JP4220923B6 - プローブカード - Google Patents
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Description
本発明は測定対象の電気的諸特性を測定するのに使用するプローブカードに関する。
この種のプローブカードとしては、支持基板と、この支持基板に設けられたプローブとを有する基本構成となっており、前記プローブを電極に接触させた後、押圧( オーバードライブ) させ、これによりプローブの所定の接触圧を確保する一方、プローブを電極の面上で横方向に滑らせ( スクラブを発生させる) 、これによりプローブと電極との電気的導通を図っているものがある( 特許文献1参照) 。
ところが、プローブカードにおいては、近年の測定対象の高集積化に伴ってプローブが微細化されている。このようにプローブを微細化すると、プローブ自体の剛性が弱くなる。よって、当該プローブに従来例の如くオーバードライブを行うと、その負荷に耐えられず、プローブが破損して場合がある。このため、測定対象の高集積化に対応することが困難になっている。
本発明は、上記事情に鑑みて創案されたものであって、その目的とするところは、プローブを微細化してもオーバードライブによる負荷に耐え得るようにし、これにより高集積化された測定対象に対応することができるプローブカードを提供することにある。
上記課題を解決するために、本発明のプローブカードは、支持基板と、この支持基板に設けられており且つ当該支持基板の面方向に向けて湾曲した片持ち状のプローブと、前記支持基板のプローブ配設面に設けられ、当該支持基板のプローブ配設面と前記プローブの支持基板対向面との間に位置する当接部材とを具備しており、前記当接部材と前記プローブの支持基板対向面との間には所定の空隙を有しており、前記プローブは、半円弧状のプローブであって、一端が支持基板に支持された略1/4円弧状の第1の湾曲部と、この第1の湾曲部の他端と連設されており且つ当該第1の湾曲部より若干短くされた略1/4円弧状の第2の湾曲部とを有しており、前記プローブの頂部に作用する力に応じて、当該頂部が前記支持基板に近づく方向に弾性変形して前記当接部材に当接し、前記第2の湾曲部の先端部が支持基板のプローブ配設面に当接するようになっていることを特徴としている。
また、前記当接部材は弾性体で構成され、且つ当接部材の外周面はプローブの湾曲部の曲がりに沿った形状となっていることが好ましい。
本発明の請求項1に係るプローブカードによる場合、プローブの頂部を電極に接触させ、その後、オーバードライブを行うと、当該プローブが弾性変形して当接部材に当接する。これにより、オーバードライブによる負荷を吸収することができると共に、プローブが所定以上弾性変形することがなくなるので、微細化したプローブであっても、従来例の如く破損することがない。この結果、高集積化された測定対象に対応することが可能になる。
しかも、前記プローブが半円弧状であるので、プローブの頂部が電極に接触し、その後、オーバードライブが行われると、当該プローブが当接部材に当接する他、当該プローブの第2の湾曲部の先端部が基板に当接する。これによっても、オーバードライブによる負荷を吸収することができるので、プローブの破損を防ぐ上でメリットがある。
本発明の請求項2に係るプローブカードによる場合、当接部材にプローブが当接することにより当該プローブが欠けたりすることを防止することができる。
本発明の請求項3に係るプローブカードによる場合、当接部材の外周面がプローブの湾曲部の曲がりに沿った形状になっているので、弾性変形したプローブが当接部材に当接する面積が広くなる。このため、オーバードライブによる負荷を吸収し易くなり、請求項1の効果を得る上でメリットがある。
以下、本発明の実施の形態に係るプローブカードについて説明する。図1は本発明の実施の形態に係るプローブカードの模式的断面図、図2は同プローブカードの使用状態を示す模式的断面図、図3は同プローブカードの設計変更例を示す模式的断面図である。
図1に示すプローブカードAは、測定対象Bの図外の測定装置のセンシング部分であって、測定装置のプローバに保持され、これにより測定対象Bと対向配置される支持基板100と、この支持基板100の表面上に形成される複数のプローブ200と、支持基板100に設けられる当接部材300とを具備した構成となっている。以下、各部を詳しく説明する。
支持基板100については、例えば測定対象と線膨張係数が近いシリコン基板等を用いる。この支持基板100の面上には、図示しない配線パターンが形成されている。また、支持基板100の縁部には図示しない外部電極が設けられている。この外部電極は前記配線パターンを介してプローブ200と電気的に接続されている。
プローブ200は、支持基板100の面上にレジストを塗布し、このレジストにパターンを形成し、このパターンにメッキを形成し、これを繰り返すことによって当該支持基板100の面上に一体的に形成される。
このプローブ200は、半円弧状のプローブであって、一端が支持基板100に支持されており且つ当該支持基板100の面方向に向けて湾曲した1/4円弧状の第1の湾曲部210と、この第1の湾曲部210の他端と連設されており且つ支持基板100に向かって湾曲した1/4円弧状の第2の湾曲部220とを有する形状となっている。第2の湾曲部220は第1の湾曲部210より若干短く設定されており、その先端部221が支持基板100に対向している。このプローブ200のほぼ中心位置の頂部には、測定対象Bの電極10に接触する突起状の接触端子230が設けられている。
当接部材300は、プローブ200を形成する前に、支持基板100上にレジスト等により形成される側面視半円形の部材であって、プローブ200よりも高弾性であり且つ当接するプローブ200を破壊しない程度の弾性を有する素材、例えばポリミイド又はシリコーン等で構成されている。この当接部材300は支持基板100のプローブ配設面とプローブ200の頂部の反対面との間に位置し、その外周面がプローブ200の第1の湾曲部210、第2の湾曲部220の曲がりに沿った形状になっている。当接部材300の高さ寸法はプローブ200に接触しない程度の高さである。即ち、当接部材300はプローブ200との間に空隙を有し、弾性変形するプローブ200に当接可能になっている。前記空隙は一定の間隔である。
この当接部材300の高さ寸法についてはプローブ200の剛性( 即ち、許容可能な弾性変形量) を考慮して設定する。即ち、当接部材300の高さ寸法を高く設定し、当該当接部材300の頂部とプローブ200の頂部の反対面との空隙を小さくすると、当該プローブ200の弾性変形量が少なくなる。一方、当接部材300の高さ寸法を低く設定し、当該当接部材300の頂部とプローブ200の頂部の反対面との空隙を大きくすると、当該プローブ200の弾性変形量が多くなる。
このように構成されたプローブカードAは上述したように測定装置のプローバに装着され、測定対象Bの電気的諸特性を測定するのに使用される。以下、その使用方法について詳しく説明する。なお、測定装置のテスターとプローブカードAとは前記外部電極を介して電気的に接続される。
まず、プローバの駆動装置を動作させ、支持基板100と測定対象Bとを相対的に近接させる。これによりプローブ200の接触端子230と測定対象Bの電極10が接触する。その後、さらに支持基板100と測定対象Bとを相対的に近接させ、接触端子230を測定対象Bの電極10に押圧させる( 即ち、オーバードライブを行う) 。
このとき、プローブ200は、弾性変形しつつ、第2の湾曲部220の先端部221が図2に示すように支持基板100の面上に当接する一方、プローブ200の頂部の反対面が当接部材300に当接する。これによりオーバードライブによる負荷が吸収されると共に、プローブ200の所定量以上弾性変形が防止される。なお、このとき、当接部材300は弾性変形してプローブ200を受け止め、当該プローブ200が破損しないようになっている。
このようなプローブカードAによる場合、弾性変形したプローブ100を当接部材に当接させることにより、オーバードライブによる負荷を吸収することができると共に、プローブ100が所定以上弾性変形することを防止することができる。よって、プローブ100を微細化したとしても、従来例の如く破損することがない。この結果、高集積化された測定対象Bに十分対応することが可能になる。
プローブ200については、支持基板100に設けられた上下方向に弾性変形可能な部材であり且つ当該支持基板100の面方向に向けて湾曲した第1の湾曲部を有する片持ち状のものである限り、どのような設計変形を行ってもかまわない。例えば、図3に示すように、プローブ200を1/4円弧状とすることができる。この場合、第1の湾曲部210の頂部に接触端子230が設けられた構成となっている。
支持基板100については、上述したようなプローブ200を形成可能な板状体であればどのようなものでも用いることが可能であり、且つ設計変形することも任意である。また、ここでは、支持基板100がプローバに保持されるとしたが、この支持基板100の上方に他の基板を設け、この基板をプローバに取り付けるようにしてもかまわない。この基板と支持基板100とについては、ネジ止めにより接続するようにしても良いし、スプリングや弾性樹脂を介して接続するようにしても良い。スプリング等を介して接続した場合、当該スプリング等によってもオーバードライブによる負荷を吸収することができる。
当接部材300については上述した機能を実現できる限り、素材及び/又は形状を設計変更することは任意である。但し、当接部材300の外周面はプローブの湾曲部の曲がりに沿った形状となっており、当接部材とプローブとの間の空隙は一定の間隔であることが望ましい。
A プローブカード
100 基板
200 プローブ
210 第1の湾曲部
220 第2の湾曲部
300 当接部材
B 測定対象
10 電極
100 基板
200 プローブ
210 第1の湾曲部
220 第2の湾曲部
300 当接部材
B 測定対象
10 電極
Claims (3)
- 支持基板と、
この支持基板に設けられており且つ当該支持基板の面方向に向けて湾曲した片持ち状のプローブと、
前記支持基板のプローブ配設面に設けられ、当該支持基板のプローブ配設面と前記プローブの支持基板対向面との間に位置する当接部材とを具備しており、
前記当接部材と前記プローブの支持基板対向面との間には所定の空隙を有しており、
前記プローブは、半円弧状のプローブであって、一端が支持基板に支持された略1/4円弧状の第1の湾曲部と、この第1の湾曲部の他端と連設されており且つ当該第1の湾曲部より若干短くされた略1/4円弧状の第2の湾曲部とを有しており、
前記プローブの頂部に作用する力に応じて、当該頂部が前記支持基板に近づく方向に弾性変形して前記当接部材に当接し、前記第2の湾曲部の先端部が支持基板のプローブ配設面に当接するようになっていることを特徴とするプローブカード。 - 請求項1記載のプローブカードにおいて、
前記当接部材は弾性体で構成されていることを特徴とするプローブカード。 - 請求項1又は2記載のプローブカードにおいて、前記当接部材の外周面はプローブの湾曲部の曲がりに沿った形状となっていることを特徴とするプローブカード。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004071505A JP4220923B6 (ja) | 2004-03-12 | プローブカード |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2004071505A JP4220923B6 (ja) | 2004-03-12 | プローブカード |
Publications (3)
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