JP5363943B2 - 導電性シート及び導電性シートの製造方法並びにプローブカード及び検査装置 - Google Patents
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Description
膜材31は、絶縁性と、ある程度の弾性を有すると共に、塑性変形する性質の合成樹脂シートで構成されている。なお、膜材31に、塑性変形する性質を持たせるのは、エンボス加工により、後述する凸部34を形成するためである。このため、膜材31としては、ある程度弾性を有して、凸部34を形成できると共に絶縁性を有する材料であれば、合成樹脂シート以外の材料でもよい。
次に、上述した導電性シートの製造方法について説明する。
前記実施形態では、導電性シートの製造方法を、膜材31に貫通穴31Aを設ける工程と、膜材31に導電体32を薄膜状に形成する工程と、導電体32を膜材31と共に窪ませて凸部34を形成する工程とから構成したが、各工程の順番を変えてもよい。具体的には、貫通穴31Aを設ける工程の次の2つの工程を入れ替えてもよい。この場合、導電性シート30の凸部34になる部分は、最初に膜材31だけで形成して、その後で導電体32が設けられる。即ち、膜材31を前記貫通穴31Aの部分で一側面から窪ませて他側面へ突出した状態に形成する工程の後に、前記膜材31の貫通穴31Aに当該膜材31の表裏面を貫通させて導電体32を設けると共に前記膜材31の一側面の前記導電体32を薄膜状に形成する工程を設けてもよい。この場合も、前記実施形態同様の作用、効果を奏することができる。
Claims (3)
- 一側に面する回路と他側に面する回路との間に介在されてこれらの回路を1又は複数位置で電気的に導通させる導電性シートであって、
前記各回路に面して各回路の接触位置を覆う膜材と、当該膜材のうち各回路間を導通させる1又は複数の接触位置で、前記膜材の表裏面を貫通させて設けられた導電体とを備え、
前記導電体が、前記膜材の一側面において薄膜状に形成され、当該薄膜状の導電体が前記膜材と共に窪まされて反対側に突出した凸部が形成され、前記導電体の周縁が接触薄膜となり、かつ、前記導電体の一部を前記膜材の他側面の表面に貫通して突出させた接触突起が形成され、
前記凸部が、前記接触薄膜と前記接触突起とを弾性的に支持して各電極に接触させたことを特徴とする導電性シート。 - 一側面にプローブピンを複数備えたコンタクトプローブ基板と、テスタ側に接続されたプリント回路基板と、前記コンタクトプローブ基板の各プローブピンの接点とプリント回路基板の接点とを電気的に接続する導電性シートとを備えたプローブカードであって、
前記導電性シートとして、請求項1に記載の導電性シートを用いたことを特徴とするプローブカード。 - 検査対象物に1又は複数のプローブピンを接触させて検査を行う検査装置において、
前記1又は複数のプローブピンを支持するプローブカードを備え、当該プローブカードとして請求項2に記載のプローブカードを用いたことを特徴とする検査装置。
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