KR101093646B1 - 평판형상 피검사체의 시험장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 피검사체의 정확한 위치결정이 가능한 저렴한 시험장치를 제공한다.
시험장치에서 이용되는 얼라인먼트 장치는 패널수용면의 서로 마주하는 한 쌍의 변 중 한쪽 및 다른 쪽에 각각 대응하는 변의 연장방향으로 간격을 두고 배치된 제1푸셔기구 및 제1위치결정기구와, 패널수용면의 서로 마주하는 다른 한 쌍의 변 중 한쪽 및 다른 쪽에 각각 배치된 제2푸셔기구 및 제2위치결정기구를 포함한다. 푸셔기구 및 위치결정기구 각각은, 패널수용면과 같은 높이 위치로서 패널수용면의 바깥쪽에 위치된 가압부재와, 가압부재를 패널수용면에 대하여 진퇴시키는 구동기구를 구비한다. 각 위치결정기구의 구동기구는 상기 X방향 또는 Y방향에서의 상기 가압부재의 위치를 해제 가능하게 유지한다.

Description

평판형상 피검사체의 시험장치 {A testing apparatus for a plate-shaped object}

본 발명은 액정표시패널과 같은 평판형상의 피검사체를 시험하는 장치에 관한 것이다.

액정표시패널과 같은 표시용 패널의 점등을 시험하는 장치는 피검사체를 이것에 통전하기 위한 프로브유닛, 특히 접촉자의 침선에 대하여 위치 결정하는 위치 결정기능(즉, 얼라인먼트 기능)을 구비하고 있다.

이러한 종류의 장치는 일반적으로 검사 스테이지나 워크 테이블과 같은 패널리시버와, XYZ의 3방향과 Z방향으로 연장되는 θ축선의 주위로 변위시키는 스테이지 이동기구와, 패널 리시버의 위쪽에 배치된 프로브 유닛을 구비한다.

위치 결정시, 피검사체를 패널리시버에 해제가능하게 흡착한 상태로 피검사체의 전극과 접촉자의 침선이 접촉하도록 패널리시버를 스테이지 이동 기구에 의해 프로브 유닛에 대하여 변위시킨다.

그러나, 이와 같은 시험장치에서는 패널리시버뿐만 아니라 패널리시버를 지지하는 장치, 백라이트유닛들도 스테이지 이동기구에 의해 변위시키지 않으면 안 되기 때문에 스테이지 이동기구가 대형화되어 시험장치가 고가가 된다.

특히 요즘과 같이 대형의 피검사체를 시험하는 장치에서는 스테이지에 의해 변위시키는 대상물의 중량이 1톤을 넘는 경우가 있고, 따라서 스테이지 이동기구가 보다 대형화하여 시험장치가 한층 더 고가가 되는 일을 피할 수가 없다.

상기와 같은 과제를 해결하기 위해서 피검사체를 패널리시버에 대하여 변위시킴으로써 피검사체의 전극과 접촉자의 침전이 접촉하도록 피검사체를 위치 결정하는 얼라인먼트 장치가 제안되었다(특허문헌1).

이 얼라인먼트장치(alignment device)는 패널수용면의 서로 마주하는 한 쌍의 변 각각에 대응하는 변의 연장방향으로 간격을 두고 배치된 한 쌍의 제1푸셔를 배치하고, 패널 수용면(panel receiving surface)의 서로 마주하는 다른 한 쌍의 변 중 한쪽 및 다른 쪽 각각에 제2푸셔를 배치한다. 각 푸셔는 피검사체의 단면(端面)에 눌리는 가압부재와, 그 가압부재를 피검사체에 대하여 X방향 또는 Y방향으로 후퇴시키는 이동기구를 구비한다.

위치결정시, 피검사체는 각 푸셔의 가압부재가 이동기구에 의해 피검사체의 X방향 또는 Y방향에서의 단면(端面)에 눌려 패널리시버에 대하여 변위되고 그로 인해 피검사체의 전극과 접촉자의 침선이 접촉하도록 위치 결정된다.

그와 같은 얼라인먼트 장치에 있어서, 각 푸셔의 이동기구로서 공기나 기름과 같은 압력 유체에 의해 가압부재를 진퇴시키는 기구를 이용하면 피검사체는 그들 푸셔에 의해 센터링되어서 패널리시버에 대하여 위치결정된다.

그러나 그와 같은 얼라인먼트 장치에서는 패널리시버에 관하여 대향하는 쪽에 배치된 양 푸셔, 또는 대응하는 변의 연장방향으로 간격을 둔 푸셔로 공급되는 유체의 압력에 아주 작은 차이가 있더라도 푸셔에 의한 가압력에 차이가 생긴다. 그 결과, 피검사체가 정확하게 변위되지 못하여 정확한 위치결정이 이루어지지 못한다.

일본특허공개공보 제2008-188727호

본 발명은 피검사체의 정확한 위치결정이 가능한 저가의 시험장치를 제공하는 것에 그 목적이 있다.

본 발명에 관련된 평판형상 피검사체의 시험장치는, 평판형상 피검사체를 받는 직사각형의 패널 수용면을 가지는 패널리시버와, 상기 피검사체의 전극에 가압되는 복수의 접촉자를 구비하는 프로브유닛과, 상기 패널리시버에 받아들여진 피검사체를 상기 접촉자에 대하여 위치 결정하는 얼라인먼트 장치를 포함한다.

상기 얼라인먼트장치는 상기 패널수용면의 서로 마주하는 한 쌍의 변 중 한쪽 및 다른 쪽에 각각 배치된 제1푸셔기구 및 제1위치결정기구와, 상기 패널수용면의 서로 마주하는 다른 한 쌍 중 한쪽 및 다른 쪽에 각각 배치된 제2푸셔기구 및 제2위치결정기구를 포함한다.

상기 푸셔기구 및 상기 위치결정기구 각각은 상기 패널수용면의 바깥쪽에 위치된 적어도 하나의 가압부재와, 그 가압부재를 X방향 또는 Y방향으로 변위시키는 적어도 하나의 구동기구를 구비한다. 각 위치결정기구의 상기 구동기구는 상기 X방향 또는 Y방향에서의 상기 가압부재의 위치를 해제 가능하게 유지한다.

각 위치결정기구는 회전 각도 위치를 제어할 수 있는 모터를 포함할 수 있다.

각 위치결정기구의 상기 가압부재는 적어도 그 이동방향으로 탄성 변형되기 어렵거나 또는 탄성 변형되지 않는 재료로 제작되어도 좋다.

각 위치결정기구의 상기 구동기구는 구동원(驅動源)과, 그 구동원에 의해 구동되어서 상기 X방향 또는 Y방향에서의 상기 가압부재의 위치를 상기 구동원과 공동으로 해제 가능하게 유지하는 기구를 포함할 수 있다.

각 위치결정기구의 상기 유지하는 기구는 상기 구동원으로부터 상기 X방향 또는 Y방향으로 연장되어 상기 구동원에 의해 회전되는 볼나사와, 그 볼나사에 나사 결합된 너트로서 상기 가압부재를 상기 X방향 또는 Y방향으로 변위시키는 너트를 구비할 수 있다.

각 푸셔기구의 상기 구동기구의 구동원은 압력유체를 이용하여서 상기 가압부재를 진퇴시키는 실린더기구를 포함할 수 있다.

본 발명에 관련된 시험장치는 압력이 서로 다른 제1 및 제2의 압력유체원과, 그 제1 및 제2의 압력유체원의 압력유체를 상기 푸셔기구의 상기 구동기구의 구동원에 선택적으로 공급하는 밸브장치를 더 포함할 수 있다.

전술된 바를 대신하여 본 발명에 관련된 시험장치는 압력이 서로 다른 적어도 두 개의 압력유체를 상기 푸셔기구의 상기 구동기구의 구동원에 선택적으로 공급하는 전공(電空) 레귤레이터를 더 포함할 수 있다.

상기 푸셔기구 및 상기 위치결정기구 각각은 상기 가압부재가 지지된 이동체로서 상기 구동기구에 의해 구동되어서 상기 X방향 또는 Y방향으로 이동하는 상기 패널리시버에 배치된 이동체를 더 구비할 수 있다.

상기 가압부재는 Z방향으로 연장되는 축선 둘레로 회전가능하게 상기 이동체에 지지되어 있어도 된다.

본 발명에 관련된 시험장치는 상기 패널리시버를 Z방향으로 이동시키는 Z이동기구를 더 포함할 수 있다.

본 발명에 관련된 시험장치는 상기 패널리시버에 배치된 부상(浮上)장치로서, 상기 얼라인먼트장치에 의해 상기 피검사체를 변위시킬 때에 그 피검사체를 상기 패널 수용면에서 위로 떠오르게 하는 부상(浮上)장치를 더 포함할 수 있다.

상기 부상장치는 일부가 상기 패널수용면에 대하여 돌출 또는 퇴각 가능한 볼(ball)로서, 상기 패널리시버에 배치된 볼과, 그 볼의 일부를 상기 패널수용면으로 노출시키도록 부세하는 스프링을 포함할 수 있다.

상기 패널리시버는 상기 패널수용면으로 개방하는 개방부와, 그 개방부를 압력유체의 공급원 및 감압탱크 중 적어도 한 쪽에 선택적으로 접속하는 밸브를 포함할 수 있다.

본 발명에 관련된 시험장치는 상기 패널리시버가 배치된 테이블베이스로, 직사각형의 제1개구를 갖는 테이블베이스를 더 포함할 수 있다. 또한 상기 패널리시버는 상기 제1개구에 대향 가능한 그리고 상기 제1개구와 유사한 직사각형의 제2개구를 공동으로 형성하면서 상기 패널수용면을 공동으로 형성하는 네 개의 이동편으로 상기 제2개구의 크기를 가변가능하게 상기 테이블베이스에 배치된 네 개의 이동편을 구비할 수 있다.

한 쌍의 이동편은 Y방향으로 간격을 두고 X방향으로 평행하게 신장되어 있으며, 다른 한 쌍의 이동편은 X방향으로 간격을 두고 Y방향으로 평행하게 신장되어 있어도 된다. 또한 상기 이동편은 그들 이동편이 상기 제2개구를 공동으로 형성하면서 상기 패널 수용면을 공동 형성하고, 그리고 상기 제2개구의 크기를 가변가능하게 상기 테이블 베이스에 배치되어 있어도 좋다. 그리고 서로 이웃하는 이동편은 Y방향 또는 X방향으로 독립적으로 이동하는 것을 방해받는 일이 없이 결합되어 있어도 좋다.

본 발명에 관련된 시험장치는 패널리시버가 배치된 테이블베이스로서 직사각형의 제1개구를 갖는 테이블베이스와, 그 테이블베이스와 상기 패널리시버 사이에 배치되어서 상기 이동편을 상기 X방향 및 Y방향으로 이동가능하게 상기 테이블베이스에 결합하는 결합기구를 더 포함할 수 있다.

본 발명에 관련된 시험장치는 상기 결합기구를 통하여 각 이동편을 상기 X방향 또는 Y방향으로 이동시키는 이동편 이동기구로서 상기 테이블베이스에 배치된 이동편 이동기구를 더 포함할 수 있다.

각 이동편 이동기구는 상기 이동편을 이동시키는 회전각도 위치를 제어할 수 있는 모터를 포함할 수 있다.

본 발명에 관련된 시험장치는 상기 패널리시버 및 상기 프로브유닛을 서로 가까워지거나 서로 멀어지는 방향으로 이동시키는 상하 이동기구를 더 포함할 수 있다.

본 발명에 관련된 시험장치는 상기 피검사체의 마크부를 윗쪽에서 촬영하도록 상기 프로브유닛에 지지된 카메라장치를 더 포함할 수 있다.

본 발명에 관련된 시험장치는 상기 패널리시버를 지지하는 프레임을 포함할 수 있다. 또한 상기 프로브유닛은 상기 프레임 또는 상기 패널리시버에 지지되어 있어도 된다.

본 발명에 관련된 시험장치는 상기 프로브유닛을 상기 패널리시버에 지지시키는 유닛 지지기구를 더 포함할 수 있다. 그 유닛 지지기구는 상기 X방향 또는 Y방향으로 이동가능하게 상기 패널리시버에 받아진 제1이동체로서 Y방향 또는 X방향으로 연장되는 제1이동체와, X방향 또는 Y방향과 Z방향으로 비스듬하게 이동할 수 있게 상기 제1이동체에 결합된 제2이동체로서 상기 Y방향 또는 X방향으로 연장되는 제2이동체와, 상기 제2이동체의 가장 전진위치를 규정하는 스토퍼와, 상기 제1이동체를 상기 X방향 또는 Y방향으로 이동시키고, 그에 의해 상기 제2이동체를 상기 X방향 또는 Y방향으로 이동시키면서 Z방향으로 변위시키는 프로브 이동기구를 구비할 수 있다. 또한 상기 프로브유닛은 상기 제2이동체에 지지되어 있어도 좋다.

상기 유닛 지지기구는 상기 Y방향 또는 X방향으로 연장되는 이동체리시버로서 상기 패널시리버에 상기 Y방향 또는 X방향으로 이동가능하게 상기 패널리시버에 지지되어서 상기 제1이동체를 상기 패널리시버에 지지시키는 이동체리시버와, 그 이동체리시버를 그 길이방향으로 이동시켜서 상기 패널리시버에 대한 상기 Y방향 또는 X방향에서의 위치를 해제가능하게 유지하여도 좋다.

상기 프로브유닛은 상기 직사각형의 변을 따라서 연장되며 상기 유닛 지지기구에 지지된 지지베이스와, 그 지지베이스의 길이방향으로 간격을 두고 그 지지베이스에 Z방향으로 이동가능하게 지지된 프로브블록으로서 복수의 상기 접촉자를 지지하는 프로브블록을 더 포함할 수 있다.

상기 지지베이스는 Z방향으로 연장되는 축선 주위로 각도적으로 회전가능하게 유닛 지지기구에 지지되어 있어도 된다. 또한 상기 프로브 유닛은 상기 지지베이스를 상기 패널리시버에 대하여 각도적으로 회전시켜서 상기 Z방향으로 연장되는 축선 주위에서의 상기 패널리시버와 상기 프로브유닛의 위치관계를 해제가능하게 유지하는 각도조정기구를 구비하여도 좋다.

프로브 이동기구는 상기 프로브블록을 상기 패널 수용면으로부터 후퇴한 후퇴 위치와, 피검사체를 위치결정하기 위한 얼라인먼트 위치와, 상기 접촉자를 피검사체의 전극에 접촉시키는 컨덕트 위치로 선택적으로 변위시켜서 해제가능하게 유지하는 위치 제어 가능한 모터를 포함할 수 있다.

상기 프로브유닛이 상기 직사각형의 서로 이웃하는 두 개의 변에 대응하는 위치 각각에 배치되어 있어도 좋다.

상기 얼라인먼트 장치는 상기 패널수용면의 서로 마주하는 한 쌍의 변 중 한쪽 및 다른 쪽에 각각 대응하는 변의 연장방향으로 간격을 두고 배치된 복수의 상기 제1푸셔기구 및 복수의 상기 제1위치결정기구를 포함할 수 있다.

상기 얼라인먼트 장치는 상기 패널수용면의 서로 마주하는 한 쌍의 변 중 한쪽 및 다른 쪽에 각각 대응하는 변의 연장방향으로 간격을 두고 배치된 한 쌍의 상기 제1푸셔기구 및 한 쌍의 상기 제1위치결정기구를 포함할 수 있다.

상기 얼라인먼트 장치는 상기 패널수용면의 서로 마주하는 한 쌍의 변 중 상기 다른 쪽에 대응하는 변의 연장방향으로 간격을 두고 배치된 한 쌍의 상기 제1 위치결정기구를 포함할 수 있다.

상기 제1푸셔기구는 대응하는 변의 방향으로 간격을 둔 복수의 상기 가압부재를 구비할 수 있다. 또한, 상기 제1푸셔기구의 상기 구동기구는 상기 가압부재를 X방향 또는 Y방향으로 변위시키는 구동원과, 상기 복수의 가압부재를 Y방향 또는 X방향으로 간격을 두고 지지하는 지지부재로 Z방향으로 연장되는 축선 둘레로 회전가능하게 상기 구동원에 지지된 지지부재를 구비할 수 있다.

위치 결정시, 피검사체는 각 푸셔기구 및 각 위치결정기구의 각 가압부재가 피검사체의 X방향 또는 Y방향에서의 단면에 가압되게 되어 패널리시버에 대하여 변위되고, 그에 의해 피검사체의 전극과 접촉자의 침선이 접촉하도록 위치 결정된다.

그와 같은 위치결정시, 각 위치결정기구의 구동기구가 X방향 또는 Y방향에서의 상기 가압부재의 위치를 해제 가능하게 유지하기 때문에 각 위치결정기구의 가압부재의 X방향 또는 Y방향에서의 위치는 변위되지 않는다. 이 때문에, 위치 결정기구의 가압부재를 X방향 또는 Y방향에서의 피검사체의 기준위치를 결정하는 부재로서 사용할 수 있다.

상기 결과, 본 발명에 따르면 피검사체와 프로브유닛은 피검사체의 X방향 및 Y방향에서의 단면이 푸셔기구에 의해 위치결정기구의 가압부재에 가압됨에 따라 정확하게 위치결정된다.

또한 각 푸셔기구 및 각 위치결정기구는 경량의 피검사체를 변위시키는 구조이면 상관없기 때문에 경량이고 패널리시버나 백라이트유닛 등의 중량의 큰 목적물을 변위시키는 대형 얼라인먼트 장치가 불필요해지는 것과 더불어 저렴한 시험장치를 얻을 수 있다.

그리고 또한 푸셔 기구측의 가압부 뿐만 아니라 기준위치를 결정하는 위치결정기구측의 가압부재를 피검사체에 대하여 후퇴시킬 수 있다면, 패널리시버에 대한 피검사체의 주고 받는 작업이 용이해진다.

각 위치결정기구의 구동기구가 X방향 또는 Y방향에서의 상기 가압부재의 위치를 해제가능하게 유지하는 구동원이 펄스모터와 같은 위치 제어 가능한 모터를 포함한다면, 각 위치결정기구의 가압부재의 X방향 또는 Y방향에서의 위치는 모터가 회전되지 않는 한 변위되지 않는다.

각 위치결정기구의 가압부재가 적어도 그 이동방향으로 탄성변형되기 어렵거나 또는 탄성 변형하지 않는 재료로 제작되어 있다면 피검사체 가장자리 둘레부의 X방향 또는 Y방향의 위치는 그와 같은 가압부재에 의해 올바르게 위치 결정이 이루어진다.

도1은 본 발명에 관련되는 시험장치의 일실시예를 나타내는사시도,
도2는 도1에 나타낸 시험장치의 정면도,
도3은 도1에 나타낸 시험장치의 평면도,
도4는 도3에서의 4-4선을 따라서 얻어진 단면도,
도5는 결합기구 및 이동편 이동기구의 일실시예를 설명하기 위해 패널리시버와 이것을 받는 테이블베이스를 분해하여서 나타낸 사시도,
도6은 도1에서 나타낸 시험장치를 프로브유닛을 제거하고 나타낸 평면도,
도7은 도3에서의 7-7선을 따라서 얻어진 단면도로서 패널리시버의 하방측 부재를 생략한 단면도,
도8은 위치결정기구의 일실시예를 패널리시버의 이동편과 함께 나타낸 사시도,
도9는 도3에서의 9-9선을 따라서 얻어진 단면도로서 패널리시버의 하방측 부재를 생략한 단면도,
도10은 푸셔기구의 일실시예를 패널리시버의 이동편과 함께 나타낸 사시도,
도11은 프로브유닛 및 그 지지기구를 패널리시버의 이동편과 함께 나타낸 정면도,
도12는 프로브유닛과 피검사체의 관계를 설명하기 위한 사시도,
도13은 프로브유닛과 그 지지기구를 분해해서 나타낸 사시도,
도14는 유닛 지지기구의 일실시예를 X방향의 일방향에서 본 사시도,
도15는 도14의 유닛 지지기구를 도14와는 반대방향에서 본 사시도,
도16은 위치결정이 이루어졌을 때의 푸셔기구와 위치결정기구의 관계를 나타내는 도면,
도17은 위치결정 및 접촉이 이루어졌을 때, 푸셔기구, 위치결정기구 및 피검사체의 관계를 나타내는 일부를 단면으로 나타낸 정면도,
도18은 패널리시버와 부상장치와의 관계의 일실시예를 나타내는 사시도,
도19는 부상장치의 일실시예를 나타내는 단면도,
도20은 도1에서 나타낸 시험장치에 의한 위치결정을 설명하기 위한 도면으로서 피검사체를 X방향으로 변위시키는 상태를 설명하는 도면,
도21은 도1에서 나타낸 시험장치에 의한 위치결정을 설명하기 위한 도면으로서 피검사체를 θ축선 둘레로 각도적으로 회전시키는 상태를 설명하는 도면,
도22는 프로브유닛의 변위상태를 설명하기 위한 도면으로서, (A)는 프로브유닛이 후퇴위치에 있을 때의 상태를 나타내며, (B)는 프로브유닛이 중간위치에 있을 때의 상태를 나타내고, (C)는 프로브유닛이 접촉 위치에 있을 때의 상태를 나타낸다.
도23은 패널리시버의 개방부의 일실시예를 부상장치의 다른 실시예와 함께 나타낸 도면,
도24는 본 발명에 관련된 시험상치의 다른 실시예를 나타낸 도면,
도25는 다른 위치 결정 방법을 설명하기 위한 도면,
도26은 또 다른 위치 결정 방법을 설명하기 위한 도면,
도27은 얼라인먼트장치의 다른 실시예를 나타내는 도면,
도28은 얼라인먼트장치의 또 다른 실시예를 나타내는 도면,
도29는 결합기구의 다른 실시예를 설명하기 위해 패널리시버와 이를 받아들이는 테이블베이스를 분해하여서 나타내는 사시도이다.

[용어의 설명]

본 발명에 있어서는 도2에서 상하방향(패널리시버에 받아들여진 피검사체에 수직인 방향)을 Z방향 또는 상하방향이라 하고, 좌우방향을 X방향 또는 좌우방향이라 하며, 종이 배면방향을 Y방향 또는 전후방향이라고 한다. 그러나 이들 방향은 시험시 피검사체의 자세에 따라서 달라진다.

그 때문에 본 발명에 관련된 시험장치는 X방향 또는 Y방향에 의해 규정되는 XY면이 수평면이 되는 상태, 수평면에 대하여 경사진 상태가 되는 상태 등, 어떤 상태로 사용되어도 좋다.

[실시예]

도1~도4를 참조하면 시험장치(10)는 액정을 봉입한 액정표시패널과 같은 표시용 패널을 평판형상 피검사체(12)(도4,7,9 참조)로 하고, 그 피검사체(12)를 소정의 전기회로에 접속하여서 점등검사와 같은 전기적 시험을 하는 장치로서 이용된다.

피검사체(12)는 직사각형의 형상으로 이루어져 있으며, 또한 직사각형의 몇 개의 변에 대응하는 가장자리부(緣部) 각각에 복수의 전극을 구비한다. 이하, 이해를 돕기 위하여 피검사체(12)는 X방향으로 긴 사각형의 형상을 갖는 것으로서 설명한다. 도시된 예에서는 피검사체(12)는 직사각형의 서로 이웃하는 변에 대응하는 두 개의 가장자리부의 각각에 복수의 전극을 대응하는 가장자리부의 길이방향으로 간격을 두고 가지고 있다.

[시험장치에 관하여]

시험장치(10)는 기기 베이스 즉 플랫홈(14)과, 플랫홈(14)의 상측에 간격을 두고 배치된 테이블베이스(16)와, 테이블베이스(16)의 상측에 배치되어서 피검사체(12)를 받는 패널리시버(18)와, 패널리시버(18)의 상측에 배치된 복수의 프로브유닛(20)과, 각 프로브유닛(20)을 패널리시버(18)에 지지시킨 유닛지지기구(22)와, 패널리시버(18)에 받아들여진 피검사체(12)의 마크부(후술한다)를 상방에서 촬영하도록 프로브유닛(20)에 고정된 복수의 카메라 장치(24)와, 패널리시버(18)에 받아들여진 피검사체(12)를 패널리시버(16)에 대하여 위치 결정하는 후술의 얼라인먼트장치를 포함한다.

도시된 예에서는 프로브유닛(20)은 직사각형의 서로 이웃하는 두 개의 변에 대응하는 위치 각각에 배치된다. 그러나, 프로브유닛(20)의 배치위치는 피검사체(12)의 전극의 배치위치에 따라서 결정된다.

또한, 도시의 예에서는 유닛지지기구(22)가 직사각형의 변에 대응하는 위치 각각에 배치된다. 그러나 유닛지지기구(22)는 프로브유닛(20)이 배치되어 있지 않은 곳에 배치하지 않아도 된다.

그리고 또한, 도시의 예에서는 두 개의 카메라장치(24)가 직사각형의 서로 이웃하는 두 개 변 중 한쪽에 대응하는 위치에 그 변의 길이방향으로 간격을 두고 배치되어 있으면서, 하나의 카메라 장치(24)가 서로 이웃하는 두 개의 변 중 다른 쪽에 대응하는 위치에 배치된다. 그러나 두 개의 카메라장치(24)를 프로브유닛(20)의 각각에 프로브유닛(20)의 길이방향으로 간격을 두고 배치하여도 좋다.

플랫홈(14)은 시험장치(10)의 프레임(25)(도4참조)에 지지된다. 그러나, 플랫홈(14)은 프레임(25)의 일부라도 좋다. 플랫홈(14)과 테이블베이스(16)는 직사각형 판 형상을 가지고 있으며, 또한 테이블베이스(16)가 플랫홈(14)의 상방에 위치하는 상태로 Z(상하)방향으로 간격을 두고 있다.

테이블베이스(16)는 복수의 지주(26)(도4참조)에 의해 플랫홈(14)에 지지되어 있으며, 또한 피검사체(12)보다 큰 직사각형의 제1개구(16a)(도1 및 도4참조)를 갖는다. 플랫홈(14)과 테이블(16) 사이에는 이미 알려진 백라이트유닛(28)(도4참조)이 배치된다.

[패널리시버에 관하여]

패널리시버(18)는 도5에서와 같이 서로 우물정(井)자 모양 또는 卍형상으로 결합된 네 개의 이동편(30)을 구비한다. 각 이동편(30)은 도4~도10, 도12, 13에서 나타내는 바와 같이 폭 치수가 작은 사각형 형상을 한 제1조각부(30a)와, 폭치수가 작은 사각형 형상을 한 제2조각부(30b)를, 제1조각부(30a)가 수평이 되고 제2조각부(30b)의 폭방향이 상하방향이 되는 상태로 L자형상으로 결합한다.

한 쌍의 이동편(30)은 XY면 내부를 Y방향으로 간격을 두고 X방향으로 평행하게 신장되어 있으며, 다른 한 쌍의 이동편(30)은 XY면 내부를 X방향으로 간격을 두고 Y방향으로 평행하게 신장되어 있다. 그들 이동편(30)은 또한 후술하는 결합기구(62)에 의해 테이블베이스(16)와 평행한 면(XY면) 내부를 2차원적(X방향 및 Y방향)으로 이동가능하게 테이블베이스(16)에 결합되어 있다.

이들 네 개의 이동편(30)은 피검사체(12) 및 제1개구(16a)와 서로 비슷한 직사각형의 제2개구(32)를 공동으로 형성하면서 직사각형의 패널수용면(34)을 공동으로 제2조각부(30b)의 꼭대기면에 형성한다. 개구(16a 및 32)는 백라이트유닛(28)으로부터의 빛이 패널수용면(34)에 받아들여진 피검사체(12)로 진행되는 것을 허락하도록 대향되어 있다.

그와 같은 네 개의 이동편(30)은 제2개구(32)의 크기를 가변 가능하게(즉, XY면 내부를 이차원적으로) 이동할 수 있도록 후술하는 결합기구(62)에 의해 테이블베이스(16)에 결합된다.

서로 이웃하는 두 개의 이동편(30)은 X방향(또는 Y방향)으로 일체 이동 가능하게, 및 Y방향(또는 X방향)으로 개별적으로 이동가능하게 적절한 결합수단에 의해 결합되어 있다. 이에 의해 서로 이웃하는 이동편(30)은 상대의 이동편(30)이 독립적으로 Y방향(또는 X방향)으로 이동하는 것을 방해하는 일 없이 결합되어 있다.

즉, 각 이동편(30)은 이웃한 한쪽의 이동편(30)에 그 이웃하는 한쪽의 이동편(30)의 길이방향(Y방향 또는 X방향)으로 독립적으로 이동가능하게 결합되어 있으면서 이웃하는 다른 쪽의 이동편(30)에 그 다른 쪽 이동편(30)의 길이방향(Y방향 또는 X방향)으로 일체적으로 이동가능하게 결합되어 있다.

그와 같은 결합수단으로서 예를 들면 X방향(또는 Y방향)으로 연장되어 제2개구(32)측으로 개방되면서 절두 사각뿔 모양의 단면형상을 갖는 이른바 도브테일 홈과, 그 도브테일 홈에 슬라이딩 이동 가능하게 결합된 절두 사각뿔의 단면형상을 갖는 이른바 도브테일의 결합을 이용할 수 있다.

도브테일 홈은 서로 이웃하는 두 개의 이동편(30) 중 한쪽의 폭방향에서의 제2개구(32)측의 가장자리 단부에 형성되고 도브테일은 서로 이웃하는 두 개의 이동편(30)의 다른 쪽 길이방향에서의 하나의 가장자리 둘레부에 형성된다.

그러나, 도브테일 홈과 도브테일의 결합을 대신하여 가이드레일과 그 가이드레일에 슬라이딩 이동 가능하게 및 이탈 불가능하게 결합된 가이드의 결합과 같은 다른 결합수단을 이용해도 좋다.

각 이동편(30)에는 도18 및 19에서 나타내는 복수의 부상장치(36)가 설치되어 있다. 부상장치(36)는 상기한 얼라인먼트장치에 의해 피검사체(12)를 변위시킬 때에 피검사체(12)를 공동으로 패널수용면(34)으로부터 부상시켜서 얼라인먼트시 피검사체(2)의 이동을 원활하게 한다.

도18 및 도19에서 나타내는 예에서는 각 부상장치(36)는 개구부가 제2조각부(30b)의 꼭대기면(패널수용면(34))으로 개방하도록 제2조각부(30b)에 매립된 바닥이 있는 통부재(38)와, 일부가 패널수용면(34)에 대하여 출몰가능하게 통부재(38)에 배치된 볼(40)과, 볼(40)의 일부를 패널수용면(34)으로 노출시키도록 부세하는 스프링(42)과, 볼(40) 및 스프링(42) 사이에 있으며, 상하방향으로 이동가능하게 통부재(38)에 배치된 원판형상의 볼리시버(44)와, 통부재(38)내에서의 볼(40)의 변위를 규제하는 링(46)을 포함한다.

부상장치(36)는 피검사체(12)를 볼(40)로 받아서 패널수용면(34)로부터 떠오르게 한 상태로 유지한다. 이 때문에 스프링(42)의 부세력은 피검사체(12)를 패널수용면(34)으로부터 부상시킬 정도이면 된다.

또한 도23에서와 같이 패널리시버(18)는 패널수용면(34)으로 개방하는 복수의 개방부(48)와, 그들 개방부(48)를 연통하는 연통홀(50)을 각 제2조각부(30b)에 구비한다. 도시의 예에서는 각 개방부(48)는 구멍이지만, 패널수용면(34)에 개방되어서 제2조각부(30b)의 길이방향으로 연장되는 홈과 같은 다른 개방부이어도 좋다.

각 제2조각부(30b)의 연통홀(50)은 파이프(54)에 의해 온·오프밸브(52)에 접속되어 있다. 밸브(52)는 진공탱크와 같은 감압된 감압탱크(56)에 연결되어 있으며 밸브드라이버(58)에 의해 구동되어서 감압탱크(56)와 연통홀(50) 사이의 공기의 유로를 선택적으로 온·오프로 만든다.

상기 공기의 유로가 온이 되어 있으면, 개방부(48) 및 연통홀(50)이 감압탱크에 접속된다. 그에 의해 피검사체(12)는 부상장치(36)의 스프링(42)의 부세력에 대항하여 볼(40)을 눌러서 패널수용면(34)에 변위 불가능하게 진공적으로 흡착된다. 이 상태에서 피검사체(12)의 점등시험이 수행된다.

상술된 것과는 반대로 상기 공기의 유로가 오프가 되어 있으면 개방부(48) 및 연통홀(50)이 감압탱크(56)에서 떨어진다. 이에 의해 피검사체(12)는 패널수용면(34)으로의 흡착이 해제되고, 볼(40)의 일부는 스프링(42)의 부세력에 의해 패널수용면(34)로부터 아주 조금 돌출된다.

상기의 결과, 피검사체(12)는 패널수용면(34)으로부터 조금 부상된다. 이 상태에서 신구의 피검사체(12)의 교체와, 새로운 피검사체(12)의 얼라인먼트가 이루어진다. 얼라인먼트는 후술하는 바와 같이 피검사체(12)를 얼라인먼트장치에 의해 변위시킴에 따라 수행된다. 얼라인먼트시, 피검사체(12)는 볼(40)에 맞닿아져 있을 뿐으로 패널수용면(34)로부터 부상되어 있기 때문에 원활하고 용이하게 변위한다.

도23과 같이 상기한 부상장치(36)을 대신하여 압축공기원과 같은 압력유체원(60)을 밸브(52)에 접속하여 감압탱크(56) 및 압력유체원(60)을 밸브(52)에 의해 연통홀(50)에 선택적으로 접속하여도 좋다.

상기의 경우, 밸브(52)로서 절환밸브가 사용된다. 피검사체(12)는 개방부(48)가 압력유체원(60)에 접속되어서 압력유체원(60)으로부터의 압력유체가 개방부(48)에서 분출됨으로써 패널수용면(34)으로부터 약간 부상된다.

[결합기구에 관하여]

도1, 3, 5등과 같이, 상기 결합기구(62)는 네 개의 이동편(30)을 X방향 및 Y방향으로 이동가능하게 테이블베이스(16)에 결합하기 위해서 테이블베이스(16)와 패널리시버(18) 사이에 배치된다.

결합기구(62)는 도시의 예에서는 X방향으로 간격을 두고 Y방향으로 평행하게 연장되고, X방향으로 이동가능하게 테이블베이스(16)에 배치된 띠 모양의 한 쌍의 제1슬라이더(64)와, 제1슬라이더(64)의 상방을 Y방향으로 간격을 두고 X방향으로 평행하게 연장되어서 Y방향으로 이동가능하게 테이블베이스(16)에 배치된 띠 모양의 한 쌍의 제2슬라이더(66)를 구비한다.

도5에서와 같이 한쪽의 제2슬라이더(66)는 결합부재(68)에 의해 Y방향으로 이동가능하게 한쪽의 제1슬라이더(64)에 결합되어 있으며, 다른 쪽의 제2슬라이더(66)는 다른 결합부재(68)에 의해 Y방향으로 이동가능하게 다른 쪽의 제1슬라이더(64)에 결합되어 있다.

슬라이더(64 및 66) 각각은 테이블베이스(16)의 상면에 구비된 한 쌍의 레일(70 및 70)에 X방향(또는 Y방향)으로 이동가능하게 각 슬라이더의 일단부 및 타단부에서 결합된다.

각 결합부재(68)는 대응하는 제1슬라이더(64)에 설치되며 그 제1슬라이더(64)의 길이방향으로 연장되는 한 쌍의 레일(72)에 Y방향으로 이동가능하게 결합되어 있으면서, 대응하는 제2의 다른 슬라이더(66)에 설치되고 그 제2슬라이더(66)의 길이방향으로 연장되는 다른 한 쌍의 레일(72)에 X방향으로 이동가능하게 결합된다. 이에 의해 각 결합부재(68)는 테이블베이스(16)에 대하여 XY면 내부를 이차원적으로 이동가능하다.

도시의 예에서는 Y방향으로 연장되는 각 이동편(30)은 결합부재(68)에 변위 불가능하게 결합되어 있으며, X방향으로 연장되는 각 이동편(30)은 X방향으로 연장되는 제2슬라이더(66)의 나머지 한 쌍의 레일(72)에 X방향으로 이동가능하게 결합된다.

슬라이더(64 및 66) 각각은 이동편 이동기구(74)에 의해 X방향(또는 Y방향)으로 이동되어서 그와 같은 이동방향에서의 적절한 위치에서 해제가능하게 유지된다.

도시의 예에서는 각 이동편 이동기구(74)로서 테이블베이스(16)의 상면에 설치된 모터와, X방향(또는 Y방향)으로 연장되는 상태로 상기 모터에 연결되어서 그 모터에 의해 회전되는 볼나사와, 그 볼나사에 나사 결합되며 슬라이더(64 또는 66)에 연결구에 의해 연결된 너트를 이용한 기구를 이용한다. 모터는 펄스모터와 같이 회전각도 위치를 해제 가능하게 유지하도록 위치 제어 가능한 모터이다.

예를 들면, 한 쌍의 제1슬라이더(64)가 대응하는 이동편 이동기구(74)에 의해 서로 가까워지거나 서로 멀어지는 방향(X방향)으로 이동되면, 결합부재(68)를 통하여 제1슬라이더(64)에 연결된 한쪽의(Y방향으로 연장된다) 한 쌍의 이동편(30)이 서로 가까워지거나 서로 멀어지는 방향(X방향)으로 결합부재(68)와 함께 이동되면서 그 한쪽의 이동편(30)에 상기한 도브테일 홈과 도부테일 장부(dovetail tenon) 등의 결합수단에 의해 연결된 다른(X방향으로 연장된다) 한 쌍의 이동편(30)이 그 한쪽 이동편(30)의 이동과 더불어서 X방향으로 이동된다.

또한, 양쪽 제2슬라이더(66)가 대응하는 이동편 이동기구(74)에 의해 서로 가까워지거나 서로 멀어지는 방향(Y방향)으로 이동되면, 제2슬라이더(66)에 연결된 상기 다른(X방향으로 연장된다) 한 쌍의 이동편(30)이 제2슬라이더(66)와 함께 서로 가까워지거나 서로 멀어지는 방향(Y방향)으로 이동되면서 그 이동편(30)에 상기한 도브테일 홈과 도브테일 장부 등의 결합수단에 의해 연결된 상기 한쪽(Y방향으로 연장된다)의 한 쌍의 이동편(30)이 그 다른 쪽의 이동편(30)의 이동과 더불어 길이방향(Y방향)으로 이동된다.

이 때문에 네 개의 이동편(30)은 제2개구(32)의 크기가 도3 및 도6에서 나타내는 크기가 되도록 이동된다. 그 결과, 제2개구(32), 나아가서는 패널수용면(34)의 크기를 시험해야 할 피검사체(12)의 크기에 맞추어서 변경할 수 있다. 이 작업은 피검사체(12)의 점등 시험에 앞서 이루어진다.

[얼라인먼트장치에 관하여]

도2, 4, 7~10, 16 및 17을 참조하면, 상술된 얼라인먼트장치는 패널 수용면(34)의 서로 마주하는 한 쌍의 변(X변) 중 한쪽 및 다른 쪽에 각각 대응하는 변의 길이방향으로 간격을 두고 배치된 한 쌍의 제1푸셔기구(80) 및 한 쌍의 제1위치결정기구(82)와, 패널수용면(34)의 서로 마주하는 다른 한 쌍의 변(Y변) 중 한쪽 및 다른 쪽에 각각 배치된 제2푸셔기구(84) 및 제2위치결정기구(86)을 포함한다.

푸셔기구(80,84)의 각각은 피검사체(12)를 푸셔기구가 배치된 쪽과 반대측에 배치된 위치결정기구(82 또는 86)에 대하여 진퇴(進退)시킨다. 이에 대하여 위치결정기구(82,86) 각각은 X방향(또는 Y방향)에서의 피검사체(12)의 기준위치를 결정한다.

도7에서부터 도10에 나타내는 바와 같이, 푸셔기구(80,84) 및 위치결정기구(82,86)의 각각은 패널수용면(34)과 같은 높이위치에 있으며, 평면적으로 보아 패널수용면(34)의 바깥쪽에 위치된 가압부재(90)와, 가압부재(90)가 지지된 지주형상의 이동체(92)와, 이동체(92) 더 나아가서는 가압부재(90)를 패널수용면(34)에 대하여 진퇴시키는 구동기구(94)와, 그들을 지지하는 지지판(96)을 구비한다.

도시된 예에서는 이동체(92)는 상하방향으로 연장되어서 지주(支柱)모양의 형상을 갖는다. 가압부재(90)은 고정핀(98)에 의해 이동체(92)의 상단부에 Z방향으로 연장되는 축선 둘레로 회전가능하게 고정된 롤러이나 다른 부재라도 상관없다.

지지판(96)은 패널리시버(18)의 이동편(30)의 제1조각부(30a)의 상면에 설치된 한 쌍의 레일(100)에 제1조각부(30a)의 길이방향(X방향 또는 Y방향)으로 이동가능하게 조립되어 있다. 양 레일(100)은 제1조각부(30a)의 폭방향(Y방향 또는 X방향)으로 간격을 두고 길이방향(X방향 또는 Y방향)으로 평행하게 연장된다.

도7에서부터 10에 나타내는 바와 같이, 지지판(96)은 가이드(102)에 의해 한쪽 레일(100)에 조립되어 있으며, 또한 다른 쪽의 레일(100)의 상면에 재치되어 있다. 이 때문에 한쪽의 레일(100)은 가이드레일로서 작용한다. 다른 쪽 레일(100)은 상방으로 개방되는 암나사홀(104)을 X방향(또는 Y방향)의 여러 위치 각각에 구비한다.

다른 쪽 레일(100)에는 X방향(또는 Y방향)으로 연장하는 긴 홀(106)을 갖는 띠모양의 고정금구(108)가 재치되어 있으면서 지지판(96)에 상대적 이동이 불가능하게 설치되어 있다. 고정금구(108)는 긴 홀(106)에 윗쪽에서부터 끼워 넣어져 암나사홀(104)에 나사 결합된 볼트(110)에 의해 다른 쪽 레일(100)에 해제가능하게 고정된다. 이에 의해 각 지지판(96)은 X방향(또는 Y방향)에서의 소정 위치에 해제가능하게 고정된다.

상기의 결과, 푸셔기구(80,84) 및 위치결정기구(82,86) 각각은 X방향(또는 Y방향)에서의 소정 위치에 해제가능하게 고정된다. 이 때문에 다른 쪽 레일(100)은 X방향(또는 Y방향)에서의 푸셔기구 및 위치결정기구의 위치를 해제가능하게 고정하는 고정레일로서 작용한다.

그러나 X방향(또는 Y방향)에서의 푸셔기구 및 위치결정기구의 위치는 볼트(110)를 나사 결합하는 암나사홀(104)과, 볼트(110)에 대한 고정금구(108)의 위치를 변경함으로써 피검사체(12)의 종류, 크기 등에 따라서 선택할 수 있다.

각 구동기구(94)는 지지판(96)의 폭방향(Y방향 또는 X방향)으로 간격을 두고 지지판(96)의 길이방향(X방향 또는 Y방향)으로 연장되는 한 쌍의 레일(112)과, 각 레일(112)에 지지판(96)의 폭방향으로 이동가능하게 결합된 슬라이더(114)와, 양 슬라이더(114)를 연결하는 연결판(116)과, 가압부재(90)를 지지판(96)의 폭방향으로 이동시키는 구동원(118)을 구비한다.

슬라이더(114)는 연결판(116)의 하면에 고정된다. 구동원(118)은 지지판(96)의 상면에 고정되어 있다. 이동체(92)는 연결판(116) 위에 직립상태로 고정되어 있다. 그러나 이동체(92)와 연결판(116)을 일체적인 구조로 해도 좋다.

도9 및 도10에서와 같이 푸셔기구(80,84)의 각 구동원(118)은 공기압 실린더나 유압 실린더와 같은 유체압 실린더기구를 이용한다. 이 실린더 기구는 그 실린더가 지지판(96)에 고정되고 피스톤 로드가 슬라이더(114)에 연결된다.

이 때문에 푸셔기구(80,84)의 각 구동기구(94)는 슬라이더(114)를 구동원(118)에 의해 제2조각부(30b)에 대하여 진퇴시킴으로써 가압부재(96)를 패널수용면(34), 나아가서는 피검사체(12)에 대하여 (X방향 또는 Y방향으로 진퇴시킨다.

도7 및 도8에서와 같이 위치결정기구(82,86)의 각 구동원(118)은 펄스모터와 같이 회전각도 위치를 제어할 수 있는 모터를 이용한다. 이 때문에 위치결정기구(82,86)의 각 구동기구(94)는, 그리고 또한 대응하는 구동원(118)에서 지지판(96)의 폭방향(X방향 또는 Y방향)으로 연장되고, 대응하는 구동원(118)에 의해 회전되는 볼나사(120)와, 볼나사(120)에 나사 결합된 너트(122)를 구비한다. 너트(122)는 연결판(116)에 고정된다.

위치결정기구(82,86)의 각 구동기구(94)는 볼나사(120)를 구동원(118)에 의해 회전시킴으로써 너트(122)를 제2조각부(30b)에 대하여 진퇴시키며 그에 의해 가압부재(96)를 패널수용면(34), 나아가서는 피검사체(12)에 대하여 (X방향 또는 Y방향)으로 진퇴시킨다.

도20에서와 같이, 푸셔기구(80,84)의 각 구동원(실린더기구)(118)은 두 개의 압력유체원(124,126)에 밸브장치(128)에 의해 선택적으로 접속된다. 압력유체원(124,126)은 서로 다른 압력을 갖는 압축된 공기나 기름과 같은 압력유체를 저장하고 있다.

밸브장치(128)는 밸브드라이버(129)에 의해 선택적으로 구동되는 복수의 밸브를 구비한다. 밸브장치(128)내의 각 밸브는 밸브드라이버(129)에 의해 선택적으로 구동되어서 푸셔기구(80,84)의 구동원(118) 중 하나를 압력유체원(124,126)에 선택적으로 접속한다. 이에 의해 상술한 실린더 기구의 피스톤로드가 실린더에 대하여 진퇴되어서 가압부재(96)가 패널수용면(34), 나아가서는 피검사체(12)에 대하여 진퇴된다.

또한 도20에서 나타내는 바와 같이 위치결정기구(82,86)의 각 구동원(위치제어가능한 모터)(118)은 모터드라이버(130)에 의해 구동되어서 대응하는 가압부재(96)에 의해 X방향(또는 Y방향)에서의 피검사체(12)의 기준위치를 결정한다. 각 기준위치는 피검사체(12)의 종류, 크기 등에 의해 미리 결정된다.

상기와 같은 구조를 갖는 얼라인먼트장치는 예를 들면 도20에서와 같이 X방향용의 위치결정기구(86)의 가압부재(96)를 X방향으로 진퇴시켜서 X방향에서의 피감사체(12)의 기준위치로 유지하면서, X방향용의 푸셔기구(84)의 가압부재(96)에 의해 피검사체(12)를 X방향용의 위치결정기구(86)의 가압부재(96)에 대하여 민다. 이에 의해 피검사체(12)는 X방향의 얼라인먼트를 받는다.

Y방향에서의 피검사체(12)의 얼라인먼트는 Y방향용의 위치결정(82,82) 및 Y방향용의 푸셔기구(80,80)를 상기와 같이 동작시킴에 따라 수행된다.

Z방향으로 연장되는 θ축선 둘레에서의 피검사체(12)의 얼라인먼트는 예를 들면 도21에서 나타내는 바와 같이 Y방향용의 위치결정기구(82,82) 및 Y방향의 푸셔기구(80,84)의 가압부재(90)를 각각 화살표방향으로 나타내어지는 방향으로 이동시킴으로써 수행할 수 있다.

상기와 같은 얼라인먼트시, 각 푸셔기구의 구동원은 압력이 낮은 압력유체원(124)에 접속된다. 이에 의해 피검사체(12)는 가압부재(90)에 의해 약한 힘으로 끼워진다. 그 결과, 피검사체(12)가 가압부재(90)에 충돌할 때에 피검사체(12)에 작용하는 충격이 작으며, 그 충격에 기인한 피검사체(12)의 파손이 방지될 수 있다.

얼라인먼트를 하는 사이, 피검사체(12)는 도18 및 도19에서 나타내는 부상장치(36)에 의해 패널수용면(34)으로부터 부상되어 있다. 이 때문에 얼라인먼트시에 피검사체(12)가 원활하게 이동하여 정확한 얼라인먼트가 이루어진다.

상기와 같이, 얼라인먼트시 각 위치결정기구의 가압부재(90)가 피검사체(12)의 기준위치를 결정하기 때문에 각 위치결정 기구의 가압부재(90)는 적어도 그 이동방향으로의 탄성 변형되기 어렵거나 또는 되지 않는, 혹은 마모되기 어렵거나 되지 않는 재료, 예를 들면 경질 수지로 제작된다.

이에 의해 위치결정 기구의 가압부재(90)는, 피검사체(12)가 푸셔기구의 가압부재(90)에 의해 가압되어도 구동원으로서 위치 제어 가능한 모터를 사용하는 것과 어울려 기준위치를 유지한다. 또한 가압부재(90)의 탄성 변형을 고려하는 일 없이 구동원으로서의 모터 회전량을 결정할 수 있기 때문에 모터의 위치 제어가 용이해진다.

그러나 가압부재(90)의 탄성변형을 고려하여서 구동원으로의 모터의 회전량을 결정하는 경우에는 위치결정기구의 가압부재(90)는 탄성 변형 가능한 재료로 제작되어 있어도 좋다.

이에 대하여, 푸셔기구의 가압부재(90)는 피검사체(12)를 파손하지 않을 정도의 경도를 갖는 수지와 같은 재료로 구성할 수 있다. 그 때문에 푸셔기구의 가압부재(90)는 탄성 변형을 하지 않는 재료 및 탄성 변형을 하는 재료 어느 쪽이라도 상관없다.

피검사체(12)가 푸셔기구(80,84)에 의해 위치결정기구(82,86)의 가압부재(90)에 가압되었을 때, 볼 나사(120)와 너트(122)는 그들 사이의 마찰력에 의해 구동원(118)이 구동되지 않는 한, 위치결정기구(82,86)의 가압부재(90)의 후퇴를 저지한다. 이에 의해, 얼라인먼트를 위한 기준위치는 변위하지 않는다.

상기와 같이 위치결정기구(82,86)의 각 구동기구(94)는 X방향 또는 Y방향에서의 가압부재(90)의 가장 전진 위치를 변경가능하게 및 해제가능하게 유지한다. X방향, Y방향 및 θ축선 주위의 얼라인먼트가 종료된 상태를 도16 및 도17에서 나타낸다.

얼라인먼트가 종료하면, 각 푸셔기구의 구동원은 압력이 높은 유체원(126)에 접속된다. 이에 의해, 피검사체(12)는 가압부재(90)에 의해 강한 힘으로 끼워진다. 피검사체(12)는 점등시험이 종료할 때까지 가압부재(90)에 의해 강하게 끼워진 상태로 유지된다.

[프로브유닛에 관하여]

도7, 도11에서 나타내는 바와 같이, 각 프로브유닛(20)은 직사각형의 변을 따라서(X방향 또는 Y방향으로) 연장되며 또한 유닛 지지기구(22)에 지지된 판형상의 지지베이스(132)와, 지지베이스(132)의 길이방향으로 간격을 두고 지지베이스(132)에 부착된 복수의 지지블록(134)과, 각 지지블록(134)에 Z방향으로 이동가능하게 지지된 이동블록(136)과, 각 이동블록(136)에 고정된 프로브블록(138)을 포함한다.

지지베이스(132)는 복수의 나사부재(미도시)에 의해 유닛 지지기구(22)의 상면에 떼어낼 수 있게 고정되어 있다. 각 지지블록(134)은 그 상단부에서 패널수용면(34) 측으로 돌출하는 돌출부를 갖는다.

각 이동블록(136)은 지지베이스(132)의 앞 쪽(제2개구(32)측)에 설치되어서 상하방향으로 연장되는 레일(140)과, 레일(140)의 상하방향으로 이동가능하게 결합된 가이드(142)에 의해 지지베이스(32)에 조립되어 있으며, 또한 지지블록(134)의 상기 돌출부를 상하방향으로 관통하여서 이동블록(136)에 나사 결합된 조정나사(144)에 의해 상하방향에서의 위치를 조정가능하게 이루어져 있다.

각 프로브블록(138)은 도9 및 도11에서 나타내는 바와 같이 X방향 또는 Y방향으로 간격을 두고 정렬된 복수의 접촉자(146)를 가지고 있으며 또한 그들 접촉자(146)의 침선을 패널리시버(18)를 향한 상태로 이동블록(136)에 지지되어 있다.

[유닛 지지기구]

도7, 9, 11에서부터 15에 나타내는 바와 같이, 유닛지지기구(22)는 패널리시버(18)의 제1조각부(30a)에 배치된 제1조각부(30a)의 길이방향으로 연장되는 판형상의 이동체 리시버(150)와, 이동체 리시버(150)에 배치된 제1이동체(152)와, 패널수용면(34)에 대하여 경사진 방향으로 이동가능하게 제1이동체(152)에 결합된 제2이동체(154)와, 제2이동체(154)의 상단부에 고정된 꼭대기판(156)과, 제1이동체(152)를 제1조각부(30a)의 폭방향으로 이동시키는 프로브 이동기구(158)와, 제2이동체(154)의 가장 전진위치(제2개구(32)측 위치)를 규제하는 스토퍼(160)를 구비한다.

이동체리시버(150)는 이동체리시버(150)의 폭방향으로 간격을 두고 이동체리시버(150)의 길이방향(X방향 또는 Y방향)으로 평행하게 신장된 상태로 제1조각부(30a)에 설치된 한 쌍 또는 여러 쌍의 레일(162)과, 각 레일(162)에 그 길이방향으로 이동가능하게 지지되며 이동체리시버(150)의 하측에 조립된 가이드(164)에 의해 제1조각부(30a)상에 결합되어 있다. 이 때문에 이동체리시버(150)는 제1조각부(30a)의 길이방향으로 이동가능하다.
제1이동체(152)는 이동체리시버(150)(제1조각부(30a))의 길이방향으로 간격으로 두고 이동체리시버(150)의 폭방향으로 평행하게 연장된 상태로 이동체리시버(150)에 설치된 한 쌍의 레일(166)과, 각 레일(166)에 그 길이방향으로 이동가능하게 지지되며 제1이동체(152)의 하측에 조립된 가이드(168)에 의해 이동체리시버(150)상에 결합되어 있다. 이 때문에 제1이동체(152)는 이동체리시버(150)(또는 제1조각부(30a))의 폭방향으로의 이동 가능하다.

제1 및 제2의 이동체(152 및 154)는 제2이동체(154)가 패널 수용면(34) 측에 위치하도록 패널수용면(34)에 대하여 비스듬히 결합되어 있다. 이 때문에, 제1 및 제2의 이동체(152 및 154)는 각각 비스듬한 하향면 및 비스듬한 상향면을 갖는다. 제2이동체(154)는 제1조각부(30a)의 길이방향으로 연장되면서 상부만큼 패널수용면(34) 측이 되도록 비스듬히 연장되어 있다.

또한 제2이동체(154)는 제1이동체(152)의 비스듬한 하향면에 설치되어서 제1조각부(30a)의 길이방향으로 간격을 두고, 제1조각부(30a)의 폭방향으로 평행하게 연장되는 한 쌍의 레일(170)과, 각 레일(170)에 그 길이방향으로 이동가능하게 결합되며 제2이동체(154)의 비스듬한 상향면에 설치된 가이드(172)에 의해 제1이동체(152)에 결합된다. 이 때문에, 제2이동체(154)는 제1이동체(152)에 대하여 비스듬한 방향으로 이동가능하다.

꼭대기판(156)은 제1조각부(30a)의 길이방향으로 긴 사각형의 형상을 가지고 있으며, 또한 제2이동체(154)의 꼭대기부에 고정되어 있다. 프로브유닛(20)은 꼭대기판(156) 위에 고정되어서 제2이동체(154)에 지지되어 있다.

각 프로브이동기구(158)는 이동체리시버(150)의 상면에 설치된 모터(174)와, X방향(또는 Y방향)으로 연장되는 상태로 모터(174)에 연결되어서, 모터(174)에 의해 회전되는 볼나사(176)와, 볼나사(176)에 나사 결합된 너트(178)와, 제2이동체 (154)에 고정되어서 너트(178)를 지지하는 결합구(180)를 이용한 기구를 사용한다.

모터(174)는 펄스모터와 같이 회전각도위치를 해제가능하게 유지하도록 위치제어가능한 모터이며 또한 브래킷(182)를 통하여 이동체 리시버(150)에 지지된다. 볼나사(176)는 모터(174)의 회전축에 연결되어 있으면서 다른 브래킷(184)를 통해서 이동체 리시버(150)에 지지되어 있다.

또한, 제1 및 제2 이동체(152 및 154)는 비스듬히 상방으로 연장되어서 상단으로 개방하도록 제1이동체(152)에 형성된 홀(186)과, 홀(186)에 상방에서 삽입된 로드(188)에 의해, 비스듬한 하향면 및 비스듬히 상향면에 수직방향으로의 상대적인 변위, 그리고 제1 및 제2 이동체(152 및 154)의 길이방향으로의 상대적인 변위를 방지 받는다.

제1 및 제2 이동체(152 및 154)는 로드(188)의 주위에 배치된 압축코일스프링(190)에 의해, 제1 및 제2 이동체(152 및 154)가 로드(188)의 길이방향으로 이격되도록 상대적으로 부세된다. 실제로는 제1이동체(152)가 로드(188)의 길이 방향으로의 변위를 레일(166) 및 가이드(168)에 의해 방지되고 있어서 제2이동체(154)가 스프링(190)에 의해 비스듬히 상방으로 부세된다.

또한, 도11에서와 같이, 유닛지지기구(22)는 제2이동체(154)의 가장 상승위치를 규제하도록 제1 및 제2 이동체(152 및 154)에 설치된 스토퍼(191 및 193)를 구비한다. 스토퍼(191 및 193)는 제2이동체(154)가 상승했을 때에 서로 맞닿아서 제2이동체(154)의 상승을 저지하도록 각각 제1 및 제2 이동체(152 및 154)의 비스듬한 하향면 및 비스듬한 상향면에 설치되어 있다.

상기와 같은 유닛지지기구(22)에 있어서, 제1이동체(152)가 모터(174)의 정회전에 의해 피검사체(12)를 향해서 이동되면, 제2이동체(154)도 같은 방향으로 이동된다. 이 때, 제2 이동체(154)를 스프링(190)의 부세력에 대항하여서 비스듬히 하방으로 변위시키는 변위발생기구(192)(도7,11,13 등 참조)가 제2이동기구(154)에 설치된다.

도7, 11에서와 같이 변위발생기구(192)는 제2이동체(154)의 피검사체(12)측의 비스듬한 하향면에 설치된 'コ'형상의 브래킷(194)과, 제2이동체(154)의 길이방향으로 연장되는 축선 주위로 회전가능하게 및 스토퍼(160)에 접촉 가능하게 브래킷(194)에 고정된 롤러(196)를 구비한다.

유닛지지기구(22)에 있어서 제1 및 제2이동체(152 및 154)가 모터(174)에 의해 피검사체(12)를 향해서 이동되면, 롤러(196)가 스토퍼(160)에 맞닿는다.

제1 및 제2 이동체(152 및 154)가 모터(174)에 의해 피검사체(12)를 향해서 한층 더 이동되면, 제2이동체(154)는 그 전진을 스토퍼(160)에 의해 저지받기 때문에 제2이동체(154)를 비스듬히 하방으로 변위시키는 변위력이 레일(170) 및 가이드(172)의 결합부에서 발생한다.

그와 같은 변위력에 의해 제1이동체(154)의 더 많은 전진과 더불어 제2이동체(154)는 하방으로 이동된다. 그 결과, 프로브유닛(20)이 하방으로 이동되어서 프로브블록(138)에 구비된 접촉자의 침선이 피검사체(12)의 전극에 눌린다.

이 때, 피검사체(12)가 가압부재(90)에 의해 강력한 힘으로 끼워져 있는 것과, 패널수용면(34)에 흡착되어 있는 것이 서로 작용하여, 접촉자의 침선이 피검사체(12)의 전극에 눌려지더라도 피검사체(12)가 패널리시버(18) 및 프로브유닛(20)에 대하여 변위하는 것이 확실히 방지된다.

상기 상태에서 모터(174)가 역회전되면, 롤러(196)가 스토퍼(160)에 맞닿은 상태로 제1이동체(152)가 패널수용면(34) 및 제2이동체(154)에 대하여 후퇴된다. 이 사이에 제2이동체(154)는 스프링(190)의 힘에 의해 제1이동체(152)에 대하여 상승되어서 피검사체(12)로부터 상방으로 이격된다.

모터(174)가 한층 더 역회전 되면 제1이동체(152)는 계속 후퇴한다. 그러나 제2이동체(154)는 스토퍼(193)가 스토퍼(191)에 접촉함으로써 상승을 정지하고, 그 상태에서 제1이동체(152)와 함께 패널수용면(34)에 대하여 후퇴위치를 향해서 후퇴된다.

상기와 같이 제2이동체(154) 및 프로브블록(138)은 패널수용면(34) 및 피검사체(12)에 대하여 모터(174)의 정회전에 의해 전진 및 하강되어서 전진 및 하강한 위치로 해제 가능하게 유지되고, 또한 모터(174)의 역회전에 의해 상승 및 후퇴되어서 후퇴위치에 해제가능하게 유지된다.

제2이동체(154), 나아가서는 프로브블록(138)이 후퇴위치로 후퇴된 상태에 있어서 패널수용면(34)에 대한 피검사체(12)의 교환이 이루어진다. 이때, 피검사체(12)가 패널수용면(34)으로부터 부상되어 있는 것과, 프로브유닛(20)이 패널수용면(34)으로부터 크게 후퇴되는 것이 서로 작용하여 패널수용면(34)에 대한 피검사체(12)의 수수(주고 받음)가 용이해진다.

[카메라장치에 관하여]

도7, 11에서부터 13에서 나타내는 바와 같이, 각 카메라장치(24)는 프로브유닛(20)의 지지베이스(132)에 지지된 역L자 형상의 지지블록(200)과, 지지블록(200)에 마크부(미도시)를 그 상방에서 촬영하도록 지지된 카메라(202)를구비한다.

마크부는 피검사체(12)에 설치된 마크 자체, 특정한 접촉자의 침선들이다. 카메라(202)는 피검사체(12)의 마크부 근방을 촬영하여서 화상신호를 발생하는 비디오 카메라와 같은 에리어센서(area sensor)이며, CCD에리어센서를 이용할 수 있다.

각 카메라(202)의 출력신호는 도시되지 않은 제어장치에 있어서 화상처리를 받아 시험장치(10) 특히 패널리시버(18)나 프로브유닛(20)들에 대한 피검사체(12)의 위치이탈을 구하는 경우에 이용된다. 구해진 위치이탈을 상술한 얼라인먼트장치를 구동시키는 신호에 이용된다.

[각도조정장치에 관하여]

도15에서 나타내는 바와 같이, 각 유닛 지지기구(22)는 한층 더 이동체 리시버(150)를 그 길이방향으로 이동시켜서 패널리시버(18)에 대한 X방향(또는 Y방향)에서의 위치를 해제 가능하게 유지하는 각도 조정장치를 포함한다.

그와 같은 각도 조정장치는 지지베이스(132)를 꼭대기판(156)에 대하여 Z방향으로 연장되는 축선 주위로 각도적으로 회전가능하게 꼭대기판(156)에 지지시키는 결합축(206)과, 꼭대기판의 길이방향의 단부 상면에 고정된 너트(208)와, 너트(208)에 나사 결합되어서 지지베이스(132)의 길이방향의 단부의 후면을 X방향(또는 Y방향)으로 미는 한 쌍의 조정나사(210)를 구비한다.

상기의 각도조정장치에 있어서 너트(208)로의 양 조정나사(210)의 나사 삽입량을 한쪽은 크게 하고 다른 쪽은 작게 하면, 지지베이스(132)는 결합축(206)의 둘레로 각도적으로 회전되어서 꼭대기판(156)에 대하여 변위한다. 이 때문에 너트(208)로의 양 조정나사(210)의 나사 삽입량을 조정함으로써 대응하는 이동편(30)에 대한 지지베이스(132)의 자세를 조정할 수 있다.

[유닛 위치 조정장치에 관하여]

도12, 13, 15에서 나타내는 바와 같이, 프로브유닛(20)은 유닛 위치 조정장치에 의해 패널리시버(18)의 이동편(30)에 대하여 X방향(또는 Y방향)으로 이동되어서 X방향(또는 Y방향)에서의 위치를 조정받는다.

유닛 위치 조정장치는 도시의 예에서는 제1조각부(30a)에 배치된 위치 제어 가능한 모터(212)와, 모터(212)에 의해 회전되는 볼나사(214)와, 볼나사(214)에 나사 결합된 너트(216)와, 너트(216) 및 이동체 리시버(150)에 결합된 결합구(218)를 포함한다.

모터(212)가 정회전되면 너트(216)가 X방향(또는 Y방향)으로 이동됨에 따라 이동체리시버(150)가 같은 방향으로 이동된다. 모터(212)가 역회전되면 너트(216)가 Y방향(또는 X방향)으로 이동됨에 따라서 이동체 리시버(150)가 같은 방향으로 이동된다.

이에 의해, 이동체리시버(150), 나아가서는 프로브유닛(20)은 이동편(30)에 대한 X방향(또는 Y방향)에서의 위치를 조정받아서, 그 위치에 해제가능하게 유지되기 때문에 각 접촉자(146)의 침선과 피검사체(12)의 전극을 확실하게 접촉시킬 수 있다.

[시험장치의 동작에 관하여]

도22(A)에서 나타내는 바와 같이, 시험장치(10)는 각 프로브유닛(20)과, 각 제1이동체(152)와, 각 제2이동체(154)가 후퇴된 상태에서 패널리시버(18)에 대한 피검사체(12)의 수수(주고 받음)가 상방에서 이루어진다.

이어서 도22(B)에서 나타내는 바와 같이 각 가압부재(90)가 전진되어서 얼라인먼트가 수행되면서, 프로브블록(138)이 전진되고 각 접촉자의 침선이 피검사체(12)의 전극 상방으로 이동된다. 이 사이에 푸셔기구(80,84) 각각이 낮은 유체 압력에 의해 작동되어 피검사체(12)의 파손이 방지된다.

이어서 도22(C)에서와 같이, 각 프로브블록(138)이 하강되어서 각 접촉자의 침선이 피검사체(12)의 전극에 가압된다. 이 사이에 푸셔기구(80,84) 각각이 높은 유체압력에 의해 작동되어서 피검사체(12)의 변위가 방지된다. 그 상태에서 피검사체(12)에 통전되어 피검사체(12)의 점등시험이 수행된다.

상기 점등 시험은 작업자가 피검사체(12)를 상방에서 눈으로 볼 수 있는 점등시험이라도 좋고, 비디오 카메라와 같은 에리어센서를 이용하고 제어장치에서 화상처리를 하는 자동 점등 시험이라도 좋다.

점등시험을 하는 동안, 피검사체(12)는 얼라인먼트 장치에 의해 파지되어 있으면서 접촉자(146)에 의해 패널수용면(34)으로 가압되기 때문에, 개방부(48)를 감압탱크(56)에 접촉하지 않아도 좋다. 이 경우, 감압탱크(56)는 필요 없다.

전기적 시험이 종료되면, 각 프로브유닛(20)과 각 제1이동체(152)와, 각 제2이동체(154)가 도22(A)에서 나타내는 위치까지 후퇴되고, 피검사체(12)가 패널 수용면(34)으로부터 부상된 후, 패널리시버(18)에 대한 피검사체(12)의 주고 받음이 이루어진다.

[다른 실시예]

도24를 참조하면, 시험장치(250)는 패널리시버(18) 및 프로브유닛(20)을 서로 가까워지거나 서로 멀어지는 방향으로 이동시키는 상하이동기구로서, 유닛지지기구(22) 대신에 패널리시버(18)를 상하 방향으로 이동시키도록 지주(26)에 의해 테이블베이스(16)를 지지하는 Z스테이지(252)를 이용한다.

Z스테이지(152)는 소위 일반적인 승강기구이며, 플랫홈(14) 대신에 장치의 프레임(25)에 지지된다. 백라이트유닛(28)은 Z스테이지(252)에 재치된다. 프로브유닛(20)은 프로브유닛(20)을 XY면 내부에서 이동시키는 프로브스테이지(254)를 통해서 프레임(25)에 지지되어 있다.

시험장치(250)는 패널리시버(18)를 Z스테이지(152)에 의해 프로브유닛(20)에 대하여 상하 움직이도록 하여서, 각 프로브유닛(20)을 프로브스테이지(254)에 의해 XY면내에서 이동시키는 점을 제외하면, 시험장치(10)와 동일하게 작용하며 동일하게 이용할 수 있다.

[얼라인먼트의 다른 실시예]

시험장치(250)에서의 Z스테이지(252) 대신에 또는 Z스테이지에 부가하여 종래의 시험장치와 마찬가지로 패널리시버(18)를 X,Y 또는 Z방향으로 이동시키는 기구, θ축선 둘레로 각도적으로 회전시키는 기구들을 구비하는 경우, 프로브유닛(20)과 피검사체(12)의 얼라인먼트를 상기와는 다른 수법으로 수행하여도 좋다. 아래에서 그와 같은 얼라인먼트의 예를 설명한다.

θ이동기구를 구비하는 경우, 피검사체(12)를 푸셔기구(80,84) 및 위치결정기구(82,86)에 의해 파지한 상태로 피검사체(12)를 θ축선 둘레로 각도적으로 회전시키면서 패널리시버(30)를 양 프로브유닛(20)과 함께 이동편 이동기구(74)와 같은 적절한 기구로 X방향 또는 Y방향으로 이동시킨다.

θ이동기구와 Y이동기구를 구비하는 경우, 도25와 같이 푸셔기구(80,84) 및 위치결정기구(82,86)에 의해 피검사체(12)를 파지(把持)한 상태로 θ이동기구에 의해 피검사체(12)를 θ축선 둘레로 각도적으로 회전시키면서 Y이동기구에 의해 피검사체(12)를 양 프로브유닛(20)에 대하여 Y방향으로 변위시키며 그리고 양 프로브유닛(20)을 피검사체(12)에 대하여 X방향으로 이동시킨다.

θ이동기구와 X이동기구를 구비하는 경우, 푸셔기구(80,84) 및 위치결정기구(82,86)에 의해 피검사체(12)를 파지한 상태로 θ이동기구에 의해 피검사체(12)를 θ축선 둘레로 각도적으로 회전시키면서 동시에 X이동 기구에 의해 피검사체(12)를 양 프로브유닛(20)에 대하여 X방향으로 변위시키며, 그리고 양 프로브유닛(20)을 피검사체(12)에 대하여 Y방향으로 이동시킨다.

θ이동기구와 XY이동기구를 구비하는 경우, 도26에서와 같이, 푸셔기구(80,84) 및 위치결정기구(82,86)에 의해 피검사체(12)를 파지한 상태로 θ이동기구에 의해 피검사체(12)를 θ축선 둘레로 각도적으로 회전시키면서 XY이동기구에 의해 피검사체(12)를 양 프로브유닛(20)에 대하여 X방향으로 변위시킨다. 이 경우, 양 프로브유닛(20)은 변위시키지 않아도 좋다.

패널수용면(34)의 서로 마주하는 한 쌍의 변 중 한쪽에 한 쌍의 푸셔기구(84)를 대응하는 변의 연장방향으로 간격을 두고 배치하는 대신에, 도27에서와 같이 단일의 푸셔기구(84)를 배치하여도 되며, 또한 도시되지 않았지만 3이상의 푸셔기구(84)를 배치하여도 된다.

또한 패널수용면(34)의 서로 마주하는 한 쌍의 변 중 한쪽에 한 쌍의 푸셔기구(84)를 대응하는 변의 연장방향으로 간격을 두고 배치하는 대신에, 도28에서와 같이 대응하는 변의 방향으로 간격을 둔 복수의 가압부재(90)와, 그들 가압부재(90)를 Y방향(또는 X방향)으로 간격을 두고 지지하는 지지부재(260)와, 지지부재(260)를 X방향 또는 Y방향으로 변위시키는 구동원(118)과, 지지부재(260)를 Z방향으로 연장하는 축선 둘레로 회전가능하게 구동원(118)에 연결하여서 지지시키는 피벗핀(262)를 구비하여도 좋다.

도28에서 나타내는 실시예에 있어서, 각 가압부재(90)는 이미 설명한 이동체(92)에 지지되어 있으며 또한 이동체(92)는 지지부재(260)에 지지되어 있다.

[결합기구의 다른 실시예]

도29를 참조하면, 결합기구의 다른 실시예에 있어서는 3쌍의 결합부재(270, 272, 274)를 이용하고 있다.

각 결합부재(270)는 도5에서 나타내는 결합부재(68)와 마찬가지로 제1슬라이더(64)에 설치된 한 쌍의 레일(72)에 Y방향으로 이동가능하게 결합되어 있으면서, 제2슬라이더(66)에 설치된 한 쌍의 레일(72)에 X방향으로 이동가능하게 결합 되어 있다.

각 결합부재(272)는 제2슬라이더(66)에 설치된 다른 한 쌍의 레일(72)에 X방향으로 이동가능하게 결합되어 있다. 각 결합부재(274)는 제1슬라이더(64)에 설치된 한 쌍의 레일(72)에 Y방향으로 이동가능하게 결합되어 있으며, 또한 Y방향으로 연장되는 이동편(30)에 이동 불가능하게 고정되어 있다.

Y방향으로 연장되는 각 이동편(30)은 그 하면에 설치된 한 쌍의 레일(276)에 있어서 결합부재(270)에 Y방향으로 이동가능하게 결합되어 있으면서 결합부재(274)에 이동 불가능하게 고정되어 있다.

X방향으로 연장되는 각 이동편(30)은, 그 하면에 설치된 한 쌍의 레일(278)에 있어서 결합부재(272)에 X방향으로 이동가능하게 결합되어 있으면서, 하면에 이동 불가능하게 설치된 한 쌍의 보조결합부재(280)에 의해 제2슬라이더(66)의 레일(72)에 X방향으로 이동가능하게 결합 되어 있다.

결합기구의 다른 실시예에 있어서, 한 쌍의 제1슬라이더(64)가 서로 가까워지거나 서로 멀어지는 방향(X방향)으로 이동되면, 결합부재(270)를 통하여 제1슬라이더(64)에 연결된 Y방향으로 연장되는 한 쌍의 이동편(30)이 서로 가까워지거나 멀어지는 방향(X방향)으로 결합부재(68)와 함께 이동되면서, 그 한쪽의 이동편(30)에 상술한 도브테일 홈과 도부테일 장부(dovetail tenon) 등의 결합수단에 의해 연결된 X방향으로 연장되는 다른 이동편(30)이 상기 한쪽의 이동편(30)의 이동과 더불어 X방향으로 이동된다.

또한, 양 제2슬라이더(66)가 서로 가까워지거 멀어지는 방향(Y방향)으로 이동되면, 결합부재(272)를 통하여 제2슬라이더(66)에 연결된 X방향으로 연장되는 상기 다른 이동편(30)이 제2슬라이더(272)와 함께 서로 가까워지거나 멀어지는 방향(Y방향)으로 이동되면서, 그 다른 이동편(30)에 상기한 도브테일 홈과 도부테일 장부의 결합수단에 의해 연결된 Y방향으로 연장되는 상기 한쪽의 이동편(30)이 상기 다른 이동편(30)의 이동과 함께 길이방향(Y방향)으로 이동된다.

이 때문에 네 개의 이동편(30)은 제2개구(32)의 크기가 도3 및 도6에서 나타내는 크기가 되도록 이동된다. 그 결과, 제2개구(32) 나아가서는 패널수용면(34)의 크기를 시험해야 할 피검사체(12)의 크기에 맞게 변경할 수 있다.

유닛지지기구(20), 결합기구(62), 이동편 이동기구(74), 위치결정기구(82,86), 프로브 이동기구(158) 등, 두 개의 부재를 상대적으로 이동시키는 기구의 구동원으로서의 모터는 회전식 모터 및 리니어모터 중 어느 것이라도 좋다.

마찬가지로 각 푸셔기구의 구동원도 회전력 또는 추진력을 위치결정기구의 모터보다 작은 범위내에서 2단계로 변경 가능한 회전식 모터 및 리니어 모터 중 어느 것이라도 좋다.

그러나 압축공기의 체적은 압력에 따라서 변화하기 때문에 푸셔기구의 구동원으로서 압축공기를 사용하는 실린더 기구를 이용하면, 얼라인먼트시에 가압부재가 피검사체에 충동했을 때의 충격이 크게 저감된다. 그러한 이유로 압축공기를 이용하는 실린더기구를 사용하는 것이 바람직하다.

또한 상기와 같은 모터(전동기)를 사용하는 대신에 특별히 위치결정기구(82,86)의 구동원은 볼나사(120)와 너트(122)를 이용하는 기구, 랙과 피니언을 이용하는 기구들과 함께, 그들 기구를 구동시키는 유압모터와 같은 다른 구동원을 이용해도 좋다.

패널리시버(18)는 제2개구(32)의 크기를 변경할 수 없는 구조, 예를 들면 같은 크기의 피검사체 전용의 구조를 이용하여도 좋다. 또한 위치결정기구의 구조도 변경할 수 있다.

상기 실시예와 같이, 2종류의 유체압력원(124,126), 밸브장치(128) 및 밸브드라이버(129) 대신에, 전압제어에 의해 적합한 압력의 유체를 출력할 수 있는 전공레귤레이터(즉, 진공 조정기)를 이용하여도 좋다. 이 경우 전공 레귤레이터는 서로 다른 적어도 두 개의 압력유체를 푸셔기구(80,84)의 구동기구의 구동원(118)에 선택적으로 공급한다.

본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않으며 특허청구의 범위에 기재된 취지를 일탈하지 않은 한 여러 가지로 변경할 수 있다.

10, 250; 시험장치
12; 평판형상 피검사체
14; 플랫홈(platform)
16; 테이블베이스(table base)
16a,32; 개구
18; 패널리시버(panel receiver)
20; 프로브유닛(probe unit)
22; 유닛지지기구
24; 카메라장치
25; 프레임
26; 지주
28; 백라이트유닛(back light unit)
30; 이동편
30a,30b; 제1 및 제2 조각부
34; 패널수용면 (panel receiving surface)
36; 부상장치
40; 볼(ball)
42; 스프링
48; 개방부
50; 연통홀
52; 밸브
54; 파이프
56; 감압탱크
58; 밸브드라이버(valve driver)
60; 압력유체원
62; 결합기구
64,66; 제1 및 제2 슬라이더
68,270,272,274,276; 결합부재
70,72,276,278; 레일
74; 이동편 이동기구
80,84; 푸셔기구
82,86; 위치결정기구
90; 가압부재(押壓部材)
92; 이동체
94; 구동기구
96; 지지판
98; 고정핀(attaching pin)
114; 슬라이더(slider)
116; 연결판
118; 구동원
120; 볼나사
122; 너트
124,126; 압력유체원
128; 밸브장치
129; 밸브드라이버(valve driver)
130; 모터드라이버
132; 지지베이스
134; 지지블록
136; 이동블록
138; 프로브블록(probe block)
146; 접촉자
150; 이동체리시버
152,154; 제1 및 제2 이동체
156; 꼭대기판
158; 프로브이동기구
160; 스토퍼
162,166,170; 레일
164,168,172; 가이드
174; 모터
176; 볼나사
178; 너트
180; 결합구
186; 홀
188; 로드(lod)
190; 압축코일스프링
192; 변위발생기구
194; 브래킷(bracket)
196; 롤러
200; 지지블럭
202; 카메라
206; 결합축(각도조정장치)
208; 너트(각도조정장치)
210; 조정나사(각도조정장치)
212; 모터(유닛위치조정장치)
214; 볼나사(유닛위치조정장치)
216; 너트(유닛위치조정장치)
218; 결합구(유닛위치조정장치)
252; Z스테이지
260; 지지부재
262; 피벗핀(pivot pin)

Claims (32)

1. 평판형상 피검사체를 받는 직사각형의 패널 수용면을 갖는 패널리시버와, 상기 피검사체의 전극에 가압되는 복수의 접촉자를 구비하는 프로브유닛과, 상기 패널리시버에 받아들여진 피검사체를 상기 접촉자에 대하여 위치 결정하는 얼라인먼트 장치를 포함하고,
   상기 얼라인먼트 장치는 상기 패널수용면의 서로 마주하는 한 쌍의 변 중 한쪽 및 다른 쪽에 각각 배치된 제1푸셔기구 및 제1위치결정기구와, 상기 패널수용면의 서로 마주하는 다른 한 쌍의 변 중 한쪽 및 다른 쪽에 각각 배치된 제2푸셔기구 및 제2위치결정기구를 포함하며,
   상기 제1, 제2푸셔기구 및 상기 제1, 제2위치결정기구 각각은 패널 수용면의 외측에 위치된 적어도 하나의 가압부재와, 그 가압부재를 X방향 또는 Y방향으로 변위시키는 적어도 하나의 구동기구를 구비하고,
   각 위치결정기구의 상기 구동기구는 상기 X방향 또는 Y방향에서의 상기 가압부재의 위치를 해제 가능하게 유지하는 평판형상 피검사체의 시험장치.
   
2. 상기 제1항에 있어서, 각 위치결정기구는 회전각도 위치를 제어할 수 있는 모터를 포함하는 시험장치.
   
3. 상기 제1항 및 제2항 중 어느 한 항에 있어서, 각 위치결정기구의 상기 가압부재는 적어도 그 이동방향으로 탄성 변형하기 어렵거나 또는 탄성 변형하지 않는 재료로 제작되는 시험장치.
   
4. 상기 제1항에 있어서, 각 위치결정기구의 상기 구동기구는 구동원과, 그 구동원에 의해 구동되어서 상기 X방향 또는 Y방향에서의 상기 가압부재의 위치를 상기 구동원과 공동으로 해제가능하게 유지하는 기구를 포함하는 시험장치.
   
5. 상기 제4항에 있어서, 각 위치결정기구의 상기 유지하는 기구는 상기 구동원에서 상기 X방향 또는 Y방향으로 연장되어서 상기 구동원에 의해 회전되는 나사봉과, 그 나사봉에 나사 결합된 너트로서 상기 가압부재를 상기 X방향 또는 Y방향으로 변위시키는 너트를 구비하는 시험장치.
   
6. 상기 제1항에 있어서, 각 푸셔기구의 상기 구동기구의 구동원은 압력유체를 이용하여서 상기 가압부재를 진퇴시키는 실린더기구를 포함하는 시험장치.
   
7. 상기 제1항에 있어서, 압력이 서로 다른 제1 및 제2의 압력유체원과, 그 제1 및 제2의 압력유체원의 압력유체를 상기 제1, 제2푸셔기구의 상기 구동기구를 구동하는 구동원에 선택적으로 공급하는 밸브장치를 더 포함하는 시험장치.
   
8. 상기 제1항에 있어서, 압력이 서로 다른 적어도 두 개의 압력유체를 상기 제1, 제2푸셔기구의 상기 구동기구를 구동하는 구동원에 선택적으로 공급하는 전공(電空) 레귤레이터를 더 포함하는 시험장치.
   
9. 상기 제1항에 있어서, 상기 제1, 제2푸셔기구 및 상기 제1, 제2위치결정기구 각각은 상기 가압부재가 지지된 이동체로서 상기 구동기구에 의해 구동되어서 상기 X방향 또는 Y방향으로 이동하는 상기 패널리시버에 배치된 이동체를 더 구비하는 시험장치.
   
10. 상기 제9항에 있어서, 상기 가압부재는 Z방향으로 연장되는 축선 둘레로 회전 가능하게 상기 이동체에 지지되어 있는 시험장치.
    
11. 상기 제1항에 있어서, 상기 패널리시버를 Z방향으로 이동시키는 Z이동기구를 더 포함하는 시험장치.
    
12. 상기 제1항에 있어서, 상기 패널리시버에 배치된 부상(浮上)장치로서 상기 얼라인먼트 장치에 의해 상기 피검사체를 변위시킬 때에 그 피검사체를 상기 패널 수용면으로부터 부상시키는 부상장치를 더 포함하는 시험장치.
    
13. 상기 제12항에 있어서, 상기 부상장치는 일부가 상기 패널수용면에 대하여 돌출 및 퇴각 가능한 볼로서 상기 패널리시버에 배치된 볼과, 그 볼의 일부를 상기 패널수용면으로 노출시키도록 부세하는 스프링을 포함하는 시험장치.
    
14. 상기 제1항에 있어서, 상기 패널리시버는 상기 패널 수용면으로 개방하는 개방부와, 그 개방부를 압력유체의 공급원 및 감압탱크 중 적어도 한쪽에 선택적으로 접속하는 밸브를 포함하는 시험장치.
    
15. 상기 제1항에 있어서, 상기 패널리시버가 배치된 테이블베이스로 직사각형의 제1개구를 갖는 테이블베이스를 더 포함하며,
    상기 패널리시버는 상기 제1개구에 대향하는 직사각형의 제2개구를 공동으로 형성하면서, 상기 패널수용면을 공동으로 형성하는 네 개의 이동편으로 상기 제2개구의 크기를 가변 가능하게 상기 테이블베이스에 배치된 네 개의 이동편을 구비하는 시험장치.
    
16. 상기 제15항에 있어서, 한 쌍의 이동편은 Y방향으로 간격을 두고 X방향으로 평행하게 신장되어 있으며, 다른 한 쌍의 이동편은 X방향으로 간격을 두고 Y방향으로 평행하게 신장되어 있고,
    상기 이동편은 그들 이동편이 상기 제2개구를 공동으로 형성하면서 상기 패널수용면을 공동 형성하고, 그리고 상기 제2개구의 크기를 가변 가능하게 상기 테이블베이스에 배치되어 있으며,
    서로 이웃하는 이동편은 Y방향 또는 X방향으로 독립적으로 이동하는 것을 방해받는 일이 없이 결합되어 있는 시험장치.
    
17. 상기 제15항에 있어서, 상기 테이블베이스와 상기 패널리시버 사이에 배치되어서 상기 이동편을 상기 X방향 및 Y방향으로 이동가능하게 상기 테이블베이스에 결합하는 결합기구를 더 포함하는 시험장치.
    
18. 상기 제17항에 있어서, 상기 결합기구를 통하여 각 이동편을 상기 X방향 또는 Y방향으로 이동시키는 이동편 이동기구로 상기 테이블베이스에 배치된 이동편 이동기구를 더 포함하는 시험장치.
    
19. 상기 제18항에 있어서, 각 이동편 이동기구는 상기 이동편을 이동시키는 회전각도위치를 제어할 수 있는 모터를 포함하는 시험장치.
    
20. 상기 제1항에 있어서, 상기 패널리시버 및 프로브유닛을 서로 가까워지거나 서로 멀어지는 방향으로 이동시키는 상하이동기구를 더 포함하는 시험장치.
    
21. 상기 제1항에 있어서, 상기 피검사체의 마크부를 상방에서 촬영하도록 상기 프로브유닛에 지지된 카메라장치를 더 포함하는 시험장치.
    
22. 상기 제1항에 있어서, 상기 패널리시버를 지지하는 프레임을 더 포함하며,
    상기 프로브유닛은 상기 프레임 또는 상기 패널리시버에 지지되어 있는 시험장치.
    
23. 상기 제1항에 있어서, 상기 프로브유닛을 상기 패널리시버에 지지시키는 유닛 지지기구를 더 포함하고,
    그 유닛지지기구는 상기 X방향 또는 Y방향으로 이동가능하게 상기 패널리시버에 받아들여진 제1이동체로 Y방향 또는 X방향으로 연장되는 제1이동체와, 상기 X방향 또는 Y방향과 Z방향으로 비스듬히 이동가능하게 상기 제1이동체에 결합된 제2이동체로 상기 Y방향 또는 X방향으로 연장되는 제2이동체와, 상기 제2이동체의 가장 전진위치를 규정하는 스토퍼와, 상기 제1이동체를 상기 X방향과 Y방향으로 이동시키고 그에 의해 상기 제2이동체를 상기 X방향 또는 Y방향으로 이동시키면서 Z방향으로 변위시키는 프로브 이동기구를 구비하며,
    상기 프로브유닛은 상기 제2이동체에 지지되어 있는 시험장치.
    
24. 상기 제23항에 있어서, 상기 유닛지지기구는 상기 Y방향 또는 X방향으로 연장되는 이동체리시버로서 상기 패널리시버에 상기 Y방향 또는 X방향으로 이동가능하게 상기 패널리시버에 지지되어서 상기 제1이동체를 상기 패널리시버에 지지시키는 이동체리시버와, 그 이동체리시버를 그 길이방향으로 이동시켜서 상기 패널리시버에 대한 상기 Y방향 또는 X방향에서의 위치를 해제가능하게 유지하는 유닛 위치조정장치를 더 포함하는 시험장치.
    
25. 상기 제23항에 있어서, 상기 프로브유닛은 상기 직사각형의 변을 따라서 연장되며 상기 유닛 지지기구에 지지된 지지베이스와, 그 지지베이스의 길이방향으로 간격을 두고 그 지지베이스에 Z방향으로 이동가능하게 지지된 프로브블록으로 복수의 상기 접촉자를 지지하는 프로브블록을 더 포함하는 시험장치.
    
26. 상기 제25항에 있어서, 상기 지지베이스는 Z방향으로 연장되는 축선 둘레로 각도적으로 회전가능하게 유닛지지기구에 지지되어 있으며,
    상기 프로브유닛은 상기 지지베이스를 상기 패널리시버에 대하여 각도적으로 회전시켜서 상기 Z방향으로 연장되는 축선 둘레에서의 상기 패널리시버와 상기 프로브유닛과의 위치관계를 해제가능하게 유지하는 각도조정기구를 더 구비하는 시험장치.
    
27. 상기 제25항에 있어서, 각 프로브 이동기구는 상기 프로브블록을 상기 패널 수용면으로부터 후퇴한 후퇴 위치와, 피검사체를 상기 얼라인먼트 장치에 의해 위치결정하기 위한 얼라인먼트 위치와, 상기 접촉자를 피검사체의 전극에 접촉시키는 접촉위치로 선택적으로 변위시켜서 해제가능하게 유지하는 위치 제어 가능한 모터를 포함하는 시험장치.
    
28. 상기 제1항에 있어서, 상기 프로브유닛이 상기 직사각형의 서로 이웃하는 두 개의 변에 대응하는 위치 각각에 배치되어 있는 시험장치.
    
29. 상기 제1항에 있어서, 상기 얼라인먼트 장치는 상기 패널수용면의 서로 마주하는 한 쌍의 변 중 한쪽 및 다른 쪽에 각각 대응하는 변의 연장방향으로 간격을 두고 배치된 복수의 상기 제1푸셔기구 및 복수의 상기 제1 위치결정기구를 포함하는 시험장치.
    
30. 상기 제1항에 있어서, 상기 얼라인먼트 장치는 상기 패널수용면의 서로 마주하는 한 쌍의 변 중 한쪽 및 다른 쪽에 각각 대응하는 변의 연장방향으로 간격을 두고 배치된 한 쌍의 상기 제1푸셔기구 및 한 쌍의 상기 제1위치결정기구를 포함하는 시험장치.
31. 상기 제1항에 있어서, 상기 얼라인먼트 장치는 상기 패널수용면의 서로 마주하는 한 쌍의 변 중 다른 쪽에, 대응하는 변의 연장방향으로 간격을 두고 배치된 한 쌍의 상기 제1위치결정기구를 포함하는 시험장치.
    
32. 상기 제1항에 있어서, 상기 제1푸셔기구는 대응하는 변의 방향으로 간격을 둔 복수의 가압부재를 구비하고,
    상기 제1푸셔기구의 상기 구동기구는 상기 복수의 가압부재를 X방향 또는 Y방향으로 변위시키는 구동원과, 상기 복수의 가압부재를 Y방향 또는 X방향으로 간격을 두고 지지하는 지지부재로 Z방향으로 연장되는 축선 둘레로 회전가능하게 상기 구동원에 지지된 지지부재를 구비하는 시험장치.

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