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HINTERGRUND DER ERFINDUNG
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1. Gebiet der Erfindung
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Die
vorliegende Erfindung bezieht sich auf einen Kontaktgeberblock und
eine Vorrichtung zur elektrischen Verbindung unter Verwendung eines Kontaktblattes,
wie z. B. ein Fühlerblatt.
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2. Beschreibung des Standes der Technik
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In
letzter Zeit ist es erwünscht,
dass in einer Vorrichtung zur elektrischen Verbindung, wie z. B.
einer Fühlerkarte,
elektrische Prüfungen
einer Vielzahl von in demselben Halbleiterwafer ausgebildeten integrierten
Schaltungen gleichzeitig ausgeführt
werden können.
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Als
Vorrichtung eines derartigen Typs ist vorgeschlagen worden, eine
Vielzahl von sog. Kontaktgeberblöcken
und/oder Fühlerblöcken herzustellen, in
denen ein Fühlerblatt,
das als Fühlerelement
einen auf einer Isolierfolie geformten Verdrahtungsteil verwendet,
und/oder ein Kontaktblatt in einen Halter montiert werden und solche
Kontaktgeberblöcke
in einen Rahmen (
Japanische
Patentoffenlegungsschrift (KOKAI) 2000-147005 und
2000-150595 ) zu montieren.
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Solch
eine herkömmliche
Art Kontaktgeberblock verwendet ein Kontaktblatt, auf dem in jedem Fühlerelement
eine als Kontaktgeber wirkende Projektionselektrode angeordnet ist,
sowie einen plattenartigen Halter, wobei das Kontaktblatt um den
Halter gewickelt ist. Bei der herkömmlichen Vorrichtung zur elektrischen
Verbindung unter Verwendung solcher Kontaktgeberblöcke ist
eine Vielzahl von Kontaktgeberblöcken
in Abständen
in der Dickenrichtung des Halters in den Rahmen montiert.
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Die
US 2002/0043980 A1 offenbart
einen Kontaktgeberblock gemäß dem oberbegrifflichen
Teil des Anspruches 1. In dessen Rückzugabschnitt ist eine Vielzahl
von Metallspuren zum Anschluss an Verbinder ausgebildet, die auf
der oberen Seite des Kontaktgeberblocks angeordnet sind.
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Die
US 2001/0016437 A1 offenbart
eine elektrische Verbindungsvorrichtung mit einer Vielzahl von Ausnehmungen
an deren Unterseite. In jeder Ausnehmung ist eine Verdrahtung mit
einer an ihrem einen Ende nach unten vorstehenden Projektionselektrode
angeordnet. Die Projektionselektrode wird als Kontaktabschnitt verwendet,
dessen Spitze auf die Elektrode des durch den Kontaktgeberblock
zu verbindenden IC-Chips gedrückt
wird.
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Gemäß den o.
a. herkömmlichen
Kontaktgeberblöcken
ist jedoch kein Platz zur Anordnung eines an eine Quelle anzuschließenden Schaltungselementes,
wie z. B. ein Kondensator, so dass das Schaltungselement in keinem
anderen Element als den Kontaktgeberblöcken angeordnet werden kann, beispielsweise
in dem Rahmen, wo die Kontaktgeberblöcke angeordnet sind. Infolgedessen
sollte ein Durchgang für
Elektrizität
zwischen dem Schaltungselement und den Kontaktgebern zu lang sein,
um eine genaue elektrische Prüfung
durchzuführen.
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ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
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Aufgabe
der vorliegenden Erfindung ist die Bereitstellung eines Kontaktgeberblocks,
worin mindestens ein Schaltungselement angeordnet ist.
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Diese
Aufgabe wird gelöst
mit einem Kontaktgeberblock gemäß Anspruch
1. Bevorzugte Ausführungsformen
der Erfindung sind Gegenstand der abhängigen Ansprüche.
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Ein
Kontaktgeberblock gemäß der vorliegenden
Erfindung umfasst einen schienenartigen Halter mit einer Unterseite
und einem Rückzugabschnitt, der
auf einer an die Unterseite anschließenden Seite ausgebildet ist;
ein Kontaktblatt, das in Längsrichtung des
Halters eine Vielzahl von ersten Kontaktgebern in Abständen aufweist,
wobei die ersten Kontaktgeber im Außenumfang des Halters so angeordnet
sind, dass sie auf der Unterseite gelegen sind; und mindestens ein
Schaltungselement, wie einen an eine Quelle anzuschließenden Kondensator,
der an einer entsprechenden Stelle im Rückzugabschnitt angeordnet ist.
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Der
Halter weist einen oder mehrere dreieckige Flanschabschnitte auf,
die seitwärts
von der Seite vorstehen und eine Bodenfläche auf derselben Ebene wie
die Unterseite aufweisen, und das Kontaktblatt weist eine Verlängerungsfläche auf
der Bodenfläche
und einen in der Verlängerungsfläche angeordneten
Hilfskontakt auf.
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Der
Rückzugabschnitt
kann ein auf einer Seite ausgebildeter, nach unten abgestufter Abschnitt oder
eine zur Unterseite geneigte Schrägseite sein. Durch Anordnen
des Kontaktblatts auf dem Außenumfang
des einen derartigen Rückzugabschnitt
einschließenden
Halters wird ein Rückzugbereich
gebildet, wo eine Stelle des dem Rückzugabschnitt entsprechenden
Kontaktblatts von der Seite zurückgezogen
ist.
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In
dem Kontaktgeberblock mit einem derartigen Rückzugbereich ist zumindest
ein Schaltungselement wie ein Kondensator an einer Stelle des dem Rückzugbereich
entsprechenden Kontaktblatts angeordnet. Selbst wenn eine Vielzahl
der ersten Kontaktgeberblöcke
nebeneinander in Trägermitteln
wie dem Rahmen angeordnet ist, ist es dadurch möglich, nicht nur einen Aufbauabstand
der Kontaktgeberblöcke
um mindestens das Dickenmaß des
Schaltungselementes zu verkleinern, sondern auch eine genaue elektrische
Prüfung
durchzuführen,
weil die elektrischen Pfade zwischen dem Schaltungselement und den
ersten Kontaktgebern verkürzt
werden.
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Der
Halter kann ferner eine Oberseite gegenüber der Unterseite aufweisen,
und das Kontaktblatt kann ferner eine Vielzahl von zweiten Kontaktgebern aufweisen,
die in Längsrichtung
des Halters beabstandet und an den Stellen angeordnet sind, die
denjenigen auf der Oberseite des Halters entsprechen, und eine Vielzahl
von Verdrahtungsabschnitten, die die ersten Kontaktgeber und die
zweiten Kontaktgeber mit einer umkehrbaren Eindeutigkeitsbeziehung elektrisch
verbinden.
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Der
Halter kann ferner eine Vielzahl von Aussparungen aufweisen, die
sich in Längsrichtung
des Halters in dem Anordnungsbereich einer oder mehrerer entsprechender
Kontaktgebergruppen erstrecken, die jeweils zwei oder mehrere der
ersten Kontaktgeber mit individueller Entsprechung einschließen, wobei
die Aussparungen sich zumindest auf der Unterseite öffnen, und
ein oder mehrere Hohlschraubenlöcher,
die jeweils mit der entsprechenden Aussparung in Verbindung stehen,
wobei die Schraubenlöcher
so gemacht sind, dass sie jeder Aussparung entsprechen. In jeder
Aussparung sind eine an die Anordnungsfläche der entsprechenden Kontaktgebergruppen
in dem Kontaktblatt angrenzende elastische Platte und eine an die
Oberseite der elastischen Platte angrenzende Druckplatte angeordnet,
und in jedem Schraubenloch kann eine an die obere Platte der Druckplatte
angrenzende Justierschraube angeordnet sein. Mit einer derartigen
Anordnung kann der Auskragungsumfang des Kontaktgebers von dem Halter
durch Einstellen der Einschraubtiefe der Justierschraube in das
Hohlschraubenloch eingestellt werden, so dass die Höhenstellung
der Kontaktgeber bezüglich
des Halters für
jede Kontaktgebergruppe eingestellt werden kann.
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Anstelle
des Vorstehenden ist es möglich, dass
der Halter ferner eine Vielzahl von Aussparungen aufweist, die sich
in Abständen
in Längsrichtung des
Halters erstrecken und zumindest auf der Unterseite öffnen, und
eine Vielzahl von Hohlschraubenlöchern
aufweist, die mit den entsprechenden Aussparungen in Verbindung
stehen, wobei die Schraubenlöcher
so gemacht sind, dass sie jeweiligen Aussparungen entsprechen, dass
in jeder Aussparung eine an das Kontaktblatt angrenzende elastische
Platte und eine an die elastische Platte angrenzende Druckplatte
angeordnet sind, und dass eine an die Oberseite der Druckplatte
angrenzende Justierschraube in jedem Schraubenloch angeordnet sein
kann. Selbst dabei kann der Auskragungsumfang der Kontaktgeber von
dem Halter durch Einstellen der Einschraubtiefe der Justierschraube
in die Hohlschraube eingestellt werden, so dass die Höhenstellung
der Kontaktgeber bezüglich
des Halters für
jede in einer Auflagefläche
gelegene Kontaktgebergruppe eingestellt werden kann.
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Das
Kontaktblatt schließt
ein Isolierfolienteil und eine Vielzahl von Verdrahtungsabschnitten
ein, die parallel in dem Folienteil angeordnet sind, worin der erste
Kontaktgeber an einem Endabschnitt der Verdrahtung angeordnet ist
und der Folienteil eine Vielzahl von Schlitzen aufweisen kann, die
den Endabschnitt der Verdrahtung, der den ersten Kontaktgeber anordnet,
als Fühlerelement
wirken lassen.
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Die
Vorrichtung zur elektrischen Verbindung gemäß der vorliegenden Erfindung
umfasst einen oder mehrere Kontaktgeberblöcke wie den oben erwähnten und
Trägermittel,
auf denen die Kontaktgeberblöcke
parallel mit jedem ihrer ersten Kontaktgeber nach unten angebracht
sind. Durch diese Vorrichtung zur elektrischen Verbindung kann auch
eine ähnliche
Tätigkeit
und Wirkung wie bei dem oben erwähnten
Kontaktgeberblock erhalten werden.
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Die
Trägermittel
können
einen Rahmen einschließen,
auf dem eine Vielzahl von Kontaktgeberblöcken parallel mit jedem ihrer
ersten Kontaktgeber nach unten montiert sind, und eine Verdrahtungsplatte
einschließen,
die eine Vielzahl von Verdrahtungsabschnitten aufweist und den Rahmen
an deren Unterseite anbringt.
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KURZBESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
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1 ist
eine Perspektivansicht, die ein Beispiel einer Vorrichtung zur elektrischen
Verbindung zeigt.
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2 ist
eine Perspektivansicht, die ein Beispiel des Kontaktgeberblocks
zeigt.
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3 ist
eine Unteransicht des in 2 gezeigten Kontaktgeberblocks.
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4 ist
eine Vorderansicht des in 2 gezeigten
Kontaktgeberblocks.
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5 ist
eine vergrößerte Draufsicht
eines Teils des in 2 gezeigten Kontaktgeberblocks.
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6 ist
eine vergrößerte Vorderansicht
eines Teils des in 2 gezeigten Kontaktgeberblocks.
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7 ist
eine Schnittansicht entlang der Linie 7-7 in 5.
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8 ist
eine vergrößerte Unteransicht
eines Teils des in 2 gezeigten Kontaktgeberblocks.
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9 ist
eine Schnittansicht entlang der Linie 9-9 in 7.
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10 ist
eine Schnittansicht, die ein Beispiel der Verdrahtungsplatte und
des Kontaktgeberblocks in elektrisch verbundenem Zustand zeigt.
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11 ist
eine Teilperspektivansicht, die eine Ausführungsform des Kontaktgeberblocks
gemäß der vorliegenden
Erfindung zeigt.
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12 ist
eine vergrößerte Unteransicht
eines Teils des in 11 gezeigten Kontaktgeberblocks.
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13 ist
eine Schnittansicht ähnlich 9 des
in 11 gezeigten Kontaktgeberblocks.
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14(A) und 14(B) sind
Ansichten, die Anordnungsbeispiele von Anschlusselektroden in den
integrierten Schaltungen als zu inspizierendes Material zeigen,
wobei 14(A) ein erstes Beispiel zeigt
und 14(B) ein zweites Beispiel zeigt.
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15 ist
eine Draufsicht, die ein Beispiel des verbindenden Kontaktgeberblocks
zeigt.
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BEVORZUGTE AUSFÜHRUNGSFORM
DER ERFINDUNG
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1 bis 10 werden
zur Darstellung bestimmter Merkmale der Erfindung verwendet, sind aber
nicht Teil der Erfindung.
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Unter
Bezugnahme auf 1 ist die Vorrichtung 10 zur
elektrischen Verbindung beschaffen, um als Fühlerkarte in einem Prüfgerät zur gleichzeitigen Durchführung elektrischer
Prüfungen
mehrfacher rechteckiger integrierter Schaltungen, wie z. B. die auf
einem Halbleiterwafer ausgebildeten integrierten Schaltungen 12,
verwendet zu werden, die in 14 gezeigt
sind.
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Integrierte
Schaltungen als zu inspizierende Objekte können so beschaffen sein, dass
sie ein geeignetes Anordnungsmuster von Elektroden aufweisen, wie
z. B. eines mit einer Vielzahl von Anschlusselektroden 14 in
einer Reihe in Abständen
in Längsrichtung
an dem der Breite nach mittigen Abschnitt der integrierten Schaltung 12,
wie in 14(A) gezeigt, oder wie eines,
das ferner Anschlusselektroden 18 an beiden Enden in der
Breitenrichtung an dem der Länge
nach mittigen Abschnitt der integrierten Schaltung 16 aufweist,
wie in 14(B) gezeigt.
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Die
Vorrichtung 10 zur elektrischen Verbindung umfasst eine
scheibenförmige
Verdrahtungsplatte 20 aus Isoliermaterial, einen in die
Unterseite der Verdrahtungsplatte 20 eingebauten Rahmen 22 und
eine Vielzahl von langen Kontaktgeberblöcken 24, die parallel
in den Rahmen 22 eingebaut sind.
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Die
Verdrahtungsplatte 20, wie in 10 gezeigt,
weist eine Vielzahl von Prüfgerät-Anschlussflächen (nicht
gezeigt), eine Vielzahl von elektrisch mit den Kontaktgeberblöcken 24 verbundenen
Projektionselektroden 26 und eine Vielzahl von elektrisch
mit den Prüfgerät- Anschlussflächen und
den Projektionselektroden 26 eins zu eins verbundenen Verdrahtungsabschnitten 28 auf.
Die Projektionselektrode 26 hat eine konische (oder pyramidenförmige) Spitze.
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Der
Rahmen 22 ist mit einer rechteckigen Form gestaltet, so
dass er eine rechteckige Öffnung bildet,
und ist mit einer Vielzahl von Schraubenelementen 30 auf
der Verdrahtungsplatte 20 montiert. Die Kontaktgeberblöcke 24 sind
so montiert, dass sie sich mit einer Vielzahl von Schraubenelementen 32 parallel
zueinander in die Unterseite des Rahmens 22 erstrecken.
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Im
Folgenden wird ein Beispiel der Kontaktgeberblöcke 24 erläutert, die
auf die integrierte Schaltung 12 mit dem Elektrodenanordnungsmuster anzuwenden
sind, wie in 14(A) gezeigt.
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Jeder
Kontaktgeberblock 24 schließt ein: einen schienenartigen
Halter 34, eine auf der Oberseite des Halters 34 angeordnete
bandartige elastische Platte 36, einen in überlapptem
Zustand auf der elastischen Platte 36 angeordneten bandartigen
Abstandshalter 38, ein Kontaktblatt 40, das um
den Außenumfang
einer Halteranordnung gewickelt ist, in die der Halter 34,
die elastische Platte 36 und der Abstandshalter 38 einander überlappend
gelegt sind, und eine Vielzahl von Schaltungselementen 42 wie an
eine Quelle angeschlossene Kondensatoren.
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Der
Halter 34 hat eine im Querschnitt weitgehend trapezförmige Gestalt
mit zwei schräg
von der Unterseite und jedem Breitenendabschnitt der Unterseite
ansteigenden Schrägseiten,
wobei die vertikale Seite von jeder Schrägseite und der Oberseite gegenüber der
Unterseite ansteigt. Diese Stirnflächen sind in Längsrichtung
des Halters 34 durchgehend ausgebildet, mit Ausnahme der
beiden Endflächen des
Halters 34.
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Auf
der Unterseite, beiden Schrägseiten
und beiden vertikalen Seiten des Halters 34 sind jeweils ein
oder mehrere Klebstoffdepots 44 ausgebildet. Jedes Klebstoffdepot 44 öffnet sich
in der entsprechenden Stirnfläche
und ist in Längsrichtung
des Halters 34 durchgehend ausgebildet, mit Ausnahme der
beiden Endflächen
des Halters 34. Jedes Klebstoffdepot 44 wird benutzt,
um Klebstoff zur Anbringung des Kontaktblatts 40 am Halter 34 zu
bevorraten.
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Der
Halter 34 weist auch ein Paar einer Vielzahl von ersten
Aussparungen 46 auf, die sich nach unten öffnen, und
eine Vielzahl von zweiten Aussparungen 48, die mit den
ersten Aussparungen 46 in Abständen in Längsrichtung des Halters 34 in
der Fläche
in Verbindung stehen, ausgenommen die beiden Endflächen. Die
paarigen ersten und zweiten Aussparungen 46 und 48 sind
ausgebildet, um den Halter 34 in seiner Dickenrichtung
zu durchdringen. Die Breitenabmessung der ersten Aussparung 46 ist größer als
diejenige der zweiten Aussparung 48.
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In
jeder ersten Aussparung 46 ist eine elastische Platte 50 eines
Rechteck-Parallelepipeds wie eine rechteckige Gummiplatte mit weitgehend
derselben Breitenabmessung wie diejenige der zweiten Aussparung 48 so
angeordnet, dass sie an das Kontaktblatt 40 angrenzt. In
jeder zweiten Aussparung 48 ist eine Druckplatte 52 angeordnet.
Die elastische Platte 50 und die Druckplatte 52 erstrecken
sich in Längsrichtung
des Halters 34.
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Der
Halter 34 weist ferner an jedem Längsendabschnitt jeder zweiten
Aussparung 48 ein Hohlschraubenloch 54 auf. In
jedes Hohlschraubenloch 54 ist eine Justierschraube 56 eingeschraubt.
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Die
elastische Platte 36 und der Abstandshalter 38 des
Kontaktgeberblocks 24 erstrecken sich in Längsrichtung
des Halters 34 und weisen jeweils eine Vielzahl von Löchern 58, 58 auf,
die der zweiten Aussparung 48 individuell entsprechen.
Jedes Loch 58 hat annähernd
dieselbe Längenabmessung
wie diejenige der zweiten Aussparung 48.
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Das
Kontaktblatt 40 ist mit einem rechteckig geformten Film 60 aus
einem Isoliermaterial wie Polyimid und einer Vielzahl von Verdrahtungsabschnitten 62 versehen,
die parallel auf dem Film 60 geformt sind, so dass sie
sich der Breite nach in Abständen
in Längsrichtung
des Films 60 erstrecken.
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Die
Verdrahtungsabschnitte 62, wie in 9 gezeigt,
erstrecken sich vom Mittelabschnitt aus in Breitenrichtung des Films 60 zu
den Breitenendabschnitten hin und sind in Längsrichtung des Films 60 beabstandet.
In solchen Verdrahtungsabschnitten 62, wie in 8 und 9 gezeigt,
gibt es Verdrahtungsabschnitte, die sich vom Mittelabschnitt des Films 60 aus
der Breite nach zu einem Endabschnitt hin erstrecken, und Verdrahtungsabschnitte,
die sich abwechselnd in Längsrichtung
des Films 60 zum anderen Endabschnitt hin erstrecken.
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Jeder
Verdrahtungsabschnitt 62, wie in 9 gezeigt,
ist derart ausgebildet, dass Verdrahtungsflächen 62a und 62b in
der Mitte und die Endabschnitte in der Breitenrichtung des Films 60 auf einer
Seite des Films 60 ausgebildet sind, Verdrahtungsflächen 62c zwischen
den Verdrahtungsflächen 62a, 62b auf
der anderen Seite des Films 60 ausgebildet sind und die
Verdrahtungsflächen 62a, 62b und 62c durch
einen leitenden Abschnitt wie eine auf dem Film 60 ausgebildete
Durchgangsöffnung
elektrisch verbunden sind.
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Am
Vorderende der Verdrahtungsfläche 62a jedes
Verdrahtungsabschnitts 62 sind Projektionskontaktgeber 64 mit
einer konischen, poly-pyramidenförmigen
oder halbkreisförmigen
Gestalt durch eine Vielzahl von plattenartigen Sitzen 66 ausgebildet.
Die Kontaktgeber 64 sind in einer Reihe in Längsrichtung
durch die Breitenmitte des Films 60 hindurch ausgerichtet.
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Der
Film 60 weist einen U-förmigen
oder einseitig offenen rechteckigen Schlitz 70 auf, um
den Vorderendenabschnitt der Verdrahtungsfläche 62a jedes Verdrahtungsabschnitts 62 als
Fühlerelement 68 wirken
zu lassen. Demgemäß sind angrenzende Fühler 68 unabhängig voneinander
elastisch verformbar gemacht.
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Demgegenüber sind
am Vorderende der Endabschnittsfläche 62b jedes Verdrahtungsabschnitts 62,
wie in 10 gezeigt, an die Projektionselektroden 26 der
Verdrahtungsplatte 20 anzuschließende Verbindungskontaktgeber 72 ausgebildet.
Der Abstandshalter 38 und der Film 60 haben Löcher 74, 74, damit
sich die Verbindungskontaktgeber 72 elastisch leicht verformen
können,
wenn jeder Kontaktgeber 72 von der Projektionselektrode 26 gedrückt wird.
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Es
ist vorzuziehen, als Verbindungskontaktgeber 72 einen zu
verwenden, der sich elastisch verformen kann, wenn er von der Projektionselektrode 26 gedrückt wird.
Es kann jedoch jede andere Art Verbindungskontaktgeber 72 verwendet
werden, wie z. B. eine flache, plattenartige Anschlussfläche, eine Durchgangsöffnung etc.
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Auf
dem Film 60 ist eine Vielzahl von Elektrodenplatten 76 zum
Anschluss an eine Erdung der Quelle in Abständen in Längsrichtung des Halters 34 zwischen
den Verdrahtungsflächen 62a und 62b angeordnet.
Daher sind die Kontaktgeber 64 so gemacht, dass sie der
ersten und zweiten Aussparung 46 und 48 entsprechen,
und sind in eine Vielzahl von in Längsrichtung des Halters 34 beabstandeten
Kontaktgebergruppen geteilt. Jede Elektrodenplatte 76 ist
so angeordnet, dass sie der ersten und zweiten Aussparung 46 und 48 des
Halters 34 entspricht.
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Das
Kontaktblatt 40 ist um die Halteranordnung gewickelt, wobei
der Halter 34, der elastische Körper 36 und der Abstandshalter 38 übereinander gelagert
und an die Halteranordnung geklebt sind, so dass der Kontaktgeber 64 nach
unten vorsteht und das Fühlerelement 68 der
ersten Aussparung 46 gegenüberliegt. In diesem Zustand
ist das Schaltungselement 42 an einer entsprechenden Position
der Schrägseite
des Halters 34 gelegen.
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Der
Halter 34 und das Kontaktblatt 40 sind in diesem
Zustand mit einer Vielzahl von in dem Halter 34 vorgesehenen
Anschlagstiften 78 an jedem einer Vielzahl von Abschnitten
auf der Unterseite und an einer Vielzahl von Abschnitten auf der
Oberseite des Halters positioniert. Die Anschlagstifte 78 auf
der Oberseite durchdringen den elastischen Körper 36 und den Abstandshalter 38.
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An
jedem Endabschnitt des Halters 34 sind ein vom Querschnitt
her L-förmiger
Schlitz 80, ein abgestufter Abschnitt 82, Hohlschraubenlöcher 84, 86 und
eine Einbringbohrung 88 ausgebildet. Das Hohlschraubenloch 84 ist
in einem vom Schlitz 80 durchtrennten Abschnitt ausgebildet,
und das Hohlschraubenloch 86 und die Einbringbohrung 88 sind
in dem abgestuften Abschnitt 82 ausgebildet.
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Die
Justierschraube 90 ist mit ihrem Vorderende an einem Teil
der Unterseite des Schlitzes 80 anliegend in das Hohlschraubenloch 84 eingeschraubt.
Die Justierschraube 90 kann die Vorsprungshöhe der Fläche vom
Schlitz 80 zur zentralen Seite durch Einstellen der Einschraubtiefe
in die Hohlschraube 84 einstellen.
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Eine
Befestigungsschraube (nicht gezeigt) zur Befestigung des Kontaktgeberblocks 24 am
Rahmen 22 ist in das Hohlschraubenloch 86 eingeschraubt.
Die Einbringbohrung 88 nimmt einen im Rahmen 22 vorgesehenen
Anschlagstift (nicht gezeigt) auf, wenn der Kontaktgeberblock 24 am
Rahmen 22 montiert wird.
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Der
Kontaktgeberblock 24 ist am Rahmen in einem Zustand montiert,
dass der abgestufte Abschnitt 82 am Rahmen 22 anliegt.
Die Höhenstellung des
Kontaktgebers bezüglich
des Rahmens 22 kann durch Einstellen der Einschraubtiefe
der Justierschraube 90 in das Hohlschraubenloch 84 und
auch durch Einstellen der Einschraubtiefe der Justierschraube 56 in
das Hohlschraubenloch 54 für jede Kontaktgebergruppe eingestellt
werden.
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Da
bei dem Kontaktgeberblock 24 und der diesen verwendenden
Vorrichtung 10 zur elektrischen Verbindung das Schaltungselement 42 an
einer entsprechenden Position auf der Schrägseite angeordnet ist, ist
es, selbst wenn eine Vielzahl von Kontaktgeberblöcken 24 nebeneinander
auf dem Rahmen 22 angeordnet ist, möglich, nicht nur den Anordnungsabstand
der Kontaktgeberblöcke 24 mindestens
um das Dickenmaß des
Schaltungselementes 42 zu verringern, sondern auch den
elektrischen Pfad zwischen dem Schaltungselement 42 und
dem Kontaktgeber 64 zu verkürzen und dadurch eine genaue
elektrische Prüfung
durchzuführen.
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Die
Einstellung der Höhe
des Kontaktgebers 64 durch die Justierschrauben 56, 90 kann
zu geeigneten Zeiten erfolgen, wie z. B. nach ihrem Einbau in die
Kontaktgeber-Montagegruppe 24, nach ihrem Einbau in die
Vorrichtung 10 zur elektrischen Verbindung, nach Einbau
der Vorrichtung 10 zur elektrischen Verbindung in einen
Untersucher etc. Ferner ist es möglich,
die Höhe
des Kontaktgebers 64 während
der elektrischen Prüfung
mit den Justierschrauben 56, 90 einzustellen.
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Durch
Erhöhen
der Einschraubtiefe der Justierschraube 56 in das entsprechende
Hohlschraubenloch 54 zum Einstellen der Höhe des Kontaktgebers 64 durch
die Justierschraube 56 wird die elastische Platte 50 durch
die Druckplatte 52 gegen das Kontaktblatt 40 gedrückt, um
das Kontaktblatt 40 elastisch nach unten zu verformen,
und senkt dadurch die Höhenstellung
des Kontaktgebers 64 ab.
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Wenn
die Einschraubtiefe der Justierschraube herabgesetzt wird, drückt das
Kontaktblatt 40 andererseits die elastische Platte 50 und
die Druckplatte 52 durch seine eigene Federkraft oder den
Kontaktdruck nach oben und erhöht
dadurch die Höhenstellung
des Kontaktgebers 64.
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Wenn
die Einschraubtiefe einer Justierschraube 90 in ein entsprechendes
Hohlschraubenloch 84 erhöht wird, wird die zentrale
Fläche
des Halters 34 genauso heruntergeschoben, um elastisch nach
unten verformt zu werden, wodurch die Höhenstellung des Kontaktgebers 64 abgesenkt
wird. Wenn die Einschraubtiefe der Justierschraube 90 herabgesetzt
wird, wird der Halter 34 durch seine eigene Federkraft
nach oben verlagert und hebt dadurch die Höhenstellung des Kontaktgebers 64 an.
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Im
Folgenden wird eine Ausführungsform
eines geeigneten Kontaktgeberblocks 100 erläutert, der
in einer elektrischen Prüfung
der in 14(B) gezeigten integrierten
Schaltungen verwendet wird.
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Unter
Bezugnahme auf 11-13 ist der
Halter 34 in dem Kontaktgeberblock 100 ferner auf
jeder Schrägseite
an jedem entsprechenden Abschnitt zwischen den angrenzenden ersten
und zweiten Aussparungen 46 und 48 mit einem dreieckigen Anschlagabschnitt 102 versehen,
wobei der Anschlagabschnitt 102 seitwärts von der Schrägseite vorsteht,
und das Kontaktblatt 40 ist ferner mit einer auf der Bodenfläche jedes
Anschlagabschnitts 102 angeordneten Verlängerungsfläche 104 und
einem in der Verlängerungsfläche 104 angeordneten
Hilfskontakt 106 versehen.
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Die
Bodenfläche
jedes Anschlagabschnitts 102 ist auf derselben Ebene wie
die Unterseite des Halters 34. Jede Verlängerungsfläche 104 ist
durch Vorsehen eines wie die Verlängerungsfläche 104 an dem Film 60 ausgebildeten
Schlitzes geformt. Der Hilfskontakt 106 wird durch die
in 14(B) zum Zeitpunkt einer elektrischen
Prüfung
gezeigte Anschlusselektrode 18 gedrückt.
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Ähnlich wie
die Verdrahtung 62 ist jeder Hilfskontakt 106 an
einem Hilfsverdrahtungsabschnitt 108 vorgesehen, der durch
einen Sitz 110 hindurch auf dem Film 60 so ausgebildet
ist, dass er sich vom Mittelabschnitt des Films der Breite nach
zu den Breitenendabschnitten erstreckt. Ähnlich wie das Fühlerelement 68 sind
das Vorderende jedes Hilfsverdrahtungsabschnitts 108 und
der Hilfskontakt 106 dazu gemacht, ein Hilfsfühlerelement 114 zu
sein, das unabhängig
elastisch verformbar ist.
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In
dem Kontaktgeberblock 100 weist jeder Anschlagabschnitt 102 des
Halters 34 eine dritte und eine vierte Aussparung 116, 118 auf,
die den Anschlagabschnitt 102 in gegenseitigem Zusammenwirken
in der Dickenrichtung und ein Hohlschraubenloch 120 durchdringen.
In jeder der dritten und vierten Aussparung 116, 118 ist
ein stäbchenartiger
elastischer Körper 122 aus
Gummi so angeordnet, dass er die Verlängerungsfläche 104 berührt.
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Der
elastische Körper 122 reicht
von der dritten Aussparung 116 durch die zweite Aussparung 118 hindurch
zu einem Teil des Hohlschraubenlochs 120. Die Justierschraube 124 ist
in das Hohlschraubenloch 120 eingeschraubt. Dies ermöglicht es,
die Höhenstellung
der Verlängerungsfläche 104 und
darüber
hinaus des Hilfskontakts 106 durch Einstellen der Einschraubtiefe
der Justierschraube 124 in das Hohlschraubenloch 120 einzustellen.
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Die
elastische Platte 36 bzw. der Abstandshalter 38 weisen
Löcher 126, 126 zum
Einsetzen des vorderen Endes eines Werkzeugs zum Anziehen der Justierschraube 124 auf.
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Sowohl
der Kontaktgeberblock 100 als auch eine Vorrichtung zur
elektrischen Verbindung unter Verwendung desselben arbeiten ähnlich und
ermöglichen ähnliche
Tätigkeiten
und Wirkungen wie der Kontaktgeberblock 24 und die Vorrichtung
zur elektrischen Verbindung unter Verwendung desselben.
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In
jeder der vorstehenden Ausführungsformen
dient die Schrägseite
in der vorliegenden Erfindung als Rückzugabschnitt. Der Rückzugabschnitt kann
in der vorliegenden Erfindung jedoch eine Aussparung, ein mit Nuten
versehener Abschnitt oder dergleichen mit einem nach unten abgestuften
Abschnitt sein, solange er nicht nur auf der Schrägseite, sondern
auch zumindestens auf der Seite ausgebildet ist.
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Im
Folgenden wird eine Ausführungsform
eines Verbindungskontaktgebers 72 erläutert.
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Unter
Bezugnahme auf 15 ist der Verbindungskontaktgeber 72 einstückig mit
dem Verdrahtungsabschnitt 62 des Kontaktblatts 40 auf
dem Film ausgebildet. Es ist jedoch möglich, den Verbindungskontaktgeber 72 getrennt
von dem Verdrahtungsabschnitt 62 zu formen und den Verbindungskontaktgeber 72 auf
dem Verdrahtungsabschnitt 62 zu montieren.
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Der
Verbindungskontaktgeber 72 schließt eine augenförmige Basis 130,
die größer ist
als das Loch 74 des in 10 gezeigten
Films 60, und ein Paar freitragend von der Basis 130 weg
verlaufende Kontaktelemente 132 ein und ist aus einem allgemein leitenden
Metallmaterial einstückig
wie ein dünnes Plattenprofilteil
hergestellt. In diesem Beispiel ist das Loch 74 des Films 60 auch
augenförmig.
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Die
Basis 130 weist in ihrer Mitte eine ellipsenförmige oder
elliptische Öffnung 134 auf.
Die Öffnung 134 ist
durch ein Paar bandartige, lange Teilabschnitte 136 gebildet,
die sich in der Richtung der großen Achse erstrecken, und ein
Paar kurze Teilabschnitte 138, die sich in der Richtung
der kleinen Achse erstrecken.
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Beide
Kontaktelemente 132 sind symmetrisch nacheinander um die
Mitte der Öffnung 134 ausgebildet.
Jedes Kontaktelement 132 schließt ein Paar bandartige Armabschnitte 140 ein,
die sich in der Richtung der großen Achse der Öffnung 134 entlang
der Innenseite des langen Teilabschnitts 136 der Basis 130 erstrecken,
und einen Ankerabschnitt 142, der sich in der Richtung
der kleinen Achse der Öffnung
vom vorderen Endabschnitt jedes Armabschnitts 140 entlang
der Innenseite des Armabschnitts 140 erstreckt.
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Jeder
Ankerabschnitt 142 erstreckt sich vom Stoßabschnitt
mit dem Armabschnitt 140 in der Erstreckungsrichtung des
Armabschnitts 140 in einer bogenartigen Form vorwärts und
rückwärts, was
den bogenförmigen
Innenrandabschnitt zu einem mit den Seiten des konischen Kopfabschnitts
der Projektionselektrode 26 in Kontakt zu bringenden Kontaktrandabschnitt 144 macht
und den Kontaktrandabschnitt 144 zur Mittenseite der Öffnung 134 hinführt, um
einen Empfangsraum 146 zur Aufnahme des Vorderendenabschnitts
einschließlich
des konischen Kopfabschnitts der Projektionselektrode zu formen.
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Die
Kontaktrandabschnitte 144 beider Ankerabschnitte 142 haben
denselben Krümmungsradius. Beide
Kontaktrandabschnitte 144 sind in der Richtung jedoch verhältnismäßig verlagert,
um beide Enden des Kontaktrandabschnitts 144 zu verknüpfen (in Richtung
der kleinen Achse der Öffnung 134).
In der Abbildung sind beide Kontaktrandabschnitte 44 so versetzt,
dass der Endabschnitt der näher
am Stoßabschnitt
des Armabschnitts 140 und der Basis 130 befindlichen
Seite näher
zur Mittenseite der Öffnung 134 kommt
als der Endabschnitt der weiter vom Stoßabschnitt befindlichen Seite.
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Da
der Verbindungskontaktgeber 72 selbst planar ist, kann
er unter Verzicht auf die Verwendung eines komplizierten Verfahrens
wie Plattierungstechnik, Ätztechnik
oder dergleichen ähnlich
wie der Verdrahtungsabschnitt 62 durch ein einfaches Verfahren hergestellt
werden, das eine geeignete Maske verwendet, wie z. B. die aus Photolack
gemachte Maske.
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Wie
in 10 gezeigt, nimmt der Verbindungskontaktgeber 72 mit
der Verdrahtungsplatte 20 und den Kontaktgeberblöcken 24,
die gegenseitig montiert sind, den konischen Kopfabschnitt der Projektionselektrode,
insbesondere das Vorderende (Spitze), in einem Empfangsraum 146 auf.
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Dadurch
werden die Seiten des konischen Kopfabschnitts der Projektionselektrode 26 von
dem Kontaktrandabschnitt 144 des Verbindungskontaktgebers 72 gedrückt, und
der Verbindungskontaktgeber 72 wird vornehmlich am Armabschnitt 140 jedes Kontaktelementes 132 elastisch
verformt. Daher werden der Verbindungskontaktgeber 72 und
die Projektionselektrode 26 in Kontakt gebracht und Kontaktabdrücke vom
Verbindungskontaktgeber 72 auf den Seiten des konischen
Kopfabschnitts der Projektionselektrode 26 ausgebildet.
Die Spitze der Projektionselektrode 26 wird jedoch nicht
von dem Verbindungskontaktgeber 72 gedrückt, so dass die Spitze nicht
zusammengedrückt
wird.
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Wenn
das Kontaktelement 132 in Rotationssymmetrie um die Mitte
der Öffnung 134 ausgebildet ist
oder wenn der bogenförmige
Kontaktrandabschnitt 144 zur Mittenseite der Öffnung 134 gerichtet
ist, wird der relative Standort des Verbindungskontaktgebers 72 und
der Projektionselektrode 26 durch das Kontaktelement 132 bestimmt,
so dass die Spitze der Projektionselektrode 26 nicht mit
dem Verbindungskontaktgeber 72 in Kontakt kommen wird und
der Verbindungskontaktgeber 72 und die Projektionselektrode 26 sicherer
in Kontakt gebracht werden.
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Wenn
sich der Kontaktrandabschnitt 144 ferner in einer bogenartigen
Form vom Stoßabschnitt des
Armabschnitts 140 und des Ankerabschnitts 142 vorwärts und
rückwärts in Erstreckungsrichtung
des Armabschnitts 140 erstreckt, erstreckt sich der Kontaktrandabschnitt 144 des
Ankerabschnitts 142 entlang der Seite der Elektrode, wobei
er der elastischen Verformung des Armabschnitts 140 folgt,
wenn der Kontaktrandabschnitt 144 von der Projektionselektrode 26 gedrückt wird,
und kommt dadurch sicherer mit der Projektionselektrode 26 in
Kontakt.
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Wenn
der Kontaktrandabschnitt 144 ferner in der Richtung der
kleinen Achse der Öffnung 134 verhältnismäßig versetzt
wird, kommt der Kontaktrandabschnitt 144 von dem auf der
Mittenseite der Öffnung 134 gelegenen
Endabschnitt aus allmählich mit
den Seiten des konischen Kopfabschnitts der Projektionselektrode 26 in
Kontakt, wobei er der elastischen Verformung des Armabschnitts 140 folgt,
und schließlich
wird der Kontaktrandabschnitt 144 mit der Projektionselektrode 26 in
Kontakt gebracht, um einen Teil einer Spirale zu bilden und infolgedessen
sicherer mit der Projektionselektrode 26 in Kontakt gebracht
zu werden.
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Insbesondere
wenn beide Kontaktrandabschnitte 144 verhältnismäßig derart
verlagert werden, dass der näher
am Stoßabschnitt
des Armabschnitts 140 und der Basis 130 liegende
Endabschnitt der Kontaktrandabschnitte 144 näher zur Mittenseite
der Öffnung 134 gelangt
als der Endabschnitt auf der Seite weiter weg vom Stoßabschnitt,
kommt der näher zur
Mitte der Öffnung 134 gelegene
Endabschnitt der Kontaktrandabschnitte 144 zuerst mit der
Seite der Projektionselektrode 114 in Kontakt, während die
andere Endseite nicht mit der Projektionselektrode 26 in
Kontakt ist, so dass die Ankerabschnitte 142 mit der elastischen
Verformung des Armabschnitts 140 sicher derart verformt
werden, dass der Kontaktrandabschnitt 144 einen Teil einer
Spirale bildet, wodurch der Kontaktrandabschnitt 144 sicherer
mit der Projektionselektrode 26 in Kontakt kommt.
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Die
vorliegende Erfindung kann auch auf ein anderes zu inspizierendes
Material als eine integrierte Schaltung angewendet werden, z. B.
auf einen Kontaktgeberblock und eine Vorrichtung zur elektrischen
Verbindung zur Verwendung für
eine elektrische Prüfung
einer Anzeigetafel, wie z. B. eine Flüssigkristall-Anzeigetafel.
Insbesondere wenn die vorliegende Erfindung auf eine elektrische
Prüfung
einer Anzeigetafel angewendet wird, können anstelle einer Verdrahtungsplatte
und eines Rahmens andere Trägermittel
als Trägermittel
zur Montage eines spezifischen Bereiches für einen Kontaktgeberabschnitt verwendet
werden.
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Die
vorliegende Erfindung ist nicht auf die vorstehenden Ausführungsformen
beschränkt,
sondern kann verschiedenartig modifiziert werden.