JP4087378B2 - プローブカード - Google Patents
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Description
11 電極
110 一の基板
120 他の基板
210 第1のプローブ
211a 傾斜面
213 接触部
220 第2のプローブ
221a 傾斜面
223 接触部
310 第1のプローブ
311a 傾斜面
313 接触部
314 係合手段
314a 切欠き部
314b 他端部
314c 凹部
320 第2のプローブ
321a 傾斜面
323 接触部
324 係合手段
324a 切欠き部
324b 他端部
324d 凸部
Claims (4)
- 基板の面上に設けられた片持ち状の第1のプローブと、この第1のプローブと対向するように前記基板の面上に設けられた片持ち状の第2のプローブとを備えており、前記第1、第2のプローブは、弾性変形に応じて一部が当接するようになっており、この当接面に絶縁処理が施されていることを特徴とするプローブカード。
- 請求項1記載のプローブカードにおいて、前記第1、第2のプローブは、基端部から先端部にかけて幅狭となるよう幅方向の一端面が傾斜面となっており、この一端面同士が弾性変形に応じて摺接するようになっていることを特徴とするプローブカード。
- 請求項1記載のプローブカードにおいて、前記第1、第2のプローブは先端面の少なくとも一部同士が対向するように配置されており、この先端面同士が弾性変形に応じて当接するようになっていることを特徴とするプローブカード。
- 請求項1、2又は3記載のプローブカードにおいて、前記第1、第2のプローブの先端部には、当接時に互いに係合する係合手段が設けられていることを特徴とするプローブカード。
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Family
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Family Applications (1)
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- 2004-12-24 JP JP2004372614A patent/JP4087378B2/ja not_active Expired - Fee Related
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