')의 위치에 따라, 프로브(22)와 동일한 길이의 프로브를 프로브(20b)로서 사용할 수 있다.

[제3 실시예]

도11 및 도12를 참조하여 본 발명에 따른 프로브 카드의 제3 실시예에 관하여 설명한다.

도11 및 도12는, 도1~도3에 나타나 있는 프로브의 배치와는 다른 프로브의 배치를 나타낸다. 또한, 도1~도4에 나타나 있는 프로브 카드, 전자 디바이스 및 프로브에 사용되는 구성요소와 동일한 구성요소에는 동일한 참조 번호를 달아, 그 설명을 생략한다.

본 실시예에서, 전자 디바이스(14)는, 제1~4 전극열(50a, 50b, 50c, 50d)로 구성되는 복수의 전극(12)을 갖는다. 제1 전극열(50a) 및 제2 전극열(50b)의 전극(12)은 전후 방향으로 서로 동일한 간격(等間隔)을 두고 배치되어 있으나, 제3 전극열(50c)의 각 전극(12) 및 제4 전극열(50d)의 각 전극(12)은 전후 방향으로 서로 다른 간격(不等間隔)을 두고 배치되어 있다. 또한, 각 전극열의 전극은, 그 열(列)방향으로 다른 전극열의 전극에 대하여 약간 어긋나게 배치되어 있어, 각 전극열은 좌우 방향으로 정렬되어 있지 않다.

제1 전극열(50a) 및 제2 전극열(50b)은 제1열 및 최종열이며, 또한 제3 전극열(50c) 및 제4 전극열(50d)은 중간열이다. 제1 전극열(50a)에는 7개의 전극(12)이 나타나 있고, 제2 전극열(50b)에는 8개의 전극(12)이 나타나 있고, 제3 전극열(50c)에는 4개의 전극(12)이 나타나 있고, 제4 전극열(50d)에는 3개의 전극(12)이 나타나 있다.

복수의 프로브(56, 58)는 가장 왼쪽에 위치하는 제1 프로브 그룹(54a)을 형 성하고 있고, 복수의 프로브(60, 62)는 가장 오른쪽에 위치하는 제2 프로브 그룹(54b)을 형성하고 있다. 또한, 복수의 프로브(64, 66)는 제1 프로브 그룹(54a)의 오른쪽에 위치하는 제3 프로브 그룹(54c)을 형성하고 있고, 복수의 프로브(68, 70)는 제2 프로브 그룹(54b)의 왼쪽에 위치하는 제4 프로브 그룹(54d)을 형성하고 있다.

제3 프로브 그룹(54c)은, 프로브(64)를 포함하는 제1 프로브 서브 그룹(54c1)과, 제1 프로브 서브 그룹(54c1)에 속하는 프로브의 침선의 오른쪽에 위치하는 침선을 갖는 프로브(66)를 포함하는 제2 프로브 서브 그룹(54c1)을 포함한다. 제4 프로브 그룹(54d)은, 프로브(68)를 포함하는 제1 프로브 서브 그룹(54d1)과, 제1 프로브 서브 그룹(54d1)에 속하는 프로브의 침선의 오른쪽에 위치하는 침선을 갖는 프로브(70)를 포함하는 제2 프로브 서브 그룹(54d2)을 포함한다.

전자 디바이스(14)의 시험시, 제1 전극열(50a)의 각 전극(12)에 대해서는, 제1 프로브 그룹(54a)의 각 프로브(56, 58)의 침선이 일대일의 형태로 접촉된다. 제2 전극열(50b)의 각 전극(12)에 대해서는, 제2 프로브 그룹(54b)의 각 프로브(60, 62)의 침선이 일대일의 형태로 접촉된다.

제3 전극열(50c)의 각 전극(12)에 대해서는, 전자 디바이스(14)의 단부(端部)(44)에서 가까운 전극의 순서대로, 제3 프로브 그룹(54c)의 프로브(64), 제4 프로브 그룹(54d)의 프로브(70), 제3 프로브 그룹(54c)의 프로브(64), 제3 프로브 그룹(54c)의 프로브(64)의 각 침선이 일대일의 형태로 접촉된다.

제4 전극열(50d)의 각 전극(12)에 대해서는, 전자 디바이스(14)의 단부(端部)(44)에서 가까운 전극의 순서대로, 제4 프로브 그룹(54d)의 프로브(68), 제3 프로브 그룹(54c)의 프로브(66), 제4 프로브 그룹(54d)의 프로브(68)의 각 침선이 일대일의 형태로 접촉된다.

제1 프로브 그룹(54a) 및 제2 프로브 그룹(54b)은, 각각, 복수의 제1 타입의 프로브(A) 및 복수의 제2 타입의 프로브(B)를 포함한다. 도시된 예의 제1 프로브 그룹(54a)에서, 전자 디바이스(14)의 단부(端部)(44)에서 가까운 순서대로, 프로브(56)(제1 타입의 프로브(A)) 및 프로브(58)(제2 타입의 프로브(B))가 배치되고, 이후, 이 순서대로 프로브가 배치된다. 또한, 제2 프로브 그룹(54b)에서, 전자 디바이스(14)의 단부(44)에서 가까운 순서대로, 프로브(60)(제2 타입의 프로브(B)) 및 프로브(62)(제1 타입의 프로브(A))가 배치되고, 이후, 이 순서대로 프로브가 배치된다.

제3 프로브 그룹(54c) 및 제4 프로브 그룹(54d)은, 각각, 복수의 제2 타입의 프로브(B)를 포함한다. 도시된 예에서는, 제3 전극열(50c) 및 제4 전극열(50d)의 각 전극(12)에 대하여, 전자 디바이스(14)의 단부(44)에서 가까운 순서대로, 제3 프로브 그룹(54c)의 프로브(64), 제4 프로브 그룹(54d)의 프로브(68), 제3 프로브 그룹(54c)의 프로브(66), 제4 프로브 그룹(54d)의 프로브(70), 제3 프로브 그룹(54c)의 프로브(64), 제4 프로브 그룹(54d)의 프로브(68), 제3 프로브 그룹(54c)의 프로브(64)의 순서대로 배치되어 있다.

제3 프로브 그룹(54c)의 프로브(64, 66)는, 각각, 제1 프로브 그룹(54a)의 서로 인접하는 한 쌍의 프로브(56) 및 (58)이며 침선부의 구부러진 방향이 교차하 는 프로브(56) 및 (58)의 사이에 위치한다. 또한, 제4 프로브 그룹(54d)의 프로브(68, 70)는, 각각, 제2 프로브 그룹(54b)의 서로 인접하는 프로브(60) 및 (62)로서, 침선부의 구부러진 방향이 교차하는 프로브(60) 및 (62)의 사이에 위치한다.

본 실시예에서, 제3 프로브 그룹(54c)의 각 프로브의 침선은 전자 디바이스(14)의 단부(44)쪽 방향과는 반대인 방향(전후 방향 중 뒤쪽 방향)으로 구부러져 있고, 또한 제4 프로브 그룹(54d)의 각 프로브의 침선은 전자 디바이스(14)의 단부(44)쪽 방향(전후 방향 중 앞쪽 방향)으로 구부러져 있다.

[제3 실시예의 변형예]

도13 및 도14를 참조하여 본 발명에 따른 프로브 카드의 제3 실시예의 변형예에 관하여 설명한다.

도13 및 도14는, 도11 및 도12에 나타나 있는 프로브의 배치와 유사한 프로브의 배치를 나타낸다. 도11 및 도12에 나타나 있는 프로브의 배치에 사용되는 구성요소와 동일한 구성요소에는 동일한 참조 번호를 달아, 그 설명을 생략한다.

도14에 나타나 있듯이, 제3 프로브 그룹(54c)은, 제1 프로브 서브 그룹(54c1)과, 제2 프로브 서브 그룹(54c2)을 포함한다. 제1 프로브 서브 그룹(54c1)은 프로브(64a)를 포함하고, 제2 프로브 서브 그룹(54c2)은 프로브(66a)(도면에서는 1개만을 나타냄)를 포함한다.

도14에 나타나 있는 프로브(64a)와 도12에 나타나 있는 프로브(64)는 기판(28)에 배치된 프로브의 접속부의 위치에 관해서만 다르고, 그 이외는 동일하다. 마찬가지로, 도14에 나타나 있는 프로브(66a)와 도5에 나타나 있는 프로브(66)는 기판(28)에 배치된 프로브의 접속부의 위치에 관해서만 다르고, 그 이외는 동일하다.

도14에 나타나 있는 프로브(68a)와 도8에 나타나 있는 프로브(68)는 기판(28)에 배치된 프로브의 접속부의 위치에 관해서만 다르고, 그 이외는 동일하다. 마찬가지로, 도14에 나타나 있는 프로브(70a)와 도5에 나타나 있는 프로브(70)는 기판(28)에 배치된 프로브의 접속부의 위치에 관해서만 다르고, 그 이외는 동일하다. 이하, 다른 점에 관해서만 설명한다.

도13에 나타나 있듯이, 프로브(64a)의 접속부(38c1)는 프로브(56, 58)의 접속부(38a)의 위치보다 오른쪽 방향으로 프로브 기판(28)의 밑면(28a)에 배치되어 있다. 또한, 프로브(66a)의 접속부(38c2)는 프로브(64a)의 접속부(38c1)의 위치보다 오른쪽 방향으로 기판(28)의 밑면(28a)에 배치되어 있다.

마찬가지로, 프로브(68a)의 접속부(38d1)는 프로브(60, 62)의 접속부(38b)의 위치보다 왼쪽 방향으로 프로브 기판(28)의 밑면(28a)에 배치되어 있다. 또한, 프로브(70a)의 접속부(38d2)는 프로브(68a)의 접속부(38d1)의 위치보다 왼쪽 방향으로 기판(28)의 밑면(28a)에 배치되어 있다.

이 실시예에 나타나 있는 프로브(64a)의 접속부(38c1) 및 프로브(66a)의 접속부(38c2)의 위치에 따라, 프로브(58)와 동일한 형상 및 동일한 길이의 프로브를 프로브(64a, 66a)로서 사용할 수 있다. 마찬가지로, 프로브(68a)의 접속부(38d1) 및 프로브(70a)의 접속부(38d2)의 위치에 따라, 프로브(60)와 동일한 형상 및 동일한 길이의 프로브를 프로브(68a, 70a)로서 사용할 수 있다.

상기 실시예 및 그 변형예에서는, 바늘 타입의 프로브를 사용했으나, 본 발명은, 국제 공개 공보 WO2004/102207호에 기재되어 있는 것과 같은 형태의 판상(板狀)인, 이른바 「블레이드 타입」(Blade Type)의 프로브에도 적용할 수 있다.

본 발명은, 상기 실시예에 한정되지 않고, 특허 청구 범위의 취지를 벗어나지 않는 한, 각종 변경이 가능하다.

도1은 본 발명에 따른 프로브 카드의 제1 실시예를 전자 디바이스와 함께 나타낸 개략 단면도이다.

도2는 도1의 평면도이다.

도3은 도1의 3-3선을 따라 얻은, 니들 홀더 부재의 도면 표시를 생략하고 프로브 배치를 개략적으로 확대하여 나타낸 평면도이다.

도4는 도4(A)가 본 발명에 따른 프로브 카드에 사용하는 프로브의 평면도를 나타내고, 도4(B)가 도4(A)의 프로브의 측면도를 나타내고, 도4(C)가 도4(A)의 프로브의 정면도를 나타낸다.

도5는 도1에 나타나 있는 프로브 카드의 변형예를 전자 디바이스와 함께 나타낸 개략 단면도이다.

도6은 도5의 6-6선을 따라 얻은, 니들 홀더 부재의 도면 표시를 생략하고 프로브 배치를 개략적으로 확대하여 나타낸 평면도이다.

도7은 본 발명에 따른 프로브 카드의 제2 실시예를 전자 디바이스와 함께 나타낸 개략 단면도이다.

도8은 도7의 8-8선을 따라 얻은, 니들 홀더 부재의 도면 표시를 생략하고 프로브 배치를 개략적으로 확대하여 나타낸 평면도이다.

도9는 도7에 나타나 있는 프로브 카드의 변형예를 전자 디바이스와 함께 나타낸 개략 단면도이다.

도10은 도9의 10-10선을 따라 얻은, 니들 홀더 부재의 도면 표시를 생략하고 프로브 배치를 개략적으로 확대하여 나타낸 평면도이다.

도11은 본 발병에 따른 프로브 카드의 제3 실시예를 전자 디바이스와 함께 나타낸 개략 단면도이다.

도12는 도11의 12-12선을 따라 얻은, 니들 홀더 부재의 도면 표시를 생략하고 프로브 배치를 개략적으로 확대하여 나타낸 평면도이다.

도13은 도11에 나타나 있는 프로브 카드의 변형예를 전자 디바이스와 함께 나타낸 개략 단면도이다.

도14는 도13의 14-14선을 따라 얻은, 니들 홀더 부재의 도면 표시를 생략하고 프로브 배치를 개략적으로 확대하여 나타낸 평면도이다.

*도면의 주요 부호에 대한 설명*

10: 프로브 카드 16, 16a, 16b, 18: 프로브

20, 20a, 20b, 22, 60, 62: 프로브 24, 24a, 24b, 64, 64a, 66: 프로브

26, 26a, 26b, 68, 68a, 70, 70a: 프로브

46a, 54a: 제1 프로브 그룹 46b, 54b: 제2 프로브 그룹

46c, 54c: 제3 프로브 그룹 46d, 54d: 제4 프로브 그룹

28: 기판 28a: 밑면

34a: 본체부 34b: 침선부

34c: 베이스부 34d: 침선

38a, 38a', 38b, 38b': 접속부(랜드) 38c, 38c1, 38c2: 접속부(랜드)

38d, 38d1, 38d2: 접속부(랜드)

Claims

복수의 접속부가 배치된 밑면을 갖는 기판과,

각각이 상기 접속부에 위쪽 끝이 접속된 베이스부와, 그 베이스부의 아래쪽 끝으로부터 좌우 방향으로 연장하는 본체부와, 그 본체부의 앞쪽 끝으로부터 아래쪽으로 연장하며 아래쪽 끝에 침선을 갖는 침선부를 구비한 복수의 프로브를 각각 포함하는 제1, 제2, 제3 및 제4 프로브 그룹을 포함하며,

상기 제1 및 제3 프로브 그룹의 프로브의 본체부는 대응하는 상기 베이스부의 아래쪽 끝으로부터 상기 제2 및 제4 프로브 그룹의 프로브 쪽으로 연장되어 있고,

상기 제2 및 제4 프로브 그룹의 프로브의 본체부는 대응하는 상기 베이스부의 아래쪽 끝으로부터 상기 제1 및 제3 프로브 그룹의 프로브 쪽으로 연장되어 있고,

상기 제3 프로브 그룹의 프로브의 본체부는 상기 제1 프로브 그룹의 프로브의 본체부에서 상기 제2 및 제4 프로브 그룹의 프로브의 본체부 쪽까지 연장되어 있고,

상기 제4 프로브 그룹의 프로브의 본체부는 상기 제2 프로브 그룹의 프로브의 본체부에서 상기 제1 및 제3 프로브 그룹의 프로브의 본체부 쪽까지 연장되어 있고,

상기 제3 및 제4 프로브 그룹의 프로브의 침선은 전후 방향으로 번갈아 위치해 있는 것을 특징으로 하는 프로브 카드.
제1항에 있어서, 상기 복수의 접속부는 제1 및 제2 접속부 그룹 중 어느 한 그룹 또는 다른 그룹에 속하며, 상기 제1 접속부 그룹에 속하는 접속부와 상기 제2 접속부 그룹에 속하는 접속부는 상기 좌우 방향으로 간격을 두고 상기 기판의 밑면 에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 프로브 카드.
제1항에 있어서, 각 프로브 그룹에 속하는 상기 복수의 프로브의 상기 침선부는 상기 침선이 상기 본체부의 길이 방향 축선(longitudinal axis)을 포함하는 연직면(鉛直面)에 대하여 상기 전후방향의 한쪽 또는 다른쪽으로 어긋나도록, 상기 본체부에 대하여 구부러져 있는 것을 특징으로 하는 프로브 카드.
제3항에 있어서, 상기 제3 프로브 그룹의 프로브의 침선부의 구부러진 방향과 상기 제4 프로브 그룹의 프로브의 침선부의 구부러진 방향이 서로 다른 것을 특징으로 하는 프로브 카드.
제4항에 있어서, 상기 제3 프로브 그룹의 프로브에 가장 인접하는, 상기 제1 프로브 그룹의 프로브 중 2개의 프로브의 침선부의 구부러진 방향이 서로 다르고, 또한, 상기 제4 프로브 그룹의 프로브에 가장 인접하는, 상기 제2 프로브 그룹의 프로브 중 2개의 프로브의 침선부의 구부러진 방향이 서로 다른 것을 특징으로 하는 프로브 카드.
제5항에 있어서, 상기 제1 프로브 그룹의 프로브 중 상기 가장 인접하는 2개의 프로브의 침선부의 침선은 서로 상기 연직면에 대하여 상기 좌우 방향으로 어긋나 있고, 또한 상기 제2 프로브 그룹의 프로브 중 상기 가장 인접하는 2개의 프로브의 침선부의 침선은 서로 상기 연직면에 대하여 상기 전후 방향으로 어긋나 있는 것을 특징으로 하는 프로브 카드.
제1항에 있어서, 상기 침선은 상기 전후 방향으로 연장하는 가상의 직선상에 위치해 있는 것을 특징으로 하는 프로브 카드.
제1항에 있어서, 상기 제3 및 제4 프로브 그룹의 각각은 적어도 2개의 프로브 서브 그룹을 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 카드.
제8항에 있어서, 상기 2개의 프로브 서브 그룹의 프로브의 침선은 상기 전후 방향으로 2열 구성으로 위치해 있고, 각 열의 침선은 상기 전후 방향으로 연장하는 가상의 직선상에 위치해 있는 것을 특징으로 하는 프로브 카드.