JP4220923B2 - プローブカード - Google Patents
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Description
100 基板
200 プローブ
210 第1の湾曲部
220 第2の湾曲部
300 当接部材
B 測定対象
10 電極
Claims (3)
- 支持基板と、
この支持基板に設けられており且つ当該支持基板の面方向に向けて湾曲した片持ち状のプローブと、
前記支持基板のプローブ配設面に設けられ、当該支持基板のプローブ配設面と前記プローブの支持基板対向面との間に位置する当接部材とを具備しており、
前記当接部材と前記プローブの支持基板対向面との間には所定の空隙を有しており、
前記プローブは、半円弧状のプローブであって、一端が支持基板に支持された略1/4円弧状の第1の湾曲部と、この第1の湾曲部の他端と連設されており且つ当該第1の湾曲部より若干短くされた略1/4円弧状の第2の湾曲部とを有しており、
前記プローブの頂部に作用する力に応じて、当該頂部が前記支持基板に近づく方向に弾性変形して前記当接部材に当接し、前記第2の湾曲部の先端部が支持基板のプローブ配設面に当接するようになっていることを特徴とするプローブカード。 - 請求項1記載のプローブカードにおいて、
前記当接部材は弾性体で構成されていることを特徴とするプローブカード。 - 請求項1又は2記載のプローブカードにおいて、前記当接部材の外周面はプローブの湾曲部の曲がりに沿った形状となっていることを特徴とするプローブカード。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004071505A JP4220923B6 (ja) | 2004-03-12 | プローブカード |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004071505A JP4220923B6 (ja) | 2004-03-12 | プローブカード |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005257558A JP2005257558A (ja) | 2005-09-22 |
JP4220923B2 true JP4220923B2 (ja) | 2009-02-04 |
JP4220923B6 JP4220923B6 (ja) | 2009-10-21 |
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Publication number | Publication date |
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JP2005257558A (ja) | 2005-09-22 |
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