KR100750052B1

KR100750052B1 - 점등 검사장치

Info

Publication number: KR100750052B1
Application number: KR1020060084040A
Authority: KR
Inventors: 신지 후지와라; 타께시 사이토
Original assignee: 가부시키가이샤 니혼 마이크로닉스
Priority date: 2005-11-16
Filing date: 2006-09-01
Publication date: 2007-08-16
Also published as: TW200721360A; JP2007139516A; KR20070052191A; JP4674151B2; TWI307134B

Abstract

본 발명은, 검사부로의 반송 도중에 액정패널(P)이 미끄러져 움직이거나 파손하는 것을 방지한다. 액정패널(P)을 점등 검사하는 점등 검사장치이다. 상기 점등 검사장치는, 상기 액정패널(P)을 비스듬히 지지하여 점등 검사하는 검사부와, 상기 검사부에 상기 액정패널(P)을 반송하는 반송부와, 외부로부터 수평상태로 반입된 액정패널(P)을 받아 위치 결정하여 지지한 후, 비스듬히 상기 반송부로 건네는 위치결정기구를 갖추었다. 상기 위치결정기구는, 액정패널(P)의 아래면에 접하여 받는 패널 받이와, 상기 액정패널(P)의 가장자리에 접하여 위치 결정하고 지지하는 1쌍 또는 복수 쌍의 패널 클램프와, 한쪽 패널 클램프를 상기 가장자리에 누르는 방향으로 힘을 가함(付勢)과 동시에 상기 각 패널 클램프를 이간(離間)시키기에 앞서 상기 가한 힘을 해제하는 버퍼기구를 갖추었다.

점등 검사장치, 액정패널, 검사부, 반송부, 위치결정기구, 패널 클램프, 버퍼기구

Description

점등 검사장치{Lighting Inspection Apparatus}

도1은 본 발명의 실시형태에 따른 점등 검사장치의 위치결정기구를 나타내는 사시도이다.

도2는 본 발명의 실시형태에 따른 점등 검사장치를 나타내는 정면도이다.

도3은 본 발명의 실시형태에 따른 점등 검사장치의 반송부를 나타내는 정면도이다.

도4는 본 발명의 실시형태에 따른 점등 검사장치의 검사부를 나타내는 측면 단면도이다.

도5는 본 발명의 실시형태에 따른 점등 검사장치의 검사부를 나타내는 개략 정면도이다.

도6은 본 발명의 실시형태에 따른 점등 검사장치의 검사부를 나타내는 개략 측면 단면도이다.

도7은 본 발명의 실시형태에 따른 점등 검사장치의 위치결정기구를 나타내는 측면도이다.

도8은 본 발명의 실시형태에 따른 점등 검사장치의 위치결정기구를 나타내는 사시도이다.

도9는 본 발명의 실시형태에 따른 점등 검사장치의 위치결정기구를 나타내는 평면도이다.

도10은 본 발명의 실시형태에 따른 점등 검사장치의 위치결정기구를 나타내는 정면도이다.

도11은 본 발명의 실시형태에 따른 점등 검사장치의 위치결정기구를 나타내는 측면도이다.

도12는 본 발명의 실시형태에 따른 점등 검사장치의 위치결정기구의 클램프 시의 동작을 나타내는 측면도이다.

도13은 본 발명의 실시형태에 따른 점등 검사장치의 위치결정기구의 개방 시의 동작을 나타내는 측면도이다.

* 도면의 주요 부호에 대한 설명 *

11: 점등 검사장치 12: 반송부

13: 검사부 14: 위치결정기구

15: 반송 암(arm) 16: 구동기구

20: 암부 21: 클램프 암부

22: 레일부 23: 패널 클램프

25: X방향 이동기구부 26: Y방향 이동기구부

28: 레일부 29: X축 구동모터

30: 볼나사 33: 슬라이드 판

34: 레일부 35: Y축 구동모터

36: 볼나사 40: 가이드

41: 커플링 43: XYZθ스테이지

44: 백라이트 45: 워크 테이블

46: 프로버 56: 하우징

60: 확산판 67: 프로브 베이스

68: 프로브 블록 69: 카메라

70: 프로브 스테이지 71: 프로브 침

81: 패널받이 기구부 82: 위치결정지지 기구부

83: 회전 기구부 84: 경사 기구부

85: 승강 기구부 88: 지지 봉

89: 패널 받이 91: 패널 클램프

92: 이동장치 93: 버퍼기구

96: 레일 97: 가이드

98: 가이드 판 99: 연결부재

100: 래크(rack) 101: 피니언(pinion)

102: 구동모터 104: 지지판

105: 슬라이드 기구 106: 상시(常時) 부세(付勢)수단

107: 규제수단 110: 버퍼 레일

111: 버퍼 가이드 112: 버퍼 가이드 판

115: 위쪽 베이스 판 116: 아래쪽 베이스 판

117: 구동모터 118: 지주

120: 기판 121: 지주

122: 회전운동 지지축 123: 구동모터

124: 감속 기어 130: 고정판

131: 슬라이드 판 132: 볼나사

133: 너트 134: 구동모터

발명의 분야

본 발명은, 외부로부터 반송되어 오는 검사대상판을 장치 내에 반입하여 점등 검사를 행하는 점등 검사장치에 관한 것이다.

발명의 배경

액정기판 등의 패널(검사대상판)을 그 단자에 프로브 침을 접촉시켜 점등검사를 행하는 점등 검사장치는 일반적으로 알려져 있다. 이와 같은 점등 검사장치는 주로 상기 패널을 지지하여 점등 검사를 행하는 검사부와, 상기 검사부에 상기 패 널을 반송하는 반송부와, 상기 패널을 위치 결정하는 위치결정장치를 갖추고 있다. 이 예는 일본 특개2002-373925호 공보 및 특개2002-368058호 공보에 나타나 있다.

상기 위치결정장치는, 서로 근접 이간하는 한 쌍의 롤러와, 상기 한 쌍의 롤러를 서로 근접 이간시키는 이동기구로 구성되어 있다. 상기 한 쌍의 롤러는, XY축 방향으로 2조 설치된다. 그리고, 상기 한 쌍의 롤러가 상기 이동기구에 의해 상기 패널의 가장자리에 접함으로써, 상기 패널의 위치 결정이 이루어짐과 동시에, 상기 한 쌍의 롤러에 의해 상기 패널이 지지된다. 이 때, 상기 한 쌍의 롤러가 상기 패널의 가장자리에 접하여 지지할 때, 상기 패널이 미끄러져 움직이지 않도록 상기 각 롤러가 그 패널에 일정 압력으로 밀어 붙여진다.

상기 위치결정장치로 위치 결정하여 지지된 패널은 반송부로 건네지고, 검사부로 반송되어 검사가 행해진다.

그런데, 상술한 종래의 점등 검사장치에서는 상기 각 롤러가 상기 패널의 가장자리에 접하여 그 패널을 지지할 때, 패널이 미끄러져 움직이지 않도록 상기 각 롤러가 그 패널에 일정 압력으로 밀어 붙여지지만, 이 압력의 조정이 용이하지 않다. 탄성을 갖는 상기 롤러의 이동량을 조정함으로써 상기 압력의 조정을 행하지만, 이 이동량이 설정값보다도 약간 벗어나, 압력이 너무 강해지면 상기 패널이 파손할 우려가 있고, 압력이 너무 약해지면 상기 패널이 미끄러져 움직일 우려가 있다.

특히, 상기 패널이 대형이고 무거운 경우는, 그에 대응한 세기의 압력으로 지지할 필요가 있기 때문에, 상기 현상이 현저해진다. 상기 패널이 대형인 경우는, 상기 압력이 기준값보다도 약간 강한 정도로도 상기 패널이 용이하게 휘어 버리거나, 파손하거나 할 우려가 있다. 상기 패널이 무거운 경우는, 상기 압력이 약간 약한 정도로도 상기 패널이 용이하게 미끄러져 움직일 우려가 있다. 이 때문에, 상기 패널을 안전하게 위치 결정하는 것이 어려운 문제점이 있다.

본 발명은, 상기와 같은 문제점을 감안하여 이루어진 것으로, 검사대상판을 안전하게 위치 결정하여 지지할 수 있는 점등 검사장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명의 상기의 목적 및 기타의 목적들은 하기 설명되는 본 발명에 의하여 모두 달성될 수 있다.

발명의 요약

본 발명에 따른 점등 검사장치는, 외부로부터 반송되어 오는 검사대상판을 점등 검사하는 점등 검사장치로서, 상기 검사대상판을 비스듬히, 수평 또는 수직으로 지지하여 점등 검사하는 검사부와, 상기 검사부에 상기 검사대상판을 반송하는 반송부와, 외부로부터 반입된 검사대상판을 받아 위치 결정하고 지지하여 상기 반송부로 건네는 위치결정기구를 포함하고, 상기 위치결정기구가 외부로부터 반입된 검사대상판을 받는 패널 받이와, 상기 패널 받이에서 받은 검사대상판의 가장자리 에 대하여 근접 이간됨과 동시에, 상기 가장자리에 접하여 상기 검사대상판을 위치 결정한 위에 지지하는 1쌍 또는 복수 쌍의 패널 클램프와, 상기 쌍을 이루는 각 패널 클램프 중 한쪽을 지지하여 상기 한쪽 패널 클램프가 상기 검사대상판의 가장자리에 접한 상태로 상기 한쪽 패널 클램프를 상기 가장자리에 누르는 방향으로 힘을 가함과 동시에, 상기 쌍을 이루는 각 패널 클램프를 이간시킴에 앞서 상기 가한 힘을 해제하는 버퍼기구를 갖춘 것을 특징으로 한다.

상기 구성에 의해, 상기 위치결정기구가 검사대상판을 받아 위치 결정하고 지지할 때, 상기 버퍼기구가 상기 검사대상판의 가장자리에 접한 상기 패널 클램프에 힘을 가하여 설정값 이상의 압력이 되지 않도록 하여 지지한다. 각 패널 클램프를 상기 검사대상판으로부터 이간시키는 경우는, 그에 앞서 상기 버퍼기구가 상기 패널 클램프에 가한 힘을 해제한다.

상기 버퍼기구는, 상기 쌍을 이루는 각 패널 클램프가 서로 근접하는 방향으로 상기 한쪽 패널 클램프에 항상 힘을 가하는 상시(常時) 부세(付勢)수단과, 상기 상시 부세수단으로 힘이 가해진 상기 한쪽 패널 클램프를 그 힘이 가해지는 방향과 반대방향으로 눌러 상기 상시 부세수단에 의한 힘을 규제하는 규제수단을 갖추는 것이 바람직하다.

상기 구성에 의해, 상기 검사대상판을 상기 패널 클램프로 지지할 때는, 상시 부세수단이 상기 패널 클램프에 항상 힘을 가하여, 상기 검사대상판을 설정값 이상의 압력이 되지 않도록 하여 지지한다. 또, 상기 각 패널 클램프를 상기 검사대상판으로부터 이간시킬 때는, 그에 앞서 상기 규제수단으로 상기 상시 부세수단 에 의한 힘을 규제하고, 상기 패널 클램프에 가한 힘을 해제한다. 그 후, 상기 각 패널 클램프를 상기 검사대상판으로부터 이간시켜, 상기 반송부로 건넨다.

이상과 같이, 본 발명에 의하면, 다음과 같은 효과를 이룰 수 있다.

상기 버퍼기구가 상기 검사대상판의 가장자리에 접한 상기 패널 클램프에 힘을 가하여 설정값 이상의 압력이 되지 않도록 하여 지지하기 때문에, 상기 검사대상판을 확실하게 지지할 수 있음과 동시에, 상기 검사대상판이 휘거나 파손하는 것을 방지할 수 있다.

각 패널 클램프가 상기 검사대상판으로부터 이간되는 경우는, 그에 앞서 상기 버퍼기구가 상기 패널 클램프에 가한 힘을 해제하기 때문에, 상기 패널 클램프가 상기 검사대상판에 계속해서 힘을 가하여, 상기 검사대상판이 미끄러져 움직이는 것을 방지할 수 있다.

상기 검사대상판을 상기 패널 클램프로 지지할 때는, 상시 부세수단이 상기 패널 클램프에 항상 힘을 가하여, 상기 검사대상판을 설정값 이상의 압력이 되지 않도록 하여 지지하기 때문에, 상기 검사대상판이 휘거나 파손하지 않고, 상기 검사대상판을 상기 패널 클램프로 안전하고 확실하게 지지할 수 있다.

또, 상기 각 패널 클램프를 상기 검사대상판으로부터 이간시킬 때는, 그에 앞서 상기 규제수단으로 상기 상시 부세수단에 의한 힘을 규제하여, 상기 패널 클램프에 가한 힘을 해제하기 때문에, 그 후 상기 각 패널 클램프를 상기 검사대상판으로부터 이간시켜 상기 반송부에 건넬 때, 상기 상시 부세수단에 의한 힘으로 상기 검사대상판이 미끄러져 움직이는 것을 방지할 수 있다.

발명의 상세한 설명

이하, 본 발명의 실시형태에 따른 점등 검사장치에 대해서, 첨부도면을 참조하면서 설명한다. 도1은 본 발명의 실시형태에 따른 점등 검사장치의 위치결정기구를 나타내는 사시도, 도2는 본 발명의 실시형태에 따른 점등 검사장치를 나타내는 정면도, 도3은 본 발명의 실시형태에 따른 점등 검사장치의 반송부를 나타내는 정면도, 도4는 본 발명의 실시형태에 따른 점등 검사장치의 검사부를 나타내는 측면 단면도, 도5는 본 발명의 실시형태에 따른 점등 검사장치의 검사부를 나타내는 개략 정면도, 도6은 본 발명의 실시형태에 따른 점등 검사장치의 검사부를 나타내는 개략 측면 단면도, 도7은 본 발명의 실시형태에 따른 점등 검사장치의 위치결정기구를 나타내는 측면도, 도8은 본 발명의 실시형태에 따른 점등 검사장치의 위치결정기구를 나타내는 사시도, 도9는 본 발명의 실시형태에 따른 점등 검사장치의 위치결정기구를 나타내는 평면도, 도10은 본 발명의 실시형태에 따른 점등 검사장치의 위치결정기구를 나타내는 정면도, 도11은 본 발명의 실시형태에 따른 점등 검사장치의 위치결정기구를 나타내는 측면도, 도12는 본 발명의 실시형태에 따른 점등 검사장치의 위치결정기구의 클램프 시의 동작을 나타내는 측면도, 도13은 본 발명의 실시형태에 따른 점등 검사장치의 위치결정기구의 개방 시의 동작을 나타내는 측면도이다.

본 실시형태에 따른 점등 검사장치(11)는, 도1∼4에 나타난 바와 같이 주로 반송부(12), 검사부(13), 및 위치결정기구(14)로 구성되어 있다.

반송부(12)는 외부로부터 반입된 액정패널(P)을 위치결정기구(14)로부터 받아 검사부(13)로 반송함과 동시에 검사 종료 후의 액정패널(P)을 위치결정기구(14)로 건네기 위한 장치이다. 반송부(12)는 도2, 3에 나타낸 바와 같이 주로 반송 암(15)과 구동기구(16)로 구성되어 있다.

반송 암(15)은 액정패널(P)을 지지하는 부분이다. 상기 반송 암(15)은 암부(20), 클램프 암부(21), 레일부(22), 및 패널 클램프(23)로 구성되어 있다.

암부(20)는, 지지되는 액정패널(P)의 상하위치에 배치되어, 액정패널(P)을 지지하는 부재이다. 암부(20)는 구동기구(16)에 의해 상하로 이동 가능하게 지지되고, 액정패널(P)의 상하 단부에 대하여 근접 이간하도록 되어 있다. 클램프 암부(21)는, 액정패널(P)을 지지하기 위한 부재이다. 클램프 암부(21)는 상하 클램프 암부(21A)와 좌우 클램프 암부(21B)로 이루어지고, 액정패널(P)을 상하좌우에서 지지하도록 되어 있다. 상하 클램프 암부(21A)는 암부(20)의 상하 이동에 의해 액정패널(P)을 상하에서 파지(把持)한다. 아래쪽의 상하 클램프 암부(21A)는 암부(20)에 고정되어 있다.

좌우 클램프 암부(21B)는, 암부(20)에 설치된 후술하는 레일부(22)의 기능에 의해 좌우로 이동하여 액정패널(P)을 좌우에서 파지한다. 레일부(22)는 클램프 암부(21)의 좌우 클램프 암부(21B)를 좌우로 이동 가능하게 지지하기 위한 부재이다. 좌우 클램프 암부(21B)에는 가이드(21C)가 설치되고, 상기 가이드(21C)가 레일부(22)에 슬라이드 가능하게 지지되어 있다.

패널 클램프(23)는, 액정패널(P)의 단부에 직접적으로 접하기 위한 부재이 다. 상기 패널 클램프(23)는 탄력성이 있는 합성수지 등으로 구성되어, 액정패널(P)의 가장자리를 탄성적으로 지지한다.

구동기구(16)는, 반송 암(15)으로 액정패널(P)을 지지시킴과 동시에 액정패널(P)을 반송부(12)와 검사부(13)와의 사이에서 왕복 운동시키기 위한 장치이다. 구동기구(16)는 주로 X방향 이동기구부(25)와 Y방향 이동기구부(26)로 구성되어 있다.

X방향 이동기구부(25)는, 반송 암(15)을 반송부(12)와 검사부(13)와의 사이에서 왕복 운동시키기 위한 기구이다. X방향 이동기구부(25)는 주로 레일부(28), X축 구동모터(29), 볼나사(30), 및 너트(도시하지 않음)로 구성되어 있다.

레일부(28)는, 반송부(12)와 검사부(13)와의 사이에서의 반송 암(15)의 왕복 운동을 지지하는 부재이다. 레일부(28)에 후술하는 슬라이드 판(33)이 왕복 운동 가능하게 지지되어 있다. X축 구동모터(29)는 볼나사(30)에 연결되어 상기 볼나사(30)를 회전 구동하기 위한 모터이다. 볼나사(30)는 슬라이드 판(33)을 직접적으로 왕복 운동시키기 위한 부재이다. 볼나사(30)는 베어링(도시하지 않음)에 지지되고, 반송 암(15)의 왕복운동 방향인 가로방향으로 설치되어 있다. 너트는 볼나사(30)의 회전에 의해 왕복 운동하기 위한 부재이다. 너트는 볼나사(30)에 끼워지고, 상기 볼나사(30)가 X축 구동모터(29)로 회전 구동됨으로써, 왕복 운동한다. 너트는 슬라이드 판(33)에 고정되어 있고, 볼나사(30)의 회전에 의해 슬라이드 판(33)을 왕복 운동시킨다.

Y방향 이동기구부(26)는, 반송 암(15)의 암부(20)를 상하로 이동 가능하게 지지하기 위한 기구이다. 상기 Y방향 이동기구부(26)는 주로 슬라이드 판(33), 레일부(34), Y축 구동모터(35), 볼나사(36), 및 너트(도시하지 않음)로 구성되어 있다.

슬라이드 판(33)은, 반송 암(15)을 지지하여 왕복 운동시키기 위한 부재이다. 슬라이드 판(33)의 뒷면에는 그 상하에 가이드(도시하지 않음)가 각각 설치되고, 상기 가이드가 X방향 이동기구부(25)의 레일부(28)에 설치되어 있다. 이에 의해, 슬라이드 판(33)이 레일부(28)에 의해 X축 방향으로 왕복이동 가능하게 지지되어 있다.

레일부(34)는, 반송 암(15)의 암부(20)의 상하 이동을 안내하기 위한 레일이다. 레일부(34)는 슬라이드 판(33)의 표면에 설치되어 있다. 상기 레일부(34)에 가이드(40)가 설치되어 있다. 상기 가이드(40)는 레일부(34)에 2개 설치되어, 반송 암(15)의 상하 암부(20)를 각각 지지하고 있다.

Y축 구동모터(35)는 볼나사(36)를 회전 구동시키기 위한 모터이다. Y축 구동모터(35)는 반송 암(15)의 상하 암부(20)를 서로 근접시키거나 이간시킬 때, 볼나사(36)를 회전시킨다. 볼나사(36)는, 직접적으로는 너트(도시하지 않음)를 상하로 근접 이간시키기 위한 부재이다. 볼나사(36)는, 위쪽 반과 아래쪽 반으로 그 나사 홈의 나선방향이 반대로 되어 있고, 커플링(41)으로 하나로 접속되어 있다. 볼나사(36)의 상단부는 베어링(42)으로 회전 가능하게 지지되어 있다. 그리고 볼나사(36)의 상하에 상기 너트가 각각 설치되고, 볼나사(36)를 한쪽으로 회전시키면, 각 너트(37)가 서로 근접하고, 역방향으로 회전시키면, 각 너트가 서로 이간하도록 되어 있다. 상기 너트는 가이드(40)와 일체적으로 설치되고, 상기 가이드(40)를 통하여 암부(20)에 일체적으로 설치되어 있다. 상기 너트가 볼나사(36)로 근접 이간되면, 직접적으로 가이드(40)를 근접 이간시킨다. 그리고, 간접적으로 반송 암(15)의 상하 암부(20)를 근접 이간시킨다. 그리고 볼나사(36)의 회전에 의해, 가이드(40)가 상하로 이동하여 암부(20)가 상하로 이동되도록 되어 있다.

검사부(13)는, 액정패널(P)을 지지하여 점등 시험을 행하기 위한 장치이다. 검사부(13)는 도2, 4∼6에 나타낸 바와 같이 주로 XYZθ스테이지(43), 백라이트(44), 워크 테이블(45), 및 프로버(46)로 구성되어 있다.

XYZθ스테이지(43)는, 그 전면에서 백라이트(44)와 워크 테이블(45)을 지지하고 상기 워크 테이블(45)에 설치된 액정패널(P)의 위치를 맞추는 얼라이먼트 스테이지이다. 상기 XYZθ스테이지(43)는, 액정패널(P)을 지지하는 워크 테이블(45)의 XYZ축 방향의 조정과 θ 회전방향의 조정을 행함과 동시에, 액정패널(P)의 수도(受渡) 시에 워크 테이블(45)을 Z축 방향으로 이동시키기 위한 장치이다. XYZθ스테이지(43) 내에는 워크 테이블(45)을 XY축 방향으로 이동시키는 구동모터(도시하지 않음), 워크 테이블(45)을 θ 회전방향으로 회전시키는 구동모터(도시하지 않음), 및 워크 테이블(45)을 Z축 방향으로 이동시키는 구동모터(도시하지 않음)가 각각 설치되어 있다. 각 구동모터는 제어수단(도시하지 않음)에 각각 접속되고, 제어수단에 의해 상기 액정패널(P)이 정확하게 위치 결정되도록 되어 있다.

백라이트(44)는, 워크 테이블(45)에 지지된 액정패널(P)을 뒷면에서 조명하기 위한 부재이다. 백라이트(44)는 하우징(56)과, 상기 하우징(56) 내에 수납된 램 프(57)로 구성되어 있다.

워크 테이블(45)은, 검사대상판인 액정패널(P)을 지지하기 위한 부재이다. 상기 워크 테이블(45)의 개구부(45A)에는 확산판(60)이 설치되어 있다.

프로버(46)는, 액정패널(P)의 단자에 접촉하여 액정패널(P)의 검사를 행하기 위한 장치이다. 프로버(46)는 프로브 베이스(67), 프로브 블록(68), 카메라(69), 및 프로브 스테이지(70)로 구성되어 있다.

프로브 베이스(67)는, 프로브 블록(68) 및 카메라(69)를 지지하기 위한 부재이다. 프로브 베이스(67)는, 워크 테이블(45)에 놓인 액정패널(P)에 바람직한 상태로 프로브 스테이지(70)를 사이에 두고 프레임(도시하지 않음)에 고정되어 있다. 프로브 블록(68)은 그 선단의 프로브 침(71)이 액정패널(P)에 바람직한 상태로 프로브 베이스(67)에 고정되어 있다. 카메라(69)는 액정패널(P)에 설치된 마크를 보면서 액정패널(P)의 위치를 맞추기 위한 카메라이다. 프로브 스테이지(70)는 프레임에 고정된 상태로 프로브 베이스(67)를 지지하고 있다.

위치결정기구(14)는, 외부로부터 수평상태로 반입된 액정패널(P)을 받아 위치 결정하고 지지한 후, 회전, 경사시켜 상기 반송부(12)로 건네기 위한 기구이다.

상기 위치결정기구(14)는, 도1, 7∼11에 나타낸 바와 같이, 패널받이 기구부(81), 위치결정지지 기구부(82), 회전 기구부(83), 경사 기구부(84), 및 승강 기구부(85)로 구성되어 있다.

패널받이 기구부(81)는, 외부로부터 수평상태로 반입된 액정패널(P)을 받기 위한 기구부이다. 상기 패널받이 기구부(81)는, 그 기단부가 후술하는 회전 기구 부(83)의 위쪽 베이스 판(115)에 고정되고 수평방향으로 방사상으로 배설된 4개의 지지 봉(88)과, 각 지지 봉(88)에 각각 수직방향으로 설치된 패널 받이(89)로 구성되어 있다. 패널 받이(89)는 액정패널(P)의 아래쪽 면에 직접 접하여 액정패널(P)을 지지하는 부재이기 때문에, 액정패널(P)을 손상하지 않도록 합성수지 등의 유연성 있는 부재로 구성되어 있다.

위치결정지지 기구부(82)는, 패널받이 기구부(81)에 지지된 액정패널(P)을 위치 결정한 위에 지지하기 위한 기구부이다. 상기 위치결정지지 기구부(82)는 패널 클램프(91), 이동장치(92), 및 버퍼기구(93)로 구성되어 있다.

패널 클램프(91)는, 액정패널(P)의 가장자리에 접하여 상기 액정패널(P)을 위치 결정한 위에 지지하기 위한 부재이다. 상기 패널 클램프(91)는 쌍을 이루고, 서로 직교하는 방향(수평상태에서의 XY축 방향)으로 2조(組) 설치되어 있다. 각 패널 클램프(91)는 원주상 또는 원통상의 합성수지를 수직방향으로 배설하여 구성되어 있다. 쌍을 이루는 각 패널 클램프(91)는 그 중 한쪽에 2개, 다른 쪽에 1개 설치되어 있다. 쌍을 이루는 패널 클램프(91)는 상기 이동장치(92)에 의해, 액정패널(P)의 가장자리에 대하여 근접 이간되도록 되어 있다.

이동장치(92)는, 패널 클램프(91)를 지지하여 근접 이간하기 위한 장치이다. 상기 이동장치(92)는, 도면 중의 X축 방향과 Y축 방향에 각각 설치되어 있다. X축 방향의 이동장치(92)도 Y축 방향의 이동장치(92)도 같은 구성을 갖고 있다. 상기 이동장치(92)는 구체적으로는 레일(96), 가이드(97), 가이드 판(98), 연결부재(99), 래크(100), 피니언(101), 및 구동모터(102)로 구성되어 있다.

레일(96)은, 기단부가 위쪽 베이스 판(115)에 고정되고 XY축 방향의 양쪽에 각각 배설된 지지판(104)에 각각 설치되어 있다. 가이드(97)는 각 레일(96)에 슬라이드 가능하게 설치되어 있다. 가이드 판(98)은 상기 가이드(97)에 일체적으로 설치되어 있다. 연결부재(99)는 그 상단부가 가이드 판(98)에 일체적으로 설치된 상태로, 아래쪽으로 연장하여 설치되어 있다. 래크(100)는, 상기 레일(96)에 평행하게 설치되어 있다. 피니언 기어(101)는 양쪽으로부터 연장한 각 래크(100)와 그 위쪽 및 아래쪽에서 맞물리고, 각 래크(100)를 동시에 서로 역방향으로 이동시키도록 되어 있다. 구동모터(102)는 그 회전축이 상기 피니언 기어(101)에 결합하여, 피니언 기어(101)를 회전 구동시키도록 되어 있다. 그리고 구동모터(102)를 한쪽으로 회전시키면 각 래크(100)를 통하여 상기 각 패널 클램프(91)를 서로 근접시키고, 구동모터(102)를 역방향으로 회전시키면, 상기 각 패널 클램프(91)를 서로 이간시키도록 되어 있다.

버퍼기구(93)는, 상기 쌍을 이루는 패널 클램프(91)의 한쪽을 다른 쪽의 패널 클램프(91) 쪽으로 일정한 힘으로 힘을 가함과 동시에 그 힘을 해제하기 위한 장치이다. 즉, 쌍을 이루는 각 패널 클램프(91) 중 한쪽을 지지하고 그 한쪽 패널 클램프(91)가 상기 액정패널(P)의 가장자리에 접한 상태로 상기 한쪽 패널 클램프(91)를 다른쪽 패널 클램프(91) 쪽으로 일정한 힘으로 힘을 가함과 동시에, 상기 액정패널(P)을 상기 반송부(12)로 건네기 위해서 쌍을 이루는 각 패널 클램프(91)를 이간시키기에 앞서, 상기 가한 힘을 해제하기 위한 장치이다. 상기 버퍼기구(93)는 슬라이드 기구(105), 상시 부세수단(106), 및 규제수단(107)으로 구성되 어 있다.

슬라이드 기구(105)는, 버퍼 레일(110), 버퍼 가이드(111), 및 버퍼 가이드 판(112)으로 구성되어 있다. 버퍼 레일(110)은 이동장치(92)의 가이드 판(98)에, 이동장치(92)의 레일(96)과 같은 방향을 향해 설치되어 있다. 버퍼 가이드(111)는 버퍼 레일(110)에 슬라이드 가능하게 설치되어 있다. 버퍼 가이드 판(112)은 버퍼 가이드(111)에 일체적으로 설치되어 있다. 그리고 상기 버퍼 가이드 판(112)에 상기 패널 클램프(91)가 설치되어 있다.

상시 부세수단(106)은 쌍을 이루는 각 패널 클램프(91)가 서로 근접하는 방향으로 상기 한쪽 패널 클램프(91)에 항상 힘을 가하기 위한 수단이다. 상기 상시 부세수단(106)은 구체적으로는 스프링으로 구성되어 있다. 상기 상시 부세수단(106)의 한쪽이 버퍼 가이드 판(112) 쪽에, 다른 쪽이 이동장치(92)의 가이드 판(98) 쪽에 각각 설치되고, 상기 한쪽 패널 클램프(91)를 다른쪽 패널 클램프(91) 쪽으로 힘을 가하고 있다. 상기 상시 부세수단(106)의 특성(힘)은 놓이는 상기 액정패널(P)의 치수 등에 맞춘 적절한 값으로 설정된다.

규제수단(107)은, 상기 상시 부세수단(106)으로 힘이 가해진 상기 한쪽 패널 클램프(91)를 그 힘이 가해지는 방향과 역방향으로 밀어 상시 부세수단(106)에 의한 힘을 규제하기 위한 수단이다. 상기 규제수단(107)은 구체적으로는 에어 실린더로 구성되고, 상기 에어 실린더의 피스톤 축(108)이 상기 슬라이드 기구(105)의 버퍼 가이드 판(112)에 접하여 상기 버퍼 가이드 판(112)을 밀도록 되어 있다. 규제수단(107)은 상기 버퍼 가이드 판(112)의 안쪽(다른쪽 패널 클램프(91) 쪽)에 설치 되고, 상기 피스톤 축(108)이 상기 버퍼 가이드 판(112)을 밀음으로써, 상기 상시 부세수단(106)에 의한 힘을 규제하도록 되어 있다.

회전 기구부(83)는, 상기 패널받이 기구부(81) 및 위치결정지지 기구부(82)를 지지하여 회전시키기 위한 기구이다. 상기 회전 기구부(83)는, 위쪽 베이스 판(115), 아래쪽 베이스 판(116), 및 상기 위쪽 베이스 판(115) 및 아래쪽 베이스 판(116)을 일체적으로 회전시키는 구동모터(117)로 구성되어 있다. 위쪽 베이스 판(115)은 상기 패널받이 기구부(81) 및 위치결정지지 기구부(82)를 지지하고 있다. 상기 위쪽 베이스 판(115)은 4개의 지주(118)를 사이에 두고 아래쪽 베이스 판(116)에 설치되어 있다. 아래쪽 베이스 판(116)은 구동모터(117)의 회전축에 일체적으로 고정되어 있다. 이에 의해, 구동모터(117)를 설정 각도만큼 회전시킴으로써, 상기 위쪽 베이스 판(115) 및 아래쪽 베이스 판(116)을 통하여, 상기 패널받이 기구부(81) 및 위치결정지지 기구부(82)로 지지된 상기 액정패널(P)을 설정 각도만큼 회전시키도록 되어 있다. 상기 회전 기구부(83)는 승강 기구부(85)에 일체적으로 설치되어 있다.

경사 기구부(84)는, 직교한 상태로 일체적으로 설치된 상기 회전 기구부(83) 및 승강 기구부(85)를 지지하여 경사시키기 위한 기구이다. 상기 경사 기구부(84)는, 기판(120), 지주(121), 회전운동 지지축(122), 구동모터(123), 및 감속 기어(124)로 구성되어 있다.

기판(120)은, 장치 전체를 지지하기 위한 판재이다. 지주(121)는, 일체적으로 설치된 상기 회전 기구부(83) 및 승강 기구부(85)를 지지하기 위한 부재이다. 상기 지주(121)는, 상기 기판(120)에 설정 간격을 두고 2개 설치되어 있다. 회전운동 지지축(122)은 2개의 지주(121)에 걸쳐 설치되어 있다. 상기 회전운동 지지축(122)에, 상기 회전 기구부(83) 및 승강 기구부(85)가 회전 가능하게 설치되어 있다.

상기 구동모터(123)는 상기 감속 기어(124)에 연결되어 있다. 감속 기어(124)의 출력축은 상기 회전운동 지지축(122)에 연결되어 있다. 감속 기어(124)는, 구동모터(123)의 회전을 감속시켜, 직접적으로 상기 회전 기구부(83)를, 간접적으로 상기 패널받이 기구부(81) 및 위치결정지지 기구부(82)로 지지된 상기 액정패널(P)을 설정 각도로 회전 운동시키도록 되어 있다. 이에 의해, 구동모터(123)의 회전이 감속 기어(124)로 감속되고, 상기 회전운동 지지축(122)을 설정 각도만큼 회전시키도록 되어 있다.

승강 기구부(85)는, 상기 액정패널(P)을 승강시키기 위한 장치이다. 즉, 승강 기구부(85)는 상기 회전 기구부(83)를 사이에 두고, 상기 패널받이 기구부(81) 및 위치결정지지 기구부(82)로 지지된 상기 액정패널(P)을, 상기 액정패널(P) 면과 수직인 방향으로 승강시키도록 되어 있다. 승강 기구부(85)는 고정판(130), 슬라이드 판(131), 볼나사(132), 너트(133), 및 구동모터(134)로 구성되어 있다. 고정판(130)은 상기 회전운동 지지축(122)에 일체적으로 고정되고, 상기 회전운동 지지축(122)과 함께 회전 운동하도록 되어 있다. 슬라이드 판(131)은 상기 고정판(130)에 슬라이드 가능하게 지지되어 있다. 상기 슬라이드 판(131)에는 상기 회전 기구부(83)가 직교하는 각도로 일체적으로 설치되어 있다. 이에 의해, 상기 슬라이드 판(131)이 상기 고정판(130)에 지지된 상태로 슬라이드하면, 상기 슬라이드 판(131)에 지지된 상기 회전 기구부(83)가 일체적으로 슬라이드 하도록 되어 있다.

볼나사(132)는, 상기 슬라이드 판(131)을 상기 고정판(130)에 대하여 슬라이드 시키기 위한 부재이다. 상기 볼나사(132)는 상기 슬라이드 판(131)의 슬라이드 방향을 향해 상기 고정판(130)에 회전 가능하게 지지되어 있다. 상기 너트(133)는 상기 슬라이드 판(131)에 고정되고, 상기 볼나사(132)에 결합되어 있다. 이에 의해, 볼나사(132)의 회전으로, 상기 너트(133)가 볼나사(132)의 축방향으로 이동하고, 상기 슬라이드 판(131)이 상기 볼나사(132)의 축방향으로 슬라이드 하도록 되어 있다. 구동모터(134)는 상기 볼나사(132)에 연결되고, 상기 볼나사(132)를 회전시킨다.

[동작]

이상과 같이 구성된 점등 감사장치(11)는 다음과 같이 동작한다.

점등 검사장치(11)의 동작은 다음과 같이 이루어진다.

액정패널(P)을 여러장 수납한 카세트(도시하지 않음)가 점등 검사장치(11) 근방에 설치되고, 로봇 핸드(도시하지 않음)가 상기 카세트로부터 액정패널(P)을 수평상태로 꺼내어, 점등 검사장치(11) 내로 반입한다.

점등 검사장치(11) 내에서는 우선 위치결정기구(14)가 로봇 핸드로부터 액정패널(P)을 받는다. 이 때, 액정패널(P)은 위치결정기구(14)의 패널받이 기구부(81)에 놓인다. 구체적으로는 4개의 패널 받이(89)에 놓인다. 이 때, 위치결정지지 기 구부(82)의 패널 클램프(91)는 이동장치(92)에 의해 서로 이간되어 있다. 이에 의해, 로봇 핸드는 액정패널(P)을 패널 클램프(91)에 접촉하지 않고 4개의 패널 받이(89)에 놓는다.

계속해서, 위치결정지지 기구부(82)에서 액정패널(P)의 위치 결정 및 지지가 이루어진다. 구체적으로는, 이동장치(92)의 구동모터(102)를 구동시켜 피니언(101)을 설정 방향으로 설정 각도만큼 회전시키고, 래크(100)를 설정량 만큼 설정방향으로 이동시킨다. 위치 결정의 경우는, 래크(100)를 설정량 만큼 서로 근접하는 방향으로 이동시킨다. 이 때, 버퍼기구(93)에서는 버퍼 가이드 판(112)이 상시 부세수단(106)으로 힘이 가해져 규제수단(107)의 피스톤 축(108)에 접한 상태로 되어 있다. 이 상태로, 상기 래크(100)가 서로 근접하는 방향으로 이동되면, 우선 도12(A)와 같이, 액정패널(P)의 가장자리에 패널 클램프(91)가 접한다. 상기 래크(100)를 설정량 만큼 서로 근접하는 방향으로 더 이동되면, 도12(B)와 같이, 버퍼 레일(110) 및 규제수단(107)이 더 밀어 넣어지고, 버퍼 가이드 판(112)이 규제수단(107)의 피스톤 축(108)으로부터 멀어져, 상시 부세수단(106)이 패널 클램프(91)를 액정패널(P)의 가장자리에 밀어 붙인다. 이 때, 상기 래크(100)의 이동량을 정확하게 조정함으로써, 상시 부세수단(106)의 신장량을 조정하고, 패널 클램프(91)의 액정패널(P)의 가장자리에의 압력을 조정한다.

또, 버퍼기구(93)가 설치되어 있지 않는 다른쪽 패널 클램프(91)는 상시 부세수단(106)으로 미끄러져 움직이는 일이 없기 때문에, 상기 다른쪽 패널 클램프(91)가 위치 결정의 기준위치로 이동하도록 조정한다.

이에 의해, 액정패널(P)은 다른쪽 패널 클램프(91)에 접함으로써 그 위치결정이 이루어지고, 한쪽 패널 클램프(91)가 접하여 상시 부세수단(106)에 의해 설정 압력으로 힘이 가해짐으로써, 액정패널(P)이 미끄러져 움직이지 않도록 지지한다.

이 상태로, 회전 기구부(83)에 의해, 상기 패널받이 기구부(81) 및 위치결정지지 기구부(82)와 함께 액정패널(P)이 90도 회전된다.

이어서, 경사 기구부(84)에서 상기 패널받이 기구부(81), 위치결정지지 기구부(82) 및 회전 기구부(83)와 함께 액정패널(P)을 설정 각도(도4의 검사부(13)에서의 액정패널(P)의 경사각)까지 회전 운동시킨다.

게다가, 승강 기구부(85)에서 상기 패널받이 기구부(81), 위치결정지지 기구부(82), 회전 기구부(83) 및 경사 기구부(84)와 함께 액정패널(P)이 그 표면에 수직인 방향의 위쪽으로 이동되고, 반송부(12)로 건네진다.

이 때, 버퍼기구(93)에서는 규제수단(107)의 피스톤 축(108)이 연장되어, 도13(A)의 상태로부터 도13(B)와 같이, 버퍼 가이드 판(112)을 밀어, 패널 클램프(91)를 액정패널(P)의 가장자리로부터 떨어뜨린다. 이에 의해, 상시 부세수단(106)에 의하여 액정패널(P)에 가한 힘이 해제되고, 액정패널(P)이 미끄러져 움직이는 것을 방지한다. 이 때, 다른쪽 패널 클램프(91)는 설정 위치로부터 이동하지 않기 때문에, 액정패널(P)은 상기 다른쪽 패널 클램프(91)에 접한 상태로 설정 위치에 유지된다.

이 상태로, 반송부(12)의 반송 암(15)이 액정패널(P)을 받아 지지한다. 계속해서, 구동기구(16)로 반송 암(15)을 검사부(13) 쪽으로 이동시키고, 액정패널(P) 을 워크 테이블(45)에 놓는다.

검사부(13)에서는, XYZθ스테이지(43)에서 워크 테이블(45)에 지지된 액정패널(P)의 위치 결정이 이루어진다. 구체적으로는, 액정패널(P)의 단자와 프로버(46)의 프로브 침(71)이 정합(整合)되어 서로 접촉되고, 그리고 백라이트(44)가 점등되고, 도통(道通)시험이 행해진다.

검사 종료 후는, 반송부(12)가 워크 테이블(45)로부터 액정패널(P)을 받아, 위치결정기구(14)로 되돌아간다.

위치결정기구(14)에서는, 상기와 같이 액정패널(P)을 위치 결정하여 지지하고, 수평으로 되돌아가 90도 회전시키고, 외부의 로봇 핸드에게 건넨다.

[효과]

이상과 같이, 위치결정기구(14)가 액정패널(P)을 받아 위치를 결정하고 지지할 때, 상기 버퍼기구(93)의 상시 부세수단(106)이 상기 액정패널(P)의 가장자리에 접한 상기 패널 클램프(91)에 힘을 가하여 설정값 이상의 압력이 되지 않도록 하여 지지함과 동시에, 각 패널 클램프(91)를 상기 액정패널(P)로부터 이간시키는 경우, 그에 앞서 상기 버퍼기구(93)의 규제수단(107)이 상기 패널 클램프(91)에 가한 힘을 해제하기 때문에, 상기 액정패널(P)을 확실하게 지지할 수 있고, 반송 도중에 액정패널(P)이 미끄러져 움직이는 것을 방지할 수 있다. 게다가, 상기 액정패널(P)이 휘거나 파손하거나 하는 것을 방지할 수 있다.

[변형예]

상기 실시형태에서는, 상기 버퍼기구(93)의 규제수단(107)을 에어 실린더로 구성하였지만, 규제수단(107)은 버퍼 가이드 판(112)을 밀 수 있으면 되기 때문에, 유압 실린더 등의 다른 구성이어도 된다.

또, 상기 실시형태에서는 상시 부세수단(106)을 스프링으로 구성하였지만, 패널 클램프(91)를 액정패널(P)의 가장자리에 설정 압력으로 누를 수 있는 구성이면 되므로, 에어 스프링이나 고무 등의 다른 부세수단으로 구성해도 된다.

게다가, 상기 실시형태에서는 액정패널(P)을 경사시켜 검사하는 점등 검사장치(11)를 기초로 설명하였지만, 수평상태, 수직상태 등으로 검사하는 다른 검사장치여도 되는 것은 말할 것도 없다. 위치결정기구(14)를 갖춘 모든 장치에 적용할 수 있다.

본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않고, 그 취지를 벗어나지 않는 한, 각종 변경이 가능하다.

본 발명은, 위치결정기구(14)가 액정패널(P)을 받아 위치를 결정하고 지지할 때, 상기 버퍼기구(93)의 상시 부세수단(106)이 상기 액정패널(P)의 가장자리에 접한 상기 패널 클램프(91)에 힘을 가하여 설정값 이상의 압력이 되지 않도록 하여 지지함과 동시에, 각 패널 클램프(91)를 상기 액정패널(P)로부터 이간시키는 경우, 그에 앞서 상기 버퍼기구(93)의 규제수단(107)이 상기 패널 클램프(91)에 가한 힘 을 해제하기 때문에, 상기 액정패널(P)을 확실하게 지지할 수 있고, 반송 도중에 액정패널(P)이 미끄러져 움직이는 것을 방지할 수 있다. 게다가, 상기 액정패널(P)이 휘거나 파손하거나 하는 것을 방지할 수 있는 발명의 효과를 갖는다.

본 발명의 단순한 변형 내지 변경은 이 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의하여 용이하게 이용될 수 있으며, 이러한 변형이나 변경은 모두 본 발명의 영역에 포함되는 것으로 볼 수 있다.

Claims

외부로부터 반송되어 오는 검사대상판을 점등 검사하는 점등 검사장치로서,

상기 검사대상판을 비스듬히, 수평 또는 수직으로 지지하여 점등 검사하는 검사부;

상기 검사부에 상기 검사대상판을 반송하는 반송부; 및

외부로부터 반입된 검사대상판을 받아 위치를 결정하고 지지하여 상기 반송부로 건네는 위치결정기구;

를 갖추고, 상기 위치결정기구가,

외부로부터 반입된 검사대상판을 받는 패널 받이;

상기 패널 받이에서 받은 검사대상판의 가장자리에 대하여 근접 이간됨과 동시에 상기 가장자리에 접하여 상기 검사대상판을 위치 결정한 위에 지지하는 1쌍 또는 복수 쌍의 패널 클램프; 및

상기 쌍을 이루는 각 패널 클램프 중 한쪽을 지지하고 상기 한쪽 패널 클램프가 상기 검사대상판의 가장자리에 접한 상태로 상기 한쪽 패널 클램프를 상기 가장자리를 누르는 방향으로 힘을 가함과 동시에, 상기 쌍을 이루는 각 패널 클램프를 이간시키기에 앞서 상기 가한 힘을 해제하는 버퍼기구;

를 갖춘 것을 특징으로 하는 점등 검사장치.
제1항에 있어서, 상기 버퍼기구가,

상기 쌍을 이루는 각 패널 클램프가 서로 근접하는 방향으로 상기 한쪽 패널 클램프에 항상 힘을 가하는 상시 부세수단; 및

상기 상시 부세수단으로 힘이 가해진 상기 한쪽 패널 클램프를 그 힘이 가해지는 방향과 역방향으로 눌러 상기 상시 부세수단에 의한 힘을 규제하는 규제수단;

을 갖춘 것을 특징으로 하는 점등 검사장치.
제2항에 있어서, 상기 버퍼기구의 상시 부세수단이 스프링인 것을 특징으로 하는 점등 검사장치.
제2항에 있어서, 상기 버퍼기구의 규제수단이 에어 실린더인 것을 특징으로 하는 점등 검사장치.