KR20240008561A - 다이 이젝터 및 다이 이젝팅 장치 - Google Patents

다이 이젝터 및 다이 이젝팅 장치 Download PDF

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이희철
김정균
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세메스 주식회사
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Abstract

본 발명은 인쇄회로기판 또는 리드 프레임 등과 같은 기판 상에 다이들을 본딩하는 다이 본딩 공정에서 다이싱 테이프로부터 다이를 분리하기 위한 다이 이젝터 및 다이 이젝팅 장치에 관한 것으로서, 속이 빈 원통 형상으로 형성되는 후드 하우징과, 상기 후드 하우징의 상부에 회전 가능하게 설치되고, 복수의 관통홀부가 형성되는 디스크 형태의 커버 플레이트와, 상기 복수의 관통홀부 중 적어도 하나 이상의 관통홀부에 삽입되어, 다이싱 테이프로부터 다이를 분리시킬 수 있는 적어도 하나의 이젝터 핀 및 상기 다이싱 테이프로부터 상기 다이를 분리시킬 수 있도록, 상기 이젝터 핀을 상하방향으로 상승 또는 하강 이동시키는 구동부를 포함하고, 상기 이젝터 핀은, 상기 커버 플레이트의 상기 복수의 관통홀부에 삽입 시, 상기 이젝터 핀에 의해 상기 복수의 관통홀부의 입구부가 손상되는 것을 방지할 수 있도록, 하단부의 둘레를 따라서 제 1 모따기부 또는 제 1 라운드부가 형성될 수 있다.

Description

다이 이젝터 및 다이 이젝팅 장치{Die Ejectors and Die Ejecting Devices}
본 발명은 다이 이젝터 및 다이 이젝팅 장치에 관한 것으로서, 더 상세하게는 인쇄회로기판 또는 리드 프레임 등과 같은 기판 상에 다이들을 본딩하는 다이 본딩 공정에서 다이싱 테이프로부터 다이를 분리하기 위한 다이 이젝터 및 다이 이젝팅 장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 소자들은 일련의 제조 공정들을 반복적으로 수행함으로써 반도체 기판으로서 사용되는 실리콘 웨이퍼 상에 형성될 수 있다. 상기 반도체 소자들이 형성된 웨이퍼는 다이싱 공정을 통해 복수의 다이들로 분할될 수 있으며, 상기 다이싱 공정을 통해 개별화된 다이들은 다이 본딩 공정을 통해 기판 상에 본딩될 수 있다.
상기 다이 본딩 공정을 수행하기 위한 장치는 상기 다이들로 분할된 웨이퍼로부터 상기 다이들을 픽업하여 분리시키기 위한 픽업 모듈과 픽업된 다이를 기판상에 부착시키기 위한 본딩 모듈을 포함할 수 있다. 상기 픽업 모듈은, 상기 웨이퍼를 지지하는 스테이지 유닛과 상기 스테이지 유닛에 지지된 웨이퍼로부터 선택적으로 다이를 분리시키기 위하여 다이의 칩사이즈 영역에 맞게 이젝터 핀을 상승시키는 다이 이젝터와, 상기 웨이퍼로부터 상기 다이 이젝터에 의해 분리된 상기 다이를 픽업하여 기판 상에 부착시키기 위한 픽업 유닛을 포함할 수 있다.
예컨대, 상기 다이 이젝터는, 후드 하우징에 의해 흡착된 다이싱 테이프 상의 다이를 이젝터 핀으로 상승시켜 상기 다이싱 테이프로부터 분리시키기 위한 장치로서, 특히, 상기 후드 하우징에는 커버 플레이트를 통하여 상방으로 빛을 조사하여 다이의 배치구조(이젝터 핀의 배치 상태)를 관찰하기 위한 조명 유닛이 내장될 수 있다.
이러한, 커버 플레이트는, 조명 유닛의 빛이 통과될 수 있도록 투명한 소재의 합성 수지 재질로 형성(경도가 높은 쿼츠(Quartz)재질로 형성할 경우, 쉽게 깨지는 문제점이 있음)되는데, 스틸 소재의 이젝터 핀을 커버 플레이트의 관통홀부에 삽입 시, 관통홀부와 이젝터 핀 간의 적은 갭(통상적으로 0.1mm 이하)으로, 이젝터 핀의 삽입 작업이 쉽지 않은 문제점이 있었다.
또한, 이젝터 핀의 삽입 시 합성 수지 재질로 형성되는 커버 플레이트의 관통홀부의 입구부가 쉽게 뜯겨나가는 문제점이 있었다. 또한, 뜯겨나간 소재가 커버 플레이트로부터 탈락되어지지 않고 잔류할 경우, 다이의 이젝팅 시, 다이의 크랙을 유발시키는 등 다이의 불량을 야기시키는 원인으로 작용되는 문제점이 있었다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 포함하여 여러 문제점들을 해결하기 위한 것으로서, 이젝터 핀의 하단부나, 이젝터 핀이 삽입되는 관통홀부의 입구부에 모따기부나 라운드부를 형성하여, 커버 플레이트의 관통홀부로 이젝터 핀의 삽입을 쉽게하고, 이젝터 핀의 삽입 시 관통홀부 입구부의 뜯김 현상을 방지할 수 있는 다이 이젝터 및 다이 이젝팅 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다. 그러나 이러한 과제는 예시적인 것으로, 이에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 다이 이젝터가 제공된다. 상기 다이 이젝터는, 속이 빈 원통 형상으로 형성되는 후드 하우징; 상기 후드 하우징의 상부에 회전 가능하게 설치되고, 복수의 관통홀부가 형성되는 디스크 형태의 커버 플레이트; 상기 복수의 관통홀부 중 적어도 하나 이상의 관통홀부에 삽입되어, 다이싱 테이프로부터 다이를 분리시킬 수 있는 적어도 하나의 이젝터 핀; 및 상기 다이싱 테이프로부터 상기 다이를 분리시킬 수 있도록, 상기 이젝터 핀을 상하방향으로 상승 또는 하강 이동시키는 구동부;를 포함하고, 상기 이젝터 핀은, 상기 커버 플레이트의 상기 복수의 관통홀부에 삽입 시, 상기 이젝터 핀에 의해 상기 복수의 관통홀부의 입구부가 손상되는 것을 방지할 수 있도록, 하단부의 둘레를 따라서 제 1 모따기부 또는 제 1 라운드부가 형성될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 의하면, 상기 커버 플레이트는, 투명한 합성 수지 재질로 형성되고, 상기 이젝터 핀은, 스틸(Steel) 재질로 형성될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 의하면, 투명한 재질의 상기 커버 플레이트를 통해 상방으로 빛을 조사할 수 있도록, 상기 후드 하우징의 내부에서 상기 커버 플레이트의 하측에 설치되는 조명 유닛;을 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 의하면, 상기 이젝터 핀은, 상기 제 1 모따기부 또는상기 제 1 라운드부가 형성된 하단부 인근의 외주면의 적어도 일부분에 유색(有色)의 코팅층이 형성될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 의하면, 상기 이젝터 핀은, 하단부 인근의 외주면의 적어도 일부분에 상기 코팅층이 형성되되, 하면에는 상기 코팅층이 형성되지 않을 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 의하면, 상기 이젝터 핀은, 외주면 전체에 슬립 유막층이 형성될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 의하면, 상기 이젝터 핀은, 외주면 전체에 형성된 상기 슬립 유막층 상에서, 상기 제 1 모따기부 또는 상기 제 1 라운드부가 형성된 하단부 인근의 적어도 일부분에 유색(有色)의 코팅층이 형성될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 의하면, 상기 커버 플레이트는, 상기 이젝터 핀이 삽입되는 상기 복수의 관통홀부의 상단부의 둘레를 따라서 제 2 모따기부 또는 제 2 라운드부가 형성될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 의하면, 상기 커버 플레이트의 상기 복수의 관통홀부에 상기 이젝터 핀을 삽입 시, 상기 커버 플레이트의 상면에 임시 안착되어, 상기 이젝터 핀의 삽입 위치를 가이드하는 삽입 지그;를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 의하면, 상기 삽입 지그는, 상기 커버 플레이트와 대응되는 형상의 디스크 형태로 형성되는 지그 몸체; 및 상기 커버 플레이트에 형성된 상기 복수의 관통홀부와 대응되는 위치에, 상기 지그 몸체를 관통하도록 형성되는 복수의 가이드홀부;를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 의하면, 상기 지그 몸체는, 스틸(Steel) 재질로 형성될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 의하면, 상기 삽입 지그는, 상기 이젝터 핀이 삽입되는 상기 복수의 가이드홀부의 상단부의 둘레를 따라서 제 3 모따기부가 형성될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 의하면, 상기 커버 플레이트는, 외주면을 따라 복수의 볼 플런저가 일정한 간격으로 설치되고, 상기 후드 하우징은, 내주면의 상부에 상기 커버 플레이트가 삽입되는 단차부가 형성되고, 상기 단차부의 내주면에는 상기 복수의 볼 플런저가 삽입될 수 있는 복수의 리세스부가 형성될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 의하면, 상기 단차부는, 상기 복수의 리세스부 사이를 연결하여, 상기 커버 플레이트의 회전 시 상기 볼 플런저의 볼의 이동경로를 안내할 수 있도록, 내주면을 따라 링 형상으로 오목하게 그루브홈부가 형성될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 의하면, 상기 후드 하우징의 내부에 설치될 수 있도록 원형의 플레이트 형상으로 형성되어, 그 상면에 상기 이젝터 핀이 지지되는 지지 플레이트; 및 속이 빈 원통 형상으로 형성되어, 상기 후드 하우징의 하부와 결합되는 본체;를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 의하면, 상기 구동부는, 상기 본체의 내부에 설치되고, 상기 지지 플레이트의 하면과 결합되는 헤드; 및 상기 헤드의 하면과 결합되고, 상기 본체의 내부 공간을 따라서 봉 형상으로 하방으로 연장되게 형성되는 구동축;을 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 의하면, 상기 지지 플레이트는, 상기 이젝터 핀 및 상기 헤드와의 결합을 위한 자성 부재가 내부에 형성될 수 있다.
본 발명의 다른 실시예에 따르면, 다이 이젝터가 제공된다. 상기 다이 이젝터는, 속이 빈 원통 형상으로 형성되는 후드 하우징; 상기 후드 하우징의 상부에 회전 가능하게 설치되고, 복수의 관통홀부가 형성되는 디스크 형태의 커버 플레이트; 상기 복수의 관통홀부 중 적어도 하나 이상의 관통홀부에 삽입되어, 다이싱 테이프로부터 다이를 분리시킬 수 있는 적어도 하나의 이젝터 핀; 및 상기 다이싱 테이프로부터 상기 다이를 분리시킬 수 있도록, 상기 이젝터 핀을 상하방향으로 상승 또는 하강 이동시키는 구동부;를 포함하고, 상기 커버 플레이트는, 상기 복수의 관통홀부에 삽입되는 상기 이젝터 핀에 의해 상기 복수의 관통홀부의 입구부가 손상되는 것을 방지할 수 있도록, 상기 이젝터 핀이 삽입되는 상기 복수의 관통홀부의 상단부의 둘레를 따라서 제 2 모따기부 또는 제 2 라운드부가 형성될 수 있다.
본 발명의 다른 실시예에 의하면, 상기 이젝터 핀은, 상기 커버 플레이트의 상기 복수의 관통홀부에 삽입되는 하단부의 둘레를 따라서 제 1 모따기부 또는 제 1 라운드부가 형성될 수 있다.
본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 다이 이젝팅 장치가 제공된다. 상기 다이 이젝팅 장치는, 다이싱 공정에 의해 개별화된 복수의 다이를 포함하는 웨이퍼를 지지하는 웨이퍼 스테이지; 상기 웨이퍼 스테이지의 하측에 설치되고, 다이싱 테이프로부터 상기 복수의 다이 중 어느 하나의 다이를 분리시킬 수 있도록 상기 웨이퍼의 적어도 일부분을 가압하는 다이 이젝터; 상기 웨이퍼 스테이지의 상측에 설치되고, 상기 다이 이젝터와 상기 다이의 정렬을 확인하는 정렬 카메라; 및 상기 웨이퍼 스테이지의 상측에 설치되고, 상기 다이 이젝터에 의해 상승된 다이를 픽업하는 피커;를 포함하고, 상기 다이 이젝터는, 속이 빈 원통 형상으로 형성되는 후드 하우징; 상기 후드 하우징의 상부에 회전 가능하게 설치되고, 복수의 관통홀부가 형성되는 디스크 형태의 커버 플레이트; 상기 복수의 관통홀부 중 적어도 하나 이상의 관통홀부에 삽입되어, 상기 다이싱 테이프로부터 다이를 분리시킬 수 있는 적어도 하나의 이젝터 핀; 상기 다이싱 테이프로부터 상기 다이를 분리시킬 수 있도록, 상기 이젝터 핀을 상하방향으로 상승 또는 하강 이동시키는 구동부; 및 상기 커버 플레이트를 통해 상방으로 빛을 조사할 수 있도록, 상기 후드 하우징 내부에서 상기 커버 플레이트의 하측에 설치되는 조명 유닛;를 포함하고, 상기 이젝터 핀은, 스틸(Steel) 재질로 형성되어, 하단부 인근의 외주면의 적어도 일부분에 형성되는 유색(有色)의 코팅층 및 외주면의 전체에 형성되는 슬립 유막층 중 적어도 어느 하나 이상의 층이 형성되며, 상기 커버 플레이트의 상기 복수의 관통홀부에 삽입 시, 상기 이젝터 핀에 의해 상기 복수의 관통홀부의 입구부가 손상되는 것을 방지할 수 있도록, 하단부의 둘레를 따라서 제 1 모따기부 또는 제 1 라운드부가 형성되고, 상기 커버 플레이트는, 투명한 합성 수지 재질로 형성되고, 상기 이젝터 핀이 삽입되는 상기 복수의 관통홀부의 상단부의 둘레를 따라서 제 2 모따기부 또는 제 2 라운드부가 형성될 수 있다.
상기한 바와 같이 이루어진 본 발명의 일 실시예에 따르면, 이젝터 핀의 하단부나, 이젝터 핀이 삽입되는 관통홀부의 입구부에 모따기부나 라운드부를 형성하여, 커버 플레이트의 관통홀부로 이젝터 핀의 삽입을 쉽게하고, 이젝터 핀의 삽입 시 관통홀부 입구부의 뜯김 현상이 발생하는 것을 방지할 수 있다.
또한, 이젝터 핀의 외주면 전체에 슬립 유막층을 형성하거나, 스틸 재질로 형성되고 커버 플레이트에 형성된 복수의 관통홀부와 대응되는 위치에 복수의 가이드홀부가 형성된 별도의 삽입 지그를 이용하여, 커버 플레이트의 관통홀부로 이젝터 핀의 삽입이 더욱 용이해지도록 유도함으로써, 이젝터 핀의 삽입 시 관통홀부 입구부의 뜯김 현상이 발생하는 것을 더욱 효과적으로 방지할 수 있다.
또한, 이젝터 핀의 하단부 인근의 외주면의 적어도 일부분에 유색(有色)의 코팅층을 형성하여, 설비 투입 시, 비전(Vision)에서 커버 플레이트의 복수의 관통홀부로 삽입된 이젝터 핀의 감지가 더욱 용이하도록 유도함으로써, 커버 플레이트를 통해 삽입된 이젝터 핀의 배치 상태를 정확하게 감지하도록 할 수 있다.
이와 같이, 커버 플레이트의 관통홀부의 손상 없이, 커버 플레이트의 관통홀부로 이젝터 핀의 삽입이 용이하도록 유도하여, 공정 효율을 증가시키고, 뜯김 소재에 의한 다이 이젝팅 과정에서의 다이의 불량 발생을 방지할 수 있는 다이 이젝터 및 다이 이젝팅 장치를 구현할 수 있다. 물론 이러한 효과에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 다이 이젝팅 장치를 개략적으로 나타내는 단면도이다.
도 2 및 도 3은 도 1의 다이 이젝팅 장치의 다이 이젝터를 개략적으로 나타내는 단면도이다.
도 4는 도 2의 다이 이젝터의 이젝터 핀 및 커버 플레이트의 일 실시예를 개략적으로 나타내는 단면도이다.
도 5 및 도 6은 도 2의 다이 이젝터가 다이를 이젝팅하는 과정을 개략적으로 나타내는 단면도들이다.
도 7은 도 2의 다이 이젝터의 이젝터 핀 및 커버 플레이트의 다른 실시예를 개략적으로 나타내는 단면도이다.
도 8 및 도 9는 도 2의 다이 이젝터에서 삽입 지그를 이용하여 이젝터 핀을 삽입하는 과정을 개략적으로 나타내는 단면도들이다.
도 10은 도 2의 다이 이젝터의 이젝터 핀의 또 다른 실시예를 개략적으로 나타내는 단면도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 여러 실시예들을 상세히 설명하기로 한다.
본 발명의 실시예들은 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위하여 제공되는 것이며, 하기 실시예는 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 하기 실시예에 한정되는 것은 아니다. 오히려 이들 실시예들은 본 개시를 더욱 충실하고 완전하게 하고, 당업자에게 본 발명의 사상을 완전하게 전달하기 위하여 제공되는 것이다. 또한, 도면에서 각 층의 두께나 크기는 설명의 편의 및 명확성을 위하여 과장된 것이다.
이하, 본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들을 개략적으로 도시하는 도면들을 참조하여 설명한다. 도면들에 있어서, 예를 들면, 제조 기술 및/또는 공차(tolerance)에 따라, 도시된 형상의 변형들이 예상될 수 있다. 따라서, 본 발명 사상의 실시예는 본 명세서에 도시된 영역의 특정 형상에 제한된 것으로 해석되어서는 아니 되며, 예를 들면 제조상 초래되는 형상의 변화를 포함하여야 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 다이 이젝팅 장치(1000)를 개략적으로 나타내는 단면도이고, 도 2 및 도 3은 도 1의 다이 이젝팅 장치(1000)의 다이 이젝터(100)를 개략적으로 나타내는 단면도이며, 도 4는 도 2의 다이 이젝터(100)의 이젝터 핀(130) 및 커버 플레이트(120)의 일 실시예를 개략적으로 나타내는 단면도이고, 도 5 및 도 6은 도 2의 다이 이젝터(100)가 다이(20)를 이젝팅하는 과정을 개략적으로 나타내는 단면도들이다. 그리고, 도 7은 도 2의 다이 이젝터(100)의 이젝터 핀(130) 및 커버 플레이트(120)의 다른 실시예를 개략적으로 나타내는 단면도이고, 도 8 및 도 9는 도 2의 다이 이젝터(100)에서 삽입 지그(160)를 이용하여 이젝터 핀(130)을 삽입하는 과정을 개략적으로 나타내는 단면도들이며, 도 10은 도 2의 다이 이젝터(100)의 이젝터 핀(130)의 또 다른 실시예를 개략적으로 나타내는 단면도이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 다이 이젝팅 장치(1000)는, 다이싱 공정에 의해 개별화된 복수의 다이(20)를 포함하는 웨이퍼(10)로부터 특정 다이(20)를 선택적으로 분리하기 위해 사용될 수 있다. 여기서, 웨이퍼(10)는, 다이(20)들이 부착된 다이싱 테이프(30)와, 다이싱 테이프(30)가 장착되는 대략 원형 링 형태의 마운트 프레임(40)을 포함할 수 있다.
더욱 구체적으로, 도 1에 도시된 바와 같이, 다이 이젝팅 장치(1000)는, 웨이퍼(10)를 지지하기 위한 웨이퍼 스테이지(200)와, 웨이퍼 스테이지(200) 상에 배치되며 다이싱 테이프(30)의 가장자리 부위를 지지하기 위한 확장 링(210)과, 마운트 프레임(40)을 파지하기 위한 클램프(220)와, 클램프(220)를 상하 이동시키기 위한 클램프 구동부(미도시)를 포함할 수 있다.
예컨대, 다이싱 테이프(30)가 확장 링(210) 상에 놓인 후, 클램프(220)는 마운트 프레임(40)을 파지한 상태에서 하강될 수 있으며, 이에 의해 다이싱 테이프(30)가 확장될 수 있다. 결과적으로, 다이(20)들 사이의 간격이 충분히 넓어질 수 있으며, 이에 의해 다이(20)들의 분리 및 픽업이 용이하게 이루어질 수 있다.
웨이퍼 스테이지(200)는, 다이(20)가 부착된 다이싱 테이프(30)의 하부면이 노출되도록 중앙 개구가 형성될 수 있으며, 이젝터(100)는, 웨이퍼 스테이지(200)의 하부에 배치될 수 있다. 또한, 도시되진 않았지만, 웨이퍼 스테이지(200)는, 다이(20)들 중에서 픽업하고자 하는 다이가 이젝터(100)의 상부에 위치되도록 하기 위해 스테이지 구동부(미도시)에 의해 수평 방향으로 이동 가능하게 구성될 수 있다.
웨이퍼 스테이지(200)의 상부에는 이젝터(100) 및 다이(20)의 정렬을 위한 정렬 카메라(300)가 설치될 수 있다. 정렬 카메라(300)는, 이젝터(100)의 정렬 위치 확인 및 픽업하고자 하는 다이(20)가 정렬 좌표 상에 위치되었는지를 확인할 수 있으며, 또한, 후술될 다이 이젝터(100)의 커버 플레이트(120)에 형성된 복수의 관통홀부(121)에 삽입된 이젝터 핀(130)이 배치된 위치를 비전(Vision) 검사에 의해 확인할 수 있다.
또한, 웨이퍼 스테이지(200)의 상부에는 다이(20)를 픽업하기 위한 피커(400)가 피커 구동부(410)에 의해 수평 방향으로 이동 가능하도록 배치될 수 있으며, 더불어 수직 방향으로도 이동 가능하도록 구성될 수 있다. 피커(400)는, 상기 정렬 좌표 상에 배치된 다이(20)를 픽업하기 위해 상기 정렬 좌표를 이용하여 다이(20)의 상부에 위치될 수 있다. 도시되진 않았으나, 피커(400)에 의해 픽업된 다이(20)는 다이 스테이지 상으로 이송될 수 있으며, 다이 스테이지 상의 다이(20)는 본딩 모듈에 의해 기판 상에 본딩될 수 있다.
도 1에 도시된 바와 같이, 다이 이젝터(100)는, 웨이퍼 스테이지(200)의 중앙 개구를 통과하도록 웨이퍼 스테이지(200)의 하측에 설치되고, 다이싱 테이프(30)로부터 복수의 다이(20) 중 어느 하나의 다이(20)를 분리시킬 수 있도록 웨이퍼(10) 하면의 적어도 일부분을 가압할 수 있다.
예컨대, 도 2에 도시된 바와 같이, 다이 이젝터(100)는, 크게, 후드 하우징(110)과, 커버 플레이트(120)와, 이젝터 핀(130)과, 구동부(140)와, 조명 유닛(150)과, 지지 플레이트(170) 및 본체(180)를 포함하여 구성될 수 있다.
도 2에 도시된 바와 같이, 후드 하우징(110)은, 상부와 하부가 개방된 속이 빈 원통 형상으로 형성되고, 커버 플레이트(120)는, 복수의 관통홀부(121)가 형성되는 디스크 형태로 형성되어, 후드 하우징(110)의 개방된 상부에 회전 가능하게 설치될 수 있다. 커버 플레이트(120)에 형성된 복수의 관통홀부(121)는, 커버 플레이트(120)를 수직 방향으로 관통하도록 형성될 수 있으며, 복수의 행과 열을 갖도록 배치될 수 있다.
더욱 구체적으로, 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 커버 플레이트(120)가 후드 하우징(110)에 회전 가능하도록 설치될 수 있도록, 후드 하우징(110)의 상부에는 커버 플레이트(120)가 삽입되는 단차부(111)가 형성될 수 있다.
또한, 커버 플레이트(120)의 외주면에는 복수의 볼 플런저(122)가 일정한 간격으로 설치될 수 있으며, 단차부(111)의 내주면에는 복수의 볼 플런저(122)가 삽입될 수 있는 복수의 리세스부(112)가 형성될 수 있다.
예컨대, 커버 플레이트(120)의 외주면에는 4개의 볼 플런저(122)가 일정 간격으로 설치될 수 있으며, 단차부(111)의 내주면에는, 볼 플런저(122)의 볼들이 삽입되는 4개의 리세스부(112)가 일정 간격으로 형성될 수 있다. 이에 따라, 커버 플레이트(120)는, 복수의 리세스부(112)에 의해 90도씩 회전될 수 있다.
이때, 단차부(111)는, 복수의 리세스부(112) 사이를 연결하여, 커버 플레이트(120)의 회전 시, 복수의 볼 플런저(122) 들의 볼의 이동경로를 안내할 수 있도록, 내주면을 따라 링 형상으로 오목하게 그루브홈부(113)가 형성될 수 있다. 이러한, 그루브홈부(113)는, 커버 플레이트(120)의 회전 시, 복수의 볼 플런저(122) 들의 볼들을 원주 방향으로 안내하기 위해 사용될 수 있다.
또한, 도 2에 도시된 바와 같이, 구동부(140)는, 다이싱 테이프(30)로부터 다이(20)를 분리시킬 수 있도록, 후술될 이젝터 핀(130)을 상하방향으로 상승 또는 하강 이동시킬 수 있다. 또한, 지지 플레이트(170)는, 후드 하우징(110)의 내부에 설치될 수 있도록 원형의 플레이트 형상으로 형성되어, 그 상면에 이젝터 핀(130)이 지지될 수 있으며, 본체(180)는, 상방이 개방된 속이 빈 원통 형상으로 형성되어, 후드 하우징(110)의 하부와 결합될 수 있다.
더욱 구체적으로, 구동부(140)는, 본체(180)의 내부에 설치되고, 지지 플레이트(170)의 하면과 결합되는 헤드(141) 및 헤드(141)의 하면과 결합되고, 본체(180)의 내부 공간을 따라서 봉 형상으로 하방으로 연장되게 형성되는 구동축(142)을 포함할 수 있다.
이때, 지지 플레이트(170)의 내부에는, 이젝터 핀(130) 및 헤드(141)와의 결합을 위한 자성 부재(171)가 내장될 수 있다. 또한, 후드 하우징(110)의 내주면에는, 지지 플레이트(170)가 후드 하우징(110)의 개방된 하방으로 이탈되는 것을 방지하기 위해, 링 형상으로 돌출되게 형성되는 스토퍼(114)가 설치될 수 있다. 예컨대, 후드 하우징(110)의 내주면에는 스토퍼(114)로서 기능하는 스냅 링이 설치될 수 있으며, 이에 따라, 후드 하우징(110)과 지지 플레이트(170)가 동시에 본체(180) 및 구동부(140)로부터 분리될 수 있다.
또한, 구동축(142)은, 구동력을 제공하기 위한 동력 제공부와 연결될 수 있으며, 상기 동력 제공부는, 모터, 실린더, 동력 전달 요소들을 이용하여 다양한 방법으로 구성될 수 있다. 예컨대, 상기 동력 제공부는, 수평 방향으로 배치된 모터(143)와, 모터(143)의 회전축에 연결된 캠 플레이트(144)와, 캠 플레이트(144) 상에 배치된 캠 팔로워(145) 등을 포함할 수 있다.
또한, 본체(180)는, 진공 펌프 등과 같은 진공 소스(190)와 연결될 수 있으며, 이에 따라, 커버 플레이트(120)에 형성된 복수의 관통홀부(121)는, 다이싱 테이프(30)를 진공 흡착하기 위한 진공홀들로서 기능할 수 있다.
또한, 도 2에 도시된 바와 같이, 조명 유닛(150)은, 광 투과가 가능할 수 있도록 투명한 합성 수지 재질로 형성된 커버 플레이트(120)를 통해 상방으로 빛을 조사할 수 있도록, 후드 하우징(110)의 내부에서 커버 플레이트(120)의 하측에 설치될 수 있다.
예컨대, 조명 유닛(150)은, 비전 검사 유닛으로 기능하는 정렬 카메라(300)를 위한 백 라이트 유닛(Back light unit)으로 사용될 수 있다. 이러한, 조명 유닛(150)에 의하면, 정렬 카메라(300)를 통한, 커버 플레이트(120)의 복수의 관통홀부(121)에 삽입된 이젝터 핀(130)에 대한 이미지 획득이 보다 용이해질 수 있다. 이때, 지지 플레이트(170)의 상면은, 조명 유닛(150)으로부터의 빛을 커버 플레이트(120) 측으로 반사하는 반사면으로 기능하도록 구성되어, 조명 유닛(150)의 광 효율을 더욱 향상시킬 수도 있다.
또한, 도 2에 도시된 바와 같이, 이젝터 핀(130)은, 적어도 하나가 커버 플레이트(120)의 복수의 관통홀부(121) 중 적어도 하나 이상의 관통홀부에 삽입되어, 구동부(140) 및 지지 플레이트(170)에 의한 상승 운동으로, 다이싱 테이프(30)로부터 다이(20)를 분리시킬 수 있다.
이러한, 이젝터 핀(130)은, 스틸(Steel) 재질로 형성됨으로써, 투명한 합성 수재 재질로 형성되는 커버 플레이트(120)의 복수의 관통홀부(121)에 삽입되는 과정에서, 복수의 관통홀부(121)의 입구부 부분을 손상시켜, 복수의 관통홀부(121)의 입구부 부분의 뜯김 현상을 유발시킬 수 있다.
이에 따라, 도 4에 도시된 바와 같이, 이젝터 핀(130)은, 하단부의 둘레를 따라서 제 1 모따기부(C1)를 형성함으로써, 커버 플레이트(120)의 복수의 관통홀부(121)에 삽입 시, 이젝터 핀(130)의 하단 둘레를 따라 날카롭게 형성된 에지(Edge)에 의해 복수의 관통홀부(121)의 입구부가 손상되는 것을 방지할 수 있다.
이때, 커버 플레이트(120) 또한, 이젝터 핀(130)이 삽입되는 복수의 관통홀부(121)의 상단부(입구부)의 둘레를 따라서 제 2 모따기부(C2)가 형성됨으로써, 이젝터 핀(130)이 커버 플레이트(120)의 복수의 관통홀부(121)에 삽입 시, 복수의 관통홀부(121)의 입구부 부분의 뜯김 현상이 발생하는 것을 더욱 효과적으로 방지할 수 있다.
상술한 모따기부(C1, C2) 구성에 의해, 다이싱 테이프(30)로부터 분리해야 될 다이(20)의 형상 및 크기에 따라, 커버 플레이트(120)의 복수의 관통홀부(121)로, 소정의 개수의 이젝터 핀(130) 들을 복수의 관통홀부(121)의 손상 없이 소정의 배치로 원활하게 삽입할 수 있다.
따라서, 도 5에 도시된 바와 같이, 분리해야 될 다이(20)의 형상 및 크기와 대응되도록 이젝터 핀(130)을 삽입한 후, 다이싱 테이프(30)로부터 분리되어야 할 다이(20)들 중 어느 하나가 다이 이젝터(100)의 상부에 위치되도록 이동되면, 다이 이젝터(1000)는, 별도의 수직 구동부(미도시)에 의해 커버 플레이트(120)의 상면이 다이싱 테이프(30)의 하면에 밀착되도록 상승될 수 있다. 이어서, 진공 소스(도 2의 190)로부터 본체(180) 내부에 진공압이 인가될 수 있으며, 이에 의해 다이싱 테이프(30)가 커버 플레이트(120)의 상면에 밀착될 수 있다.
계속해서, 도 6에 도시된 바와 같이, 구동부(140)의 구동에 의해, 지지 플레이트(170)가 상승하면, 이젝터 핀(130)이 커버 플레이트(120)의 상면으로 돌출되도록 상승됨으로써, 이젝터 핀(130)에 의해 상승된 다이(20)가 피커(400)에 의해 다이싱 테이프(30)로부터 분리될 수 있다.
이러한, 이젝터 핀(130)의 삽입 시, 커버 플레이트(120)에 형성된 복수의 관통홀부(121)의 뜯김 현상을 방지할 수 있는 이젝터 핀(130) 및 복수의 관통홀부(121)의 형상은 반드시 도 4에 국한되지 않고 매우 다양한 형상으로 형성될 수 있다.
예컨대, 도 7에 도시된 바와 같이, 이젝터 핀(130)은, 하단부의 둘레를 따라서 제 1 라운드부(R1)를 형성함으로써, 커버 플레이트(120)의 복수의 관통홀부(121)에 삽입 시, 이젝터 핀(130)의 하단 둘레를 따라 날카롭게 형성된 에지(Edge)에 의해 복수의 관통홀부(121)의 입구부가 손상되는 것을 방지할 수 있다.
이때, 커버 플레이트(120) 또한, 이젝터 핀(130)이 삽입되는 복수의 관통홀부(121)의 상단부(입구부)의 둘레를 따라서 제 2 라운드부(R2)가 형성됨으로써, 이젝터 핀(130)이 커버 플레이트(120)의 복수의 관통홀부(121)에 삽입 시, 복수의 관통홀부(121)의 입구부 부분의 뜯김 현상이 발생하는 것을 더욱 효과적으로 방지할 수 있다.
상술한 라운드부(R1, R2) 구성에 의해, 다이싱 테이프(30)로부터 분리해야 될 다이(20)의 형상 및 크기에 따라, 커버 플레이트(120)의 복수의 관통홀부(121)로, 소정의 개수의 이젝터 핀(130) 들을 복수의 관통홀부(121)의 손상 없이 소정의 배치로 원활하게 삽입할 수 있다.
또한, 도 8 및 도 9에 도시된 바와 같이, 커버 플레이트(120)의 복수의 관통홀부(121)에 이젝터 핀(130)을 삽입 시, 커버 플레이트(120)의 상면에 임시 안착되어, 이젝터 핀(130)의 삽입 위치를 가이드하는 삽입 지그(160)를 이용할 수도 있다.
예컨대, 삽입 지그(160)는, 커버 플레이트(120)와 대응되는 형상의 디스크 형태로 형성되고, 후드 하우징(110)의 상측의 적어도 일부분을 감싸도록 오목한 수용홈부가 형성되는 수용 지그 몸체(161) 및 커버 플레이트(120)에 형성된 복수의 관통홀부(121)와 대응되는 위치에, 지그 몸체(161)를 관통하도록 형성되는 복수의 가이드홀부(162)를 포함할 수 있다.
이에 따라, 이젝터 핀(130)을 커버 플레이트(120)의 복수의 관통홀부(121)에 삽입 시, 도 8에 도시된 바와 같이, 먼저, 스틸(Steel) 재질로 형성되는 삽입 지그(160)를 커버 플레이트(120)의 상면에 안착시킨 후, 도 9에 도시된 바와 같이, 삽입 지그(160)의 복수의 가이드홀부(162)를 통해서, 이젝터 핀(130)을 커버 플레이트(120)의 복수의 관통홀부(121)로 삽입할 수 있다.
여기서, 삽입 지그(160)는, 이젝터 핀(130)과 동등하거나 그 이상의 강도를 가지는 스틸 재질로 형성됨으로써, 복수의 관통홀부(121)로 삽입되는 이젝터 핀(130)의 삽입 정위치를 정확히 안내하고, 복수의 관통홀부(121)의 뜯김 현상이 생기는 것을 방지할 수 있다. 아울러, 삽입 지그(160) 또한, 이젝터 핀(130)이 삽입되는 복수의 가이드홀부(162)의 상단부(입구부)의 둘레를 따라서 제 3 모따기부(C3)나 제 3 라운드부(미도시)가 형성되어, 이젝터 핀(130)의 삽입이 더욱 원활하도록 유도할 수 있다.
또한, 도 10에 도시된 바와 같이, 이젝터 핀(130)은, 외주면 전체에 슬립 유막층(130b)이 형성되어, 커버 플레이트(120)의 복수의 관통홀부(121)로의 삽입을 더욱 원활하게 하여, 복수의 관통홀부(121)의 입구부에 뜯김 현상이 발생하는 것을 방지할 수 있다.
이때, 외주면 전체에 형성된 슬립 유막층(130b) 상에서, 제 1 모따기부(C1) 또는 제 1 라운드부(R1)가 형성된 하단부 인근의 적어도 일부분에 유색(有色)의 코팅층(130a)이 형성될 수 있다.
이에 따라, 정렬 카메라(300)로 커버 플레이트(120)의 복수의 관통홀부(121)에 삽입된 이젝터 핀(130)의 배치 상태를 비전(Vision) 검사 시, 유색의 코팅층(130a)으로, 이젝터 핀(130)의 구분을 더욱 명확히 하여, 이젝터 핀(130) 감지의 정확도를 더욱 증가시킬 수 있다.
여기서, 코팅층(130a)은, 슬립 유막층(130b) 상에 형성되는 것을 예로 들었지만, 반드시 도 10에 국한되지 않고, 슬립 유막층(130b)이 형성되지 않은 이젝터 핀(130)에서, 제 1 모따기부(C1) 또는 제 1 라운드부(R1)가 형성된 하단부 인근의 외주면의 적어도 일부분에 형성될 수도 있다.
또한, 이러한, 코팅층(130a)은, 자성 부재(171)가 내장된 지지 플레이트(170)에 이젝터 핀(130)의 부착을 용이하게 할 수 있도록, 이젝터 핀(130)에서 하단부 인근의 외주면의 적어도 일부분에 형성되되, 지지 플레이트(170)에 부착되는 하면에는 코팅층(130a)이 형성되지 않는 것이 바람직할 수 있다.
따라서, 본 발명의 여러 실시예에 따른 다이 이젝터(100) 및 이를 포함하는 다이 이젝팅 장치(1000)에 따르면, 이젝터 핀(130)의 하단부나, 이젝터 핀(130)이 삽입되는 관통홀부(121)의 입구부에 모따기부(C1, C2)나 라운드부(R1, R2)를 형성하여, 커버 플레이트(120)의 관통홀부(121)로 이젝터 핀(130)의 삽입을 쉽게하고, 이젝터 핀(130)의 삽입 시 관통홀부(121) 입구부의 뜯김 현상이 발생하는 것을 방지할 수 있다.
또한, 이젝터 핀(130)의 외주면 전체에 슬립 유막층(130b)을 형성하거나, 스틸 재질로 형성되고 커버 플레이트(120)에 형성된 복수의 관통홀부(121)와 대응되는 위치에 복수의 가이드홀부(162)가 형성된 별도의 삽입 지그(160)를 이용하여, 커버 플레이트(120)의 관통홀부(121)로 이젝터 핀(130)의 삽입이 더욱 용이해지도록 유도함으로써, 이젝터 핀(130)의 삽입 시 관통홀부(121) 입구부의 뜯김 현상이 발생하는 것을 더욱 효과적으로 방지할 수 있다.
또한, 이젝터 핀(130)의 하단부 인근의 외주면의 적어도 일부분에 유색(有色)의 코팅층(130a)을 형성하여, 설비 투입 시, 비전(Vision)에서 커버 플레이트(120)의 복수의 관통홀부(121)로 삽입된 이젝터 핀(130)의 감지가 더욱 용이하도록 유도함으로써, 커버 플레이트(120)를 통해 삽입된 이젝터 핀(130)의 배치 상태를 정확하게 감지하도록 할 수 있다.
그러므로, 커버 플레이트(120)의 관통홀부(121)의 손상 없이, 커버 플레이트(120)의 관통홀부(121)로 이젝터 핀(130)의 삽입이 용이하도록 유도하여, 공정 효율을 증가시키고, 뜯김 소재에 의한 다이 이젝팅 과정에서의 다이의 불량 발생을 방지할 수 있는 효과를 가질 수 있다.
본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.
10: 웨이퍼
20: 다이
30: 다이싱 테이프
40: 마운트 프레임
100: 다이 이젝터
110: 후드 하우징
111: 단차부
112: 복수의 리세스부
113: 그루브홈부
114: 스토퍼
120: 커버 플레이트
121: 복수의 관통홀부
122: 복수의 볼 플런저
130: 이젝터 핀
130a: 코팅층
130b: 슬립 유막층
140: 구동부
141: 헤드
142: 구동축
143: 모터
144: 캠 플레이트
145: 캠 팔로워
150: 조명 유닛
160: 삽입 지그
161: 지그 몸체
162: 복수의 가이드홀부
170: 지지 플레이트
171: 자성 부재
180: 본체
190: 진공 소스
200: 웨이퍼 스테이지
210: 확장 링
220: 클램프
300: 정렬 카메라
400: 피커
410: 피커 구동부
1000: 다이 이젝팅 장치
C1: 제 1 모따기부
C2: 제 2 모따기부
C3: 제 3 모따기부
R1: 제 1 라운드부
R2: 제 2 라운드부

Claims (20)

  1. 속이 빈 원통 형상으로 형성되는 후드 하우징;
    상기 후드 하우징의 상부에 회전 가능하게 설치되고, 복수의 관통홀부가 형성되는 디스크 형태의 커버 플레이트;
    상기 복수의 관통홀부 중 적어도 하나 이상의 관통홀부에 삽입되어, 다이싱 테이프로부터 다이를 분리시킬 수 있는 적어도 하나의 이젝터 핀; 및
    상기 다이싱 테이프로부터 상기 다이를 분리시킬 수 있도록, 상기 이젝터 핀을 상하방향으로 상승 또는 하강 이동시키는 구동부;를 포함하고,
    상기 이젝터 핀은,
    상기 커버 플레이트의 상기 복수의 관통홀부에 삽입 시, 상기 이젝터 핀에 의해 상기 복수의 관통홀부의 입구부가 손상되는 것을 방지할 수 있도록, 하단부의 둘레를 따라서 제 1 모따기부 또는 제 1 라운드부가 형성되는, 다이 이젝터.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 커버 플레이트는,
    투명한 합성 수지 재질로 형성되고,
    상기 이젝터 핀은,
    스틸(Steel) 재질로 형성되는, 다이 이젝터.
  3. 제 2 항에 있어서,
    투명한 재질의 상기 커버 플레이트를 통해 상방으로 빛을 조사할 수 있도록, 상기 후드 하우징의 내부에서 상기 커버 플레이트의 하측에 설치되는 조명 유닛;
    을 더 포함하는, 다이 이젝터.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 이젝터 핀은,
    상기 제 1 모따기부 또는 상기 제 1 라운드부가 형성된 하단부 인근의 외주면의 적어도 일부분에 유색(有色)의 코팅층이 형성되는, 다이 이젝터.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 이젝터 핀은,
    하단부 인근의 외주면의 적어도 일부분에 상기 코팅층이 형성되되, 하면에는 상기 코팅층이 형성되지 않는, 다이 이젝터.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 이젝터 핀은,
    외주면 전체에 슬립 유막층이 형성되는, 다이 이젝터.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 이젝터 핀은,
    외주면 전체에 형성된 상기 슬립 유막층 상에서, 상기 제 1 모따기부 또는 상기 제 1 라운드부가 형성된 하단부 인근의 적어도 일부분에 유색(有色)의 코팅층이 형성되는, 다이 이젝터.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 커버 플레이트는,
    상기 이젝터 핀이 삽입되는 상기 복수의 관통홀부의 상단부의 둘레를 따라서 제 2 모따기부 또는 제 2 라운드부가 형성되는, 다이 이젝터.
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 커버 플레이트의 상기 복수의 관통홀부에 상기 이젝터 핀을 삽입 시, 상기 커버 플레이트의 상면에 임시 안착되어, 상기 이젝터 핀의 삽입 위치를 가이드하는 삽입 지그;
    를 더 포함하는, 다이 이젝터.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 삽입 지그는,
    상기 커버 플레이트와 대응되는 형상의 디스크 형태로 형성되는 지그 몸체; 및
    상기 커버 플레이트에 형성된 상기 복수의 관통홀부와 대응되는 위치에, 상기 지그 몸체를 관통하도록 형성되는 복수의 가이드홀부;
    를 포함하는, 다이 이젝터.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 지그 몸체는,
    스틸(Steel) 재질로 형성되는, 다이 이젝터.
  12. 제 10 항에 있어서,
    상기 삽입 지그는,
    상기 이젝터 핀이 삽입되는 상기 복수의 가이드홀부의 상단부의 둘레를 따라서 제 3 모따기부 또는 제 3 라운드부가 형성되는, 다이 이젝터.
  13. 제 1 항에 있어서,
    상기 커버 플레이트는,
    외주면을 따라 복수의 볼 플런저가 일정한 간격으로 설치되고,
    상기 후드 하우징은,
    내주면의 상부에 상기 커버 플레이트가 삽입되는 단차부가 형성되고, 상기 단차부의 내주면에는 상기 복수의 볼 플런저가 삽입될 수 있는 복수의 리세스부가 형성되는, 다이 이젝터.
  14. 제 13 항에 있어서,
    상기 단차부는,
    상기 복수의 리세스부 사이를 연결하여, 상기 커버 플레이트의 회전 시 상기 볼 플런저의 볼의 이동경로를 안내할 수 있도록, 내주면을 따라 링 형상으로 오목하게 그루브홈부가 형성되는, 다이 이젝터.
  15. 제 1 항에 있어서,
    상기 후드 하우징의 내부에 설치될 수 있도록 원형의 플레이트 형상으로 형성되어, 그 상면에 상기 이젝터 핀이 지지되는 지지 플레이트; 및
    속이 빈 원통 형상으로 형성되어, 상기 후드 하우징의 하부와 결합되는 본체;
    를 더 포함하는, 다이 이젝터.
  16. 제 15 항에 있어서,
    상기 구동부는,
    상기 본체의 내부에 설치되고,
    상기 지지 플레이트의 하면과 결합되는 헤드; 및
    상기 헤드의 하면과 결합되고, 상기 본체의 내부 공간을 따라서 봉 형상으로 하방으로 연장되게 형성되는 구동축;
    을 포함하는, 다이 이젝터.
  17. 제 16 항에 있어서,
    상기 지지 플레이트는,
    상기 이젝터 핀 및 상기 헤드와의 결합을 위한 자성 부재가 내부에 형성되는, 다이 이젝터.
  18. 속이 빈 원통 형상으로 형성되는 후드 하우징;
    상기 후드 하우징의 상부에 회전 가능하게 설치되고, 복수의 관통홀부가 형성되는 디스크 형태의 커버 플레이트;
    상기 복수의 관통홀부 중 적어도 하나 이상의 관통홀부에 삽입되어, 다이싱 테이프로부터 다이를 분리시킬 수 있는 적어도 하나의 이젝터 핀; 및
    상기 다이싱 테이프로부터 상기 다이를 분리시킬 수 있도록, 상기 이젝터 핀을 상하방향으로 상승 또는 하강 이동시키는 구동부;를 포함하고,
    상기 커버 플레이트는,
    상기 복수의 관통홀부에 삽입되는 상기 이젝터 핀에 의해 상기 복수의 관통홀부의 입구부가 손상되는 것을 방지할 수 있도록, 상기 이젝터 핀이 삽입되는 상기 복수의 관통홀부의 상단부의 둘레를 따라서 제 2 모따기부 또는 제 2 라운드부가 형성되는, 다이 이젝터.
  19. 제 18 항에 있어서,
    상기 이젝터 핀은,
    상기 커버 플레이트의 상기 복수의 관통홀부에 삽입되는 하단부의 둘레를 따라서 제 1 모따기부 또는 제 1 라운드부가 형성되는, 다이 이젝터.
  20. 다이싱 공정에 의해 개별화된 복수의 다이를 포함하는 웨이퍼를 지지하는 웨이퍼 스테이지;
    상기 웨이퍼 스테이지의 하측에 설치되고, 다이싱 테이프로부터 상기 복수의 다이 중 어느 하나의 다이를 분리시킬 수 있도록 상기 웨이퍼의 적어도 일부분을 가압하는 다이 이젝터;
    상기 웨이퍼 스테이지의 상측에 설치되고, 상기 다이 이젝터와 상기 다이의 정렬을 확인하는 정렬 카메라; 및
    상기 웨이퍼 스테이지의 상측에 설치되고, 상기 다이 이젝터에 의해 상승된 다이를 픽업하는 피커;를 포함하고,
    상기 다이 이젝터는,
    속이 빈 원통 형상으로 형성되는 후드 하우징;
    상기 후드 하우징의 상부에 회전 가능하게 설치되고, 복수의 관통홀부가 형성되는 디스크 형태의 커버 플레이트;
    상기 복수의 관통홀부 중 적어도 하나 이상의 관통홀부에 삽입되어, 상기 다이싱 테이프로부터 다이를 분리시킬 수 있는 적어도 하나의 이젝터 핀;
    상기 다이싱 테이프로부터 상기 다이를 분리시킬 수 있도록, 상기 이젝터 핀을 상하방향으로 상승 또는 하강 이동시키는 구동부; 및
    상기 커버 플레이트를 통해 상방으로 빛을 조사할 수 있도록, 상기 후드 하우징 내부에서 상기 커버 플레이트의 하측에 설치되는 조명 유닛;를 포함하고,
    상기 이젝터 핀은,
    스틸(Steel) 재질로 형성되어, 하단부 인근의 외주면의 적어도 일부분에 형성되는 유색(有色)의 코팅층 및 외주면의 전체에 형성되는 슬립 유막층 중 적어도 어느 하나 이상의 층이 형성되며, 상기 커버 플레이트의 상기 복수의 관통홀부에 삽입 시, 상기 이젝터 핀에 의해 상기 복수의 관통홀부의 입구부가 손상되는 것을 방지할 수 있도록, 하단부의 둘레를 따라서 제 1 모따기부 또는 제 1 라운드부가 형성되고,
    상기 커버 플레이트는,
    투명한 합성 수지 재질로 형성되고, 상기 이젝터 핀이 삽입되는 상기 복수의 관통홀부의 상단부의 둘레를 따라서 제 2 모따기부 또는 제 2 라운드부가 형성되는, 다이 이젝팅 장치.
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