CN105082007A - 定位装置以及处理装置 - Google Patents

Abstract

提供能够降低与针对处理对象物进行预定处理的处理机构之间产生干扰的可能性的定位装置和处理装置。将板状的玻璃板(G)定位在预定位置的定位装置(2)具有：载置台(22)，具有载置有玻璃板(G)的上表面(221)；抵接构件(24)，能够抵接到载置于上表面(221)的玻璃板(G)的第一边(G1)；凸轮机构(26)和气缸(25)，进行通过用抵接构件(24)推压第一边(G1)来定位玻璃板(G)的定位动作、以及使抵接构件(24)从第一边(G1)分离且使抵接构件(24)退避到上表面(221)下方的退避动作。

Description

定位装置以及处理装置

技术领域

本发明涉及将板状的处理对象物定位在预定位置的定位装置，以及对通过该定位装置进行了定位的处理对象物进行预定处理的处理装置。

背景技术

以往，已知有将板状的被检查体载置于面板承受面，通过在该状态下利用推压构件推压被检查体的端部来进行被检查体的定位的试验装置(例如，参照专利文献1)。通过专利文献1中记载的试验装置，能够在将被检查体定位在面板承受面的预定位置的状态下，对被检查体的上表面进行试验。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开第2011-85574号公报

发明内容

技术问题

然而，在上述的技术中，推压被检查体的端部的推压构件从被检查体的上表面向上突出。因此，用于对被检查体的上表面进行试验的探头单元可能与推压构件之间产生干扰。

本发明的目的在于，提供一种将载置于载置台的板状的处理对象物定位在载置台上的预定位置，并能够降低与对处理对象物进行预定处理的处理机构之间产生干扰的可能性的定位装置，以及对通过该定位装置进行了定位的处理对象物进行预定处理的处理装置。

技术方案

本发明的定位装置是将板状的处理对象物定位在预定位置的定位装置，其具有：载置台，具有载置有上述处理对象物的上表面；第一抵接构件，能够抵接到载置于上述上表面的上述处理对象物的第一边；驱动部，进行通过利用上述第一抵接构件推压上述第一边来定位上述处理对象物的定位动作、以及使上述第一抵接构件从上述第一边分离并使上述第一抵接构件退避到上述上表面下方的退避动作。

根据该构成，板状的处理对象物的第一边被第一抵接构件推压而定位在载置台。进一步地，使第一抵接构件从处理对象物的第一边分离，并且使第一抵接构件退避到载置台的上表面下方。其结果，使为了定位处理对象物而抵接到处理对象物的第一边的第一抵接构件退避到下方，不使第一抵接构件在处理对象物的上方突出，因此能够降低与对载置于载置台上的处理对象物进行预定处理的处理机构之间进行干扰的可能性。

另外，优选上述驱动部在上述定位动作中，使上述第一抵接构件向上述第一边靠近的同时上升，在使上述第一抵接构件的至少一部分位于上述上表面上方的状态下，使上述至少一部分抵接到上述第一边；在上述退避动作中，通过使上述第一抵接构件从上述第一边分离的同时下降，使上述第一抵接构件退避到上述上表面下方。

根据该构成，在定位处理对象物时，可以同时进行使第一抵接构件上升到载置有处理对象物的高度的动作、以及使第一抵接构件为了抵接而向处理对象物的第一边靠近的动作，因此能够缩短处理对象物的定位所花费的时间。另外，可以同时进行为了避免第一抵接构件的干扰而使第一抵接构件下降到处理对象物下方的动作、以及使第一抵接构件从处理对象物分离的动作，因此能够缩短第一抵接构件的退避所花费的时间。

另外，优选上述驱动部在上述定位动作中，使上述第一抵接构件向上述第一边靠近的同时上升，在使上述第一抵接构件的至少一部分位于上述上表面上方的状态下，使上述第一抵接构件大致水平地向上述第一边移动而使上述至少一部分抵接到上述第一边；在上述退避动作中，通过使上述第一抵接构件从上述第一边大致水平地分离后进一步分离的同时下降，使上述第一抵接构件退避到上述上表面下方。

根据该构成，在定位动作中，第一抵接构件大致水平地移动的同时抵接到第一边而对第一边进行推压，因此能够在对处理对象物不施加上下方向的压力的情况下大致水平地推压而定位处理对象物。另外，在退避动作中，第一抵接构件从第一边大致水平地分离后，进一步在分离的同时下降，因此第一抵接构件从第一边在大致水平方向上分离之后下降，结果，能够在相对于处理对象物不施加上下方向的压力的情况下使第一抵接构件退避。

另外，优选上述第一抵接构件沿上下方向延伸并具有能够抵接到上述第一边的抵接面，在上述定位动作中，当上述第一抵接构件上升结束后，上述上表面的高度位于上述抵接面的上端与下端之间。

通过该构成，在定位动作中，当第一抵接构件上升结束后，上表面的高度位于抵接面的上端与下端之间，因此如果为了定位处理对象物而通过第一抵接构件推压第一边，则抵接面的下侧的一部分与载置台干扰而第一抵接构件停止，其结果为，能够使处理对象物的第一边以与载置台的端部整体一致的方式被定位。

另外，优选上述第一抵接构件为能够沿上下方向升降，上述驱动部包括：移动部，使上述第一抵接构件沿相对于上述第一边接近或分离的方向移动；凸轮机构，根据上述第一抵接构件的向上述使其接近的接近方向的移动，使上述第一抵接构件上升，根据向上述使其分离的分离方向的上述第一抵接构件的移动，使上述第一抵接构件下降。

根据该构成，移动部使第一抵接构件沿相对于第一边接近或分离的方向而移动。这时，根据该移动，通过凸轮机构使第一抵接构件上升或下降，因此驱动部无需具有用于使第一抵接构件升降的往复运动气缸。由此，能够使驱动部的构成简单化。

另外，优选还具有能够抵接到在与上述第一边交叉的方向上延伸的上述处理对象物的第二边的第二抵接构件，上述驱动部在上述定位动作中，进一步通过用上述第二抵接构件推压上述第二边来定位上述处理对象物；在上述退避动作中，进一步使上述第二抵接构件从上述第二边分离，并且使上述第二抵接构件退避到上述上表面下方。

根据该构成，除利用第一抵接构件定位之外再利用第二抵接构件，可以进行在与利用第一抵接构件的定位方向交叉的方向上的定位，因此可以在作为二维平面的载置台的上表面之上，将处理对象物更精确地定位在预定位置处。

另外，本发明的处理装置，具有上述定位装置和对载置在上述载置台的上述处理对象物进行预定处理的处理机构。

根据该构成，能够降低用于在载置台上定位处理对象物的抵接构件与针对载置于该载置台的处理对象物进行预定处理的处理机构之间的干扰的可能性。

发明效果

这样构成的定位装置和处理装置能够降低针对处理对象物进行预定处理的处理机构与定位装置之间产生干扰的可能性。

附图说明

图1是示意地示出本发明的一个实施方式的板状构件检查装置的构成的前视图。

图2是从斜上方观察图1中所示的框架和载置台的立体图。

图3是示出在图2中所示的载置台的上表面载置了玻璃板的状态的立体图。

图4是推压机构附近的放大图。

图5是图4中所示的推压机构的放大立体图。

图6是图5中所示的推压机构的侧视图。

图7是图5中所示的推压机构的侧视图。

图8是图5中所示的推压机构的侧视图。

图9是用于说明利用气缸的定位动作的说明图。

图10是示出使检查治具接触到玻璃板的状态的说明图。

符号说明

1板状构件检查装置

2定位装置

3检查机构

4控制部

21框架

22载置台

23推压机构

24抵接构件

25气缸(移动部、驱动部)

26凸轮机构(驱动部)

31检查治具(处理机构)

32安装框架

33升降机构

34连结棒

41检查处理部

211凹陷部

221上表面

222空气孔

223侧面

251缸主体

252滑动导轨

253滑动头

254支撑件

255轴

256活塞杆

257气筒

261倾斜面

262滑动部

263平坦面

G玻璃板(处理对象物)

G1第一边

G2第二边

G3第三边

G4第四边

G1a第一侧面

G2a第二侧面

G3a第三侧面

G4a第四侧面

具体实施方式

以下，基于附图对本发明的实施方式进行说明。需要说明的是，各图中标注同一符号的构成表示同一构成，并省略其说明。图1是示意地示出本发明的一个实施方式的板状构件检查装置1(处理装置)的构成的前视图。图1中示出的板状构件检查装置1是用于检查检查对象的玻璃板G(处理对象物)的检查装置。

在玻璃板G的表面形成有例如透明电极。在此，处理对象物不限于玻璃板。处理对象物也可以是例如，印刷布线基板、柔性基板，陶瓷多层布线基板、用于液晶显示器和/或等离子体显示器的电极板、以及用于半导体封装的封装基板和/或膜形载体等各种基板。

板状构件检查装置1大致具有定位装置2和检查机构3(检查部)。定位装置2具有桌型的框架21、安装在框架21上的载置台22和推压机构23。载置台22具有平坦的上表面221。载置台22以上表面221呈大致水平的方式安装在框架21的上部。

通过图中省略的支柱等将检查机构3支撑在定位装置2的上方。检查机构3具有与上表面221(玻璃板G)对置而配置的检查治具31(处理机构)、安装有检查治具31的安装框架32、升降机构33、以及连结升降机构33与安装框架32的连结棒34。

检查治具31具有例如以覆盖玻璃板G的整个面的方式面状地扩展的大致板状的形状。在检查治具31，例如以从与玻璃板G对置的面突出的方式安装有多个用于与玻璃板G的透明电极接触的针状的探头。由此，检查治具31针对载置于载置台的玻璃板G进行使探头接触的处理。

升降机构33通过连结棒34使安装框架32和检查治具31升降。由此，升降机构33使检查治具31下降而使探头与玻璃板G的透明电极接触，或者使检查治具31上升而可以更换载置台22上的玻璃板G。

在框架21内容纳有控制部4。控制部4具有例如进行预定的运算处理的CPU(CentralProcessingUnit)、暂时存储数据的RAM(RandomAccessMemory)、存储预定的控制程序等的ROM(ReadOnlyMemory)和/或HDD(HardDiskDrive)等存储部、以及它们的周边电路等而构成。

控制部4控制板状构件检查装置1的各部分的动作。另外，控制部4通过执行预定的控制程序来作为检查处理部41发挥作用。检查处理部41在例如探头与玻璃板G的透明电极进行了接触的状态下，基于从探头得到的信号，而执行玻璃板G的检查。

图2是从斜上方观察图1中所示的框架21和载置台22的立体图。载置台22在高度(厚度)方向上呈扁平的大致长方体形状。载置台22的上表面221的形状和大小为与玻璃板G大致相同的矩形形状。在载置台22的上表面221形成有例如多个空气孔222。在框架21内配置有图中省略的送风装置，以使从送风装置送来的空气从各空气孔222吹出。由此，使载置于上表面221的玻璃板G在上表面221上能够以低阻力滑动地移动。

在载置台22的周围以与载置台22的侧面223对置的方式配置有推压机构23。具体来说，针对围绕载置台22周围的四个侧面223(边)，按照与每个侧面223对置而配置两个的方式而配置有共计八个推压机构23。

图3是示出在图2中所示的载置台22的上表面221载置了玻璃板G的状态的立体图。玻璃板G具有例如矩形形状，并具有第一边G1(第一侧面G1a)、与第一边G1(第一侧面G1a)大致垂直相交的第二边G2(第二侧面G2a)、与第一边G1对置并与第二边G2大致垂直相交的第三边G3(第三侧面G3a)、以及与第二边G2相对并与第一边G1和第三边G3大致垂直相交的第四边G4(第四侧面G4a)。

图4是推压机构23附近的放大图。图5是图4中所示的推压机构23的放大立体图。图6、图7、图8是图5中所示的推压机构23的侧视图。在框架21的上表面形成有凹陷部211。推压机构23被固定在凹陷部211的底部。推压机构23大致具有抵接构件24、气缸25(移动部)和凸轮机构26。通过气缸25和凸轮机构26构成了驱动部的一个示例。

气缸25具有缸主体251、相对于缸主体251以可以平行移动的方式安装的滑动导轨252、安装在滑动导轨252的前端部的滑动头253、安装在滑动头253的支撑件254、在一端安装有抵接构件24并被可升降地安装在支撑件254的轴255。

图6示出气缸25收缩后的状态，图7示出气缸25伸长的过程，图8示出气缸25伸长后的状态。

缸主体251具有活塞杆256和气筒257。而且，利用通过气筒257而向缸主体251供给的空气来驱动图中省略的活塞，而使与活塞连结的活塞杆256伸缩。当活塞杆256伸长时，滑动头253被滑动导轨252引导并向前方(图中的左方向)平行移动。当滑动头253平行移动时，支撑件254、轴255和抵接构件24与滑动头253联动而向前方平行移动。

前方(图中的左方向)是抵接构件24与玻璃板G(第一边G1、第二边G2、第三边G3、第四边G4)接近的接近方向。后方(图中的右方向)是抵接构件24从玻璃板G(第一边G1、第二边G2、第三边G3、第四边G4)分离的分离方向。

抵接构件24为圆筒形状，并围绕轴255可旋转地安装在轴255的一端。轴255的另一端为球面形状的滑动部262。在图6中所示的气缸25收缩后的状态，即活塞杆256被容纳在缸主体251内的状态下，在滑动部262的前方设置有以朝向前方升高的方式倾斜的倾斜面261。

倾斜面261和滑动部262形成了凸轮机构26。在倾斜面261的上端部接连设置有大致水平地向前方延伸的平坦面263。由此，当活塞杆256伸长时，滑动部262相对于倾斜面261滑动(参照图7)，并且沿倾斜面261的倾斜，抵抗图中省略的螺旋弹簧的作用力而使抵接构件24上升。然后，如果滑动部262的下端到达倾斜面261的上端，则之后滑动部262相对于平坦面263滑动，抵接构件24沿接近方向大致水平地移动(参照图8)。

图9是用于说明利用气缸25的定位动作的说明图。首先，控制部4通过图中省略的送风装置使空气从空气孔222吹出。由此，减小上表面221与玻璃板G的摩擦阻力。

接着，控制部4如图6～图8所示使气缸25伸长。如此一来，抵接构件24通过凸轮机构26上升的同时向接近方向移动，并抵接到玻璃板G的各边。例如，与第一边G1(第一侧面G1a)对置而配置的两个推压机构23的抵接构件24(第一抵接构件)与第一边G1(第一侧面G1a)抵接，与第二边G2(第二侧面G2a)对置而配置的两个推压机构23的抵接构件24(第二抵接构件)与第二边G2(第二侧面G2a)抵接，与第三边G3(第三侧面G3a)对置而配置的两个推压机构23的抵接构件24(第三抵接构件)与第三边G3(第三侧面G3a)抵接，与第四边G4(第四侧面G4a)对置而配置的两个推压机构23的抵接构件24(第四抵接构件)与第四边G4(第四侧面G4a)抵接。

对推压机构23的抵接构件24而言，其外周面为对玻璃板G的各边进行推压的抵接面。在抵接构件24通过凸轮机构26上升结束时，即位于上升的最高点时(参照图8、图9)，在抵接构件24的抵接面的上下方向的中间位置为载置台22的上表面221所位于的高度。在该高度抵接构件24被平坦面263引导而大致水平地沿接近方向被驱动，其结果为，从玻璃板G的上表面221超出的部分朝向上表面221上方被挤压。另外，抵接构件24大致水平地移动的同时推压玻璃板G，因此对玻璃板G不施加上下方向的压力，能够大致水平地挤压玻璃板G。

当抵接构件24进一步移动时，抵接构件24抵接到载置台22的侧面223而停止。如此，通过各抵接构件24分别抵接到载置台22的侧面223而停止，从而使玻璃板G正确地定位在上表面221上。

然后，控制部4停止利用送风装置送风。由此，玻璃板G保持在所定位的位置处。

然后，控制部4使各气缸25收缩，使各抵接构件24沿分离方向移动，并且进行使各抵接构件24退避到上表面221下方的退避动作。当使各气缸25收缩时，各抵接构件24被大致水平地延伸设置的平坦面263引导而大致水平地沿分离方向移动(参照图8)。然后，如图7、图6中所示，滑动部262相对于倾斜面261滑动的同时沿倾斜面261的倾斜通过螺旋弹簧的作用力而下降。下降后的抵接构件24的上端位于上表面221下方。这时，抵接构件24的上端位于上表面221下方，例如比上表面221低0.5mm以上的位置。需要说明的是，也可以构成为不具有螺旋弹簧，而通过抵接构件24和轴255的自重使抵接构件24下降。

另外，抵接构件24被平坦面263引导而从玻璃板G沿大致水平方向分离后下降，其结果为，能够在相对于玻璃板G不施加上下方向的压力的情况下使抵接构件24退避。

接着，控制部4通过升降机构33使检查治具31下降，使检查治具31的探头接触到玻璃板G的透明电极等的检查位置。图10是示出使检查治具31接触到玻璃板G后的状态的说明图。如图10中所示，抵接构件24的上端处于上表面221下方，因此检查治具31与抵接构件24之间不会产生干扰。

为了避免检查治具31与抵接构件24之间的干扰，还考虑使抵接构件24沿水平方向移动而退避到检查治具31的外侧的位置处，但为了通过水平方向的移动来避免干扰，抵接构件24的移动距离变长，而使驱动机构大型化，并且定位、退避动作时的移动花费时间。

对此，利用定位装置2，通过组合气缸25与凸轮机构26，从而能够通过简单的构成来回避检查治具31与抵接构件24之间的干扰，并且，抵接构件24的移动距离短，因此能够缩短定位、退避动作所花费的时间。另外，通过凸轮机构26使利用气缸25得到的水平方向的移动变换为抵接构件24的升降动作，因此能够使驱动部的构成简单化。另外，通过凸轮机构26可以同时执行抵接构件24的上下方向的升降和水平方向的移动，因此可以缩短定位时间。

接着，检查处理部41通过图中省略的各探头，执行在玻璃板G形成的图中省略的透明电极等的阻抗测定、导通检查、短路检查等检查。

需要说明的是，虽然已示出分别在与第一边G1、第二边G2、第三边G3和第四边G4对置的位置配置的推压机构23的示例，但也可以构成为例如在与第三边G3和第四边G4对置的位置不设置推压机构23，而设置固定设置的突起来代替。在这种情况下，也可以通过与第一边G1和第二边G2对置的位置的推压机构23来推压玻璃板G而将玻璃板G推至抵接到上述突起，由此进行定位。

另外，也可以构成为例如在与第二边G2和第四边G4对置的位置不设置推压机构23，通过与第一边G1和第三边G3对置的位置的推压机构23来推压玻璃板G而进行定位。在仅对一个方向进行定位即可的情况下，这种构成也能够针对一个方向来定位玻璃板G。而且，还可以构成为与例如第二边G2、第三边G3和第四边G4对置的位置不设置推压机构23，而在与第三边G3对应的位置设置突起，通过与第一边G1对置的位置的推压机构23推压玻璃板G而将玻璃板G定位至该突起处。

另外，虽然示出了作为处理机构而具备检查治具31的板状构件检查装置1的示例，但处理机构不限于检查治具31。例如，处理机构也可以是对处理对象物进行加工的钻孔器和/或切割器等工具，处理装置也可以是加工装置。另外，还可以不具有检查机构3，而作为定位装置2单体而构成。

另外，作为移动部的一个示例示出了气缸，但移动部不限于气缸。例如也可以使用用螺线管、和/或马达和齿轮等的驱动机构作为移动部。另外，不限于通过移动部和凸轮机构构成驱动部的示例。例如，也可以使用使抵接构件24在上下方向升降的往复运动气缸来取代凸轮机构。

Claims (7)

1.一种定位装置，是将板状的处理对象物定位在预定位置的定位装置，其特征在于，具有：

载置台，具有载置有所述处理对象物的上表面，

第一抵接构件，能够抵接到载置于所述上表面的所述处理对象物的第一边，

驱动部，进行通过利用所述第一抵接构件推压所述第一边来定位所述处理对象物的定位动作、以及使所述第一抵接构件从所述第一边分离并使所述第一抵接构件退避到所述上表面下方的退避动作。

2.根据权利要求1所述的定位装置，其特征在于，所述驱动部，

在所述定位动作中，使所述第一抵接构件向所述第一边靠近的同时上升，在使所述第一抵接构件的至少一部分位于所述上表面上方的状态下，使所述至少一部分抵接到所述第一边，

在所述退避动作中，通过使所述第一抵接构件从所述第一边分离的同时下降，使所述第一抵接构件退避到所述上表面下方。

3.根据权利要求2所述的定位装置，其特征在于，所述驱动部，

在所述定位动作中，使所述第一抵接构件向所述第一边靠近的同时上升，在使所述第一抵接构件的至少一部分位于所述上表面上方的状态下，使所述第一抵接构件大致水平地向所述第一边移动而使所述至少一部分抵接到所述第一边，

在所述退避动作中，通过使所述第一抵接构件从所述第一边大致水平地分离后，进一步分离的同时下降，使所述第一抵接构件退避到所述上表面下方。

4.根据权利要求2或3所述的定位装置，其特征在于，所述第一抵接构件沿上下方向延伸并具有能够抵接到所述第一边的抵接面，

在所述定位动作中，当所述第一抵接构件上升结束后，所述上表面的高度位于所述抵接面的上端与下端之间。

5.根据权利要求2所述的定位装置，其特征在于，所述第一抵接构件为能够沿上下方向升降，

所述驱动部包括：

移动部，使所述第一抵接构件沿相对于所述第一边接近的方向或分离的方向移动，

凸轮机构，根据所述第一抵接构件的向所述接近的方向的移动，使所述第一抵接构件上升，根据向所述分离的方向的所述第一抵接构件的移动，使所述第一抵接构件下降。

6.根据权利要求1所述的定位装置，其特征在于，还具有能够抵接到在与所述第一边交差的方向上延伸的所述处理对象物的第二边的第二抵接构件，

所述驱动部，

在所述定位动作中，进一步通过利用所述第二抵接构件推压所述第二边来定位所述处理对象物，

在所述退避动作中，进一步使所述第二抵接构件从所述第二边分离，并且使所述第二抵接构件退避到所述上表面下方。

7.一种处理装置，其特征在于，具有：

权利要求1～6中的任一项所述的定位装置；和

对载置在所述载置台的所述处理对象物进行预定处理的处理机构。