JP2006098278A - プローブ及びプローブ組立体 - Google Patents

Abstract

【課題】 被検査体の電極に押圧される針先領域をこれが撓みにくい形状とすることにある。
【解決手段】 プローブは、帯状の取り付け領域と、該取り付け領域の先端から前方に伸びる針先領域とを備え、針先領域は、取り付け領域の先端部から伸びて取り付け領域の下端縁よりも下方側に突出する状態に変形された第１の領域と、被検査体の電極に押圧される接触部であって第１の領域に形成された接触部と、第１の領域に一体的に続く第２の領域であって支持体側の部材に当接する当接部を取り付け領域の長手方向に間隔をおいた少なくとも２箇所に有する第２の領域とを備える。
【選択図】 図３

Description

本発明は、液晶表示パネルのような平板状被検査体の検査に用いるプローブ及びプローブ組立体に関する。

液晶表示パネルのような平板状の被検査体の検査に用いるプローブ組立体の１つとして、帯状の取り付け領域（中央領域）並びに該取り付け領域の先端及び後端からそれぞれ前方及び後方へ伸びる第１及び第２の針先領域を備えるブレードタイプの複数のプローブ（接触子）を、それらの取り付け領域の幅方向が上下方向となる状態に支持体（ブロック）の下側に取り付け領域を対向させて並列的に配置したものがある（特許文献１）。

プローブは、これらの取り付け領域を貫通して伸びて支持体に支持された細長い１以上のガイドバーにより支持体に取り付けられており、また支持体の先端側及び後端側にそれぞれ配置されてガイドバーの長手方向へ伸びる第１及び第２のスリットバーにこれらの長手方向に間隔をおいて形成された複数のスリットに第１及び第２の針先領域を受け入れられている。

第１の針先領域は、先端側ほど細くされており、また下方に突出する針先を先端部に有している。第２の針先領域は、後端側ほど細くされており、また上方に突出する針先を後端部に有している。

プローブ組立体は、第２の針先領域の針先が通電用の配線に押圧された状態に、検査装置に組み付けられる。

被検査体の通電試験時、第１の針先領域の針先が被検査体の電極に押圧される。それにより、第１の針先領域がこれにオーバードライブ（ＯＤ）が作用することにより湾曲されて、針先が被検査体の電極に対し滑る。

特開平１０−１３２８５３号公報

ブレードタイプのプローブは、これをフォトリソ技術やエッチング技術により製作することができるから、同じ機能を有するプローブを、高精度に、大量に及び廉価に製造することができる、という利点を有している。

しかし、上記従来のプローブでは、第１の針先領域がオーバードライブにより撓みやすい形状を有しているから、第１の針先領域の撓みにより、第１のスリットバーが被検査体やプローブ組立体に付着しているガラス粉のような異物に押圧されて、そのスリットバーの一部、特にスリットを形成している仕切り壁を破損してしまうことがある。

特に、被検査体の電極がＩＺＯ（Indium Zinc Oxide）で製作されていると、オーバードライブの作用時に、針先領域の針先が電極に対し滑りやすい。このため、従来のプローブでは、オーバードライブに起因する第１の針先領域の撓み量が多く、仕切り壁がより破損しやすくなる。

上記の結果、従来では、被検査体やプローブ組立体の清掃を頻繁に行わなければならなかった。

本発明の目的は、被検査体の電極に押圧される針先領域をこれが撓みにくい形状とすることにある。

本発明に係るプローブは、帯状の取り付け領域と、該取り付け領域の先端から前方に伸びる針先領域とを備え、前記針先領域は、前記取り付け領域の先端部から伸びて前記取り付け領域の下端縁よりも下方側に突出する状態に変形された第１の領域と、被検査体の電極に押圧される接触部であって前記第１の領域に形成された接触部と、前記第１の領域に一体的に続く第２の領域であって前記支持体側の部材に当接する当接部を前記取り付け領域の長手方向に間隔をおいた少なくとも２箇所に有する第２の領域とを備える。

本発明のプローブは、取り付け領域の幅方向が上下方向となる状態及び少なくとも２つの当接部が支持体側の部材に当接した状態に、支持体に取り付けられる。このため、接触部が被検査体の電極に押圧されてプローブにオーバードライブが作用しても、針先領域全体の変形が阻止される。

これに対し、第１の領域が下方に突出するように変形されているから、上記のようなオーバードライブにより、プローブは少なくとも第１の領域において弾性変形する。しかし、このときの弾性変形は、従来のプローブに比べ、著しく小さい。

上記の結果、針先領域の変形が少なく、その結果オーバードライブが作用しても、支持体側の部材が被検査体に大きく接近することが防止され、その部材の破損が防止される。

前記第１の領域は、Ｕ字状、Ｖ字状又は弧状に変形されていてもよい。また、前記第１及び第２の領域は、ほぼ、Ｖ字状、菱形又は楕円形の形状を共同して形成していてもよい。

前記第１及び第２の領域は、それぞれ、前記Ｖ字又は前記Ｕ字の下半部及び上半部を形成しており、前記接触部は前記Ｖ字又は前記Ｕ字の下端縁に形成されており、前記当接部は前記Ｖ字又は前記Ｕ字の上端縁に形成されていることができる。

前記第１の領域は下方に突出する凸部を有し、前記接触部は前記凸部の下端縁に形成されており、前記第２の領域は、前記第１の領域の両上端部の一方及び他方からそれぞれ先端側及び後端側に伸びる２つの箇所により形成されており、またそれらの箇所のそれぞれに前記当接部を有することができる。

前記第１及び第２の領域は、それぞれ、前記菱形又は前記楕円の下半部及び上半部を形成しており、前記接触部は前記菱形又は前記楕円の下側端縁に形成されており、前記当接部は前記菱形又は前記楕円の上側端縁に形成されていることができる。

前記第１及び第２の領域は、それぞれ、下方及び上方に突出する第１及び第２の凸部を有し、前記接触部は前記第１の凸部の下端縁に形成されており、前記当接部は前記第２の凸部の上端縁又は前記第２の凸部の側部に形成されていることができる。

前記接触部は前記第１の領域の下端縁に形成されており、前記第２の領域はこれの長手方向における中間において切り欠きにより２つの部材に分離されており、前記当接部は前記各部材の上端縁に形成されていることができる。

前記第１の領域は、前記第２の領域の側に突出する状態に曲げられており、また下方に突出する凸部を有しており、前記接触部は前記凸部の下端縁に形成されていることができる。

前記針先領域は、前記取り付け領域の前記一端の下端部から伸びていることができる。

上下方向における前記針先領域の寸法は、前記取り付け領域のそれより小さくてもよい。

本発明に係るプローブ組立体は、支持体と、帯状の取付部及び該取付部の先端から前方に伸びる針先領域を備える複数のプローブであって前記取り付け領域の幅方向が上下方向となる状態に前記支持体の下側に前記取り付け領域を対向させて並列的に配置された複数のプローブと、前記取り付け領域を貫通して伸びかつ前記支持体に支持された細長い１以上のガイドバーと、前記支持体の先端側に配置されて前記ガイドバーの長手方向へ伸びるスリットバーであってこれの長手方向に間隔をおいた複数のスリットを有するスリットバーとを含み、前記プローブは、上記のようなプローブであり、また前記針先領域の一部を前記スリットに受け入れられている。

本発明においては、取り付け領域の厚さ方向を上下方向といい、取り付け領域に対し、被検査体の電極に押圧される針先領域の側を先端側といい、通電用配線に押圧される針先領域の側を後端側という。しかし、プローブ組立体の実際の使用に際しては、取り付け領域の厚さ方向を斜め又は横の方向としてもよいし、上下方向を逆にして使用してもよい。

図１〜図３を参照するに、プローブ組立体１０は、ブロックすなわち支持体１２と、支持体１２の下側に並列的に配置された帯状の複数のプローブ１４と、プローブ１４を貫通する細長い一対のガイドバー１６と、プローブ１４の一部を受け入れる一対のスリットバー１８と、プローブ１４の後端側に針先の位置を安定させる長尺のガイド部材２０と、ガイドバー１６を支持体１２に支持させる一対のサイドカバー２２とを含む。

支持体１２は、ねじ穴２４及び一対のガイド穴２６を上面の側に有すると共に、一対のガイド穴２８を各側面の側に有する。支持体１２の下面は、図２に示すように、複数の段部により階段状に形成されている。支持体１２は、電気を通さないいわゆる非導電性の、金属材料、セラミック又は合成樹脂から製作することができる。

各プローブ１４は、図２〜図３に示すように、帯状の中央領域として作用する取り付け領域３０と、取り付け領域３０の先端及び後端からそれぞれからさらに先方及び後方へ伸びる一対の針先領域３２及び３４とを備える。取り付け領域３０は、ガイドバー１６が貫通するガイド穴３６を各端部に有すると共に、取り付け領域３０の長手方向に間隔をおいた部位を貫通する複数の長穴３８をガイド穴３６の間の部位に有する。各長穴３８は、取り付け領域３０の長手方向へ伸びていると共に、取り付け領域３０の長手方向に間隔をおいている。

図示の例では、各ガイド穴３６は、円形であるが、ガイドバー１６の断面形状に対応した形状とすることができる。また、ガイド穴３６を、取り付け領域３０の長手方向に間隔をおいた他の箇所に形成してもよいし、取り付け領域３０の長手方向へ大きく伸びる長穴としてもよい。後者の場合、長穴３８に続く長い穴としてもよい。

針先領域３２及び３４は、それぞれ、取り付け領域３０の幅方向における一方の縁部の側及び他方の縁部の側から前方及び後方へ伸びており、また取り付け領域３０の幅寸法より小さい幅寸法を有する。

針先領域３２は、取り付け領域３０の先端部から伸びて取り付け領域３０の下端縁よりも下方側に突出する状態に変形された第１の領域４０と、第１の領域４０に一体的に続く第２の領域４２とを備えている。

図示の例では、第１及び第２の領域４０及び４２は、それぞれ、Ｖ字の下半部及び上半部を形成している。このため、針先領域３２は全体的にＶ字の形状を有している。

第１の領域４０は、Ｖ字の下端縁から下方に突出する凸部４４を有し、この凸部４４の下端縁を被検査体の電極に押圧される針先すなわち接触部４６としている。

第２の領域４２は、第１の領域の両上端部の一方及び他方からそれぞれ先端側及び後端側に伸びる２つの箇所により形成されており、またそれらの箇所のそれぞれにスリットバー１８に当接される当接部４８を形成している。

針先領域３２を第１及び第２の領域４０及び４２により全体的にＶ字の形状とする代わりに、第１及び第２の領域４０及び４２を、それぞれ、Ｕ字又は上方に開放する弧状の下半部及び上半部を形成する部位とし、それにより針先領域３２を全体的にＵ字又は上方に開放する弧状の形状としてもよい。

針先領域３４の先端部は、上方に曲げられて、先鋭な針先３４ａとされている。プローブ１４をその厚さ方向から見たとき、針先３４ａは三角形の形状を有する。

プローブ１４は、導電性の薄い金属板にエッチング加工をしてプローブを作成し、次いでポリイミド材のような電気絶縁性材料によるコーティングをプローブの針先となる部分を除いて形成することにより、製作することができる。

しかし、プローブ１４を、フォトリソ技術と電気メッキ技術とを利用して製作してもよい。

プローブ１４は、取り付け領域３０の幅方向が上下方向となる状態に、取り付け領域３０、ガイド穴３６及び長穴３８を対向させて、支持体１２の下側に並列的に配置されている。

各ガイドバー１６は、図示の例では、円形の断面形状を有しており、また非導電性の金属材料により形成されている。各ガイドバー１６は、プローブ１４のガイド穴３６に押し込まれ、各端部がサイドカバー２２を貫通することにより、両サイドカバー２２により支持体１２に組み付けられる。

各スリットバー１８には、複数のスリット５０が長手方向に所定のピッチで形成されている。各スリット５０は、プローブ１４の厚さ寸法とほぼ同じ幅寸法を有しており、またスリットバー１８の幅方向全体にわたって伸びている。スリットバー１８はセラミックのような非導電性材料から製作することができる。また、各スリット５０は、スリットバー１８を支持体１２に装着する前又は装着した後に、形成することができる。

一方のスリットバー１８は、これがプローブ１４の配列方向へ伸びてスリット５０が下方に向く状態に支持体１２の前端下面に接着されている。他方のスリットバー１８は、これがプローブ１４の配列方向へ伸びてスリット５０が下方に向く状態に支持体１２の後端下面に接着されている。しかし、各スリットバー１８を支持体１２に、１以上のねじ部材により又は嵌合により取り付けてもよい。

各プローブ１４は、針先領域３２の第２の領域４２を一方のスリットバー１８のスリット５０に受け入れられており、針先領域３４の針先３４ａが他方のスリットバー１８から後方及び上方へ突出するように、取り付け領域３０と針先領域３４との境界近傍を他方のスリットバー１８のスリット５０に受け入れられている。この状態において、プローブ１４の当接部４８は、一方のスリットバー１８のスリット５０の溝底に当接されている。

ガイド部材２０は、Ｌ字型の断面形状を有しており、またガイド部材２０の長手方向に間隔をおいた複数の貫通穴５２（図１参照）をＬ字の一方の辺部分に有する。ガイド部材２０はポリイミド材のような非導電性のフィルムから製作することができ、また貫通穴５２はレーザ加工により形成することができる。

ガイド部材２０は、各針先３４ａが貫通穴５２を貫通するように、Ｌ字の他方の辺部分おいてプローブ１４の配列方向へ伸びる状態に複数のねじ部材５４により支持体１２の後端面下部に取り外し可能に取り付けられている。しかし、ガイド部材２０を支持体１２に、嵌合により又は接着により取り付けてもよい。ガイド部材２０はなくてもよい。

各サイドカバー２２は、支持体１２の側面と対応した形状の板部材から形成されており、また一対のガイドピン５６と複数のねじ部材５８とにより支持体１２の側面に取り外し可能に取り付けられている。各ガイドピン５６は、支持体１２に形成されたガイド穴２８に脱出不能に嵌合されており、端部をサイドカバー２２形成されたガイド穴に嵌合されている。しかし、ガイドピン５６をサイドカバー２２に固定してもよい。サイドカバー２２は、両ガイドバー１６の端部を受け入れる貫通穴を有する。

図においては、隣り合うプローブ１４が大きく間隔をおいているように示しているが、実際にはプローブ１４の配列ピッチは小さい。プローブ１４の厚さ寸法及び配列ピッチ、ならびに、スリット５０の配置ピッチ及び幅寸法は、被検査体の種類、特に電極の配置ピッチと幅寸法とにより異なる。

プローブ組立体１０は、先ず、両スリットバー１８とガイド部材２０とを上記した状態に支持体１２に取り付けた状態で、各プローブ１４の両端部をスリットバー１８のスリット５０に挿し込むと共に、針先３４ａをガイド部材２０の穴４０に通し、次いでガイドバー１６をプローブ１４のガイド穴３６に挿し通し、次いでガイドピン５６をサイドカバー２２と支持体１２とに挿し通すと共にガイドバー１６の端部をサイドカバー２２に挿し通し、その後サイドカバー２２をねじ部材５８で支持体１２に取り付けることにより、組み立てることができる。

これにより、プローブ１４及びガイドバー１６はサイドカバー２２を介して支持体１２に支持され、各プローブ１４は、その当接部４８が一方のスリットバー１８のスリット５０の溝底に当接された状態に、支持体１２に支持される。

上記のように組み立てた状態において、プローブ１４は液晶表示パネルのような被検査体の電極の配置パターンに応じたパターンに支持体１２の下側に並列的に配置され、針先３４ａはスリットバー１８から後方及び上方へ突出してガイド部材２０から上方へ突出している。

検査装置に組み付けるとき、プローブ組立体１０は、針先３４ａがＴＡＢテープ（図示せず）の通電用配線にわずかに過剰に押圧された状態に、検査装置に組み付けられる。これにより、各プローブ１４は針先領域３４の幅寸法が取り付け領域３０のそれより小さいから弧状に反り、各針先３４ａは電極に確実に接触する。

プローブ組立体１０を検査装置に組み付けるとき、プローブ組立体１０は、図１に示すガイド穴２６に差し込まれるガイドピンにより検査装置に対する位置決めをされ、またねじ穴２４に螺合されるねじ部材により検査装置に取り外し可能に組み付けられる。しかし、プローブ組立体１０を他の手法及び他の手段により検査装置に組み付けてもよい。

検査時、プローブ組立体１０は、接触部４６を被検査体の電極にわずかに過剰に押圧される。これにより、オーバードライブがプローブ１４に作用する。

しかし、プローブ１４は、取り付け領域３０の幅方向が上下方向となる状態及び少なくとも２つの当接部４８がスリットバー１８のスリット５０の溝底に当接した状態に、支持体１２に取り付けられている。このため、接触部４６が被検査体の電極に押圧されてプローブ１４にオーバードライブが作用しても、針先領域３２全体の変形が阻止される。

これに対し、第１の領域４０が下方に突出するように変形されているから、上記のようなオーバードライブにより、プローブ１４は少なくとも第１の領域４０において弾性変形する。しかし、このときの弾性変形量は、従来のプローブに比べ、著しく小さく、したがって被検査体の電極に対する接触部４６の滑り量も少ない。

図４を参照して、上記プローブ１４と従来のプローブ６０との間に、弾性変形量すなわちオーバードライブ量（ＯＤ量）及び滑り量の差が生じる理由を説明する。

従来のプローブ６０においては、図４（Ａ）に示すように、針先領域６２は、先端側ほど細くされており、また先端部を下方に曲げられてスリット５０の下方へ突出する針先６４とされている。

また、従来のプローブ６０は、これが支持体に組み付けられてプローブ組立体に組み立てられた状態において、針先領域６２とスリット５０の溝底との間に空間を有している。

針先６４を被検査体の電極６６に接触させて、プローブ６０にオーバードライブを作用させると、針先領域６４が実線で示す状態から２点鎖線で示す状態に大きく変形される。これは、針先領域６２が変形しやすいように先端側ほど細くされていることと、針先領域６２とスリット５０の溝底との間に空間を有していることとによる。

これに対し、プローブ１４は、図４（Ｂ）に示すように、針先領域３２が取り付け領域３０の下端縁よりも下方側に突出する状態に変形された第１の領域４０と第１の領域４０に一体的に続く第２の領域４２とを備え、被検査体の電極６６に押圧される接触部４６が第１の領域４０に形成され、当接部４８がスリット５０の溝底に当接していると共に取り付け領域３０の長手方向に間隔をおいた少なくとも２箇所に形成されている。

このため、破線で示すように、接触部４６が被検査体の電極に押圧されてプローブ１４にオーバードライブが作用しても、針先領域３０全体の変形が阻止され、プローブ１４は少なくとも第１の領域４０において弾性変形するにすぎない。

同じ接触圧（針圧）がプローブ６０及び１４に作用すると、従来のプローブ６０のＯＤ量及び滑り量は、プローブ１４のそれに比べ、著しく大きい。

上記のように、針先領域３２のＯＤ量の少ないプローブ１４によれば、オーバードライブが作用しても、スリットバー１８が被検査体に大きく接近することが防止されて、ガラス屑等に起因するスリットバー１８のスリット５０を形成している仕切り壁の破損が防止される。

プローブ１４の交換は、プローブ組立体１０を検査装置から外し、サイドカバー２２を支持体１２から外し、ガイドバー１６を抜き、交換すべきプローブを取り去り、その代わりに新たなプローブを支持体１２に配置し、その後既に述べた手法で、プローブ組立体１０を組み立て、そのプローブ組立体１０を検査装置に取り付ければよい。このため、プローブの交換が容易になる。

図５に示すプローブ１４において、第１及び第２の領域７０及び７２は、それぞれ、菱形の下半部及び上半部を形成している。凸部４４は、第１の領域７０の下端縁から下方に突出している。接触部４６は、凸部４４の下面とされている。

第２の領域７２は、上端縁に凸部７４を有しており、この凸部７４の両側部に当接部４８を形成している。

図６に示すプローブ１４において、第１及び第２の領域８０及び８２は、それぞれ、楕円の下半部及び上半部を形成している。凸部４４は、第１の領域８０の下側の端縁から下方に突出している。接触部４６は、凸部４４の下面とされている。

第２の領域８２は、針先領域３２の長手方向に間隔をおいた凸部８４を上側の両端縁に有しており、これらの凸部８４の上面に当接部４８を形成している。

図６に示すプローブ１４において、図７に示すように、凸部４４及び８４を有することなく、第１の領域８０の下側の端縁を接触部４６としてもよいし、第２の領域８２をこれの長手方向における中間において切り欠き８６により２つの部材に分離し、各部材の上側の端縁に当接部４８を形成してもよい。

また、図６に示すプローブ１４において、図８に示すように、凸部４６を第１の領域８０の先端側に設け、１つの凸部を第２の領域８２の後端側に設け、当接部４８を第２の領域８２及び凸部４８の上端縁のそれぞれに設けてもよい。

さらに、図８に示すプローブ１４において、図９に示すように、第１の領域８０を第２の領域８２の側に突出する状態に曲げ、第１の領域８０の下側端縁から下方に突出する凸部４４の下端縁を接触部４６としてもよい。

図５に示すプローブも、針先領域３２を、図６に示すプローブと同様に、図７、図８及び図９のような形状としてもよい。

本発明は、液晶表示パネルのみならず、そのガラス基板、有機ＥＬ等、他の表示用基板のような他の平板状の被検査体の検査に用いるプローブ及びプローブ組立体にも適用することができる。

本発明は、液晶表示パネルや有機ＥＬ等の表示用パネルの検査に用いるプローブ及びプローブ組立体のみならず、集積回路のような他の平板状被検査体の検査に用いるプローブ及びプローブ組立体にも適用することができる。

本発明のプローブ組立体の一実施例を示す斜視図である。 図１に示すプローブ組立体の縦断面図である。 本発明に係るプローブの針先領域の第１の実施例を示す拡大図である。 オーバードライブが作用したときのプローブの作用を説明するための図であって、（Ａ）は従来のプローブを示し、（Ｂ）は本発明に係るプローブを示す。 本発明に係るプローブの針先領域の第２の実施例を示す拡大図である。 本発明に係るプローブの針先領域の第３の実施例を示す拡大図である。 本発明に係るプローブの針先領域の第４の実施例を示す拡大図である。 本発明に係るプローブの針先領域の第５の実施例を示す拡大図である。 本発明に係るプローブの針先領域の第６の実施例を示す拡大図である。

符号の説明

１０ プローブ組立体
１２ 支持体
１４ プローブ
１６ ガイドバー
１８ スリットバー
２０ ガイド部材
２２ サイドカバー
３０ 中央領域
３２，３４ 針先領域
４０、７０、８０ 第１の領域
４２、７２、８２ 第２の領域
４４、７４、８４ 凸部
４６ 接触部
４８ 当接部
５０ スリット
６６ 被検査体の電極

Claims (12)

1. 帯状の取り付け領域と、該取り付け領域の先端から前方に伸びる針先領域とを備え、前記針先領域は、前記取り付け領域の先端部から伸びて前記取り付け領域の下端縁よりも下方側に突出する状態に変形された第１の領域と、被検査体の電極に押圧される接触部であって前記第１の領域に形成された接触部と、前記第１の領域に一体的に続く第２の領域であって前記支持体側の部材に当接する当接部を前記取り付け領域の長手方向に間隔をおいた少なくとも２箇所に有する第２の領域とを備える、プローブ。
2. 前記第１の領域は、Ｕ字状、Ｖ字状又は弧状に変形されている、請求項１に記載のプローブ。
3. 前記第１及び第２の領域は、ほぼ、Ｖ字状、菱形又は楕円形の形状を共同して形成している、請求項１に記載のプローブ。
4. 前記第１及び第２の領域は、それぞれ、前記Ｖ字又は前記Ｕ字の下半部及び上半部を形成しており、前記接触部は前記Ｖ字又は前記Ｕ字の下端縁に形成されており、前記当接部は前記Ｖ字又は前記Ｕ字の上端縁に形成されている、請求項３に記載のプローブ。
5. 前記第１の領域は下方に突出する凸部を有し、前記接触部は前記凸部の下端縁に形成されており、前記第２の領域は、前記第１の領域の両上端部の一方及び他方からそれぞれ先端側及び後端側に伸びる２つの箇所により形成されており、またそれらの箇所のそれぞれに前記当接部を有する、請求項４に記載のプローブ。
6. 前記第１及び第２の領域は、それぞれ、前記菱形又は前記楕円の下半部及び上半部を形成しており、前記接触部は前記菱形又は前記楕円の下側端縁に形成されており、前記当接部は前記菱形又は前記楕円の上側端縁に形成されている、請求項３に記載のプローブ。
7. 前記第１及び第２の領域は、それぞれ、下方及び上方に突出する第１及び第２の凸部を有し、前記接触部は前記第１の凸部の下端縁に形成されており、前記当接部は前記第２の凸部の上端縁又は前記第２の凸部の側部に形成されている、請求項６に記載のプローブ。
8. 前記接触部は前記第１の領域の下端縁に形成されており、前記第２の領域はこれの長手方向における中間において切り欠きにより２つの部材に分離されており、前記当接部は前記各部材の上側端縁に形成されている、請求項５及び６のいずれか１項に記載のプローブ。
9. 前記第１の領域は、前記第２の領域の側に突出する状態に曲げられており、また下方に突出する凸部を有しており、前記接触部は前記凸部の下端縁に形成されている、請求項６に記載のプローブ。
10. 前記針先領域は、前記取り付け領域の前記一端の下端部から伸びている、請求項１から９のいずれか１項に記載のプローブ。
11. 上下方向における前記針先領域の寸法は、前記取り付け領域のそれより小さい、請求項１から１０のいずれか１項に記載のプローブ。
12. 支持体と、帯状の取付部及び該取付部の先端から前方に伸びる針先領域を備える複数のプローブであって前記取り付け領域の幅方向が上下方向となる状態に前記支持体の下側に前記取り付け領域を対向させて並列的に配置された複数のプローブと、前記取り付け領域を貫通して伸びかつ前記支持体に支持された細長い１以上のガイドバーと、前記支持体の先端側に配置されて前記ガイドバーの長手方向へ伸びるスリットバーであってこれの長手方向に間隔をおいた複数のスリットを有するスリットバーとを含み、前記プローブは、請求項１から１１のいずれか１項に記載されたプローブであり、また前記針先領域の一部を前記スリットに受け入れられている、プローブ組立体。

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