JP2012233723A - プローブ装置及びプローブユニット - Google Patents

Abstract

【課題】配線シートの配線と該配線に対応した接続シートの配線とを確実に接続させる。
【解決手段】プローブ装置は、被検査体の電極に接触する多数のプローブと、該プローブに電気的に接続した配線シートと、該配線シートに電気的に接続した接続回路と、前記配線シートと前記接続回路の間に介在した絶縁性シートと、該絶縁性シートを貫通して前記配線シートと前記接続回路とを電気的に接続した熱溶融性の金属部材とを含む。前記配線シートは、前記プローブに電気的に接続された多数の第１の配線を有し、前記接続回路は、それぞれが前記第１の配線に対応された多数の第２の配線を有する。前記金属部材は、該前絶縁性シートを貫通して前記第１の配線とこれに対応した第２の配線とを結合している。
【選択図】 図７

Description

本発明は、液晶表示パネルのような平板状被検査体の電気的試験に用いるプローブ装置及びプローブユニットに関する。

液晶が封入された液晶表示パネルのような平板状の被検査体は、一般に、プローブ装置を備えるプローブユニットを用いた検査装置すなわち試験装置により検査すなわち試験をされる。そのような試験において、試験装置の電気回路からの電気信号がプローブ装置を介して被検査体に供給される。

例えば、特許文献１に記載されたプローブ装置は、被検査体の電極に接触する多数の接触電極を前部に備える１つの配線シートと、配線シートに電気的に接続されて結合された複数の接続シートと、配線シートを支持する支持体とを含む。

配線シートは、前後方向へ延びる第１のシート状部材と、該第１のシート状部材に形成された多数の第１の配線であって前記接触電極が前部に設けられ、前後方向に延びる多数の第１の配線とを含み、前記接触電極が設けられた第１の配線をプローブとしている。多数の第１の配線は、左右方向、すなわち配線シートの幅方向に相互に間隔をおいて第１のシート状部材に設けられている。

また、各接続シートは、前後方向へ延びる第２のシート状部材と、該第２のシート状部材に設けられた第２の配線であって、それぞれが配線シートの第１の配線に対応して結合され、前後方向に延びる多数の第２の配線とを含む。多数の第２の配線は、左右方向、すなわち接続シートの幅方向に相互に間隔をおいて第２のシート状部材に設けられている。

複数の接続シートは、それらの幅方向の位置を合わせた状態に相互に重ねられて、かつ前後方向の位置をずらして前記配線シートに結合されている。各接続シートは試験装置の電気回路に電気的に接続されており、該電気回路からの電気信号は、各接続シートの第２の配線と、第１の配線シートの第１の配線と、第１の配線に設けられた接触電極とを介して被検査体に供給される。

このプローブ装置においては、配線シートの第１のシート状部材の第１の配線側の面と接続シートの第２のシート状部材の第２の配線側の面とが向かい合う状態に接続シートの一部を配線シートに対向させて、この対向した部分において、配線シートの第１の配線と、接続シートの該第１の配線に対応した第２の配線とが熱圧着（すなわち、接合させる材料をそれらの融点以下の適当な温度で圧力を加え密着させ、かつ塑性変形を起こさせることにより、接合させる材料の表面を接触させて接合させる接合方法）により結合されている。これにより、配線シート及び接続シートは電気的に接続されている。

ところで、配線シートと各接続シートとが結合される際にそれらの幅方向、すなわち複数の第１又は第２の配線が間隔をおいて並ぶ方向に位置ずれが生じることにより、接続シートの第２の配線と、配線シートの対応する第１の配線の隣に位置する第１の配線とが接触してしまうことがある。

このような第１の配線とこれに対応しない第２の配線との接触を防止すべく、引用文献１の技術においては、絶縁性レジストが接続シートに設けられている。そのような絶縁性シートは、配線シートの第１の配線に熱圧着（すなわち、結合）される位置の近傍以外の第２の配線を覆うように、接続シートに設けられる。

そのような絶縁性レジストを配線シートと接続シートとの間に設けると、第１及び第２の配線が結合するための貫通穴を絶縁性レジストに形成し、該貫通穴に配線シートを弾性変形させて押し込むことにより第１の配線を第２の配線に接触させ、それらの接触面において熱圧着を行うことになる。したがって、第１の配線は、配線シートが貫通穴に沿うように、左右方向から見た断面においてＵ字状に屈曲された状態で該Ｕ字の底部において接続シートの第２の配線に結合される。

しかし、配線シートが、レジストの貫通穴に押し込まれ、第１の配線がＵ字状に弾性変形された状態で第２の配線に結合されると、屈曲された配線シートは、Ｕ字状から平坦な状態に戻る、すなわち第１の配線が第２の配線から分離する弾性力を受ける。特に、レジストの貫通穴は短絡防止のために微少な穴径にされるから、配線シートは貫通穴に強引に押し込まれて屈曲されることになり、前記したような弾性力が大きくなる。

したがって、第１の配線シートと第２の配線シートとの間にレジストを介在させた上記のようなプローブ装置においては、第１の配線と第２の配線とが熱圧着されても、第１の配線が第２の配線から離れようとする力が配線シートに作用することにより、第１の配線と第２の配線とが分離してしまい、配線シートと接続シートの接続不良の問題が生じることがある。

特開平９−１８４８５３号公報

本発明の目的は、配線シートの配線と該配線に対応した接続シートの配線とを確実に接続させることにある。

本発明に係るプローブ装置は、被検査体の電極に接触する多数のプローブと、該プローブに電気的に接続した配線シートと、該配線シートに電気的に接続した接続回路と、前記配線シートと前記接続回路の間に介在した絶縁性シートと、該絶縁性シートを貫通して前記配線シートと前記接続回路とを電気的に接続した熱溶融性の金属部材とを含む。

前記配線シートは、それぞれが前記プローブから連続して又は前記プローブに電気的に接続されて後方に延びる多数の第１の配線と該第１の配線が一方の面に設けられた第１のシート状部材とを有する。前記接続回路は、その一部が前記配線シートに対向された状態にシート状に形成されており、それぞれが前記第１の配線に対応された多数の第２の配線と、該第２の配線が一方の面に設けられた第２のシート状部材とを有する。前記金属部材は、該前絶縁性シートを貫通して前記第１の配線とこれに対応した第２の配線とを結合している。

前記接続回路は、多数の前記第２の配線と、前記第２のシート状部材とをそれぞれが有する少なくとも第１及び第２の接続シートを備えていてもよく、前記第１の配線は、前記第１の接続シートの前記第２の配線に対応された複数の第１の導電路と、前記第２の接続シートの前記第２の配線に対応された複数の第２の導電路とを有していてもよい。

前記金属部材は、前記第１の導電路とこれに対応する前記第１の接続シートの前記第２の配線とを結合した複数の第１の金属部材と、前記第２の導電路とこれに対応する前記第２の接続シートの前記第２の配線とを結合している複数の第２の金属部材とを有していてもよい。前記第１の金属部材は、左右方向に間隔をおいて一列に配置されていてもよく、前記第２の金属部材は、記第１の金属部材から前方又は後方にあって左右方向に間隔をおいて一列に配置されていてもよい。

前記接続回路は、多数の前記第２の配線と前記第２のシート状部材とをそれぞれが有する少なくとも第１、第２及び第３の接続シートを備えていてもよく、前記第１の配線は、前記第１の接続シートの前記第２の配線に対応された複数の第１の導電路と、前記第２の接続シートの前記第２の配線に対応された複数の第２の導電路と、前記第３の接続シートの前記第２の配線に対応された複数の第３の導電路とを有していてもよい。

前記金属部材は、前記第１の導電路とこれに対応する前記第１の接続シートの前記第２の配線とを結合した複数の第１の金属部材と、前記第２の導電路とこれに対応する前記第２の接続シートの前記第２の配線とを結合した複数の第２の金属部材と、前記第３の導電路とこれに対応する前記第３の接続シートの前記第２の配線とを結合した複数の第３の金属部材とを有していてもよい。

前記第１の金属部材は、左右方向に間隔をおいて一列に配置され、前記第２の金属部材は、前記第１の金属部材から後方にあって左右方向に間隔をおいて一列に配置され、前記第３の金属部材は、前記第２の金属部材の後方にあって左右方向に間隔をおいて一列に配置されていてもよい。また、前記絶縁性シートは前記配線シートに支持されていてもよい。

前記第１、第２及び第３の接続シートは同一形状に形成されていてもよく、前記第１、第２及び第３の接続シートのそれぞれの前記第２の配線は、相互に平行に延びて、前方ほど左方又は右方のいずれか一方に傾斜して延びる第１の配線領域と、該第１の配線領域の後端部から後方に延びる第２の配線領域とを有していてもよい。前記第１、第２及び第３の接続シートは、左右方向における位置が同一となるように重ねられていてもよい。

前記第１の接続シートの前端部は前記第２の接続シートの前端部より前方に配置され、該第２の接続シートの前端部は前記第３の接続シートの前端部より前方に配置されていてもよい。また、前記第１の配線は、前記プローブから連続し又は前記プローブに電気的に接続されて後方へ延びる第１の導電路領域であって、前方ほど狭ピッチとなるように前後方向に延びる第１の導電路領域を有していてもよい。

前記第１の配線は、各プローブに電気的に接続されて後方に延びていてもよく、前記絶縁性シートは、前記配線シートの前記第１の配線を覆うように前記配線シートに支持されていてもよく、また前記プローブに電気的に接続する位置に前記プローブの後部針先が通される貫通穴を備えることができる。

本発明に係るプローブユニットは、前記第１、第２及び第３の接続シートを含む上記のようなプローブ装置と、板状のプローブベースであって前記プローブ装置を上面の前方に備えるプローブベースと、該プローブベースの後部に、上方に延びかつ前後方向を厚さ方向とする状態に設けられた中継基板と、前記第１、第２及び第３の接続シートが、それぞれ、電気的に接続される第１、第２及び第３の接続部であって前記中継基板に設けられた第１、第２及び第３の接続部とを含むことができる。

前記第１の接続シートが前記第２の接続シートの上側に重ねられ、該第２の接続シートが前記第３の接続シートの上側に重ねられていてもよく、また前記第１の接続部は前記第２の接続部の下方に設けられ、該第２の接続部は前記第３の接続部の下方に設けられていてもよい。

本発明によるプローブ装置によれば、前記配線シートと前記接続シートとの間に前記絶縁性シートが介在していても、該絶縁性シートを貫通した熱溶融性の前記金属部材により前記第１の配線とこれに対応した前記第２の配線とが結合されている。これにより、前記配線シート又は前記接続回路の前記接続シートを前記絶縁性シートの前記貫通穴に押し込むべく前記接続シート又は前記配線シートを屈曲させる必要がない。

したがって、前記絶縁性シートにより、前記第１の配線が対応しない前記第２の配線に接続されることを防止できるにも拘わらず、前記配線シート又は前記接続回路の前記接続シートが屈曲することなく前記第１の配線と第２の配線とが結合される。それ故、前記第１の配線と前記第２の配線とを分離させる力が生じないから、前記第１及び第２の配線を確実に接続することができる。

また、複数の前記接続シートを１つの前記配線シートに結合する場合に、前記接続シートに前記絶縁性シートを設けると、それぞれが前記絶縁性シートを備える複数の前記接続シートが必要となり、プローブ装置が高価になる。しかし、本発明によれば、絶縁性シートを配線シートに設けることで、１つの前記絶縁性シートを１つの前記配線シートに設ければよいから、プローブ装置を安価に製作することができる。

本発明に係るプローブ装置及びプローブユニットを備える試験装置を示す平面図である。 本発明に係るプローブ装置の第１の実施例を示す側面図である。 図２におけるプローブ組立体の近傍を拡大して示す側面図である。 図２における４Ａ及び４Ｂの部分を拡大して示す側面図であって、図４（Ａ）及び４（Ｂ）は、それぞれ、図２の４Ａ及び４Ｂの部分を示す。 図２におけるプローブ装置に用いられる配線シートを示す図であって、図５（Ａ）は配線シートの側面図を示し、図５（Ｂ）は配線シートの平面図を示す。 図２におけるプローブ装置の配線シートと接続シートとの接続前の状態を示す側断面図であって、図６（Ａ）は接続領域の全体を示し、図６（Ｂ）は図６（Ａ）の６Ｂの部分を拡大して示す拡大断面図である。 図２におけるプローブ装置の配線シートと接続シートとの接続後の状態を示す側断面図であって、図７（Ａ）は接続領域の全体を示し、図７（Ｂ）は図７（Ａ）の７Ｂの部分を拡大して示す拡大断面図である。 図２におけるプローブ装置の配線シートと複数の接続シートとの接続関係を示す図である。 本発明に係るプローブ装置の第２の実施例に用いられる配線シートを示す図であって、図９（Ａ）は配線シートの側面図を示し、図９（Ｂ）は配線シートの平面図を示す。 本発明に係るプローブ装置の第３の実施例に用いられる配線シートを示す図であって、図１０（Ａ）は配線シートの側面図を示し、図１０（Ｂ）は配線シートの平面図を示す。 本発明に係るプローブ装置の第４の実施例を示す側面図である。 図１１におけるプローブ装置に用いられる配線シートを示す図であって、図１２（Ａ）は配線シートの側面図を示し、図１２（Ｂ）は配線シートの平面図を示す。

[用語の説明]

本発明においては、図２において、上下方向を上下方向又はＺ方向といい、左右方向をプローブ装置の被検査体側を前方とし、プローブ装置の中継基板側を後方とする前後方向又はＹ方向といい、紙背方向を左右方向又はＸ方向という。しかし、それらの方向は、ワークテーブルのようなパネル受けに受けられた被検査体の姿勢に応じて異なる。

したがって、プローブ装置及びプローブブロックは、本発明でいう上下方向（Ｚ方向）が、実際に、上下方向となる状態、上下逆となる状態、斜めの方向となる状態等、いずれかの方向となる状態に試験装置に取り付けられて使用される。

[試験装置]

図１を参照するに、試験装置１０は、液晶表示パネルのような平板状の被検査体１２の点灯検査に用いられる。試験装置１０は、被検査体１２を試験するための信号を送信する電気回路（図示せず）を備える。被検査体１２には、検査のために必要な、例えば、液晶表示パネルを黒表示させるための試験信号又は駆動信号が電気回路から試験装置１０を介して供給される。

被検査体１２は矩形の形状を有しており、その矩形の少なくとも１つの辺に対応する縁部１２ａに、多数の電極１４が形成されている。各電極１４は、これが形成された縁部１２ａの長手方向と直交するＸ方向又はＹ方向へ延びる帯状の形状を有しており、縁部１２ａの長手方向に所定の間隔で形成されている。図示の例では、被検査体１２の隣り合う２つの辺に、多数の電極１４が設けられている。

試験装置１０は、被検査体１２を保持するためのチャックトップ１６と、チャックトップ１６の上方に配置された多数のプローブユニット１８とを含む。チャックトップ１６上の被検査体１２は、従来よく知られているように、ストッパ部材２０及びプッシャ２２により、ＸＹ平面で姿勢を調整される。

姿勢を調整された被検査体１２は、チャックトップ１６の吸引によってチャックトップ１６上に保持される。チャックトップ１６は、従来よく知られているように、ｘｙｚθ台上に設けられている。これにより、チャックトップ１６上の被検査体１２は、チャックトップ１６と一体に、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向及びＸ−Ｙ面に直角なＺ軸方向へ移動可能であり、またＺ軸の周り（すなわち、θ方向）に回転可能である。

各プローブユニット１８は、チャックトップ１６と平行な面上にチャックトップ１６から上方に間隔をおいて配置された概長方形のプローブベース２４と、プローブベース２４に支持された多数のプローブ装置２６と、プローブベース２４に設けられた中継基板２８とを備える。

多数のプローブ装置２６は、プローブベース２４の長手方向（Ｘ方向又はＹ方向）に間隔をおいてプローブベース２４に支持されている。多数のプローブ装置２６は、後に説明するように中継基板２８に電気的に接続されている。中継基板２８は、フラットケーブルのような接続配線３０により試験装置１０の電気回路に電気的に接続されている。

［プローブ装置］

図２を参照するに、各プローブ装置２６は、プローブベース２４に載置されかつ連結された連結ブロック３２と、連結ブロック３２に支持された支持ブロック３４と、支持ブロック３４に結合された結合ブロック３６と、結合ブロック３６に支持されたプローブ組立体３８と、プローブ組立体３８を中継基板２８に電気的に接続する配線シート４０及び接続回路４２とを含む。

連結ブロック３２は、プローブベース２４から立ち上がるようにプローブベース２４に連結された本体部３２ａと、本体部３２ａの上部から前方に延びる補助部３２ｂとにより、Ｌ字状の断面形状を有する。連結ブロック３２は、本体部３２ａを上方から下方に貫通してプローブベース２４に螺合された複数のボルト４３によりプローブベース２４に取り外し可能に結合されている。

支持ブロック３４は、直方体の形状の本体部３４ａと、本体部３４ａの下部から前方に延びる補助部３４ｂとにより逆Ｌ字状の断面形状を有する。支持ブロック３４は、一組のガイド４４及びガイドレール４６により上下方向に移動可能に、連結ブロック３２の本体部３２ａの前面に本体部３４ａの後面において連結されていると共に、ボルト４８により上下方向の位置を調整可能に連結ブロック３２の補助部３２ｂの下側に支持されている。

ボルト４８は、連結ブロック３２の補助部３２ｂを上方から下方へ貫通しており、また支持ブロック３４に形成されたねじ穴５０に螺合されている。支持ブロック３４は、連結ブロック３２の補助部３２ｂと支持ブロック３４との間に配置された一対の圧縮コイルバネ５２により下方に付勢されている。これにより、支持ブロック３４へのボルト４８のねじ込み量を調整することにより、支持ブロック３４、ひいては支持ブロック３４に結合された結合ブロック３６を介してプローブ組立体３８の高さ位置を調整することができる。

結合ブロック３６は、上下方向を厚さ方向とした左右方向に長い板状部材であり、その中央領域において支持ブロック３４の下側に支持ブロック３４の補助部３４ｂを上方から下方に貫通して結合ブロック３６に螺合されたボルト５４により結合されている。結合ブロック３６は、その前下部に左右方向へ延びる下向き段部３６ａを有する。下向き段部３６ａには、結合ブロック３６の貫通穴３６ｂを上方から下方に貫通してプローブ組立体３８に螺合されたねじ部材５６によりプローブ組立体３８が維持されている。

図３を参照するに、プローブ組立体３８は、ブロック片６０の下面に前後方向に間隔をおいて組み付けられた一対のスリットバー６４に、多数のプローブ６２を左右方向に間隔をおいて前後方向に伸びる状態に配置し、円形の横断面形状を有する絶縁性のバー部材６６をプローブ６２に貫通させ、バー部材６６の端部を一対のカバー部材６８によりブロック片６０に組み付けている。

プローブ組立体３８は、結合ブロック３６の下向き段部３６ａに嵌め込まれた状態で、ブロック片６０にねじ部材５６が螺合されることにより、プローブ組立体３８が結合ブロック３６の下側に維持される。各プローブ６２は、導電性材料により製作されており、ブレードタイプ（すなわち、板状）のプローブとされている。ブロック片６０及び各スリットバー６４は、いずれも、電気絶縁性を有するセラミック、合成樹脂等により、左右方向に長い角柱状の形状を有する。

各スリットバー６４は、角柱状の形状に製作されており、またブロック片６０の前部下面又は後部下面に左右方向へ伸びる状態に装着されている。各スリットバー６４は、これの長手方向（左右方向）に所定の間隔をおいて前後方向へ伸びて、前方、後方及び下方に開放する多数のスリットを下面に有する。

各スリットは、プローブ６２に対応されており、また対応するプローブ６２の厚さ寸法に応じた幅寸法を有しており、さらに対応するプローブ６２の前下部６２ａ及び後上部６２ｂを受け入れている。両スリットバー６４のスリットにより多数のプローブ６２は、左右方向の相互の間隔を維持されている。

両カバー部材６８は、スリットバー６４の両側に配置されており、各カバー部材６８は、バー部材６６の端部を内側に受け入れた状態で、カバー部材６８を貫通して、ブロック片６０の左右方向における端部に螺合された複数のねじ部材６９により、ブロック片６０の左右方向における側面に取り外し可能に取り付けられている。

各プローブ６２は、その厚さ方向が左右方向となり、前下部６２ａ及び後上部６２ｂがそれぞれブロック片６０から前方及び後方へ突出された状態に、スリットバー６４に配置されている。各プローブ６２は、また、前後方向へ延びて、前下部６２ａ及び後上部６２ｂをそれぞれ前側及び後側のスリットバー６４のスリットに嵌合させている。

各プローブ６２は、後側のスリットに嵌合された後上部６２ｂよりさらに後方において、上方に立ち上がる後部針先６２ｃを有する。プローブ組立体３８は、各プローブ６２の後部針先６２ｃを配線シート４０に接触させた状態に、結合ブロック３６に維持されている。

図４（Ａ）を参照するに、配線シート４０は、前後方向に延びる状態に結合ブロック３６の下面に支持されており、その前部においてプローブ組立体３８に電気的に接続されている。配線シート４０は、結合ブロック３６の下面に一方の面を貼り付けられた第１のシート状部材７０と、第１のシート状部材７０の他方の面に形成された多数の第１の配線７２を備える。各第１の配線７２は、プローブ組立体３８のプローブ６２に対応されており、配線シート４０は、多数のプローブ６２と同数の第１の配線７２を備える。

さらに、配線シート４０は、その前部に左右方向に延びるガイドフィルム７６が設けられており（図５（Ｂ）を参照）、ガイドフィルム７６に設けられた上下方向に貫通する多数の貫通穴７７を介して第１の配線７２の一部を下方に露出している。各プローブ６２の後部針先６２ｃは、貫通穴７７を通されて対応する第１の配線７２に接触している。これにより、配線シート４０とプローブ組立体３８は、電気的に接続されている。

図４（Ｂ）を参照するに、配線シート４０の後部は、接続回路４２に電気的に接続されている。接続回路４２は、複数の接続シート８０を含み、各接続シート８０は、第２のシート状部材８２と、シート状部材８２の一方の面に設けられた多数の第２の配線８４とを備える。各第２のシート状部材８２は前後方向に延びており、また多数の配線８４は、相互に左右方向に間隔をおいて前後方向に延びるように第２のシート状部材８２に形成されている（図８を参照）。

各接続シート８０は、第２の配線８４が形成された面の一部を配線シート４０に対向させ、絶縁性シート７４を介在させた状態で配線シート４０に結合されている。各第２の配線８４は、第１の配線７２に対応されており、絶縁性シート７４を貫通する金属部材７８を介して対応する第１の配線７２に結合されている。これにより、配線シート４０は、接続回路４２に電気的に接続される。

接続回路４２が試験装置１０の電気回路に電気的に接続されているから、該電気回路からの電気信号は、接続回路４２の各接続シート８０の第２の配線８４、配線シート４０の第１の配線７２及びプローブ組立体３８のプローブ６２を介して被検査体１２に供給される。

［配線シート］

図５を参照するに、配線シート４０は、ポリイミドのような絶縁性の材料で製作された第１のシート状部材７０と、シート状部材７０に形成された多数の第１の配線７２とを有する。したがって、配線シート４０は、いわゆるフレキシブル印刷配線回路（ＦＰＣ：Flexible Printed Circuits）又はＴＡＢ（ＴＡＢ：Tape Automated Bonding）テープのような可撓性を有するシート状の印刷配線基板とすることができる。配線シート４０は前後方向に延びており、図５においてその中間部分を省略して記載されているが、実際には、該中間部分は前後方向に延びている（図２を参照）。

多数の第１の配線７２は、図５（Ｂ）に示すように、相互に概並行に前後方向に延びており、前後方向に延びる第１の導電路領域７２Ａと、第１の導電路領域７２Ａの後端から連続して後方向に延びる第２の導電路領域７２Ｂと、第２の導電路領域７２Ｂの後端から連続して後方に延びる第３の導電路領域７２Ｃと、第３の導電路領域７２Ｃの後端から連続して後方向に延びる第４の導電路領域７２Ｄとを有する。

第１の導電路領域７２Ａの前端部の第１の配線７２のピッチは、プローブ組立体３８の左右方向に間隔をおいて配置された多数のプローブ６２のピッチに対応している。また、第１及び第３の導電路領域７２Ａ及び７２Ｃは、後方ほど配線相互のピッチが大きくなる状態で、第２及び第４の導電路領域７２Ｂ及び７２Ｄは、配線相互のピッチが維持された状態で前後方向に延びている。

これにより、第１の配線７２は、第１の導電路領域７２Ａの前端部のピッチ、すなわちプローブ６２のピッチに対して、第４の導電路領域７２Ｄのピッチ、すなわち第１の配線７２の後部のピッチが大きくなるように、第１のシート状部材７０に形成されている。

また、第１の配線７２は、図示の例では、第１のシート状部材７０上に１６本設けられており、それらのうちの４本を１つのグループとする４つのグループ７３に分けられる。各グループ７３は、４つの第１の配線７２を、図５（Ｂ）において下側から、第１、第２、第３及び第４の導電路７３ａ、７３ｂ、７３ｃ及び７３ｄとしている。

配線シート４０の前端部には、左右方向（図５（Ｂ）における上側から下側）に延びるガイドフィルム７６が設けられている。ガイドフィルム７６は、その厚さ方向に貫通し、かつ長手方向に間隔をおいて配置される多数の貫通穴７７を有する。多数の貫通穴７７の間隔は、第１の配線７２の前端部のピッチに対応されており、各貫通穴７７は、対応する第１の配線７２の一部を露出されている。この露出部分にプローブ６２の後部針先６２ｃが接触されることにより、第１の配線７２とプローブ６２とが電気的に接続される。

また、配線シート４０の後部には、絶縁性シート７４が第１の配線７２の第４の導電路領域７２Ｄを覆うように設けられている。絶縁性シート７４が設けられた第４の導電路領域７２Ｄにおいて、各第１、第２、第３及び第４の導電路７３ａ、７３ｂ、７３ｃ及び７３ｄは、それぞれ、第１、第２、第３及び第４の金属部材７８ａ、７８ｂ、７８ｃ及び７８ｄが形成されている。絶縁性シート７４は、各金属部材７８に対応する位置に厚さ方向に貫通する多数の貫通穴７９を有しており、各貫通穴７９内に金属材料７８が配置される（図６及び図７を参照）。

各第１の導電路７３ａに設けられた第１の金属部材７８ａ（図示の例では４つ）は、左右方向に一列に並んだ状態に相互に間隔を同一にして配置されており、各第２、第３及び第４の導電路７３ｂ、７３ｃ、及び７３ｄに設けられた第２の金属部材７８ｂ、第３の金属部材７８ｃ及び第４の金属部材７８ｄも、同様に、左右方向に一列に並んだ状態に相互に間隔を同一に配置されている。

また、第１の金属部材７８ａは、第４の導電路領域７２Ｄの前部に配置されており、第２、第３及び第４の金属部材７８ｂ、７８ｃ及び７８ｄは、それぞれ、第１、第２及び第３の金属部材７８ａ、７８ｂ及び７８ｄの前後方向及び左右方向（図５（Ｂ）における右側及び上側）に間隔をおいて配置されている。

これにより、各金属材料７８は、全ての金属材料７８（図示の例では１６個）を左右方向に１列に配置する場合に比較して、左右方向の相互の間隔を広くして配置されるから、配線シート８０との接続において隣り合う金属材料７８の短絡を防止できる。図示の例において、各導電路７３ａ〜７３ｄは、第４の導電路領域７２Ｄの後部まで延びているが、少なくとも金属部材７８が配置される部分まで延びていればよい。

配線シート４０が印刷配線基板であれば、従来の印刷配線基板の設計及び製造方法により第１の配線７２の配置、すなわち配線パターンを自由に設計できる。したがって、特許文献１の配線シートのように、１グループの接続端子の位置を前後方向に異なる位置において左右方向に同じ位置となるように、すなわち、前後方向に一直線に揃えるように配置してもよい。

しかし、特許文献１のように接続端子（すなわち結合部）の位置を前後方向に一直線に揃えるべく、配線パターンに大きく曲がる角部を設けると、印刷配線基板の製作において、該角部と隣り合う配線とが短絡した状態で印刷配線が形成され、配線シートに電気回路不良が生じることがある。

したがって、本実施例のように第１の配線が概平行な直線状に延びる状態に配置されることにより、従来知られているように、印刷配線基板の製造において配線が大きく曲がる角部を有する場合に比較して、印刷配線基板の不良率を低減することができる。

本実施例において、配線シート４０は、ＦＰＣ、ＴＡＢ等とされているが、リジットプリント基板（ＲＰＣ：Rigid Printed Circuits）であってもよい。そのような場合、第１のシート状部材７０は、アルミナ、紙フェノール、ガラス入りエポキシ等の硬質の材料で作成される。

また、本実施例において、１６本の第１の配線７２が第１のシート状部材７０に形成されているが、実際には、それ以上の第１の配線７２が形成される。そのような場合には、グループ７３の数と各グループに属する導電路の数とを調整してグループ分けすればよい。また、接続回路４２の配線シートの枚数は、各グループの導電路の数と同数にすることができる。

［配線シートと接続シートの接続］
図６〜８を参照するに、接続回路４２は、第１、第２、第３及び第４の接続シート８０ａ、８０ｂ、８０ｃ及び８０ｄを含み、各接続シート８０は、ポリイミドのような絶縁性の材料で製作された第２のシート状部材８２と、第２のシート状部材８２に形成された多数の配線８４とを備える。第２の接続シートは前後方向に長いシート状部材であり、また多数の配線８４は、相互に左右方向に間隔をおいて前後方向に延びるように第２のシート状部材８２に設けられている（図８を参照）。

したがって、接続シート８０は、第２のシート状部材８２に多数の配線８４を形成した、いわゆるＦＰＣ、ＴＡＢ又はフレキシブルフラットケーブル（ＦＦＣ：Flexible Flat Cable）のような可撓性を有するシート状の配線回路とすることができる。接続シート８０としてＦＦＣを用いる場合、ＦＦＣは、配線シート４０に接続される接続部の被服の一方の面を除去されて使用される。したがって、ＦＦＣの平板型導線が第２の配線８４として作用し、被服の他方の面が第２のシート状部材として作用する。

各接続シート８０は、第２の配線８４が設けられた面の一部を配線シート４０に対向させている。配線シート４０と接続シート８０との間には、配線シート４０に第１の導電路を覆うように設けられた絶縁性シート７４が介在している。この絶縁性シート７４により、第１の配線７２と、これに対応しない第２の配線８４（例えば、第１の配線７２に対応する第２の配線８４の隣の第２の配線８４）との短絡を防止することができる。

絶縁性シート７４は、接続シート８０に設けられてもよい。しかし、複数の接続シート８０を１つの配線シート４０に接続する場合、配線シート４０に絶縁性シート７４を設ければ、１つの絶縁性シート７４を１つの配線シート４０に設ければよいから、複数の接続シート８０のそれぞれに絶縁性シート７４を設ける場合に比較してプローブ装置２６を安価に製作することができる。

図６を参照するに、接続シート８０が接続される前の配線シート４０は、第１の配線７２が設けられた面に、貫通穴７９を有する絶縁性シート７４が形成されている。絶縁性シート７４は、ポリイミドシートのような絶縁層でもよいし、ポリイミドインクを印刷技術により塗布した絶縁層であってもよい。第１の配線７２の貫通穴７９に対応する位置には、金属部材７８がバンプ状に形成される。金属部材７８のバンプの高さ寸法は、絶縁性シート７４の厚さ寸法よりも大きくすることができる。

図７を参照するに、接続シート８０が配線シート４０に接続されると、金属部材７８は、貫通穴７９に満たされるように押しつぶされた状態となる。そのような金属部材７８を介して第１の配線７２と第２の配線８４とが結合される。金属部材７８は、熱溶融性の金属部材とされており、配線シート４０と接続シート８０を貼り合わせた状態でリフロー工程のような加熱工程を経て第１及び第２の配線７２及び８４を結合することができる。

絶縁性シート７４の貫通穴７９に金属部材７８が満たされた状態で配線シート４０と接続シート８０とが結合されから、本発明のおいては、配線シート４０の第１の配線７２と接続シート８０の第２の配線８４とを結合するために、配線シート４０又は接続シート８０を絶縁性シート７４の貫通穴７９に押し込むように屈曲させる必要がない。

これにより、配線シート４０又は接続シート８０を屈曲させることによる第１の配線７２と第２の配線８４とを分離させる力が生じないから、前記第１及び第２の配線を確実に接続することができる。また、金属部材７８の分量を貫通穴７９の容量と同程度とすることにより、金属部材７８の飛散よる配線間の短絡を防止することができる。

図６及び図７においては、１箇所の貫通穴７９と金属部材７８とについて説明しているが、実際には、多数の貫通穴７９とそれらに対応する多数の金属部材７８のそれぞれが絶縁性シート７４及び配線シート４０の多数箇所に設けられており、それら多数箇所の金属部材７８が、リフロー工程を経て多数の第１の配線７２と多数の第２の配線８４とを同時に結合する。

図８を参照するに、第１、第２、第３及び第４の接続シート８０ａ、８０ｂ、８０ｃ及び８０ｄは、それぞれ、第１、第２、第３及び第４の金属部材７８ａ、７８ｂ、７８ｃ及び７８ｄに対応されている。また、各接続シートの４つの第２の配線８４の相互の間隔は、左右方向（配線シート４０の幅方向）に一列に並んだ４つの金属部材７８の相互の間隔と同一とされている。

４つの金属部材７８が左右方向に一列に並ぶように配置されているから、その列方向に接続シート８０の幅方向を対応させることにより、接続シート８０は、自身の長手方向を配線シート４０の長手方向とした状態で配線シート４０に接続される。

本実施例において、各接続シート８０は、同一形状の第２のシート状部材８２と同一形状の配線パターンで第２のシート状部材８２に設けられた第２の配線８４とを含み、同一形状とされている。第２のシート状部材８２は前後方向に長い帯状に形成されており、第２の配線は、前方ほど左方（図８において左側ほど下側）となる状態に傾斜した第１の配線領域８４Ａと、第１の配線領域８４Ａの後端部から、後方向（図８において右側）に直線状に延びる第２の配線領域８４Ｂとを有する。

配線シート４０において、第１、第２、第３及び第４の金属部材７８ａ、７８ｂ、７８ｃ及び７８ｄは、それぞれ、前後方向（図８において左側から右側）に、及び左右方向（図８において下側から上側）に位置ずれした状態に配置されている。また、第２及び第３の金属材料７８ｂ及び７８ｃの前後方向の間隔並びに第３及び第４の金属材料７８ｃ及び７８ｄの前後方向の間隔は、それぞれ、第１及び第２の金属材料７８ａ及び７８ｂの前後方向の間隔及び第２及び第３の金属材料７８ｂ及び７８ｃの前後方向の間隔よりも大きい。

さらに、隣り合う第１の金属部材７８ａ相互の間隔と、隣り合う第２の金属部材７８ｂ相互の間隔と、隣り合う第３の金属部材７８ｃ相互の間隔と、隣り合う第４の金属部材７８ｄ相互の間隔と、接続シート８０の隣り合う第２の配線８４相互の間隔とは、それぞれ同一とされている。

上記のように製作された配線シート４０と接続シート８０との接続において、傾斜した第１の配線領域８４Ａのいずれかの部分を配線シート４０の金属部材７８に結合させれば、各接続シート８０は、その前後方向の位置を調整することにより接続シート８０の左右方向の位置を調整できる。例えば、配線シート４０に対して接続シート８０を前方（図８における左側）で結合しようとすれば、接続シート８０は左方（図８における下側）に移動して結合されることになる。

これにより、接続シート８０の前後方向の位置を調整することにより、複数の接続シート８０の左右方向の位置を同一として重ね合わせた状態で配線シート４０に接続することができる。左右方向の位置が同一となるように接続シート８０を配線シートに接続できれば、接続シート８０の位置合わせが容易になり、プローブ装置の製作が容易になる。また、接続シート８０を同一形状で作成することにより接続シート８０の作成が容易かつ安価にできる。

なお、第１、第２及び第３の接続シート８０ａ、８０ｂ及び８０ｃの前端部は、それぞれ、第２、第３及び第４の接続シート８０ｂ、８０ｃ及び８０ｄの前端部より前方に配置されており、第１及び第２の接続シート８０ａ及び８０ｂの前端部の間隔は、第２及び第３の接続シート８０ｂ及び８０ｃの前端部の間隔より小さく、第２及び第３の接続シート８０ｃ及び８０ｄの前端部の間隔は、第３及び第４の接続シート８０ｃ及び８０ｄの前端部の間隔より小さい。

接続シート８０の第２の配線８４は、傾斜した第１の配線領域８４Ａを設けずに、前後方向に延びる第２の配線領域８４Ｂのみから形成してもよい。しかし、そのような接続シート８０は、前後方向の位置を変更することにより、左右方向の位置を調整することはできない。

［接続回路と中継基板との接続］

図２及び図７を参照するに、接続回路４２は、配線シート４０と中継基板２８とを電気的に接続している。接続回路４２は、プローブベース２４の下面に取り付けられたケーブルホルダー８９により、プローブベース２４に支持されている。

接続回路４２は、第１、第２、第３及び第４の接続シート８０ａ、８０ｂ、８０ｃ及び８０ｄを含み、それらの前部において配線シート４０に結合され、プローブベース２４の貫通穴２４ａを通され、それらの後部において中継基板２８に接続されている。接続シート８０ａ、８０ｂ、８０ｃ及び８０ｄは、それぞれ、コネクタのような接続部９０ａ、９０ｂ、９０ｃ及び９０ｄにより中継基板２８に接続されている。

第４の接続シート８０ｄが第４の金属部材７８ｄに対応されて配線シート４０の後部に、第３の接続シート８０ｃが第３の金属部材７８ｃに対応されて第４の接続シート８０ｄの上方に重ねられるように、第２の接続シート８０ｂが第２の金属部材７８ｂに対応されて第３の接続シート８０ｃの上方に重ねられるように、第１の接続シート８０ａが第１の金属部材７８ａに対応されて第２の接続シート８０ｂの上方に重ねられるように結合されている。

また、接続シート８０と中継基板２８との接続部９０は、第１の接続部９０ａの上側に第２の接続部９０ｂ、第２の接続部９０ｃの上側に第３の接続部９０ｃ、第３の接続部９０ｃの上側に第４の接続部９０ｄが配置されるように、中継基板に接続されている。このように接続シート８０が配線シート４０及び中継基板２８に接続されることにより、接続シート８０を左右方向にずらすことなく、すなわち前後方向に重ねて複数の接続シートを配置して接続シート８０を中継基板２８に接続させることができる。

複数の接続シート８０を重ねて配置すれば、接続シート８０を左右方向にずらして配置する場合に比較して接続シート８０の長さ寸法を小さくすることができる。したがって、接続シート８０の製作が容易になり、かつプローブ装置２６の製作が安価になる。

［配線シートの他の実施例］

図９を参照するに、配線シート１４０は、先に説明した配線シート４０の導電路領域７２Ａの前後方向の中間領域で配線シート４０が幅方向に切断されたものである。配線シート１４０の前端部には、該前端部の第１の配線７２のピッチに対応された貫通穴１７７を有するガイドフィルム１７６が設けられている。

上記のように配線シート１４０を製作すれば、第１の導電路領域７２Ａは後方ほどピッチが大きい状態とされているから、配線シート１４０の第１の配線７２の前端部のピッチを配線シート４０の第１の配線７２の前端部のピッチよりも大きくすることができる。

したがって、プローブ組立体３８のプローブ６２のピッチが大きくされるとき（すなわち、被検査体１２が電極１４のピッチが大きいものに変更されるとき）、そのピッチに適合するように、配線シート４０の切断部を変更することにより第１の配線７２のピッチを調整することができる。

一般に、ＦＰＣ、ＴＡＢ等の印刷配線基板の製造において、同一形状の複数の基板を作成することは容易で、同一形状の複数の基板の製作コストは、形状の異なる複数の基板の製作コストより安価になる。したがって、同一形状の配線シートを用いて、プローブピッチの異なる多数のプローブ装置を製作できれば、形状の異なる配線シートを用いて多数のプローブ装置を製作するよりも、プローブ装置を安価に製作できる。

配線シート１４０は、配線シート４０の導電路領域７２Ａの前後方向の中間領域で切断されているが、導電路領域７２Ａの後端で切断した場合に、第１の配線７２のピッチが最大となる。また、配線シート４０を切断することなく、導電路領域７２Ａの前後方向の中間領域で配線シート４０を折り返してもよい。

図１０を参照するに、配線シート２４０には、第１のシート状部材７０の全面に絶縁性シート２７４が設けられている。そのようにすれば、第１の配線７２の全体が覆われるから、第１の配線７２間に異物が付着することによる配線間の短絡を防止できる。

さらに、絶縁性シート２７４の前端部に第１の配線７２のピッチに対応した貫通穴２７７を設けることにより、絶縁性シート２７４をガイドフィルムとして作用させることができる。これにより、絶縁性シート２７４とガイドフィルムを別々に形成しなくてよいから、配線シートの製作が容易になる。

［プローブ装置の他の実施例］

図１１を参照するに、各プローブ装置３２６は、プローブベース２４に載置されかつ連結された連結ブロック３３２と、連結ブロック３３２に支持された支持ブロック３３４と、支持ブロック３３４に結合された結合ブロック３３６と、結合ブロック３３６に支持されたプローブブロック３３８と、プローブブロック３３８を中継基板２８に電気的に接続する配線シート３４０及び接続回路３４２とを含む。

プローブ装置３２６の連結ブロック３３２及び支持ブロック３３４は、それぞれ、プローブ装置２６の連結ブロック３２及び支持ブロック３４と同一の形状及び結合関係とされている。結合ブロック３３６は、上下方向を厚さ方向とし、左右方向に長い板状部材であり、その中央領域において支持ブロック３３４の下側に結合されている。結合ブロック３３６と支持ブロック３３４とは、支持ブロック３３４を上方から下方に貫通して結合ブロック３３６に螺合されたボルト３５４により結合されている。

プローブブロック３３８は、結合ブロック３３６を上方から下方に貫通してプローブブロック３３８に螺合されたボルト３５６により、結合ブロック３３６に結合されている。プローブブロック３３８は、その前部に板状の配線シート支持体３３８ａを前方ほど下方に傾斜した状態に有する。配線シート３４０は、プローブブロック３３８の下面及び配線シート支持体３３８ａの下面に支持されている。

配線シート３４０は、可撓性のシート状部材３７０と、シート状部材３７０に設けられた多数の配線３７２と、各第１の配線３７２の前端部に設けられた接触電極３７７とを有する（図１２を参照）。接続回路３４２は、プローブ装置２６の接続回路４２と同様の複数の接続シート８０を備える。

配線シート３４０は、第１の配線３７２が各接続シート８０の第２の配線８４と結合するように、その後部で接続回路３４２に電気的に接続されている。接続回路３４２が試験装置１０の電気回路に電気的に接続されているから、該電気回路からの電気信号は、各接続シート８０の第２の配線８４、配線シート３４０の第１の配線３７２及び接触電極３７７を介して被検査体１２に供給される。

図１２を参照するに、配線シート３４０は、配線シート４０と同様に、いわゆるＦＰＣ又はＴＡＢテープのような可撓性を有するシート状の配線回路とすることができる。配線シート３４０は、前後方向に延びており、図１２においてその中央部を省略して記載されているが、実際には該中央部は前後方向に直線状に延びている（図１１を参照）。

第１の配線３７２は、その前端部に下方に突出する接触電極３７７を備える。接触電極３７７のピッチ、すなわち第１の配線３７２の前端部のピッチは、被検査体１２の電極１４のピッチに対応されている。接触電極３７７と第１の配線３７２の前部とは、被検査体１２の電極１４に接触するプローブとして作用する。

配線シート３４０の後部には、プローブ装置２６の配線シート４０と同様に、上下方向に貫通する多数の貫通穴７９（図６及び図７を参照）を有する絶縁性シート７４が第１の配線７２を覆うように設けられている。絶縁性シート７４の多数の貫通穴７９には、金属部材７８が設けられており、それらの配置は、プローブ装置２６の配線シート４０と同様にされている。

接続回路３４２の接続シート８０は、絶縁性シート７４を介して配線シート１４０に対向され、第１の配線３７２と第２の配線８４とが金属部材７８を介して結合されることにより、配線シート３４０に電気的に接続される。

本発明は、上記実施例に限定されず、特許請求の範囲に記載された趣旨を逸脱しない限り、種々に変更することができる。

１２ 被検査体
１４ 被検査体の電極
２４ プローブベース
２６、３２６ プローブ装置
４０、１４０、２４０、３４０ 配線シート
４２、３４２ 接続回路
６２ プローブ
６２ｃ プローブの後部針先
７０、１７０、２７０、３７０ 第１のシート状部材
７２、１７２、２７２、３７２ 第１の配線
７２Ａ 第１の導電路領域
７３ａ 第１の導電路
７３ｂ 第２の導電路
７３ｃ 第３の導電路
７３ｄ 第４の導電路
７４、２７４ 絶縁性シート
７６ ガイドフィルム
７７、１７７、２７７ ガイドフィルムの貫通穴
７８ 金属部材
７８ａ 第１の金属部材
７８ｂ 第２の金属部材
７８ｃ 第３の金属部材
７８ｄ 第４の金属部材
７９ 絶縁性シートの貫通穴
８０ａ 第１の接続シート
８０ｂ 第２の接続シート
８０ｃ 第３の接続シート
８０ｄ 第４の接続シート
８２ 第２のシート状部材
８４ａ 第１の配線領域
８４ｂ 第２の配線領域
９０ａ 第１の接続部
９０ｂ 第２の接続部
９０ｃ 第３の接続部
９０ｄ 第４の接続部
３７７ 接触電極

Claims (9)

1. 被検査体の電極に接触される多数のプローブを前部に備えるプローブ装置であって、
   それぞれが前記プローブから連続して又は前記プローブに電気的に接続されて後方に延びる多数の第１の配線と、該第１の配線が一方の面に設けられた第１のシート状部材とを備える配線シートと、
   前記配線シートに電気的に接続されたシート状の接続回路であって、それぞれが前記第１の配線に対応された多数の第２の配線と、該第２の配線が一方の面に設けられた第２のシート状部材とを備える接続回路と、
   前記配線シートと前記接続回路との間に介在する絶縁性シートと、
   それぞれが該絶縁性シートを貫通して前記第１の配線とこれに対応する第２の配線とを結合した熱溶融性の多数の金属部材とを含む、プローブ装置。
2. 前記接続回路は、多数の前記第２の配線と、前記第２のシート状部材とをそれぞれが有する少なくとも第１及び第２の接続シートを備え、
   前記第１の配線は、前記第１の接続シートの前記第２の配線に対応された複数の第１の導電路と、前記第２の接続シートの前記第２の配線に対応された複数の第２の導電路とを有し、
   前記金属部材は、前記第１の導電路とこれに対応する前記第１の接続シートの前記第２の配線とを結合した複数の第１の金属部材と、前記第２の導電路とこれに対応する前記第２の接続シートの前記第２の配線とを結合している複数の第２の金属部材とを有し、
   前記第１の金属部材は、左右方向に間隔をおいて一列に配置されており、
   前記第２の金属部材は、記第１の金属部材から後方にあって左右方向に間隔をおいて一列に配置されている、請求項１に記載のプローブ装置。
3. 前記接続回路は、多数の前記第２の配線と前記第２のシート状部材とをそれぞれが有する少なくとも第１、第２及び第３の接続シートを備え、
   前記第１の配線は、前記第１の接続シートの前記第２の配線に対応された複数の第１の導電路と、前記第２の接続シートの前記第２の配線に対応された複数の第２の導電路と、前記第３の接続シートの前記第２の配線に対応された複数の第３の導電路とを有し、
   前記金属部材は、前記第１の導電路とこれに対応する前記第１の接続シートの前記第２の配線とを結合した複数の第１の金属部材と、前記第２の導電路とこれに対応する前記第２の接続シートの前記第２の配線とを結合した複数の第２の金属部材と、前記第３の導電路とこれに対応する前記第３の接続シートの前記第２の配線とを結合した複数の第３の金属部材とを有し、
   前記第１の金属部材は、左右方向に間隔をおいて一列に配置されており、
   前記第２の金属部材は、前記第１の金属部材から後方にあって左右方向に間隔をおいて一列に配置されており、
   前記第３の金属部材は、前記第２の金属部材から後方にあって左右方向に一列に間隔をおいて配置されている、請求項１に記載のプローブ装置。
4. 前記絶縁性シートは前記配線シートに設けられている、請求項２又は３に記載のプローブ装置。
5. 前記第１、第２及び第３の接続シートは同一形状に形成されており
   前記第１、第２及び第３の接続シートのそれぞれの前記第２の配線は、相互に平行に延びており、また前方ほど左方又は右方のいずれか一方に傾斜して延びる第１の配線領域と、該第１の配線領域の後端部から後方に延びる第２の配線領域とを有し、
   前記第１、第２及び第３の接続シートは、左右方向における位置が同一となるように重ねられている、請求項３に記載のプローブ装置。
6. 前記第１の接続シートの前端部は前記第２の接続シートの前端部より前方に配置され、該第２の接続シートの前端部は前記第３の接続シートの前端部より前方に配置されている、請求項５に記載のプローブ装置。
7. 前記第１の配線は、前記プローブから連続し又は前記プローブに電気的に接続されて後方へ延びる第１の導電路領域であって、前方ほど狭ピッチとなるように前後方向に延びる第１の導電路領域を有する、請求項１に記載のプローブ装置。
8. 前記第１の配線は、各プローブに電気的に接続されて後方に延びており、
   前記絶縁性シートは、さらに、前記プローブが前記第１の配線に電気的に接続する位置に前記プローブの後部針先が通される貫通穴を備え、かつ前記配線シートに支持されている、請求項１に記載のプローブ装置。
9. 請求項２に記載のプローブ装置であって、前記第２の接続シートの上側に前記第１の接続シートが重ねられたプローブ装置と、
   板状のプローブベースであって前記プローブ装置を上面の前部に備えるプローブベースと、
   該プローブベースの後部に、上方に延びかつ前後方向を厚さ方向とする状態に設けられた中継基板と、
   前記第１及び第２の接続シートが、それぞれ、電気的に接続される第１及び第２の接続部であって前記中継基板に設けられた第１及び第２の接続部とを含み、
   前記第１の接続部は前記第２の接続部の下方に設けられている、プローブユニット。

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