JP2003273198A - 部材の支持固定機構及び検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 支持台上において部材を位置決めして固定す
る場合に、部材の撓みを従来よりも低減することができ
る部材の支持固定方法を提供する。また、同様の場合に
おいて、部材の位置決め、特に回転方向の位置決め、を
より高精度かつ確実に行うことのできる部材の支持固定
方法を提供する。 【解決手段】 支持台１３４上にワークＷが配置されて
いない場合には、駆動手段１０２の駆動部１０２ａによ
って第１当接部材１３８は弾性部材１０１の弾性力に抗
して第２当接部材１３９から離れた位置に引き離された
状態となっている。そして、ワークＷが支持台１３４上
に載置されると、駆動部１０２ａは徐々に図示下方へ向
けて移動していき、第１当接部材１３８に回転自在に軸
支されたローラ部材１３８ａはワークＷの外縁の円弧状
部Ｗ１に当接し、ワークＷを第２当接部材１３９側へ押
し出し、第１当接部材１３８と第２当接部材１３９との
間でワークＷが位置決めされる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は部材の支持固定機構
及び検査装置に係り、特に、半導体や圧電体のウエハや
ガラス基板などを支持台上に正確に位置決めされた状態
で支持固定するための機構に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、半導体その他の電子部品を製造
する工程においては、ウエハ、ガラス基板、電子部品な
どの各種部材に対して電気的検査、構造検査、外観検査
等の各種の検査を行う場合がある。このような検査のう
ち、例えば、電気的検査では、一般に、上記の部材にプ
ローブと呼ばれる探針を接触させた状態で行う場合があ
る。

【０００３】上記の電気的試験を行う場合には、上記の
部材を支持台上の所定位置に位置決めした状態で支持固
定し、プローブを部材の所定部位に接触させる。この場
合、プローブを所定部位に正確に接触させる必要がある
ため、上記の部材は、支持台上の所定位置に正確に位置
決めされていなければならない。従来の部材の位置決め
方法、例えば、オリエンテーションフラットを備えた略
円盤状のウエハを位置決めする方法としては、支持台上
において２つの当接部材を反対方向からウエハを挟み付
けるように当接させることによってウエハを支持台上に
おいて概略の位置決めを行い、真空吸着などの方法によ
ってそのウエハを支持台上において固定した後、当該ウ
エハに形成されているアライメントマークを撮影して、
これにより得られた画像を処理してアライメントマーク
の位置を求め、この位置からウエハ位置と正規位置との
間のずれを求め、このずれに応じて支持台を微調整する
方法が一般的である。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような部材の支持固定方法においては、ウエハ等の部材
が支持台上で微妙に撓んだ状態で固定されると、これに
よって検査精度が低下する可能性がある。例えば、弾性
表面波素子の特性周波数（例えば共振周波数）を測定す
る場合、圧電体ウエハが支持台上で撓むと、本来の弾性
表面波素子の周波数に対してずれた測定値が得られる場
合がある。この撓みは、例えば、上記の当接部材による
平面的な位置決め動作によって生ずる可能性がある。

【０００５】また、上記のように支持台上において当接
部材によってウエハを位置決めする場合、当接部材とウ
エハとの間の摩擦によって当接部材とウエハとの間に噛
み込みなどが発生することにより、支持台上におけるウ
エハの回転方向の位置決めが十分になされず、カメラ等
の撮影範囲からアライメントマークが逸脱してしまう場
合がある。

【０００６】そこで本発明は上記問題点を解決するもの
であり、その課題は、支持台上において部材を位置決め
して固定する場合に、部材の撓みを従来よりも低減する
ことができる部材の支持固定方法を提供することにあ
る。また、同様の場合において、部材の位置決め、特に
回転方向の位置決め、をより高精度かつ確実に行うこと
のできる部材の支持固定方法を提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に本発明の部材の支持固定機構は、部材を支持台上に支
持固定するための支持固定機構であって、前記支持台上
において前記部材が位置決めされるための位置決め機構
が設けられ、前記位置決め機構は、前記部材の一側に当
接する第１当接部材と、前記部材の他側に当接する第２
当接部材とを含み、前記第１当接部材と前記第２当接部
材とが相互に接離可能に構成され、前記第１当接部材が
前記支持台の支持面と略直交する軸周りに回転自在に設
けられたローラ部材で構成されていることを特徴とす
る。

【０００８】この発明によれば、第１当接部材が支持台
の支持面と略直交する軸周りに回転自在に設けられたロ
ーラ部材で構成されていることにより、第１当接部材と
第２当接部材とにより部材を挟み付けて位置決めを行う
場合に、第１当接部材により部材の回転動作が妨げられ
にくくなるので、部材の撓みや歪が生じ難くなるととと
もに、部材の位置、特に回転方向の姿勢をより高精度か
つ確実に位置決めすることができる。

【０００９】本発明において、前記第１当接部材は、併
設された少なくとも一対の前記ローラ部材で構成されて
いることが好ましい。

【００１０】この発明によれば、一対のローラ部材を部
材の一側に当接させることによって、当接位置を２点に
することができるため、より安定した状態で部材を位置
決めすることが可能になる。

【００１１】本発明において、前記第２当接部材は前記
部材の回転方向の姿勢を規制するように構成されている
ことが好ましい。

【００１２】この発明によれば、第２当接部材が部材に
当接する際に、第１当接部材により部材の回転が妨げら
れにくくなるため、第２当接部材により部材の回転方向
の姿勢がより確実に規制される。

【００１３】本発明において、前記第２当接部材は、併
設された少なくとも一対の、前記支持台の支持面と略直
交する軸周りにそれぞれ回転自在に設けられたローラ部
材で構成されていることが好ましい。

【００１４】この発明によれば、第２当接部材が回転自
在に設けられた一対のローラ部材で構成されていること
により、第２当接部材によっても部材の回転が妨げられ
難くなるので、部材の撓みや歪がより生じ難くなるとと
ともに、より高精度かつ確実に部材の、特に回転方向
の、位置決めを行うことが可能になる。

【００１５】本発明において、前記第１当接部材と前記
第２当接部材とを互いに引き寄せる弾性部材と、前記第
１当接部材と前記第２当接部材とを互いに引き離す引き
離し手段とを有することが好ましい。

【００１６】この発明によれば、引き離し手段によって
第１当接部材と第２当接部材とを互いに引き離した状態
とし、この状態で引き離し手段の作用を解除することに
よって、弾性部材の弾性力により第１当接部材と第２当
接部材とにより部材を挟み付けることができるので、部
材に対して過剰な力（すなわち弾性部材の弾性力以上の
力）を与えることなく位置決めを行うことができるた
め、部材の撓みや歪を更に低減できる。

【００１７】本発明において、前記引き離し手段は、前
記部材の位置決め過程において前記第１当接部材と前記
第２当接部材の少なくとも一方の当接部材に対して引き
離し力を与えながら漸次後退するように構成されている
ことが好ましい。

【００１８】この発明によれば、引き離し手段が引き離
し力を与えながら漸次後退することにより、第１当接部
材と第２当接部材とにより部材を挟持して位置決めする
際に、部材に大きな負荷を与えることなく位置決めする
ことができるため、部材の撓みや歪をより一層低減でき
る。

【００１９】本発明において、前記支持台上に出没可能
に構成され、前記部材の外縁を案内するための外周案内
面を備えた複数のガイドピンを有することが好ましい。

【００２０】この発明によれば、ガイドピンの外周案内
面によって部材の外縁が案内されるため、部材の位置決
めをよりスムーズに行うことができる。特に、このガイ
ドピンは、上記第１当接部材と第２当接部材による位置
決め前から位置決め完了時までは支持台上に突出した状
態となっていて、位置決め完了後に、支持台に没するよ
うに構成されていることが望ましい。

【００２１】本発明において、少なくとも２種の異なる
形状若しくは寸法に対応する前記ガイドピンを有するこ
とが好ましい。

【００２２】この発明によれば、異なる形状若しくは寸
法の部材に対して容易に受け渡しや位置決めを行うこと
ができる。特に、異なる形状や寸法の部材に対してもガ
イドピンにより部材の概略位置を保持することができる
ため、共通の第１当接部材及び第２当接部材で位置決め
を行うことが可能になる。

【００２３】次に、本発明の支持固定機構は、部材を支
持台上に支持固定するための支持固定機構であって、前
記支持台上に出没可能に構成され、前記部材の外縁を案
内するための外周案内面を備えた複数のガイドピンを有
し、少なくとも２種の異なる形状若しくは寸法に対応す
る前記ガイドピンを有することを特徴とする。

【００２４】この発明によれば、異なる形状若しくは寸
法の部材に対して容易に受け渡しや位置決めを行うこと
ができる。

【００２５】本発明において、前記支持台上に出没可能
に構成され、前記部材を支持するための上端受部を備え
た複数の受け渡しピンを有することが好ましい。

【００２６】この発明によれば、受け渡しピンの上端受
部上で部材を受け取り、ガイドピンによって部材が案内
された状態で受け渡しピンを降下させていくことによ
り、部材を支持台上に配置することができる。このよう
にして部材を支持台上に配置することによって、部材に
過大な負荷を与えることがなくなるので、部材の撓みや
歪を低減できる。

【００２７】本発明において、前記支持台に前記部材を
吸着保持するための吸着保持手段を有することが好まし
い。

【００２８】この発明によれば、支持台上に受け渡さ
れ、或いは、位置決めされ部材を吸着保持手段によって
支持台に対して確実に固定できる。

【００２９】次に、本発明の検査装置は、前記部材を把
持して移送するための部材把持手段と、上記いずれかに
記載の支持固定機構とを有し、前記部材把持手段により
前記部材を前記支持台上に供給するように構成されてい
ることが好ましい。

【００３０】この発明によれば、支持台上の部材の撓み
や歪を低減することができるとともに、支持台上の部材
の位置決めを高精度かつ確実に行うことができる。

【００３１】本発明において、前記部材把持手段は、前
記部材を支持する部材支持面と、前記部材の外縁に当接
して前記部材の姿勢を規制する部材規制部とを有するこ
とが好ましい。

【００３２】この発明によれば、部材規制部によって部
材の把持位置を規制することができるので、部材把持手
段による部材の供給位置の精度を向上できる。この部材
規制部としては、部材の外縁に当接する複数の凸曲面状
の突起を有することが望ましい。これによって、部材に
負荷を与え難くなるとともに確実に部材の把持位置を規
制することができ、しかも、異なる形状や寸法の部材に
も容易に対応することができる。

【００３３】なお、部材把持手段においても、部材支持
面に部材を吸着保持する手段を設けることが好ましい。

【００３４】

【発明の実施の形態】次に、添付図面を参照して本発明
に係る部材の支持固定機構及び検査装置の実施形態につ
いて詳細に説明する。図１は、ウエハの電気的試験を行
うための検査装置１００の全体構成を示す概略平面図で
ある。この検査装置１００は、例えば弾性表面波素子等
のウエハなどで構成されるワークＷを格納する給除材ユ
ニット１１０と、ワークＷを搬送する搬送ユニット１２
０と、ワークＷを支持固定する支持固定ユニット１３０
と、ワークＷの測定や検査を行う測定ユニット１４０と
を有する。

【００３５】給除材ユニット１１０は、複数のワークを
格納したマガジン１１１と、マガジン１１１を例えば上
下方向に駆動するマガジン駆動部１１２とを有する。

【００３６】搬送ユニット１２０は、図示左右方向に伸
びる案内路を有する駆動案内部１２１と、この駆動案内
部１２１によって移動する駆動アーム１２２と、駆動ア
ーム１２２に取り付けられた把持部材１２３とを備えて
いる。

【００３７】支持固定ユニット１３０は、図示上下及び
左右方向（ＸＹ方向）に移動可能に構成されたＸＹ駆動
機構１３１と、このＸＹ駆動機構１３１上に取り付けら
れたベース台１３２と、このベース台１３２上に設けら
れたθ調整機構１３３と、このθ調整機構１３３上に取
り付けられた支持台１３４とを有している。

【００３８】測定ユニット１４０は、ＣＣＤカメラ等で
構成される撮像装置１４１と、昇降可能（図の紙面と直
交する方向に移動可能）に構成された測定ヘッド１４２
とを有する。測定ヘッド１４２には１又は複数のプロー
ブが設けられる。

【００３９】図２には、搬送ユニット１２０に設けられ
た把持部材１２３の細部構造を示す。把持部材１２３
は、上記駆動アーム１２２に取り付けられる基部１２３
ａと、ワークを支持する支持保持部１２３ｂと、支持保
持部１２３ｂから一段高く形成された段差部１２３ｃと
を有する。段差部１２３ｃの支持保持部１２３ｂ側に
は、一対の凸曲面状に突出した突起１２３ｄ，１２３ｄ
が設けられている。

【００４０】支持保持部１２３ｂには、ワークを吸着保
持するための吸着用開口１２３ｅ，１２３ｅが設けられ
ている。これらの吸着用開口１２３ｅは、図２（ｃ）に
示すように、支持保持部１２３ｂを構成する３枚の薄板
材１２３ｈ、１２３ｉ、１２３ｊのうち、表側の薄板材
１２３ｈに設けられた孔によって形成される。表裏の薄
板材１２３ｈと１２３ｊとで挟持された中間の薄板材１
２３ｉには、上記吸着用開口１２３ｅに連通する吸引経
路１２３ｆが設けられている。この吸引経路１２３ｆ
は、基部１２３ａ内に形成された吸引連絡路１２３ｇに
連通し、基部１２３ａに取り付けられた接続具１２３ｋ
に接続されている。接続具１２３ｋは図示しない配管に
接続され、この配管を介して排気が行われる。

【００４１】この把持部材１２３を用いてワークＷを把
持する場合には、図２に一点鎖線で示すように、ワーク
Ｗを支持保持部１２３ｂ上に配置させ、ワークＷの外縁
を一対の突起１２３ｄ，１２３ｄに当接させた状態に
し、この状態でワークＷを支持保持部１２３ｂに吸着保
持する。ここで、図示例のワークＷとしては、外径の異
なる２種のウエハ（例えば３インチウエハと４インチウ
エハ）を示してある。

【００４２】図３は、上記支持固定ユニット１３０の支
持台１３４の構造を示す平面図である。支持台１３４に
は、図示しない排気経路に接続された吸着溝１３４ａが
設けられ、この吸着溝１３４ａが形成された支持台１３
４の領域上に載置されたワークＷを吸着保持できるよう
に構成されている。

【００４３】支持台１３４の下にはガイド部材１３５，
１３６が上下方向（図の紙面と直交する方向）に移動可
能に配置されているとともに、受け渡し部材１３７が上
下方向に移動可能に配置されている。ガイド部材１３５
には複数（図示例では４つ）のガイドピン１３５ａが設
けられている。ガイド部材１３６には複数（図示例では
４つ）のガイドピン１３６ａが設けられている。これら
のガイドピン１３５ａ，１３６ａはそれぞれ支持台１３
４に形成された孔部を通して支持台１３４上に出没可能
に構成されている。また、受け渡し部材１３７には複数
（図示例では４つ）の受け渡しピン１３７ａが設けられ
ている。この受け渡しピン１３７ａは、支持台１３４に
設けられた孔部を通して支持台１３４上に出没可能に構
成されている。上記のガイドピン１３５ａ，１３６ａや
受け渡しピン１３７ａを挿通可能に構成された孔部は、
いずれも支持台１３４の吸着溝１３４ａが形成された領
域の周囲に分散した位置に設けられている。

【００４４】支持台１３４には、上記の吸着溝１３４ａ
が形成された領域の一側に凹部或いは開口部で構成され
る導入部１３４ｂが設けられ、この導入部には、第１当
接部材１３８が上記領域に対して接離する方向に移動可
能に配置されている。第１当接部材１３８には、一対の
ローラ部材１３８ａ，１３８ａが支持台１３４の表面と
直交する軸周りに回転自在に軸支されている。

【００４５】一方、上記導入部１３４ｂから見て、吸着
溝１３４ａが形成された領域を挟んだ反対側にも凹部或
いは開口部で構成された導入部１３４ｃが設けられてい
る。この導入部１３４ｃ内には、第２当接部材１３９が
取り付けられている。図示例では、第２当接部材１３９
は支持台１３４の導入部１３４ｃに対して固定されてい
る。第２当接部材１３９には一対のローラ部材１３９ａ
が支持台１３４の表面と直交する軸周りに回転自在に軸
支されている。

【００４６】図４には、支持台１３４の動作手順を示
す。まず、上記の把持部材１２３で把持されたワークＷ
は、図４（ａ）に示すように、支持台１３４の上方に配
置される。そして、図３に示すガイド部材１３５をアク
チュエータ等の駆動手段により上昇させることによっ
て、支持台１３４からガイドピン１３５ａを突出させ、
ワークＷの外縁を複数のガイドピン１３５ａの外周面に
よって案内した状態とする。

【００４７】次に、把持部材１２３の吸着保持を解除
し、図３に示す受け渡し部材１３７をアクチュエータ等
の駆動手段により上昇させることによって、図４（ｂ）
に示すように、支持台１３４から受け渡しピン１３７ａ
を突出させ、複数の受け渡しピン１３７ａの上端受部で
ワークＷを支持した状態とする。そして、把持部材１２
３を支持台１３４上から退避させる。

【００４８】その後、図４（ｃ）に示すように、受け渡
しピン１３７ａを徐々に降下させ、支持台１３４に没し
た状態とすることにより、ワークＷを支持台１３４上に
載置する。そして、上記ガイドピン１３５ａについて
は、後述するワークＷの位置決めが完了して支持台１３
４上に保持固定されてから降下され、支持台１３４に没
した状態になる。

【００４９】なお、上記説明では、図示のワークＷに対
応したガイドピン１３５ａを用いた例を示したが、これ
よりも大きなワークを受け入れる場合には、ガイドピン
１３６ａを上記ガイドピン１３５ａの代りに用いること
ができる。

【００５０】図５は、図４に示す方法で支持台１３４上
に載置されたワークＷを位置決めする方法を示す説明図
である。ワークＷは、上記のようにしてガイドピン１３
５ａによって概略位置が規制された状態で支持台１３４
上に載置されているが、図５ではガイドピンの図示を省
略してある。また、図示例のワークＷは、オリエンテー
ションフラットを有する円盤形状を有するウエハであ
り、その外縁には、円弧状部Ｗ１と、上記オリエンテー
ションフラットである平坦部Ｗ２とを有している。そし
て、ワークＷは、平坦部Ｗ２をほぼ第２当接部材１３９
に向けた姿勢で支持台１３４上に載置されている。

【００５１】本実施形態では、第１当接部材１３８は図
５に模式的に示すようにコイルバネ等の弾性部材１０１
によって第２当接部材１３９側に常時付勢されている。
また、第１当接部材１３８は、流体シリンダ等で構成さ
れる駆動手段１０２の駆動部１０２ａによって第２当接
部材１３９から離反する方向に押圧され、引き離される
ように構成されている。

【００５２】支持台１３４上にワークＷが配置されてい
ない場合には、駆動手段１０２の駆動部１０２ａによっ
て第１当接部材１３８は弾性部材１０１の弾性力に抗し
て第２当接部材１３９から離れた位置に引き離された状
態となっている。そして、上記のようにして、ワークＷ
が支持台１３４上に載置されると、駆動部１０２ａは徐
々に図示下方へ向けて移動（第１当接部材に対して後
退）していき、第１当接部材１３８のローラ部材１３８
ａはワークＷの外縁の円弧状部Ｗ１に当接し、ワークＷ
を第２当接部材１３９側へ押し出していく。このとき、
駆動部１０２ａは常に第１当接部材１３８に対して引き
離し力を付与した状態で漸次後退するように動作するの
で、第１当接部材１３８のローラ部材１３８ａは常に弾
性部材１０１の弾性力よりも小さな力でワークＷを押圧
することになる。これによって、ワークＷに大きな負荷
を与えることがなくなり、ワークＷの破損を防止するこ
とができることはもちろんのこと、ワークＷの撓みや歪
を低減することが可能になる。

【００５３】上記のようにして第１当接部材１３８が徐
々にワークＷを第２当接部材１３９側に押し出していく
と、ワークＷの外縁の平坦部Ｗ２が第２当接部材１３９
の一対のローラ部材１３９ａに当接し、これらのローラ
部材１３９ａによってワークＷの回転方向の姿勢が規制
される。このとき、第１当接部材１３８のローラ部材１
３８ａはそれぞれ回転自在に軸支されているため、ワー
クＷの回転を妨げ難く構成されていることから、ワーク
Ｗの回転方向の姿勢は、平坦部Ｗ２を規制するための一
対のローラ部材１３９ａによって高精度かつ確実に規制
される。ここで、第２当接部材１３９のローラ部材１３
９ａもまた回転自在に軸支されていることにより、ワー
クＷの回転をさらに妨げ難くしている。

【００５４】上記のようにして、第１当接部材１３８の
ローラ部材１３８ａと、第２当接部材１３９のローラ部
材１３９ａとによってワークＷが完全に挟み付けられた
状態になると、図示のように支持台１３４上のワークＷ
の位置決めは完了する。この位置決め完了時において
は、駆動部１０２ａは最終的に第１当接部材１３８から
離反し、その結果、第１当接部材１３８には弾性部材１
０１の弾性力がほぼ全て加わった状態になる。この状態
では、上記のように駆動手段１０２の駆動部１０２ａが
第１当接部材１３８から離反し、第１当接部材１３８に
は応力を与えないように構成されていることにより、位
置決めが完了した時点においても弾性部材１０１の弾性
力よりも大きな応力をワークＷに加えてしまうことが防
止されるため、ワークＷの撓みや歪の発生を低減し、ワ
ークＷを支持台１３４上に平坦に配置させることが可能
になる。

【００５５】上記のようにして、ワークＷが第１当接部
材１３８及び第２当接部材１３９によって挟持された状
態で位置決めされると、支持台１３４の吸着溝１３４ａ
によってワークＷは支持台１３４上に吸着保持される。
なお、本実施形態において、ワークＷは、回転方向には
オリエンテーションフラットである平坦部Ｗ２を基準と
して位置決めされ、平面方向には第２当接部材１３９の
固定位置を基準としてワークＷの外形に応じて位置決め
される。

【００５６】なお、上記の第２当接部材１３９として
は、上記の回転自在に構成されたローラ部材１３９ａの
代りに回転しない突起（例えば凸曲面状の突起）を用い
てもよい。この場合、突起は低摩擦素材−例えば、ＰＥ
Ｎ（ポリエーテルニトリル）、ポリテトラフルオロエチ
レン、ＰＥＥＫ（ポリエーテルエーテルケトン）などの
樹脂素材−で構成されていることが好ましい。また、第
２当接部材自体を、ワークＷの平坦部Ｗ２に当接する平
坦な当接部を有する形状としてもよい。この場合にも当
接部は上記と同様に低摩擦素材で構成されていることが
好ましい。

【００５７】本実施形態の検査装置１００においては、
上記図４に示すワークの受け渡し方法と、図５に示すワ
ークＷの位置決め方法を用いて、以下に示すようにして
検査を行う。

【００５８】まず、図１に示す状態で、駆動案内部１２
１により駆動アーム１２２を動作させ、把持部材１２３
を（図示左方向に）移動させ、その後、給除材ユニット
１１０のマガジン駆動部１１２を動作させることによ
り、ワークＷを給材位置に移動させる。そして、把持部
材１２３をマガジン１１１内に導入し、ワークＷを把持
する。さらにその後、ワークＷをマガジン１１１から取
り出し、駆動案内部１２１により駆動アーム１２２を逆
方向（図示右方向）に移動させる。

【００５９】次に、支持固定ユニット１３０を（図示上
方に）移動させて上記把持部材１２３の下方に配置す
る。そして、図４に示す手順で把持部材１２３からワー
クＷを受け、支持台１３４上に配置させ、また、支持台
１３４上のワークＷを第１当接部材１３８及び第２当接
部材１３９によって位置決めし、支持台１３４上に保持
固定する。すなわち、ガイドピン１３５ａ，１３６ａの
上昇、把持部材１２３によるワークＷの吸着保持状態の
解除、受け渡しピンの上昇、把持部材１２３の後退、受
け渡しピン下降、第１当接部材１３８の移動、支持台１
３４へのワークＷの吸着保持、ガイドピン下降である。

【００６０】その後、支持台１３４上に保持固定された
ワークＷを撮像装置１４１によって撮影し、ワークＷに
形成されたアライメントマークの位置を求めることによ
ってワークＷの固定位置を算出する。そして、求められ
たこの固定位置に応じて、支持固定ユニット１３０のθ
調整機構１３２により支持台１３４と共にワークＷの回
転方向の姿勢を調整する。

【００６１】上記のようにして求められた固定位置は、
その後に行われる測定ヘッド１４２による検査段階にお
いても、測定ヘッド１４２とワークＷとの相対的位置合
わせに用いられる。このようにして、測定ヘッド１４２
に対するワークＷの位置合わせが行われると、測定ヘッ
ド１４２はワークＷに向けて降下し、検査が実行され
る。例えば、測定ヘッド１４２に装着されたプローブが
ワークＷの所定部位に接触し、電気的測定が行われる。

【００６２】尚、本発明の部材の支持固定機構及び検査
装置は、上述の図示例にのみ限定されるものではなく、
本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加
え得ることは勿論である。例えば、上記実施形態は、基
本的に弾性表面波素子を形成したウエハに対してネット
ワークアナライザ等を用いて周波数を測定するための検
査装置であるが、本発明はこのような検査装置に限ら
ず、種々のワークに対して電気的測定を行う検査装置、
或いは、電気的測定以外の例えば外観検査などの種々の
検査を行う検査装置に適用することができるものであ
る。

【００６３】また、上記実施形態では、概略円盤状のワ
ークについて支持台への受け渡しや支持台上での位置決
めを行うようにしたものであるが、本発明のワークは概
略円盤状に限られることはなく、本発明は、種々の形状
や大きさを有する各種のワークに適用することができる
ものである。例えば、対象ワークとしては、上記弾性表
面波素子の他に、水晶振動子、半導体チップ、液晶表示
体、及び、これらの製造途中の構成物などが挙げられ
る。

【００６４】さらに、上記実施形態では、ワークＷを位
置決めする際に、第１当接部材１３８が第２当接部材１
３９の側に移動するように構成されているが、これとは
逆に第２当接部材１３９が第１当接部材１３８の側に移
動するように構成してもよく、第１当接部材１３８と第
２当接部材１３９の双方が相手方に向けて移動するよう
に構成してもよい。

【００６５】

【発明の効果】以上、説明したように本発明によれば、
支持台上に保持固定されるワークの撓みや歪を低減する
ことができる。また、ワークの位置決め、特に回転方向
の位置決め、を高精度かつ確実に行うことが可能にな
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明に係る検査装置の実施形態の全体構成
を模式的に示す概略平面図である。

【図２】 同検査装置に設けられた把持部材の平面図
（ａ）、縦断面図（ｂ）及び、（ｂ）に示す二点鎖線内
を拡大して示す拡大部分断面図（ｃ）である。

【図３】 同検査装置に設けられた支持台１３４の構造
を示す平面図である。

【図４】 同検査装置に設けられた支持台１３４へのワ
ークの受け渡し動作を示す工程説明図（ａ）〜（ｃ）で
ある。

【図５】 同検査装置に設けられた支持台１３４上にお
けるワークの位置決め状態及び位置決めのための構成を
模式的に示す概略説明図である。

【符号の説明】

１００・・・検査装置、１１０・・・給除材ユニット、
１１１・・・マガジン、１１２・・・マガジン駆動部、
１２０・・・搬送ユニット、１２１・・・駆動案内部、
１２２・・・駆動アーム、１２３・・・把持部材、１３
０・・・支持固定ユニット、１３１・・・ＸＹ駆動機
構、１３２・・・ベース台、１３３・・・θ調整機構、
１３４・・・支持台、１３５，１３６・・・ガイド部
材、１３５ａ，１３６ａ・・・ガイドピン、１３７・・
・受け渡し部材、１３７ａ・・・受け渡しピン、１３８
・・・第１当接部材、１３８ａ・・・ローラ部材、１３
９・・・第２当接部材、１３９ａ・・・ローラ部材、１
４０・・・測定ユニット、１４１・・・撮像装置、１４
２・・・測定ヘッド

フロントページの続き Ｆターム(参考） 5F031 CA02 CA05 DA01 FA01 FA02 FA11 FA12 GA08 GA15 GA48 HA13 HA24 HA30 HA33 HA57 HA59 JA04 JA28 JA38 JA50 KA03 KA04 KA13 LA15 MA33 PA16 PA30

Claims (13)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 部材を支持台上に支持固定するための支
   持固定機構であって、 前記支持台上において前記部材が位置決めされるための
   位置決め機構が設けられ、 前記位置決め機構は、前記部材の一側に当接する第１当
   接部材と、前記部材の他側に当接する第２当接部材とを
   含み、前記第１当接部材と前記第２当接部材とが相互に
   接離可能に構成され、 前記第１当接部材が前記支持台の支持面と略直交する軸
   周りに回転自在に設けられたローラ部材で構成されてい
   ることを特徴とする部材の支持固定機構。
2. 【請求項２】 前記第１当接部材は、併設された少なく
   とも一対の前記ローラ部材で構成されていることを特徴
   とする請求項１に記載の部材の支持固定機構。
3. 【請求項３】 前記第２当接部材は前記部材の回転方向
   の姿勢を規制するように構成されていることを特徴とす
   る請求項１又は請求項２に記載の部材の支持固定機構。
4. 【請求項４】 前記第２当接部材は、併設された少なく
   とも一対の、前記支持台の支持面と略直交する軸周りに
   それぞれ回転自在に設けられたローラ部材で構成されて
   いることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか
   １項に記載の部材の支持固定機構。
5. 【請求項５】 前記第１当接部材と前記第２当接部材と
   を互いに引き寄せる弾性部材と、前記第１当接部材と前
   記第２当接部材とを互いに引き離す引き離し手段とを有
   することを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか
   １項に記載の部材の支持固定機構。
6. 【請求項６】 前記引き離し手段は、前記部材の位置決
   め過程において前記第１当接部材と前記第２当接部材の
   少なくとも一方の当接部材に対して引き離し力を与えな
   がら漸次後退するように構成されていることを特徴とす
   る請求項４に記載の部材の支持固定機構。
7. 【請求項７】 前記支持台上に出没可能に構成され、前
   記部材の外縁を案内するための外周案内面を備えた複数
   のガイドピンを有することを特徴とする請求項１乃至請
   求項６のいずれか１項に記載の部材の支持固定機構。
8. 【請求項８】 少なくとも２種の異なる形状若しくは寸
   法に対応する前記ガイドピンを有することを特徴とする
   請求項７に記載の部材の支持固定機構。
9. 【請求項９】 部材を支持台上に支持固定するための支
   持固定機構であって、前記支持台上に出没可能に構成さ
   れ、前記部材の外縁を案内するための外周案内面を備え
   た複数のガイドピンを有し、少なくとも２種の異なる形
   状若しくは寸法に対応する前記ガイドピンを有すること
   を特徴とする部材の支持固定機構。
10. 【請求項１０】 前記支持台上に出没可能に構成され、
    前記部材を支持するための上端受部を備えた複数の受け
    渡しピンを有することを特徴とする請求項１乃至請求項
    ９のいずれか１項に記載の部材の支持固定機構。
11. 【請求項１１】 前記支持台に前記部材を吸着保持する
    ための吸着保持手段を有することを特徴とする請求項１
    乃至請求項１０のいずれか１項に記載の支持固定機構。
12. 【請求項１２】 前記部材を把持して移送するための部
    材把持手段と、請求項１乃至請求項１１のいずれか１項
    に記載の支持固定機構とを有し、前記部材把持手段によ
    り前記部材を前記支持台上に供給するように構成されて
    いることを特徴とする検査装置。
13. 【請求項１３】 前記部材把持手段は、前記部材を支持
    する部材支持面と、前記部材の外縁に当接して前記部材
    の姿勢を規制する部材規制部とを有することを特徴とす
    る請求項１２に記載の検査装置。