JP2005265662A - プローブカード - Google Patents
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Abstract
【構成】 プローブカードAは、測定対象Bの図外の測定装置のセンシング部分であって、測定装置のプローバに保持され、これにより測定対象Bと対向配置される支持基板100と、この支持基板100の表面上に形成される半円弧状の複数のプローブ200と、支持基板100に設けられた略1/4円弧状の部材であり且つ当該支持基板100のプローブ配設面とプローブ200の頂部の反対面との間に位置する補強板300とを具備している。
【選択図】 図1
Description
100 基板
200 プローブ
210 第1の湾曲部
220 第2の湾曲部
300 補強板
B 測定対象
10 電極
Claims (4)
- 支持基板と、この支持基板に設けられた上下方向に弾性変形可能な部材であり且つ当該支持基板の面方向に向けて湾曲した第1の湾曲部を有する片持ち状のプローブと、前記支持基板のプローブ配設面に設けられた略1/4円弧状の部材であり且つ当該支持基板のプローブ配設面と前記プローブの湾曲部の支持基板対向面との間に位置する補強板とを具備することを特徴とするプローブカード。
- 請求項1記載のプローブカードにおいて、前記プローブは、半円弧状のプローブであって、一端が支持基板に支持された略1/4円弧状の前記第1の湾曲部と、この第1の湾曲部の他端と連設されており且つ当該第1の湾曲部より若干短くされた略1/4円弧状の第2の湾曲部とを有しており、当該プローブのほぼ中心位置の頂部が測定対象の電極に接触する接触面となっていることを特徴とするプローブカード。
- 請求項1記載のプローブカードにおいて、前記プローブは一端が支持基板に支持された略1/4円弧状であり、このプローブの頂部が測定対象の電極に接触する接触面となっていることを特徴とするプローブカード。
- 請求項2又は3記載のプローブカードにおいて、前記プローブの頂部には、突起状の接触端子が設けられていることを特徴とするプローブカード。
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JP2004079586A JP4056983B2 (ja) | 2004-03-19 | 2004-03-19 | プローブカード |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015132478A (ja) * | 2014-01-09 | 2015-07-23 | 本田技研工業株式会社 | 電流印加装置及び半導体素子の製造方法 |
JP6048998B1 (ja) * | 2016-06-17 | 2016-12-21 | 上野精機株式会社 | 電子部品検査装置 |
CN114779055A (zh) * | 2022-06-20 | 2022-07-22 | 西安交通大学城市学院 | 一种电气控制板自动化检测设备 |
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- 2004-03-19 JP JP2004079586A patent/JP4056983B2/ja not_active Expired - Fee Related
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