JP2006098278A - プローブ及びプローブ組立体 - Google Patents
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Abstract
【課題】 被検査体の電極に押圧される針先領域をこれが撓みにくい形状とすることにある。
【解決手段】 プローブは、帯状の取り付け領域と、該取り付け領域の先端から前方に伸びる針先領域とを備え、針先領域は、取り付け領域の先端部から伸びて取り付け領域の下端縁よりも下方側に突出する状態に変形された第1の領域と、被検査体の電極に押圧される接触部であって第1の領域に形成された接触部と、第1の領域に一体的に続く第2の領域であって支持体側の部材に当接する当接部を取り付け領域の長手方向に間隔をおいた少なくとも2箇所に有する第2の領域とを備える。
【選択図】 図3
【解決手段】 プローブは、帯状の取り付け領域と、該取り付け領域の先端から前方に伸びる針先領域とを備え、針先領域は、取り付け領域の先端部から伸びて取り付け領域の下端縁よりも下方側に突出する状態に変形された第1の領域と、被検査体の電極に押圧される接触部であって第1の領域に形成された接触部と、第1の領域に一体的に続く第2の領域であって支持体側の部材に当接する当接部を取り付け領域の長手方向に間隔をおいた少なくとも2箇所に有する第2の領域とを備える。
【選択図】 図3
Description
本発明は、液晶表示パネルのような平板状被検査体の検査に用いるプローブ及びプローブ組立体に関する。
液晶表示パネルのような平板状の被検査体の検査に用いるプローブ組立体の1つとして、帯状の取り付け領域(中央領域)並びに該取り付け領域の先端及び後端からそれぞれ前方及び後方へ伸びる第1及び第2の針先領域を備えるブレードタイプの複数のプローブ(接触子)を、それらの取り付け領域の幅方向が上下方向となる状態に支持体(ブロック)の下側に取り付け領域を対向させて並列的に配置したものがある(特許文献1)。
プローブは、これらの取り付け領域を貫通して伸びて支持体に支持された細長い1以上のガイドバーにより支持体に取り付けられており、また支持体の先端側及び後端側にそれぞれ配置されてガイドバーの長手方向へ伸びる第1及び第2のスリットバーにこれらの長手方向に間隔をおいて形成された複数のスリットに第1及び第2の針先領域を受け入れられている。
第1の針先領域は、先端側ほど細くされており、また下方に突出する針先を先端部に有している。第2の針先領域は、後端側ほど細くされており、また上方に突出する針先を後端部に有している。
プローブ組立体は、第2の針先領域の針先が通電用の配線に押圧された状態に、検査装置に組み付けられる。
被検査体の通電試験時、第1の針先領域の針先が被検査体の電極に押圧される。それにより、第1の針先領域がこれにオーバードライブ(OD)が作用することにより湾曲されて、針先が被検査体の電極に対し滑る。
ブレードタイプのプローブは、これをフォトリソ技術やエッチング技術により製作することができるから、同じ機能を有するプローブを、高精度に、大量に及び廉価に製造することができる、という利点を有している。
しかし、上記従来のプローブでは、第1の針先領域がオーバードライブにより撓みやすい形状を有しているから、第1の針先領域の撓みにより、第1のスリットバーが被検査体やプローブ組立体に付着しているガラス粉のような異物に押圧されて、そのスリットバーの一部、特にスリットを形成している仕切り壁を破損してしまうことがある。
特に、被検査体の電極がIZO(Indium Zinc Oxide)で製作されていると、オーバードライブの作用時に、針先領域の針先が電極に対し滑りやすい。このため、従来のプローブでは、オーバードライブに起因する第1の針先領域の撓み量が多く、仕切り壁がより破損しやすくなる。
上記の結果、従来では、被検査体やプローブ組立体の清掃を頻繁に行わなければならなかった。
本発明の目的は、被検査体の電極に押圧される針先領域をこれが撓みにくい形状とすることにある。
本発明に係るプローブは、帯状の取り付け領域と、該取り付け領域の先端から前方に伸びる針先領域とを備え、前記針先領域は、前記取り付け領域の先端部から伸びて前記取り付け領域の下端縁よりも下方側に突出する状態に変形された第1の領域と、被検査体の電極に押圧される接触部であって前記第1の領域に形成された接触部と、前記第1の領域に一体的に続く第2の領域であって前記支持体側の部材に当接する当接部を前記取り付け領域の長手方向に間隔をおいた少なくとも2箇所に有する第2の領域とを備える。
本発明のプローブは、取り付け領域の幅方向が上下方向となる状態及び少なくとも2つの当接部が支持体側の部材に当接した状態に、支持体に取り付けられる。このため、接触部が被検査体の電極に押圧されてプローブにオーバードライブが作用しても、針先領域全体の変形が阻止される。
これに対し、第1の領域が下方に突出するように変形されているから、上記のようなオーバードライブにより、プローブは少なくとも第1の領域において弾性変形する。しかし、このときの弾性変形は、従来のプローブに比べ、著しく小さい。
上記の結果、針先領域の変形が少なく、その結果オーバードライブが作用しても、支持体側の部材が被検査体に大きく接近することが防止され、その部材の破損が防止される。
前記第1の領域は、U字状、V字状又は弧状に変形されていてもよい。また、前記第1及び第2の領域は、ほぼ、V字状、菱形又は楕円形の形状を共同して形成していてもよい。
前記第1及び第2の領域は、それぞれ、前記V字又は前記U字の下半部及び上半部を形成しており、前記接触部は前記V字又は前記U字の下端縁に形成されており、前記当接部は前記V字又は前記U字の上端縁に形成されていることができる。
前記第1の領域は下方に突出する凸部を有し、前記接触部は前記凸部の下端縁に形成されており、前記第2の領域は、前記第1の領域の両上端部の一方及び他方からそれぞれ先端側及び後端側に伸びる2つの箇所により形成されており、またそれらの箇所のそれぞれに前記当接部を有することができる。
前記第1及び第2の領域は、それぞれ、前記菱形又は前記楕円の下半部及び上半部を形成しており、前記接触部は前記菱形又は前記楕円の下側端縁に形成されており、前記当接部は前記菱形又は前記楕円の上側端縁に形成されていることができる。
前記第1及び第2の領域は、それぞれ、下方及び上方に突出する第1及び第2の凸部を有し、前記接触部は前記第1の凸部の下端縁に形成されており、前記当接部は前記第2の凸部の上端縁又は前記第2の凸部の側部に形成されていることができる。
前記接触部は前記第1の領域の下端縁に形成されており、前記第2の領域はこれの長手方向における中間において切り欠きにより2つの部材に分離されており、前記当接部は前記各部材の上端縁に形成されていることができる。
前記第1の領域は、前記第2の領域の側に突出する状態に曲げられており、また下方に突出する凸部を有しており、前記接触部は前記凸部の下端縁に形成されていることができる。
前記針先領域は、前記取り付け領域の前記一端の下端部から伸びていることができる。
上下方向における前記針先領域の寸法は、前記取り付け領域のそれより小さくてもよい。
本発明に係るプローブ組立体は、支持体と、帯状の取付部及び該取付部の先端から前方に伸びる針先領域を備える複数のプローブであって前記取り付け領域の幅方向が上下方向となる状態に前記支持体の下側に前記取り付け領域を対向させて並列的に配置された複数のプローブと、前記取り付け領域を貫通して伸びかつ前記支持体に支持された細長い1以上のガイドバーと、前記支持体の先端側に配置されて前記ガイドバーの長手方向へ伸びるスリットバーであってこれの長手方向に間隔をおいた複数のスリットを有するスリットバーとを含み、前記プローブは、上記のようなプローブであり、また前記針先領域の一部を前記スリットに受け入れられている。
本発明においては、取り付け領域の厚さ方向を上下方向といい、取り付け領域に対し、被検査体の電極に押圧される針先領域の側を先端側といい、通電用配線に押圧される針先領域の側を後端側という。しかし、プローブ組立体の実際の使用に際しては、取り付け領域の厚さ方向を斜め又は横の方向としてもよいし、上下方向を逆にして使用してもよい。
図1〜図3を参照するに、プローブ組立体10は、ブロックすなわち支持体12と、支持体12の下側に並列的に配置された帯状の複数のプローブ14と、プローブ14を貫通する細長い一対のガイドバー16と、プローブ14の一部を受け入れる一対のスリットバー18と、プローブ14の後端側に針先の位置を安定させる長尺のガイド部材20と、ガイドバー16を支持体12に支持させる一対のサイドカバー22とを含む。
支持体12は、ねじ穴24及び一対のガイド穴26を上面の側に有すると共に、一対のガイド穴28を各側面の側に有する。支持体12の下面は、図2に示すように、複数の段部により階段状に形成されている。支持体12は、電気を通さないいわゆる非導電性の、金属材料、セラミック又は合成樹脂から製作することができる。
各プローブ14は、図2〜図3に示すように、帯状の中央領域として作用する取り付け領域30と、取り付け領域30の先端及び後端からそれぞれからさらに先方及び後方へ伸びる一対の針先領域32及び34とを備える。取り付け領域30は、ガイドバー16が貫通するガイド穴36を各端部に有すると共に、取り付け領域30の長手方向に間隔をおいた部位を貫通する複数の長穴38をガイド穴36の間の部位に有する。各長穴38は、取り付け領域30の長手方向へ伸びていると共に、取り付け領域30の長手方向に間隔をおいている。
図示の例では、各ガイド穴36は、円形であるが、ガイドバー16の断面形状に対応した形状とすることができる。また、ガイド穴36を、取り付け領域30の長手方向に間隔をおいた他の箇所に形成してもよいし、取り付け領域30の長手方向へ大きく伸びる長穴としてもよい。後者の場合、長穴38に続く長い穴としてもよい。
針先領域32及び34は、それぞれ、取り付け領域30の幅方向における一方の縁部の側及び他方の縁部の側から前方及び後方へ伸びており、また取り付け領域30の幅寸法より小さい幅寸法を有する。
針先領域32は、取り付け領域30の先端部から伸びて取り付け領域30の下端縁よりも下方側に突出する状態に変形された第1の領域40と、第1の領域40に一体的に続く第2の領域42とを備えている。
図示の例では、第1及び第2の領域40及び42は、それぞれ、V字の下半部及び上半部を形成している。このため、針先領域32は全体的にV字の形状を有している。
第1の領域40は、V字の下端縁から下方に突出する凸部44を有し、この凸部44の下端縁を被検査体の電極に押圧される針先すなわち接触部46としている。
第2の領域42は、第1の領域の両上端部の一方及び他方からそれぞれ先端側及び後端側に伸びる2つの箇所により形成されており、またそれらの箇所のそれぞれにスリットバー18に当接される当接部48を形成している。
針先領域32を第1及び第2の領域40及び42により全体的にV字の形状とする代わりに、第1及び第2の領域40及び42を、それぞれ、U字又は上方に開放する弧状の下半部及び上半部を形成する部位とし、それにより針先領域32を全体的にU字又は上方に開放する弧状の形状としてもよい。
針先領域34の先端部は、上方に曲げられて、先鋭な針先34aとされている。プローブ14をその厚さ方向から見たとき、針先34aは三角形の形状を有する。
プローブ14は、導電性の薄い金属板にエッチング加工をしてプローブを作成し、次いでポリイミド材のような電気絶縁性材料によるコーティングをプローブの針先となる部分を除いて形成することにより、製作することができる。
しかし、プローブ14を、フォトリソ技術と電気メッキ技術とを利用して製作してもよい。
プローブ14は、取り付け領域30の幅方向が上下方向となる状態に、取り付け領域30、ガイド穴36及び長穴38を対向させて、支持体12の下側に並列的に配置されている。
各ガイドバー16は、図示の例では、円形の断面形状を有しており、また非導電性の金属材料により形成されている。各ガイドバー16は、プローブ14のガイド穴36に押し込まれ、各端部がサイドカバー22を貫通することにより、両サイドカバー22により支持体12に組み付けられる。
各スリットバー18には、複数のスリット50が長手方向に所定のピッチで形成されている。各スリット50は、プローブ14の厚さ寸法とほぼ同じ幅寸法を有しており、またスリットバー18の幅方向全体にわたって伸びている。スリットバー18はセラミックのような非導電性材料から製作することができる。また、各スリット50は、スリットバー18を支持体12に装着する前又は装着した後に、形成することができる。
一方のスリットバー18は、これがプローブ14の配列方向へ伸びてスリット50が下方に向く状態に支持体12の前端下面に接着されている。他方のスリットバー18は、これがプローブ14の配列方向へ伸びてスリット50が下方に向く状態に支持体12の後端下面に接着されている。しかし、各スリットバー18を支持体12に、1以上のねじ部材により又は嵌合により取り付けてもよい。
各プローブ14は、針先領域32の第2の領域42を一方のスリットバー18のスリット50に受け入れられており、針先領域34の針先34aが他方のスリットバー18から後方及び上方へ突出するように、取り付け領域30と針先領域34との境界近傍を他方のスリットバー18のスリット50に受け入れられている。この状態において、プローブ14の当接部48は、一方のスリットバー18のスリット50の溝底に当接されている。
ガイド部材20は、L字型の断面形状を有しており、またガイド部材20の長手方向に間隔をおいた複数の貫通穴52(図1参照)をL字の一方の辺部分に有する。ガイド部材20はポリイミド材のような非導電性のフィルムから製作することができ、また貫通穴52はレーザ加工により形成することができる。
ガイド部材20は、各針先34aが貫通穴52を貫通するように、L字の他方の辺部分おいてプローブ14の配列方向へ伸びる状態に複数のねじ部材54により支持体12の後端面下部に取り外し可能に取り付けられている。しかし、ガイド部材20を支持体12に、嵌合により又は接着により取り付けてもよい。ガイド部材20はなくてもよい。
各サイドカバー22は、支持体12の側面と対応した形状の板部材から形成されており、また一対のガイドピン56と複数のねじ部材58とにより支持体12の側面に取り外し可能に取り付けられている。各ガイドピン56は、支持体12に形成されたガイド穴28に脱出不能に嵌合されており、端部をサイドカバー22形成されたガイド穴に嵌合されている。しかし、ガイドピン56をサイドカバー22に固定してもよい。サイドカバー22は、両ガイドバー16の端部を受け入れる貫通穴を有する。
図においては、隣り合うプローブ14が大きく間隔をおいているように示しているが、実際にはプローブ14の配列ピッチは小さい。プローブ14の厚さ寸法及び配列ピッチ、ならびに、スリット50の配置ピッチ及び幅寸法は、被検査体の種類、特に電極の配置ピッチと幅寸法とにより異なる。
プローブ組立体10は、先ず、両スリットバー18とガイド部材20とを上記した状態に支持体12に取り付けた状態で、各プローブ14の両端部をスリットバー18のスリット50に挿し込むと共に、針先34aをガイド部材20の穴40に通し、次いでガイドバー16をプローブ14のガイド穴36に挿し通し、次いでガイドピン56をサイドカバー22と支持体12とに挿し通すと共にガイドバー16の端部をサイドカバー22に挿し通し、その後サイドカバー22をねじ部材58で支持体12に取り付けることにより、組み立てることができる。
これにより、プローブ14及びガイドバー16はサイドカバー22を介して支持体12に支持され、各プローブ14は、その当接部48が一方のスリットバー18のスリット50の溝底に当接された状態に、支持体12に支持される。
上記のように組み立てた状態において、プローブ14は液晶表示パネルのような被検査体の電極の配置パターンに応じたパターンに支持体12の下側に並列的に配置され、針先34aはスリットバー18から後方及び上方へ突出してガイド部材20から上方へ突出している。
検査装置に組み付けるとき、プローブ組立体10は、針先34aがTABテープ(図示せず)の通電用配線にわずかに過剰に押圧された状態に、検査装置に組み付けられる。これにより、各プローブ14は針先領域34の幅寸法が取り付け領域30のそれより小さいから弧状に反り、各針先34aは電極に確実に接触する。
プローブ組立体10を検査装置に組み付けるとき、プローブ組立体10は、図1に示すガイド穴26に差し込まれるガイドピンにより検査装置に対する位置決めをされ、またねじ穴24に螺合されるねじ部材により検査装置に取り外し可能に組み付けられる。しかし、プローブ組立体10を他の手法及び他の手段により検査装置に組み付けてもよい。
検査時、プローブ組立体10は、接触部46を被検査体の電極にわずかに過剰に押圧される。これにより、オーバードライブがプローブ14に作用する。
しかし、プローブ14は、取り付け領域30の幅方向が上下方向となる状態及び少なくとも2つの当接部48がスリットバー18のスリット50の溝底に当接した状態に、支持体12に取り付けられている。このため、接触部46が被検査体の電極に押圧されてプローブ14にオーバードライブが作用しても、針先領域32全体の変形が阻止される。
これに対し、第1の領域40が下方に突出するように変形されているから、上記のようなオーバードライブにより、プローブ14は少なくとも第1の領域40において弾性変形する。しかし、このときの弾性変形量は、従来のプローブに比べ、著しく小さく、したがって被検査体の電極に対する接触部46の滑り量も少ない。
図4を参照して、上記プローブ14と従来のプローブ60との間に、弾性変形量すなわちオーバードライブ量(OD量)及び滑り量の差が生じる理由を説明する。
従来のプローブ60においては、図4(A)に示すように、針先領域62は、先端側ほど細くされており、また先端部を下方に曲げられてスリット50の下方へ突出する針先64とされている。
また、従来のプローブ60は、これが支持体に組み付けられてプローブ組立体に組み立てられた状態において、針先領域62とスリット50の溝底との間に空間を有している。
針先64を被検査体の電極66に接触させて、プローブ60にオーバードライブを作用させると、針先領域64が実線で示す状態から2点鎖線で示す状態に大きく変形される。これは、針先領域62が変形しやすいように先端側ほど細くされていることと、針先領域62とスリット50の溝底との間に空間を有していることとによる。
これに対し、プローブ14は、図4(B)に示すように、針先領域32が取り付け領域30の下端縁よりも下方側に突出する状態に変形された第1の領域40と第1の領域40に一体的に続く第2の領域42とを備え、被検査体の電極66に押圧される接触部46が第1の領域40に形成され、当接部48がスリット50の溝底に当接していると共に取り付け領域30の長手方向に間隔をおいた少なくとも2箇所に形成されている。
このため、破線で示すように、接触部46が被検査体の電極に押圧されてプローブ14にオーバードライブが作用しても、針先領域30全体の変形が阻止され、プローブ14は少なくとも第1の領域40において弾性変形するにすぎない。
同じ接触圧(針圧)がプローブ60及び14に作用すると、従来のプローブ60のOD量及び滑り量は、プローブ14のそれに比べ、著しく大きい。
上記のように、針先領域32のOD量の少ないプローブ14によれば、オーバードライブが作用しても、スリットバー18が被検査体に大きく接近することが防止されて、ガラス屑等に起因するスリットバー18のスリット50を形成している仕切り壁の破損が防止される。
プローブ14の交換は、プローブ組立体10を検査装置から外し、サイドカバー22を支持体12から外し、ガイドバー16を抜き、交換すべきプローブを取り去り、その代わりに新たなプローブを支持体12に配置し、その後既に述べた手法で、プローブ組立体10を組み立て、そのプローブ組立体10を検査装置に取り付ければよい。このため、プローブの交換が容易になる。
図5に示すプローブ14において、第1及び第2の領域70及び72は、それぞれ、菱形の下半部及び上半部を形成している。凸部44は、第1の領域70の下端縁から下方に突出している。接触部46は、凸部44の下面とされている。
第2の領域72は、上端縁に凸部74を有しており、この凸部74の両側部に当接部48を形成している。
図6に示すプローブ14において、第1及び第2の領域80及び82は、それぞれ、楕円の下半部及び上半部を形成している。凸部44は、第1の領域80の下側の端縁から下方に突出している。接触部46は、凸部44の下面とされている。
第2の領域82は、針先領域32の長手方向に間隔をおいた凸部84を上側の両端縁に有しており、これらの凸部84の上面に当接部48を形成している。
図6に示すプローブ14において、図7に示すように、凸部44及び84を有することなく、第1の領域80の下側の端縁を接触部46としてもよいし、第2の領域82をこれの長手方向における中間において切り欠き86により2つの部材に分離し、各部材の上側の端縁に当接部48を形成してもよい。
また、図6に示すプローブ14において、図8に示すように、凸部46を第1の領域80の先端側に設け、1つの凸部を第2の領域82の後端側に設け、当接部48を第2の領域82及び凸部48の上端縁のそれぞれに設けてもよい。
さらに、図8に示すプローブ14において、図9に示すように、第1の領域80を第2の領域82の側に突出する状態に曲げ、第1の領域80の下側端縁から下方に突出する凸部44の下端縁を接触部46としてもよい。
図5に示すプローブも、針先領域32を、図6に示すプローブと同様に、図7、図8及び図9のような形状としてもよい。
本発明は、液晶表示パネルのみならず、そのガラス基板、有機EL等、他の表示用基板のような他の平板状の被検査体の検査に用いるプローブ及びプローブ組立体にも適用することができる。
本発明は、液晶表示パネルや有機EL等の表示用パネルの検査に用いるプローブ及びプローブ組立体のみならず、集積回路のような他の平板状被検査体の検査に用いるプローブ及びプローブ組立体にも適用することができる。
10 プローブ組立体
12 支持体
14 プローブ
16 ガイドバー
18 スリットバー
20 ガイド部材
22 サイドカバー
30 中央領域
32,34 針先領域
40、70、80 第1の領域
42、72、82 第2の領域
44、74、84 凸部
46 接触部
48 当接部
50 スリット
66 被検査体の電極
12 支持体
14 プローブ
16 ガイドバー
18 スリットバー
20 ガイド部材
22 サイドカバー
30 中央領域
32,34 針先領域
40、70、80 第1の領域
42、72、82 第2の領域
44、74、84 凸部
46 接触部
48 当接部
50 スリット
66 被検査体の電極
Claims (12)
- 帯状の取り付け領域と、該取り付け領域の先端から前方に伸びる針先領域とを備え、前記針先領域は、前記取り付け領域の先端部から伸びて前記取り付け領域の下端縁よりも下方側に突出する状態に変形された第1の領域と、被検査体の電極に押圧される接触部であって前記第1の領域に形成された接触部と、前記第1の領域に一体的に続く第2の領域であって前記支持体側の部材に当接する当接部を前記取り付け領域の長手方向に間隔をおいた少なくとも2箇所に有する第2の領域とを備える、プローブ。
- 前記第1の領域は、U字状、V字状又は弧状に変形されている、請求項1に記載のプローブ。
- 前記第1及び第2の領域は、ほぼ、V字状、菱形又は楕円形の形状を共同して形成している、請求項1に記載のプローブ。
- 前記第1及び第2の領域は、それぞれ、前記V字又は前記U字の下半部及び上半部を形成しており、前記接触部は前記V字又は前記U字の下端縁に形成されており、前記当接部は前記V字又は前記U字の上端縁に形成されている、請求項3に記載のプローブ。
- 前記第1の領域は下方に突出する凸部を有し、前記接触部は前記凸部の下端縁に形成されており、前記第2の領域は、前記第1の領域の両上端部の一方及び他方からそれぞれ先端側及び後端側に伸びる2つの箇所により形成されており、またそれらの箇所のそれぞれに前記当接部を有する、請求項4に記載のプローブ。
- 前記第1及び第2の領域は、それぞれ、前記菱形又は前記楕円の下半部及び上半部を形成しており、前記接触部は前記菱形又は前記楕円の下側端縁に形成されており、前記当接部は前記菱形又は前記楕円の上側端縁に形成されている、請求項3に記載のプローブ。
- 前記第1及び第2の領域は、それぞれ、下方及び上方に突出する第1及び第2の凸部を有し、前記接触部は前記第1の凸部の下端縁に形成されており、前記当接部は前記第2の凸部の上端縁又は前記第2の凸部の側部に形成されている、請求項6に記載のプローブ。
- 前記接触部は前記第1の領域の下端縁に形成されており、前記第2の領域はこれの長手方向における中間において切り欠きにより2つの部材に分離されており、前記当接部は前記各部材の上側端縁に形成されている、請求項5及び6のいずれか1項に記載のプローブ。
- 前記第1の領域は、前記第2の領域の側に突出する状態に曲げられており、また下方に突出する凸部を有しており、前記接触部は前記凸部の下端縁に形成されている、請求項6に記載のプローブ。
- 前記針先領域は、前記取り付け領域の前記一端の下端部から伸びている、請求項1から9のいずれか1項に記載のプローブ。
- 上下方向における前記針先領域の寸法は、前記取り付け領域のそれより小さい、請求項1から10のいずれか1項に記載のプローブ。
- 支持体と、帯状の取付部及び該取付部の先端から前方に伸びる針先領域を備える複数のプローブであって前記取り付け領域の幅方向が上下方向となる状態に前記支持体の下側に前記取り付け領域を対向させて並列的に配置された複数のプローブと、前記取り付け領域を貫通して伸びかつ前記支持体に支持された細長い1以上のガイドバーと、前記支持体の先端側に配置されて前記ガイドバーの長手方向へ伸びるスリットバーであってこれの長手方向に間隔をおいた複数のスリットを有するスリットバーとを含み、前記プローブは、請求項1から11のいずれか1項に記載されたプローブであり、また前記針先領域の一部を前記スリットに受け入れられている、プローブ組立体。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
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- 2004-09-30 JP JP2004286237A patent/JP2006098278A/ja not_active Withdrawn
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JP2007303834A (ja) * | 2006-05-08 | 2007-11-22 | Micronics Japan Co Ltd | プローブ組立体 |
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