WO2006051643A1 - 基板検査装置 - Google Patents

Abstract

　固定側ベース３と可動側ベース２の一方のベースに基板検査用治具７を、かつ他方のベースに基板押え治具５をそれぞれ装着し、前記可動側ベース２を昇降させる基板検査装置において、基板検査用治具７と基板押え治具５との間に引き出し構造の基板保持ユニット１２を配置し、この基板保持ユニット１２を可動側ベース２に追従昇降させるように構成したものである。

Description

明 細 書

基板検査装置

技術分野

[0001] この発明は、電子部品等が実装された回路基板の電気的性能を検査する基板検 查装置に係わり、特に基板セット時におけるプローブピン等の損傷を防止できるよう にした基板検査装置に関するものである。

背景技術

[0002] 従来の基板検査装置として、例えば、複数のプローブピンおよび基板位置決めピ ン (以下、単に位置決めピンという）を有する基板検査用治具が装着された下側べ一 スと、基板押え用のサポートを有する基板押え治具が装着された上側ベースとを備え 、電子部品が実装された回路基板を手作業により前記基板検査用治具と基板押え 治具との間に外側方力 差し入れて前記位置決めピンにセットし、この状態で前記上 側治具もしくは下側治具の ヽずれか一方を基板プレス方向に作動させて前記プロ一 ブピンを回路基板の被検査部に当接させる構造としたものは既に知られている（例え ば、特許文献 1, 2参照)。

[0003] また、従来の他の基板検査装置として、上下一対の検査用治具間に配置する基板 保持枠を備え、その基板保持枠を前記検査用治具とは別系統の X— Y移動機構に 着脱可能に取り付け、前記基板保持枠に嵌め込みセットされた検査対象回路基板を

X— Y方向に移動させる構造としたものもある（例えば、特許文献 3参照)。

[0004] 特許文献 1 :特開平 8— 43489号公報 (第 2頁、図 2)

特許文献 2 :特開平 8— 334549号公報 (第 2頁、図 1)

特許文献 3：特開平 11 344539号公報 (第 2頁及び第 5頁、図 1及び図 16)

[0005] 従来の基板検査装置は以上のように構成されているので、特許文献 1, 2の場合、 電子部品が実装された検査対象の回路基板を手作業により下側の基板検査用治具 と上側の基板押え治具との間に差し入れて前記基板検査用治具の位置決めピンに セットする際、及び検査後の回路基板を取り出す際に、前記回路基板がプローブピ ンに接触して当該プローブピンや回路基板の損傷を招き易いという課題があった。ま た、前述のような回路基板のセット作業や取り出し作業は、当該回路基板がプローブ ピンに接触しな 、ように慎重に行わなければならな 、ため、作業性が非常に悪 、と 、 う課題があった。

[0006] 一方、特許文献 3では、 X— Y移動機構によって基板保持枠を X— Y方向に移動さ せ得るため、上下の検査用治具間より外側方に前記基板保持枠をスライドさせた状 態で当該基板保持枠に対する回路基板の取り付けセットおよび取り出しが可能であ るとも考えられるが、前記 X—Y移動機構は、前記基板保持枠とは別体の X方向レー ルと Y方向レールおよびスライダー等力 なっており、このため、部品点数が多く構造 が複雑で装置全体が大型化し、かつ装置の調整やメンテナンスが煩雑になるという 課題があった。また、前記 X— Y移動機構は、前記検査用治具の系統とは別に制御 する必要が生じるという課題があった。特に、前記 X—Y移動機構に取り付けられた 基板保持枠は、サイズの異なる回路基板をセットする際には、そのサイズに対応した 寸法の基板保持枠と取り替えなければならず、このため、 1つの基板保持枠で様々な サイズの回路基板に適応させることができないという課題があった。

[0007] この発明は上記のような課題を解決するためになされたもので、電子部品が実装さ れた回路基板のセットや取り出しを簡単に手際よく行うことができ、そのセット時や取り 出し時の回路基板が基板検査用治具の位置決めピンやプローブピンに接触するよう な危惧のない簡単な基板保持構造を実現することができる基板検査装置を得ること を目的とする。

発明の開示

[0008] この発明に係る基板検査装置は、治具装着用の固定側ベースと可動側ベースを上 下に備え、その一方のベースに複数のプローブピンおよび基板位置決めピンを有す る基板検査用治具を、かつ他方のベースに基板押え治具をそれぞれ着脱可能に装 着し、前記可動側ベースを前記固定側ベースとの相対方向に昇降させる基板検査 装置において、前記固定側ベースと可動側ベースとの間に配置されて検査対象の 回路基板が取り出し可能にセットされる引き出し構造の基板保持ユニットと、この基板 保持ユニットを前記固定側ベースと可動側ベースとの間で前記可動側ベースに追従 して昇降するように支持し、かつ前記可動側ベースの開離位置では前記基板検査用 治具と基板押え治具カゝら離れた中間位置に前記基板保持ユニットを保持するュ-ッ ト支持手段とを備えたものである。

[0009] この発明によれば、固定側ベースと可動側ベースのそれぞれに装着された基板検 查用治具と基板押え治具との間に、前記可動側ベースに追従して昇降する引き出し 構造の基板保持ユニットを配置し、前記可動側ベースが前記固定側ベースから開離 した位置では、前記基板検査用治具と基板押え治具との間でそれらの治具から離れ た中間単独位置に前記基板保持ユニットが保持されるように構成したので、その基 板保持ユニットを外側方に引き出して当該基板保持ユニットに回路基板を取り付けセ ットおよび取り外しを行うことができ、その取り付けセット時や取り外し時の回路基板が 基板検査用治具の位置決めピンやプローブピンに接触する危惧がな!、ので、その接 触に起因した前記位置決めピンやプローブピン及び回路基板等の破損を防止する ことができるという効果がある。また、検査対象の回路基板がセットされて基板検査用 治具と基板押え治具との間の収納位置に保持された基板保持ユニットは、前述のよう に可動側ベースに追従して昇降するので、前記回路基板の検査時に当該回路基板 を前記位置決めピンおよびプローブピンに対してスムーズかつ正確に位置決め動作 させることができると 、う効果がある。

図面の簡単な説明

[0010] [図 1]この発明の実施の形態 1による基板検査装置を示す概略的な側面図である。

[図 2]図 1中の引き出し式の基板保持ユニットを示す平面図である。

[図 3]図 2の要部を示す拡大斜視図である。

[図 4]図 1の動作説明図である。

[図 5]この発明の実施の形態 2による基板検査装置を示す概略的な側面図である。

[図 6]この発明の実施の形態 3による基板検査装置を示す概略的な側面図である。

[図 7]この発明の実施の形態 4による基板検査装置を示す概略的な側面図である。 発明を実施するための最良の形態

[0011] 以下、この発明をより詳細に説明するために、この発明を実施するための最良の形 態について、添付の図面に従って説明する。

実施の形態 1. 図 1はこの発明の実施の形態 1による基板検査装置を示す概略的な側面図、図 2 は図 1中の引き出し式基板保持ユニットを示す平面図、図 3は図 2の要部を示す拡大 斜視図である。

図 1に示す基板検査装置は、装置本体 (基板検査用プレス機の機台） 1の上下に配 置された可動側ベース 2と固定側ベース 3とを備えて 、る。前記可動側ベース 2は、 前記装置本体 1の上部に設置されたプレスシリンダ 4のピストンロッド 4a下端に連結さ れて当該プレスシリンダ 4の伸縮作動で昇降駆動されるようになっている。そして、前 記可動側ベース 2の下面には、基板押え用の複数のサポート 6を有する基板押え治 具 5が着脱可能に装着されている。一方、前記装置本体 1の下部に配置された固定 側ベース 3上には、複数のプローブピン 8と位置決めピン 9を有する基板検査用治具 7が着脱可能に装着されている。なお、前記プローブピン 8および位置決めピン 9は それぞれ上昇方向の付勢力を有して伸縮可能となっており、また、前記位置決めピ ン 9は尖鋭テーパ状の頭部（以下、テーパ頭部と 、う） 9aを有して 、る。

[0012] 前記可動側ベース 2と固定側ベース 3との間には、検査対象の回路基板 30が取り 出し可能にセットされる Iき出し構造の基板保持ユニット 12が配置されて 、る。この 基板保持ユニット 12は、前記可動側ベース 2と一体のユニット支持手段 10によって、 前記基板押え治具 5と基板検査用治具 7との間で前記可動側ベース 2に追従して昇 降するように支持されており、それらの具体的な関連構成について以下に説明する。

[0013] この実施の形態 1において、前記ユニット支持手段 10は、前記可動側ベース 2の下 面に一体的に突設されて前記サポート 6よりも長く垂下する前後左右のガイドロッド 1 Oaと、これらのガイドロッド 10aの下部に一体的に設けられて前記可動側ベース 2の 上昇開離位置で前記基板押え治具 5と基板検査用治具 7との中間位置に前記基板 保持ユニット 12を独立保持するストツバ 10bとからなっている。一方、前記基板保持 ユニット 12は、前記ガイドロッド 10aにスラストベアリング 11 (図 1参照）を介して昇降 可能に取り付けられ前記ストツバ 10b上に接離可能に当接保持された左右一対の引 き出し用レール 13と、これらの引き出し用レール 13に両側部がスライド自在に嵌め込 み支持された引き出し式の基板保持枠 14とからなっている。なお、前記基板保持枠 14は前面 14aに取手 15を有している。 [0014] ここで、前記引き出し用レール 13は、基板検査時のプレス過程（可動側ベース 2の 下降動作過程)で固定側ベース 3の基板検査用治具 7上に当接し、その当接後にお いても前記ガイドロッド 10aの下降を許容する取り付け構成となっている。このような引 き出し用レール 13に両側部が支持された基板保持枠 14は、前記可動側ベース 2に 装着された基板押え治具 5の上昇開離位置で、その基板押え治具 5のサポート 6と基 板検査用治具 7のプローブピン 8および位置決めピン 9のそれぞれとは接触しないよ うに前記基板押え治具 5と基板検査用治具 7との中間位置に前記ストツバ 10bで保持 される。

[0015] また、前記基板保持枠 14には平面 X—Y方向に水平移動可能な基板挟持機構 16 が搭載されている。この基板挟持機構 16はサイズの異なる回路基板 30を挟持可能 とするもので、前記基板保持枠 14の両側枠壁 14bに跨って前後方向へスライド可能 に取り付けられた基板位置調整バー 17と、この基板位置調整バー 17に左右方向（ 長手方向）ヘスライド可能に取り付けられた可動ストツバ 18とを備えた構成となってい る。

[0016] さらに詳しく説明すると、前記基板保持枠 14の両側枠壁 14bには、前記引き出し用 レール 13の内側で当該引き出し用レール 13に平行する左右のガイド溝 19が設けら れており、これらのガイド溝 19をスライド可能に貫通する調整ネジ 20で前記基板位 置調整バー 17の両端部が前記基板保持枠 14に前後方向へ移動可能に締付け固 定されるようになつている。また、前記基板位置調整バー 17においても、その長手方 向（前記ガイド溝 19と直交する方向）に延びるガイド溝 21が設けられ、このガイド溝 2 1をスライド可能に貫通する調整ネジ 22によって前記可動ストツバ 18が前記基板位 置調整バー 17に移動可能に取り付けられている。ここで、前記基板保持枠 14の前 面 14a側の枠壁内面と前記基板位置調整バー 17との対向壁面には、断面 L字形状 をなして互いに平行する基板支持段部 14c, 17a (図 2参照）が設けられ、これらの基 板支持段部 14c, 17a上に跨って回路基板 30が嵌め込みセットされるようになってい る。

[0017] 前記回路基板 30は電子部品が実装されているもので、その基板検査時に前記位 置決めピン 9のテーパ頭部 9aを嵌入させるための位置決め孔 31 (図 1参照）を有して いる。

[0018] 次に動作について説明する。

回路基板 30をセット前の基板検査装置において、基板押え治具 5が装着された可 動側ベース 2は図 1に示すように上昇開離位置に保持されているため、基板保持ュ ニット 12の引き出し用レール 13はガイドロッド 10aのストッパ 10b上に当接して基板押 え治具 5と基板検査用治具 7との間の中立位置に独立保持された状態となっている。 この状態において、基板保持枠 14を前方に引き出し、この基板保持枠 14に回路基 板 30を嵌め込みセットする。そのセットに際しては、前記基板保持枠 14上の基板挟 持機構 16における基板位置調整バー 17および可動ストツバ 18を前記回路基板 30 のサイズに応じた位置にスライド調整してそれぞれの調整ネジ 20, 22で固定しておく 。この状態において、前記基板保持枠 14と基板位置調整バー 17の基板支持段部 1 4c, 17a上に回路基板 30を載置することで、前記基板保持枠 14に回路基板 30を嵌 め込みセットする。

[0019] そのセット後に前記基板保持枠 14を引き出し用レール 13に沿って基板押え治具 5 と基板検査用治具 7との間の収納位置に押し込む。これにより、前記回路基板 30の 位置決め孔 31が基板検査用治具 7の位置決めピン 9との対応位置に位置決めされ る。この状態において、プレスシリンダ 4を伸長起動させると、可動側ベース 2と基板 押え治具 5とガイドロッド 10aおよび基板保持ユニット 12とが一体的に下降する。そし て、前記基板保持ユニット 12の引き出し用レール 13が基板検査用治具 7上に当接 するとほぼ同時に、前記位置決めピン 9のテーパ頭部 9aが回路基板 30の位置決め 孔 31に嵌入する。これにより、前記回路基板 30は、その検査対象部位がプローブピ ン 8との対向位置に位置決めされて前記位置決めピン 9により前記基板支持段部 14 C 17aから浮き上がった状態に保持される。

[0020] このようにして、前記回路基板 30の検査対象部位がプローブピン 8との対応位置に 位置決め保持され、かつ前記引き出し用レール 13が基板検査用治具 7上に当接し た状態においても、前記可動側ベース 2は下降動作を継続する。このとき、その可動 側ベース 2と一体のガイドロッド 10aは基板保持ユニット 12を基板検査用治具 7上に 置き去り状態に下降動作を継続する。そして、前記可動側ベース 2と一体に下降する 基板押え治具 5のサポート 6が回路基板 30を押圧することにより、当該回路基板 30 の検査対象部位がプローブピン 8に当接して前記回路基板 30の性能検査が電気的 に実施される。その検査終了後には、前記プレスシリンダ 4で可動側ベース 2が上昇 駆動されることにより、その上昇過程でガイドロッド 10aのストッパ 10bが引き出し用レ ール 13の下面に当接して基板保持ユニット 12および回路基板 30がー体的に上昇し 、それらの基板保持ユニット 12および回路基板 30は図 1に示すように基板検査用治 具 7のプローブピン 8および基板押え治具 5のサポート 6から離れて前記基板押え治 具 5と基板検査用治具 7との中間位置に独立保持される。その状態で基板保持枠 14 力 S引き出されて当該基板保持枠 14から検査済みの回路基板 30が取り出される。

[0021] 以上説明した実施の形態 1によれば、基板押え治具 5が装着されてプレスシリンダ 4 で昇降駆動される可動側ベース 2にガイドロッド 10aを一体的に設け、そのガイドロッ ド 10aに左右一対の引き出し用レール 13を昇降可能に取り付け、それらの引き出し 用レール 13に基板保持枠 14の両側部をスライド自在に支持させると共に、前記ガイ ドロッド 10aには、前記可動側ベース 2の上昇開離位置で基板押え治具 5のサポート 6と基板検査用治具 7のプローブピン 8および位置決めピン 9のそれぞれから離れて 前記基板押え治具 5と基板検査用治具 7との中間位置に前記引き出し用レール 13を 独立保持するストツバ 10bを設けることにより、引き出し構造の基板保持ユニット 12を 実現するように構成したので、前記可動側ベース 2の上昇開離位置で基板押え治具 5と基板検査用治具 7との中間位置に保持された基板保持枠 14を外方に引き出して 当該基板保持枠 14に検査対象の回路基板 30をセットすることができ、そのセット時 の回路基板 30が前記サポート 6やプローブピン 8および位置決めピン 9等に接触す るようなことがないので、その接触に起因して回路基板 30やサポート 6およびプロ一 ブピン 8、位置決めピン 9等が破損するのを防止することができるという効果がある。

[0022] また、前記実施の形態 1によれば、前記可動側ベース 2の基板押え治具 5と固定側 ベース 3の基板検査用治具 7との間に基板保持ユニット 12を配置し、その基板保持 ユニット 12上に平面 X—Y方向へ水平移動可能な基板挟持機構 16を搭載するよう に構成したので、基板検査装置全体の大型化を抑止できると共に、サイズの異なる 回路基板 30であっても、これを共通の基板保持枠 14に安定性よく確実にセットする ことができると共に、前記基板挟持機構 16の調整やメンテナンスを容易に実施できる という効果がある。

[0023] 実施の形態 2.

図 5はこの発明の実施の形態 2による基板検査装置を示す概略的な側面図であり、 図 1〜図 4と同一部分には同一符号を付して重複説明を省略する。

前記実施の形態 1では、基板押え治具 5が装着された上側のベース 2をプレスシリ ンダ 4で昇降駆動される可動側ベースとし、基板検査用治具 7が装着された下側の ベース 3を固定側ベースとしたが、この実施の形態 2では、前記実施の形態 1とは逆 に上側のベース 2を固定側ベースとして下側のベース 3を可動側ベースとし、その下 側の可動側ベース 3をプレスシリンダ 4で昇降駆動するように構成したもので、その他 の構成は前記実施の形態 1と同じである。このような構成とした実施の形態 2の場合も 前記実施の形態 1と同様の作用効果が得られる。

[0024] 実施の形態 3.

図 6はこの発明の実施の形態 3による基板検査装置を示す概略的な側面図であり、 図 1〜図 4と同一部分には同一符号を付して重複説明を省略する。

この実施の形態 3では、前記実施の形態 1, 2による基板検査装置を制御器 23によ つて全自動化する構成としたものである。すなわち、この実施の形態 3による基板検 查装置は、その自動化のために、基板保持ユニット 12の引き出し用レール 13に取り 付けられたモータ 24と、このモータ 24の回転出力を基板保持枠 14のスライド駆動力 に変換して当該基板保持枠 14に伝達する動力伝達機構 (図示せず)と、前記基板 保持枠 14に設けられて回路基板 30の有無を検知する基板検知センサ 25と、基板保 持枠 14の収納端側に配置されて当該基板保持枠 14が所定の収納位置に収納され たか否かを検知する基板保持枠検知センサ 26と、プレスシリンダ 4の作動媒体供給 系統に設けられた電磁バルブ 27とを備え、前記制御器 23が前記基板検知センサ 25 および基板保持枠検知センサ 26からの入力信号に基づいてプレスシリンダ 4および モータ 24を自動制御する構成としたものである。

[0025] 次に、前記制御器 23による基板検査装置の自動制御機能の説明を兼ねた動作に ついて説明する。 可動側ベース 2が上昇開離位置に保持された図 6の状態において、回路基板 30が セットされていない基板保持枠 14を基板押え治具 5と基板検査用治具 7との間の収 納位置より外方に引き出すと、基板保持枠検知センサ 26が OFFとなり、前記引き出 し位置の基板保持枠 14に回路基板 30をセットすると、基板検知センサ 25が ONとな ることにより、制御器 23は前記基板保持枠検知センサ 26からの OFF信号と前記基 板検知センサ 25からの ON信号 (基板セット信号)を入力する。それらの入力信号に 基づいて前記制御器 23はモータ 24に基板保持枠 14を収納する方向の起動信号を 出力する。

[0026] これにより、前記モータ 24が起動して前記基板保持枠 14を収納方向に駆動し、当 該基板保持枠 14が前記収納位置に到達した時点で基板保持枠検知センサ 26が O N信号を制御器 23に出力することにより、その制御器 23は、前記モータ 24を停止さ せた後に電磁バルブ 27にプレスシリンダ 4を伸長動作させる方向の開信号を出力す る。これにより、前記プレスシリンダ 4が伸長動作して可動側ベース 2を下降駆動し、 当該可動側ベース 2が所定の下降位置 (基板プレス位置）に到達した時点で前記プ レスシリンダ 4が停止して前記実施の形態 1と同様に回路基板 30の電気的検査が実 行される。そして、回路基板 30の検査終了後には、その検査終了信号を制御器 23 が入力することにより、当該制御器 23は前記モータ 24に基板保持枠 14を引き出す 方向の起動信号を出力して基板保持枠 14が自動的に引き出されることにより、その 基板保持枠 14から検査済みの回路基板 30を取り出すことができる。

[0027] 以上説明した実施の形態 3によれば、基板保持枠 14を引き出し方向と収納方向に スライド駆動するモータ 24と、前記基板保持枠 14に回路基板 30がセットされたか否 かを検知する基板検知センサ 25と、前記基板保持枠 14が所定の収納位置に収納さ れた否かを検知する基板保持枠検知センサ 26と、前記基板検知センサ 25および基 板保持枠検知センサ 26のそれぞれから検知信号を入力し、その検知信号に基づい て前記モータ 24およびプレスシリンダ 4系統の電磁バルブ 27を前述のように駆動制 御する制御器 23とを備え付けるように構成したので、前記基板保持枠 14を引き出し 方向と収納方向に自動的に移動させることができると共に、検査対象の回路基板 30 がセットされた基板保持枠 14が収納位置に到達した時点でプレスシリンダ 4を自動 的に昇降作動させることができ、基板検査装置全体の自動化を実現できるという効果 がある。

[0028] 実施の形態 4.

図 7はこの発明の実施の形態 4による基板検査装置を示す概略的な側面図であり、 図 1〜図 4と同一または相当部分には同一符号を付して重複説明を省略する。

この実施の形態 4では、前記実施の形態 1から前記実施の形態 3におけるガイドロッ ド 10aに代えて基板保持ユニット 12を昇降駆動可能に支持するユニット支持シリンダ (レール昇降駆動手段） 28を適用し、このユニット支持シリンダ 28をプレスシリンダ 4 に関連作動させるように制御器 23で自動制御するユニット支持手段として構成したも のである。すなわち、可動側ベース 2の基板押え治具 5と固定側ベース 3の基板検査 用治具 7との間に配置する基板保持ユニット 12の弓 Iき出し用レール 13の後端側を縦 型のユニット支持シリンダ 28のピストンロッド上端に片持ち支持させたものである。そ して、前記ユニット支持シリンダ 28の作動媒体供給系統に電磁バルブ 29を設け、こ の電磁バルブ 29と前記プレスシリンダ 4系統の電磁バルブ 27とを制御器 23で関連 制御するものである。

[0029] 次に、前記制御器 23の機能説明を兼ねた動作について説明する。

可動側ベース 2が上昇開離位置に保持された図 7の状態において、基板保持枠 14 を取手 15で外方に引き出して当該基板保持枠 14に前記実施の形態 1の場合と同様 に回路基板 30を嵌め込みセットする。そのセット後に前記基板保持枠 14を所定の収 納位置まで押し込むと、制御器 23からのバルブ制御信号でユニット支持シリンダ 28 の電磁バルブ 29が切り換えられて前記ユニット支持シリンダ 28が短縮作動する。こ れにより、基板保持ユニット 12が下降し、基板保持枠 14に保持された回路基板 30の 位置決め孔 31が基板検査用治具 7の位置決めピン 9のテーパ頭部 9aに嵌まり込む 。この状態にぉ 、ても前記ユニット支持シリンダ 28が短縮作動を継続して基板保持 ユニット 12が下降継続することにより、前記位置決めピン 9によって回路基板 30が基 板保持枠 14から浮き上がった状態に保持される。

[0030] そして、前記基板保持ユニット 12はユニット支持シリンダ 28の短縮限界位置まで下 降して停止すると、前記制御器 23からのバルブ制御信号でプレスシリンダ 4の電磁 バルブ 27が切り換え制御されてプレスシリンダ 4が伸長作動する。これにより、可動側 ベース 2と一体に基板押え治具 5が下降し、当該基板押え治具 5のサポート 6が前記 位置決めピン 9の上昇付勢力に抗して回路基板 30を押し下げる。これにより、前記回 路基板 30の検査対象部位がプローブピン 8に当接して前記回路基板 30の性能が電 気的に検査される。その検査終了後には、前記制御器 23からのバルブ制御信号で プレスシリンダ 4の電磁バルブ 27とユニット支持シリンダ 28の電磁バルブ 29が、この 順序で時間差的に切り換えられてプレスシリンダ 4が短縮作動し、かつユニット支持 シリンダ 28が伸長作動することにより、前記可動側ベース 2に追従して基板保持ュ- ット 12が上昇し、その上昇過程で位置決めピン 9上の回路基板 30が基板保持枠 14 で保持される。

[0031] そして、前記プレスシリンダ 4およびユニット支持シリンダ 28の停止位置では、前記 基板保持ユニット 12が基板押え治具 5のサポート 6と基板検査用治具 7のプローブピ ン 8および位置決めピン 9から離れて可動側ベース 2と固定側ベース 3との中間位置 に独立保持される。そこで、前記基板保持枠 14を引き出せば、当該基板保持枠 14 力も回路基板 30を前記サポート 6やプローブピン 8および位置決めピン 9に接触させ ることなく取り出すことができる。

[0032] 以上説明した実施の形態 4によれば、可動側ベース 2の基板押え治具 5と固定側べ ース 3の基板検査用治具 7との間に配置した基板保持ユニット 12をユニット支持シリ ンダ 28で支持するように構成したので、前記基板保持ユニット 12を前記実施の形態 1の場合と同様に可動側ベース 2に追従して昇降作動させることができる。このため、 前記実施の形態 1の場合と同様に、基板保持枠 14に対する回路基板 30のセット時 および取り出し時に当該回路基板 30がサポート 6やプローブピン 8および位置決め ピン 9に接触するようなことがな 、と 、う効果がある。

[0033] なお、この実施の形態 4においても、前記実施の形態 3におけるモータ 24と基板検 知センサ 25および基板保持枠検知センサ 26を設けることによって、基板検査装置全 体の自動化を実現できるものである。また、前記各実施の形態では、可動側ベース 2 および基板保持ユニット 12の昇降駆動手段としてプレスシリンダ 4およびユニット支 持シリンダ 28を適用した力 それらのプレスシリンダ 4およびユニット支持シリンダ 28 は、前記可動側ベース 2および基板保持ユニット 12を自動機械的に昇降駆動できる ものであれば、 、かなる昇降駆動手段であってもよ 、。

産業上の利用可能性

以上のように、この発明に係る基板検査装置は、電子部品が実装された回路基板 のセットや取り出しを簡単に行な 、、プローブピン等の損傷を防止するのに適して!/ヽ る。

Claims

請求の範囲

[1] 治具装着用の固定側ベースと可動側ベースを上下に備え、その一方のベースに複 数のプローブピンおよび基板位置決めピンを有する基板検査用治具を、かつ他方の ベースに基板押え治具をそれぞれ着脱可能に装着し、前記可動側ベースを前記固 定側ベースとの相対方向に昇降させる基板検査装置において、前記固定側ベースと 可動側ベースとの間に配置されて検査対象の回路基板が取り出し可能にセットされ る引き出し構造の基板保持ユニットと、この基板保持ユニットを前記基板検査用治具 と基板押え治具との間で前記可動側ベースに追従して昇降するように支持し、かつ 前記可動側ベースの開離位置では前記基板検査用治具と基板押え治具から離れた 中間位置に前記基板保持ユニットを保持するユニット支持手段とを備えたことを特徴 とする基板検査装置。

[2] 基板保持ユニットは、ユニット支持手段で支持されて固定側ベースと可動側ベース との間に昇降可能に配置されて可動側ベースに追従昇降する左右一対の引き出し 用レールと、これらの弓 Iき出し用レールにスライド可能に支持された基板保持枠とか らなっていることを特徴とする請求項 1記載の基板検査装置。

[3] 基板保持枠には、これにセットされる回路基板のサイズに応じて当該回路基板の周 縁部を前記基板保持枠との間で挟持する基板挟持機構が、平面 X— Y方向へ移動 可能に搭載されていることを特徴とする請求項 2記載の基板検査装置。

[4] ユニット支持手段は、可動側ベースに一体的に設けられて基板保持枠の両側部を 昇降可能にガイドする複数のガイドロッドと、これらのガイドロッドに設けられて可動側 ベースの開離位置で前記引き出し用レールを当接支承して前記基板保持枠を基板 検査用治具と基板押え治具との中間位置に保持するストツバとからなつていることを 特徴とする請求項 1記載の基板検査装置。

[5] ユニット支持手段は、引き出し用レールを支持して当該引き出し用レールを自動的 に昇降駆動するレール昇降駆動手段力 なっていることを特徴とする請求項 1記載 の基板検査装置。

[6] 可動側ベースを昇降駆動するベース昇降駆動手段と、基板保持枠を収納位置と引 き出し位置に駆動するモータと、それらベース昇降駆動手段とモータを自動制御す る制御器とを備えていることを特徴とする請求項 1記載の基板検査装置。