JP2551638B2 - 自動焦点調整用対物レンズ駆動装置 - Google Patents
自動焦点調整用対物レンズ駆動装置Info
- Publication number
- JP2551638B2 JP2551638B2 JP63238586A JP23858688A JP2551638B2 JP 2551638 B2 JP2551638 B2 JP 2551638B2 JP 63238586 A JP63238586 A JP 63238586A JP 23858688 A JP23858688 A JP 23858688A JP 2551638 B2 JP2551638 B2 JP 2551638B2
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- Japan
- Prior art keywords
- objective lens
- spring
- piezo element
- parallel
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- Lens Barrels (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、無限遠光学系顕微鏡等に使用される自動
焦点調整用対物レンズ駆動装置に関するものである。
焦点調整用対物レンズ駆動装置に関するものである。
近年、無限遠光学系顕微鏡等に使用される自動焦点調
整用対物レンズ駆動装置は、顕微鏡作業の自動化におい
てはなくてはならないものとなっている。また、無限遠
光学系顕微鏡による半導体や磁気ヘッドのトラック幅，
ギャップ幅の測定においては、サブミクロンの測定精度
が要求されている。したがって、自動焦点調整用対物レ
ンズ駆動装置においては、生産性の上から高速性と、測
定精度の上からは高倍率対物レンズに対応する位置決め
精度の高いものが要求されている。さらに、振動に強い
剛性を持ち、コンパクトでシンプルなものが要求されて
いる。
整用対物レンズ駆動装置は、顕微鏡作業の自動化におい
てはなくてはならないものとなっている。また、無限遠
光学系顕微鏡による半導体や磁気ヘッドのトラック幅，
ギャップ幅の測定においては、サブミクロンの測定精度
が要求されている。したがって、自動焦点調整用対物レ
ンズ駆動装置においては、生産性の上から高速性と、測
定精度の上からは高倍率対物レンズに対応する位置決め
精度の高いものが要求されている。さらに、振動に強い
剛性を持ち、コンパクトでシンプルなものが要求されて
いる。
従来のこの種の自動焦点調整用対物レンズ駆動装置を
第３図に基づいて説明する。
第３図に基づいて説明する。
この自動焦点調整用対物レンズ駆動装置は、第３図に
示すように、対物レンズ51を取り付ける対物レンズホル
ダ52と、この対物レンズホルダ52をガイドするスライド
ガイド53と、対物レンズホルダに焦点方向への力を加え
る圧縮ばね54と、アーム56と、このアーム56を一定量回
動させる偏心カム57と、偏心カム57を回動させるモータ
（図示せず）とから構成している。
示すように、対物レンズ51を取り付ける対物レンズホル
ダ52と、この対物レンズホルダ52をガイドするスライド
ガイド53と、対物レンズホルダに焦点方向への力を加え
る圧縮ばね54と、アーム56と、このアーム56を一定量回
動させる偏心カム57と、偏心カム57を回動させるモータ
（図示せず）とから構成している。
また、アーム56は、ガイドピン55で対物レンズホルダ
52と連結されている。58はアーム56の支点を示してい
る。
52と連結されている。58はアーム56の支点を示してい
る。
偏心カム57はモータにより回動し、アーム56をアーム
56の支点58を中心に一定量動かす。そして、アーム56
は、ガイドピン55を介し対物レンズホルダ52を移動さ
せ、対物レンズ51を焦点方向に動かす。圧縮ばね54は、
ガイドピン55を介してアーム56に力を伝え、アーム56が
偏心カム57の回動に沿うようにしている。
56の支点58を中心に一定量動かす。そして、アーム56
は、ガイドピン55を介し対物レンズホルダ52を移動さ
せ、対物レンズ51を焦点方向に動かす。圧縮ばね54は、
ガイドピン55を介してアーム56に力を伝え、アーム56が
偏心カム57の回動に沿うようにしている。
この従来の自動焦点調整用対物レンズ駆動装置は、前
述の構成のため、部品点数が多く、構造が複雑であっ
た。この結果、コストも高くなるという問題があった。
述の構成のため、部品点数が多く、構造が複雑であっ
た。この結果、コストも高くなるという問題があった。
また、駆動源にモータを使用するため、モータの振動
を防ぐため、スライドガイド53の剛性を高めなければな
らないという問題があった。
を防ぐため、スライドガイド53の剛性を高めなければな
らないという問題があった。
さらに、偏心カム57,アーム56およびスライドガイド5
3がそれぞれ接触し、摺動するため、摩耗して、精度の
長期的保証ができないという問題があった。
3がそれぞれ接触し、摺動するため、摩耗して、精度の
長期的保証ができないという問題があった。
したがって、この発明の目的は、簡単な構成で、摩耗
のない長期的精度保証のできる自動焦点調整用対物レン
ズ駆動装置を提供することである。
のない長期的精度保証のできる自動焦点調整用対物レン
ズ駆動装置を提供することである。
この発明の自動焦点調整用対物レンズ駆動装置は、対
物レンズを取り付ける対物レンズホルダと、この対物レ
ンズホルダを先端部に取り付けた平行ばねと、この平行
ばね先端部近傍のばね平面に接しこのばね平面に対し略
垂直方向に変位するピエゾ素子と、このピエゾ素子を設
置するブロックとを備え、対物レンズをその焦点方向が
ピエゾ素子の変位方向と平行になるように対物レンズホ
ルダに取り付けるようにしている。
物レンズを取り付ける対物レンズホルダと、この対物レ
ンズホルダを先端部に取り付けた平行ばねと、この平行
ばね先端部近傍のばね平面に接しこのばね平面に対し略
垂直方向に変位するピエゾ素子と、このピエゾ素子を設
置するブロックとを備え、対物レンズをその焦点方向が
ピエゾ素子の変位方向と平行になるように対物レンズホ
ルダに取り付けるようにしている。
また、平行ばねの基端部をブロックに固定した構造と
している。
している。
この発明の構成によれば、ピエゾ素子に電圧を加えて
変位させると、ピエゾ素子が平行ばねの先端部近傍のば
ね平面を押圧し、平行ばねの先端部に取り付けられた対
物レンズホルダおよび対物レンズがピエゾ素子の変位方
向に移動する。対物レンズをその焦点方向がピエゾ素子
の変位方向と平行になるように対物レンズホルダに取り
付けているため、ピエゾ素子の変位により対物レンズは
その焦点方向に移動することになり、焦点調整が行われ
る。
変位させると、ピエゾ素子が平行ばねの先端部近傍のば
ね平面を押圧し、平行ばねの先端部に取り付けられた対
物レンズホルダおよび対物レンズがピエゾ素子の変位方
向に移動する。対物レンズをその焦点方向がピエゾ素子
の変位方向と平行になるように対物レンズホルダに取り
付けているため、ピエゾ素子の変位により対物レンズは
その焦点方向に移動することになり、焦点調整が行われ
る。
また、平行ばねの基端部をブロックに固定した場合
は、ピエゾ素子に駆動されたときの平行ばねの基端部の
抗力をブロックで吸収することができる。
は、ピエゾ素子に駆動されたときの平行ばねの基端部の
抗力をブロックで吸収することができる。
この発明の自動焦点調整用対物レンズ駆動装置の一実
施例を第１図に基づいて説明する。
施例を第１図に基づいて説明する。
この自動焦点調整用対物レンズ駆動装置は、第１図に
示すように、対物レンズ１を取り付ける対物レンズホル
ダ２と、この対物レンズホルダ２を先端部5aに取り付け
た平行ばね５と、この平行ばね５の先端部5aの近傍のば
ね平面に接しこのばね平面に対し略垂直方向に変位する
ピエゾ素子４と、このピエゾ素子４を設置するブロック
６とを備え、対物レンズ１をその焦点方向がピエゾ素子
４の変位方向と平行になるように対物レンズホルダ２に
取り付けるようにしている。３は光学系支持プレートを
示している。
示すように、対物レンズ１を取り付ける対物レンズホル
ダ２と、この対物レンズホルダ２を先端部5aに取り付け
た平行ばね５と、この平行ばね５の先端部5aの近傍のば
ね平面に接しこのばね平面に対し略垂直方向に変位する
ピエゾ素子４と、このピエゾ素子４を設置するブロック
６とを備え、対物レンズ１をその焦点方向がピエゾ素子
４の変位方向と平行になるように対物レンズホルダ２に
取り付けるようにしている。３は光学系支持プレートを
示している。
この実施例の構成によれば、ピエゾ素子４に電圧を印
加すると、ピエゾ素子４が平行ばね５を押して対物レン
ズ１を焦点方向に移動させる。このように、摺動面をな
くし、部品点数の少ない簡単な構成にしたので、摩耗を
なくし、精度の長期的信頼性を確保でき、またコストを
削減できる。
加すると、ピエゾ素子４が平行ばね５を押して対物レン
ズ１を焦点方向に移動させる。このように、摺動面をな
くし、部品点数の少ない簡単な構成にしたので、摩耗を
なくし、精度の長期的信頼性を確保でき、またコストを
削減できる。
また、この実施例の自動焦点調整用対物レンズ駆動装
置は、平行ばね５とブロック６とを別々に光学系支持プ
レート３に取り付け、組立調整するようにしているの
で、各部品の加工精度をあまり重視しなくてもよいもの
とできる。
置は、平行ばね５とブロック６とを別々に光学系支持プ
レート３に取り付け、組立調整するようにしているの
で、各部品の加工精度をあまり重視しなくてもよいもの
とできる。
この発明の他の実施例を第２図に基づいて説明する。
この自動焦点調整用対物レンズ駆動装置は、第２図に
示すように、平行ばね７の基端部7aをブロック８に固定
している。他の構成は、前述の実施例と同様である。
示すように、平行ばね７の基端部7aをブロック８に固定
している。他の構成は、前述の実施例と同様である。
この実施例の構成によれば、ピエゾ素子４に駆動され
たときの平行ばね７の基端部7aの抗力をブロック８で吸
収することができる。このことにより、光学系支持プレ
ート３での平行ばね７の基端部7aの抗力による歪みの対
策を行う必要がなくなり、光学系支持プレート３の板厚
を厚くする必要がなくなる。
たときの平行ばね７の基端部7aの抗力をブロック８で吸
収することができる。このことにより、光学系支持プレ
ート３での平行ばね７の基端部7aの抗力による歪みの対
策を行う必要がなくなり、光学系支持プレート３の板厚
を厚くする必要がなくなる。
この結果、前述の実施例の効果に加え、装置をよりコ
ンパクトにできる。
ンパクトにできる。
また、この実施例の自動焦点調整用対物レンズ駆動装
置は、平行ばね７とブロック８とを一体化させているの
で、ユニット化でき、光学系支持プレート３への取り付
け，取り外しが簡単に行える。
置は、平行ばね７とブロック８とを一体化させているの
で、ユニット化でき、光学系支持プレート３への取り付
け，取り外しが簡単に行える。
この発明の自動焦点調整用対物レンズ駆動装置は、平
行ばねの先端部に対物レンズホルダを取り付け、平行ば
ねの先端部近傍のばね平面に接しこのばね平面に対し略
垂直方向に変位するピエゾ素子をブロックに設置してい
るため、ピエゾ素子に電圧を加えて変位させると、ピエ
ゾ素子が平行ばねの先端部近傍のばね平面を押圧し、平
行ばねの先端部に取り付けられた対物レンズホルダおよ
び対物レンズがピエゾ素子の変位方向に移動する。そし
て、対物レンズをその焦点方向がピエゾ素子の変位方向
と平行になるように対物レンズホルダに取り付けている
ため、ピエゾ素子の変位により対物レンズはその焦点方
向に移動することになり、焦点調整が行われる。このよ
うに、摺動面をなくし、部品点数のすくない簡単な構成
にしたので、摩耗のない長期的精度保証のできる自動焦
点調整用対物レンズ駆動装置を提供することができる。
行ばねの先端部に対物レンズホルダを取り付け、平行ば
ねの先端部近傍のばね平面に接しこのばね平面に対し略
垂直方向に変位するピエゾ素子をブロックに設置してい
るため、ピエゾ素子に電圧を加えて変位させると、ピエ
ゾ素子が平行ばねの先端部近傍のばね平面を押圧し、平
行ばねの先端部に取り付けられた対物レンズホルダおよ
び対物レンズがピエゾ素子の変位方向に移動する。そし
て、対物レンズをその焦点方向がピエゾ素子の変位方向
と平行になるように対物レンズホルダに取り付けている
ため、ピエゾ素子の変位により対物レンズはその焦点方
向に移動することになり、焦点調整が行われる。このよ
うに、摺動面をなくし、部品点数のすくない簡単な構成
にしたので、摩耗のない長期的精度保証のできる自動焦
点調整用対物レンズ駆動装置を提供することができる。
また、平行ばねの基端部をブロックに固定した場合
は、ピエゾ素子に駆動されたときの平行ばねの基端部の
抗力をブロックで吸収することができる。したがって、
他の部分において平行ばねの基端部の抗力による歪みの
対策を行う必要がなくなる。この結果、よりコンパクト
な自動焦点調整用対物レンズ駆動装置を提供することが
できる。
は、ピエゾ素子に駆動されたときの平行ばねの基端部の
抗力をブロックで吸収することができる。したがって、
他の部分において平行ばねの基端部の抗力による歪みの
対策を行う必要がなくなる。この結果、よりコンパクト
な自動焦点調整用対物レンズ駆動装置を提供することが
できる。
第１図はこの発明の一実施例の構成を示す斜視図、第２
図は他の実施例の構成を示す斜視図、第３図は従来の自
動焦点調整用対物レンズ駆動装置の構成を示す側面図で
ある。 １……対物レンズ、２……対物レンズホルダ、４……ピ
エゾ素子、5,7……平行ばね、6,8……ブロック、5a……
先端部、7a……基端部
図は他の実施例の構成を示す斜視図、第３図は従来の自
動焦点調整用対物レンズ駆動装置の構成を示す側面図で
ある。 １……対物レンズ、２……対物レンズホルダ、４……ピ
エゾ素子、5,7……平行ばね、6,8……ブロック、5a……
先端部、7a……基端部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 井原 清隆 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電 器産業株式会社内 (56)参考文献 特開 昭61−134934（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−245535（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−205542（ＪＰ，Ａ) 実開 平２−26121（ＪＰ，Ｕ)
Claims (2)
- 【請求項１】対物レンズを取り付ける対物レンズホルダ
と、この対物レンズホルダを先端部に取り付けた平行ば
ねと、この平行ばねの先端部近傍のばね平面に接しこの
ばね平面に対し略垂直方向に変位するピエゾ素子と、こ
のピエゾ素子を設置するブロックとを備え、 前記対物レンズをその焦点方向が前記ピエゾ素子の変位
方向と平行になるように前記対物レンズホルダに取り付
けるようにした自動焦点調整用対物レンズ駆動装置。 - 【請求項２】前記平行ばねの基端部を前記ブロックに固
定した特許請求の範囲第（１）項記載の自動焦点調整用
対物レンズ駆動装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63238586A JP2551638B2 (ja) | 1988-09-22 | 1988-09-22 | 自動焦点調整用対物レンズ駆動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63238586A JP2551638B2 (ja) | 1988-09-22 | 1988-09-22 | 自動焦点調整用対物レンズ駆動装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0287108A JPH0287108A (ja) | 1990-03-28 |
| JP2551638B2 true JP2551638B2 (ja) | 1996-11-06 |
Family
ID=17032404
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63238586A Expired - Fee Related JP2551638B2 (ja) | 1988-09-22 | 1988-09-22 | 自動焦点調整用対物レンズ駆動装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2551638B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06109963A (ja) * | 1992-09-25 | 1994-04-22 | Olympus Optical Co Ltd | 顕微鏡の焦点調整機構 |
| JP2001305432A (ja) * | 2000-04-19 | 2001-10-31 | Olympus Optical Co Ltd | フォーカス安定装置 |
| US6711283B1 (en) * | 2000-05-03 | 2004-03-23 | Aperio Technologies, Inc. | Fully automatic rapid microscope slide scanner |
| WO2005119575A2 (en) | 2004-05-27 | 2005-12-15 | Aperio Technologies, Inc | Systems and methods for creating and viewing three dimensional virtual slides |
| JP5230895B2 (ja) * | 2004-11-15 | 2013-07-10 | オリンパス株式会社 | 顕微鏡観察装置 |
| DE102010060841B3 (de) * | 2010-11-26 | 2012-06-06 | Leica Microsystems Cms Gmbh | Einrichtung zum Fokussieren eines Mikroskopobjektivs auf eine Probe |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61134934A (ja) * | 1984-12-04 | 1986-06-23 | Toshiba Corp | 光学式記録再生装置の対物レンズ駆動機構 |
| JPS62205542A (ja) * | 1986-03-06 | 1987-09-10 | Canon Inc | 光学系駆動装置 |
| JPS62245535A (ja) * | 1986-04-17 | 1987-10-26 | Canon Inc | 光学系駆動装置 |
| JPH0722746Y2 (ja) * | 1988-07-30 | 1995-05-24 | ソニー株式会社 | 対物レンズ駆動装置 |
-
1988
- 1988-09-22 JP JP63238586A patent/JP2551638B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0287108A (ja) | 1990-03-28 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |