JPH0287108A - 自動焦点調整用対物レンズ駆動装置 - Google Patents
自動焦点調整用対物レンズ駆動装置Info
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- JPH0287108A JPH0287108A JP23858688A JP23858688A JPH0287108A JP H0287108 A JPH0287108 A JP H0287108A JP 23858688 A JP23858688 A JP 23858688A JP 23858688 A JP23858688 A JP 23858688A JP H0287108 A JPH0287108 A JP H0287108A
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- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 abstract 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 8
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 4
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 2
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 230000003213 activating effect Effects 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
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- Automatic Focus Adjustment (AREA)
- Lens Barrels (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、無限遠光学系ｗ４微鏡等に使用される自動
焦点調整用対物レンズ駆動装置に関するものである。
焦点調整用対物レンズ駆動装置に関するものである。
近年、無限遠光学系顕微鏡等に使用される自動焦点調整
用対物レンズ駆動装置は、顕微鏡作業の自動化において
はなくてはならないものとなっている。また、無限遠光
学系ＷＩ微鏡による半導体や磁気ヘッドのトラック幅、
ギャップ幅の測定においては、サブミクロンの測定精度
が要求されている。したがって、自動焦点調整用対物レ
ンズ駆動装置においては、生産性の上から高速性と、測
定精度の上からは高倍率対物レンズに対応する位置決め
精度の高いものが要求されている。さらに、振動に強い
剛性を持ち、コンパクトでシンプルなものが要求されて
いる。
用対物レンズ駆動装置は、顕微鏡作業の自動化において
はなくてはならないものとなっている。また、無限遠光
学系ＷＩ微鏡による半導体や磁気ヘッドのトラック幅、
ギャップ幅の測定においては、サブミクロンの測定精度
が要求されている。したがって、自動焦点調整用対物レ
ンズ駆動装置においては、生産性の上から高速性と、測
定精度の上からは高倍率対物レンズに対応する位置決め
精度の高いものが要求されている。さらに、振動に強い
剛性を持ち、コンパクトでシンプルなものが要求されて
いる。
従来のこの種の自動焦点調整用対物レンズ駆動装置を第
３図に基づいて説明する。
３図に基づいて説明する。
この自動焦点調整用対物レンズ駆動装置は、第３図に示
すように、対物レンズ５１を取り付ける対物レンズホル
ダ５２と、この対物レンズホルダ５２をガイドするスラ
イドガイド５３と、対物レンズホルダに焦点方向への力
を加える圧縮ばね５４と、アーム５６と、このアーム５
６を一定■回動させる偏心カム５７と、偏心カム５７を
回動させるモータ（図示せず）とから構成している。
すように、対物レンズ５１を取り付ける対物レンズホル
ダ５２と、この対物レンズホルダ５２をガイドするスラ
イドガイド５３と、対物レンズホルダに焦点方向への力
を加える圧縮ばね５４と、アーム５６と、このアーム５
６を一定■回動させる偏心カム５７と、偏心カム５７を
回動させるモータ（図示せず）とから構成している。
また、アーム５６は、ガイドピン５５で対物レンズホル
ダ５２と連結されている。５Ｂはアーム５６の支点を示
している。
ダ５２と連結されている。５Ｂはアーム５６の支点を示
している。
偏心カム５７はモータにより回動し、アーム５６をアー
ム５６の支点５８を中心に一定量動かす。
ム５６の支点５８を中心に一定量動かす。
そして、アーム５６は、ガイドピン５５を介し対物レン
ズホルダ５２を移動させ、対物レンズ５１を焦点方向に
動かす。圧縮ばね５４は、ガイドピン５５を介してアー
ム５６に力を伝え、アーム５６が偏心カム５７の回動に
沿うようにしている。
ズホルダ５２を移動させ、対物レンズ５１を焦点方向に
動かす。圧縮ばね５４は、ガイドピン５５を介してアー
ム５６に力を伝え、アーム５６が偏心カム５７の回動に
沿うようにしている。
（発明が解決しようとする課題〕
この従来の自動焦点調整用対物レンズ駆動装置は、前述
の構成のため、部品点数が多く、構造が複雑であった。
の構成のため、部品点数が多く、構造が複雑であった。
この結果、コストも高くなるというζ題があった。
また、駆動源にモータを使用するため、モータの振動を
防ぐため、スライドガイド５３の剛性を高めなければな
らないという問題があった。
防ぐため、スライドガイド５３の剛性を高めなければな
らないという問題があった。
さらに、偏心カム５７．アーム５６およびスライドガイ
ド５３がそれぞれ接触し、摺動するため、摩耗して、精
度の長期的保証ができないという問題があった。
ド５３がそれぞれ接触し、摺動するため、摩耗して、精
度の長期的保証ができないという問題があった。
したがって、この発明の目的は、簡単な構成で、摩耗の
ない長期的精度保証のできる自動焦点調整用対物レンズ
駆動装置を提供することである。
ない長期的精度保証のできる自動焦点調整用対物レンズ
駆動装置を提供することである。
この発明の自動焦点調整用対物レンズ駆動装置は、対物
レンズを取り付ける対物レンズホルダと、この対物レン
ズホルダを先端部に取り付けた平行ばねと、対物レンズ
を焦点方向に移動させるように平行ばねを変位させるピ
エゾ素子と、ごのピエゾ素子を設置するブロックとを備
えた構成としている。
レンズを取り付ける対物レンズホルダと、この対物レン
ズホルダを先端部に取り付けた平行ばねと、対物レンズ
を焦点方向に移動させるように平行ばねを変位させるピ
エゾ素子と、ごのピエゾ素子を設置するブロックとを備
えた構成としている。
また、平行ばねの基端部をブロックに固定した構造とし
ている。
ている。
（作 用）
この発明の構成によれば、平行ばねの先端部に対物レン
ズホルダを取り付け、対物レンズを焦点方向に移動させ
るように平行ばねを変位させるピエゾ素子をブロックに
配置したので、ピエゾ素子の動きに沿って対物レンズが
焦点方向に移動する。
ズホルダを取り付け、対物レンズを焦点方向に移動させ
るように平行ばねを変位させるピエゾ素子をブロックに
配置したので、ピエゾ素子の動きに沿って対物レンズが
焦点方向に移動する。
また、平行ばねの基端部をブロックに固定した場合は、
ピエゾ素子に駆動されたときの平行ばねの基端部の抗力
をブロックで吸収することができる。
ピエゾ素子に駆動されたときの平行ばねの基端部の抗力
をブロックで吸収することができる。
［実施例〕
この発明の自動焦点調整用対物レンズ駆動装置の一実施
例を第１図に基づいて説明する。
例を第１図に基づいて説明する。
この自動焦点調整用対物レンズ駆動装置は、第１図に示
すように、対物レンズ１を取り付ける対物レンズホルダ
２と、この対物レンズホルダ２を先端部５ａに取り付け
た平行ばね５と、対物レンズ１を焦点方向に移動させる
ように平行ばね５を変位させるピエゾ素子４と、このピ
エゾ素子４を設置するブロック６とを備えた構成として
いる。
すように、対物レンズ１を取り付ける対物レンズホルダ
２と、この対物レンズホルダ２を先端部５ａに取り付け
た平行ばね５と、対物レンズ１を焦点方向に移動させる
ように平行ばね５を変位させるピエゾ素子４と、このピ
エゾ素子４を設置するブロック６とを備えた構成として
いる。
３は光学系支持プレートを示している。
この実施例の構成によれば、ピエゾ素子４に電圧を印加
すると、ピエゾ素子４が平行ばね５を押して対物レンズ
１を焦点方向に移動させる。このように、摺動面をなく
し、部品点数の少ない簡単な構成にしたので、摩耗をな
くし、精度の長期的信頬性を確保でき、またコストを削
減できる。
すると、ピエゾ素子４が平行ばね５を押して対物レンズ
１を焦点方向に移動させる。このように、摺動面をなく
し、部品点数の少ない簡単な構成にしたので、摩耗をな
くし、精度の長期的信頬性を確保でき、またコストを削
減できる。
また、この実施例の自動焦点調整用対物レンズ駆動装置
は、平行ばね５とブロック６とを別々に光学系支持プレ
ート３に取り付け、組立ｍ整するようにしているので、
各部品の加工精度をあまり重視しなくてもよいものとで
きる。
は、平行ばね５とブロック６とを別々に光学系支持プレ
ート３に取り付け、組立ｍ整するようにしているので、
各部品の加工精度をあまり重視しなくてもよいものとで
きる。
この発明の他の実施例を第２図に基づいて説明する。
この自動焦点調整用対物レンズ駆動装置は、第２図に示
すように、平行ばね７の基端部７ａをブロック８に固定
している。他の構成は、前述の実施例と同様である。
すように、平行ばね７の基端部７ａをブロック８に固定
している。他の構成は、前述の実施例と同様である。
この実施例の構成によれば、ピエゾ素子４に駆動された
ときの平行ばね７の基端部７ａの抗力をブロック８で吸
収することができる。このことにより、光学系支持プレ
ート３での平行ばね７の基端部７ａの抗力による歪みの
対策を行う必要がなくなり、光学系支持プレート３の板
厚を厚くする必要がなくなる。
ときの平行ばね７の基端部７ａの抗力をブロック８で吸
収することができる。このことにより、光学系支持プレ
ート３での平行ばね７の基端部７ａの抗力による歪みの
対策を行う必要がなくなり、光学系支持プレート３の板
厚を厚くする必要がなくなる。
この結果、前述の実施例の効果に加え、装置をよりコン
パクトにできる。
パクトにできる。
また、この実施例の自動焦点調整用対物レンズ駆動装置
は、平行ばね７とブロック８とを一体化させているので
、ユニット化でき、光学系支持プレート３への取り付け
、取り外しが簡単に行える。
は、平行ばね７とブロック８とを一体化させているので
、ユニット化でき、光学系支持プレート３への取り付け
、取り外しが簡単に行える。
この発明の自動焦点調整用対物レンズ駆動装置は、平行
ばねの先端部に対物レンズホルダを取り付け、対物レン
ズを焦点方向に移動させるように平行ばねをピエゾ素子
で変位させるようにしたので、ピエゾ素子の動きに沿っ
て対物レンズを焦点方向に移動させることができる。こ
のように、摺動面をなくし、部品点数のすくない簡単な
構成にしたので、摩耗のない長期的精度保証のできる自
動焦点調整用対物レンズ駆動装置を提供することができ
る。
ばねの先端部に対物レンズホルダを取り付け、対物レン
ズを焦点方向に移動させるように平行ばねをピエゾ素子
で変位させるようにしたので、ピエゾ素子の動きに沿っ
て対物レンズを焦点方向に移動させることができる。こ
のように、摺動面をなくし、部品点数のすくない簡単な
構成にしたので、摩耗のない長期的精度保証のできる自
動焦点調整用対物レンズ駆動装置を提供することができ
る。
また、平行ばねの基端部をブロックに固定した場合は、
ピエゾ素子に駆動されたときの平行ばねの基端部の抗力
をブロックで吸収することができる。したがって、他の
部分において平行ばねの基端部の抗力による歪みの対策
を行う必要がなくなる。この結果、よりコンパクトな自
動焦点調整用対物レンズ駆動装置を提供することができ
る。
ピエゾ素子に駆動されたときの平行ばねの基端部の抗力
をブロックで吸収することができる。したがって、他の
部分において平行ばねの基端部の抗力による歪みの対策
を行う必要がなくなる。この結果、よりコンパクトな自
動焦点調整用対物レンズ駆動装置を提供することができ
る。
第１図はこの発明の一実施例の構成を示す斜視図、第２
図は他の実施例の構成を示す斜視図、第３図は従来の自
動焦点調整用対物レンズ駆動装置の構成を示す側面図で
ある。 ｌ・・・対物レンズ、２・・・対物レンズホルダ、４・
・・ピエゾ素子、５．７・・・平行ばね、６．８・・・
ブロック、５ａ・・・先端部、７ａ・・・基端部筒 ２
１ 第１図
図は他の実施例の構成を示す斜視図、第３図は従来の自
動焦点調整用対物レンズ駆動装置の構成を示す側面図で
ある。 ｌ・・・対物レンズ、２・・・対物レンズホルダ、４・
・・ピエゾ素子、５．７・・・平行ばね、６．８・・・
ブロック、５ａ・・・先端部、７ａ・・・基端部筒 ２
１ 第１図
Claims (2)
- （１）対物レンズを取り付ける対物レンズホルダと、こ
の対物レンズホルダを先端部に取り付けた平行ばねと、
前記対物レンズを焦点方向に移動させるように前記平行
ばねを変位させるピエゾ素子と、このピエゾ素子を設置
するブロックとを備えた自動焦点調整用対物レンズ駆動
装置。 - （２）前記平行ばねの基端部を前記ブロックに固定した
特許請求の範囲第（１）項記載の自動焦点調整用対物レ
ンズ駆動装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63238586A JP2551638B2 (ja) | 1988-09-22 | 1988-09-22 | 自動焦点調整用対物レンズ駆動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63238586A JP2551638B2 (ja) | 1988-09-22 | 1988-09-22 | 自動焦点調整用対物レンズ駆動装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0287108A true JPH0287108A (ja) | 1990-03-28 |
| JP2551638B2 JP2551638B2 (ja) | 1996-11-06 |
Family
ID=17032404
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63238586A Expired - Fee Related JP2551638B2 (ja) | 1988-09-22 | 1988-09-22 | 自動焦点調整用対物レンズ駆動装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2551638B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06109963A (ja) * | 1992-09-25 | 1994-04-22 | Olympus Optical Co Ltd | 顕微鏡の焦点調整機構 |
| JP2001305432A (ja) * | 2000-04-19 | 2001-10-31 | Olympus Optical Co Ltd | フォーカス安定装置 |
| JP2004514920A (ja) * | 2000-05-03 | 2004-05-20 | ダーク・ソーンクセン | 全自動迅速顕微鏡用スライドスキャナ |
| JP2006139210A (ja) * | 2004-11-15 | 2006-06-01 | Olympus Corp | 顕微鏡観察装置 |
| EP2458421A1 (de) * | 2010-11-26 | 2012-05-30 | Leica Microsystems CMS GmbH | Einrichtung zum Fokussieren eines Mikroskopobjektivs auf eine Probe |
| US8923597B2 (en) | 2004-05-27 | 2014-12-30 | Leica Biosystems Imaging, Inc. | Creating and viewing three dimensional virtual slides |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61134934A (ja) * | 1984-12-04 | 1986-06-23 | Toshiba Corp | 光学式記録再生装置の対物レンズ駆動機構 |
| JPS62205542A (ja) * | 1986-03-06 | 1987-09-10 | Canon Inc | 光学系駆動装置 |
| JPS62245535A (ja) * | 1986-04-17 | 1987-10-26 | Canon Inc | 光学系駆動装置 |
| JPH0226121U (ja) * | 1988-07-30 | 1990-02-21 |
-
1988
- 1988-09-22 JP JP63238586A patent/JP2551638B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPS61134934A (ja) * | 1984-12-04 | 1986-06-23 | Toshiba Corp | 光学式記録再生装置の対物レンズ駆動機構 |
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| JPS62245535A (ja) * | 1986-04-17 | 1987-10-26 | Canon Inc | 光学系駆動装置 |
| JPH0226121U (ja) * | 1988-07-30 | 1990-02-21 |
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPH06109963A (ja) * | 1992-09-25 | 1994-04-22 | Olympus Optical Co Ltd | 顕微鏡の焦点調整機構 |
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| JP2011232762A (ja) * | 2000-05-03 | 2011-11-17 | Aperio Technologies Inc | 全自動迅速顕微鏡用スライドスキャナ |
| US8385619B2 (en) | 2000-05-03 | 2013-02-26 | Aperio Technologies, Inc. | Fully automatic rapid microscope slide scanner |
| US9386211B2 (en) | 2000-05-03 | 2016-07-05 | Leica Biosystems Imaging, Inc. | Fully automatic rapid microscope slide scanner |
| US9851550B2 (en) | 2000-05-03 | 2017-12-26 | Leica Biosystems Imaging, Inc. | Fully automatic rapid microscope slide scanner |
| US8923597B2 (en) | 2004-05-27 | 2014-12-30 | Leica Biosystems Imaging, Inc. | Creating and viewing three dimensional virtual slides |
| US9069179B2 (en) | 2004-05-27 | 2015-06-30 | Leica Biosystems Imaging, Inc. | Creating and viewing three dimensional virtual slides |
| JP2006139210A (ja) * | 2004-11-15 | 2006-06-01 | Olympus Corp | 顕微鏡観察装置 |
| EP2458421A1 (de) * | 2010-11-26 | 2012-05-30 | Leica Microsystems CMS GmbH | Einrichtung zum Fokussieren eines Mikroskopobjektivs auf eine Probe |
| US8964287B2 (en) | 2010-11-26 | 2015-02-24 | Leica Microsystems Cms Gmbh | Device for focusing a microscope objective on a sample |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2551638B2 (ja) | 1996-11-06 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |