JP2700911B2 - 測尺装置のスケール取付方法及び取付具 - Google Patents
測尺装置のスケール取付方法及び取付具Info
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- JP2700911B2 JP2700911B2 JP1047902A JP4790289A JP2700911B2 JP 2700911 B2 JP2700911 B2 JP 2700911B2 JP 1047902 A JP1047902 A JP 1047902A JP 4790289 A JP4790289 A JP 4790289A JP 2700911 B2 JP2700911 B2 JP 2700911B2
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は例えばスケール装置等超高精度の測尺装置に
使用して好適な測尺装置のスケール取付方法及び取付具
に関する。
使用して好適な測尺装置のスケール取付方法及び取付具
に関する。
本発明は例えばスケール装置等超高精度の測尺装置に
使用して好適な測尺装置のスケール取付方法及び取付具
に関し、スケールを部材に取付具を介して取付けるに、
この取付具に第１の孔と、第２の孔と、挟持部とを設
け、この第１の孔によりこの取付具をこの部材に固定
し、その後この第２の孔をネジで締付けることによりこ
の部材とこの取付具の挟持部とでこのスケールを挟持固
定する様にしたことによりスケールを取付ける際にスケ
ールの変形を共なう誤差発生を解消し、精度変化が無
く、測尺装置の精度再現性を良くする様にしたものであ
る。
使用して好適な測尺装置のスケール取付方法及び取付具
に関し、スケールを部材に取付具を介して取付けるに、
この取付具に第１の孔と、第２の孔と、挟持部とを設
け、この第１の孔によりこの取付具をこの部材に固定
し、その後この第２の孔をネジで締付けることによりこ
の部材とこの取付具の挟持部とでこのスケールを挟持固
定する様にしたことによりスケールを取付ける際にスケ
ールの変形を共なう誤差発生を解消し、精度変化が無
く、測尺装置の精度再現性を良くする様にしたものであ
る。
従来例えばスケール装置のスケールを工作機械等の部
材に取付けるのに第11図に示す如く、例えば0.55μｍの
ピッチの格子が付されたスケール（１）の取付部（1a）
をバネ材より成る板状の取付具（２）と部材（３）とで
狭持する如くしていた。この取付具（２）は板状のバネ
材を略コ字状としたもので、このコ字状の主部（2a）の
並列に２個のネジ孔が設けられ、第12図に示す如くこの
２個のネジ孔を通しワッシャ（５）を介して夫々取付ネ
ジ（４）を部材（３）の所定位置に締め付け、この取付
具（２）を固定すると共にこの取付具（２）の２つの脚
部（2b）（2c）と部材（３）とでこのスケール（１）の
取付部（1a）を弾性的に狭持固定する如くしていた。斯
るスケール装置に依れば10nmのオーダの超高精度の測尺
ができる。
材に取付けるのに第11図に示す如く、例えば0.55μｍの
ピッチの格子が付されたスケール（１）の取付部（1a）
をバネ材より成る板状の取付具（２）と部材（３）とで
狭持する如くしていた。この取付具（２）は板状のバネ
材を略コ字状としたもので、このコ字状の主部（2a）の
並列に２個のネジ孔が設けられ、第12図に示す如くこの
２個のネジ孔を通しワッシャ（５）を介して夫々取付ネ
ジ（４）を部材（３）の所定位置に締め付け、この取付
具（２）を固定すると共にこの取付具（２）の２つの脚
部（2b）（2c）と部材（３）とでこのスケール（１）の
取付部（1a）を弾性的に狭持固定する如くしていた。斯
るスケール装置に依れば10nmのオーダの超高精度の測尺
ができる。
然しながら従来の如くスケール（１）の取付を行なっ
たときは取付ネジ（４）により取付具（２）を固定する
と共にこの取付具（２）と部材（３）とでスケール
（１）を狭持固定しているので第12図Ａ及びＢに示す如
く取付ネジ（４）を締め付けるときにワッシャ（５）を
介して取付具（２）に矢印Ｆに示す如き力が作用し、こ
れがスケール（１）に最終的に作用しこのスケール
（１）が変形する。この変形による誤差量は0.1μｍの
オーダであり、一般的な測尺装置の精度では問題となら
ない量であるが、上述のスケール装置の如く10nmのオー
ダの超高精度の測尺装置ではこの変形によって生じる誤
差も問題となり、精度の再現性不良となっていた。
たときは取付ネジ（４）により取付具（２）を固定する
と共にこの取付具（２）と部材（３）とでスケール
（１）を狭持固定しているので第12図Ａ及びＢに示す如
く取付ネジ（４）を締め付けるときにワッシャ（５）を
介して取付具（２）に矢印Ｆに示す如き力が作用し、こ
れがスケール（１）に最終的に作用しこのスケール
（１）が変形する。この変形による誤差量は0.1μｍの
オーダであり、一般的な測尺装置の精度では問題となら
ない量であるが、上述のスケール装置の如く10nmのオー
ダの超高精度の測尺装置ではこの変形によって生じる誤
差も問題となり、精度の再現性不良となっていた。
本発明は斯る点に鑑みスケールを取付ける際のスケー
ルの変形をなくし測尺装置の精度変形が無く、測尺装置
の精度再現性を良くすることを目的とする。
ルの変形をなくし測尺装置の精度変形が無く、測尺装置
の精度再現性を良くすることを目的とする。
本発明測尺装置のスケール取付方法は例えば第１図，
第２図及び第３図に示す如くスケール（１）を部材
（３）に取付具（２）を介して取付けるに、この取付具
（２）に第１の孔（7a）（7b）と、第２の孔（6a）（6
b）と、挟持部（2b）（2d）（2c）とを設け、この第１
の孔（7a）（7b）によりこの取付具（２）を部材（３）
に固定し、その後この第２の孔（6a）（6b）をネジ
（８）で締付けることによりこの部材（３）とこの取付
具の挟持部とでスケール（１）を挟持固定する様にした
ものである。
第２図及び第３図に示す如くスケール（１）を部材
（３）に取付具（２）を介して取付けるに、この取付具
（２）に第１の孔（7a）（7b）と、第２の孔（6a）（6
b）と、挟持部（2b）（2d）（2c）とを設け、この第１
の孔（7a）（7b）によりこの取付具（２）を部材（３）
に固定し、その後この第２の孔（6a）（6b）をネジ
（８）で締付けることによりこの部材（３）とこの取付
具の挟持部とでスケール（１）を挟持固定する様にした
ものである。
また本願発明測尺装置のスケール取付具は、例えば第
２図に示す如く、取付具（２）自身を部材（３）に固定
する第１の孔（7a）（7b）と、スケール（１）をこの部
材（３）と挟持固定する挟持部（2b）（2d）（2c）と、
この部材（３）とこの挟持部（2b）（2d）（2c）と間を
締付ける第２の孔（6a）（6b）とを有するものである。
２図に示す如く、取付具（２）自身を部材（３）に固定
する第１の孔（7a）（7b）と、スケール（１）をこの部
材（３）と挟持固定する挟持部（2b）（2d）（2c）と、
この部材（３）とこの挟持部（2b）（2d）（2c）と間を
締付ける第２の孔（6a）（6b）とを有するものである。
本発明に依れば取付具（２）を部材（３）に取付けた
後に、この取付具（２）によりスケール（１）を固定す
るので、このスケール（１）を固定するのに取付具
（２）に変位力が作用しても、この変位力がスケール
（１）に作用せず、このスケール（１）の取付けの際に
スケール（１）の変形が生じない。
後に、この取付具（２）によりスケール（１）を固定す
るので、このスケール（１）を固定するのに取付具
（２）に変位力が作用しても、この変位力がスケール
（１）に作用せず、このスケール（１）の取付けの際に
スケール（１）の変形が生じない。
以下第１図，第２図及び第３図を参照して本発明の一
実施例につき説明しよう。
実施例につき説明しよう。
この第１図，第２図及び第３図に於いて、第11図に対
応する部分には同一符号を付し、その詳細説明は省略す
る。
応する部分には同一符号を付し、その詳細説明は省略す
る。
第１図例に於いても例えば0.55μｍピッチの格子が付
されたスケール（１）を工作機械等の部材（３）に取付
けるに取付具（２）を用いる。
されたスケール（１）を工作機械等の部材（３）に取付
けるに取付具（２）を用いる。
本例に於いてはこの取付具（２）を第２図Ａ及びＢに
示す如く板状のバネ材を略Ｅ字状としたもので、このＥ
字状の主部（2a）に並列に２個のネジ孔（6a）（6b）を
形成すると共に３個の脚部（2b）（2c）（2d）の遊端部
に円弧状のスケール押え部を形成し、更にこの主部（2
a）の脚部（2b）（2c）（2d）とは反対側の両側に延長
部（2e）及び（2f）を設け、この延長部（2e）及び（2
f）にネジ孔（7a）及び（7b）を夫々設けると共にこの
延長部（2e）及び（2f）をＥ字状部に対し５゜〜８゜程
度傾斜する如く折り曲げる。
示す如く板状のバネ材を略Ｅ字状としたもので、このＥ
字状の主部（2a）に並列に２個のネジ孔（6a）（6b）を
形成すると共に３個の脚部（2b）（2c）（2d）の遊端部
に円弧状のスケール押え部を形成し、更にこの主部（2
a）の脚部（2b）（2c）（2d）とは反対側の両側に延長
部（2e）及び（2f）を設け、この延長部（2e）及び（2
f）にネジ孔（7a）及び（7b）を夫々設けると共にこの
延長部（2e）及び（2f）をＥ字状部に対し５゜〜８゜程
度傾斜する如く折り曲げる。
斯る本例による取付具（２）を使用してスケール
（１）を工作機械等の部材（３）に取付けるときは先ず
第３図A,Bに示す如くこの取付具（２）を部材（３）の
所定位置にこの取付具（２）の主部（2a）の延長部（2
e）及び（2f）に夫々設けられたネジ孔（7a）及び（7
b）により取付ネジ（９）により締め付けてこの取付具
（２）を固定する。この場合取付具（２）に変位力は作
用するが、この３つの脚部（2b）（2c）（2d）の押え部
は延長部（2e）（2f）に対して例えば５゜〜８゜傾斜し
ているので、この３つの脚部（2b）（2c）（2d）はスケ
ール（１）に接触せず、この変位力がスケール（１）に
作用しない。
（１）を工作機械等の部材（３）に取付けるときは先ず
第３図A,Bに示す如くこの取付具（２）を部材（３）の
所定位置にこの取付具（２）の主部（2a）の延長部（2
e）及び（2f）に夫々設けられたネジ孔（7a）及び（7
b）により取付ネジ（９）により締め付けてこの取付具
（２）を固定する。この場合取付具（２）に変位力は作
用するが、この３つの脚部（2b）（2c）（2d）の押え部
は延長部（2e）（2f）に対して例えば５゜〜８゜傾斜し
ているので、この３つの脚部（2b）（2c）（2d）はスケ
ール（１）に接触せず、この変位力がスケール（１）に
作用しない。
次に第４図A,Bに示す如く取付具（２）の主部（2a）
に設けたネジ孔（6a）（6b）を通し取付ネジ（８）を部
材（３）に対し締め付け、この取付具（２）の３つの脚
部（2b）（2c）（2d）の押え部と部材（３）の所定位置
とでこのスケール（１）の取付部（1a）を弾性的に狭持
してこの部材（３）にスケール（１）を固定する。この
場合取付具（２）は取付ネジ（９）により予め部材
（３）に固定されているため、取付ネジ（８）の締め付
け時に生じる力Ｆによる取付具（２）の変位を押さえる
ことができ、このときの取付ネジ（８）の締め付けによ
る力はこのスケール（１）に作用しなくなり、このスケ
ール（１）の取付時にこのスケール（１）の取付具
（２）による変形はほとんど生じない。因みに本例によ
ればこのスケール（１）の取付時に生ずる誤差は従来の
1/10程度であった。第１図に於いて（10）は半導体レー
ザ等より構成された検出用ヘッド装置である。
に設けたネジ孔（6a）（6b）を通し取付ネジ（８）を部
材（３）に対し締め付け、この取付具（２）の３つの脚
部（2b）（2c）（2d）の押え部と部材（３）の所定位置
とでこのスケール（１）の取付部（1a）を弾性的に狭持
してこの部材（３）にスケール（１）を固定する。この
場合取付具（２）は取付ネジ（９）により予め部材
（３）に固定されているため、取付ネジ（８）の締め付
け時に生じる力Ｆによる取付具（２）の変位を押さえる
ことができ、このときの取付ネジ（８）の締め付けによ
る力はこのスケール（１）に作用しなくなり、このスケ
ール（１）の取付時にこのスケール（１）の取付具
（２）による変形はほとんど生じない。因みに本例によ
ればこのスケール（１）の取付時に生ずる誤差は従来の
1/10程度であった。第１図に於いて（10）は半導体レー
ザ等より構成された検出用ヘッド装置である。
従って本例に依ればスケール（１）を取付ける際のス
ケール（１）の変形をなくすことができ測尺装置の精度
変化が無く、この測尺装置の精度再現性を良くすること
ができる利益がある。
ケール（１）の変形をなくすことができ測尺装置の精度
変化が無く、この測尺装置の精度再現性を良くすること
ができる利益がある。
第５図，第６図‥‥第10図は夫々取付具（２）の他の
実施例を示し、夫々Ａは平面図、Ｂは側面図、Ｃは背面
図を示す。之等第５図，第６図‥‥第10図例は夫々板状
のバネ材より形成したものであり、第２図に対応する部
分に同一符号を付し、その詳細説明は省略する。
実施例を示し、夫々Ａは平面図、Ｂは側面図、Ｃは背面
図を示す。之等第５図，第６図‥‥第10図例は夫々板状
のバネ材より形成したものであり、第２図に対応する部
分に同一符号を付し、その詳細説明は省略する。
斯る第５図，第６図‥‥第10図の取付具（２）に於い
ても第２図の取付具（２）と同様の作用効果が得られる
ことは容易に理解できよう。また上述例に於いては取付
具（２）として板状バネ材を使用したが、この代りに押
え部にコルク，ゴム等の弾性体を設けた鉄板等が使用で
きることは勿論である。
ても第２図の取付具（２）と同様の作用効果が得られる
ことは容易に理解できよう。また上述例に於いては取付
具（２）として板状バネ材を使用したが、この代りに押
え部にコルク，ゴム等の弾性体を設けた鉄板等が使用で
きることは勿論である。
尚上述例に於いてはスケール装置のスケール（１）を
取付ける例につき述べたが、本発明はその他の測尺装置
のスケールを取付ける場合にも使用できることは勿論で
ある。
取付ける例につき述べたが、本発明はその他の測尺装置
のスケールを取付ける場合にも使用できることは勿論で
ある。
また、本発明は上述実施例に限らず本発明の要旨を逸
脱することなくその他種々の構成が取り得ることは勿論
である。
脱することなくその他種々の構成が取り得ることは勿論
である。
本発明に依ればスケールを取付ける際のスケールの変
形をなくすことができ測尺装置の精度変化が無く、この
測尺装置の精度再現性を良くすることができる。
形をなくすことができ測尺装置の精度変化が無く、この
測尺装置の精度再現性を良くすることができる。
第１図は本発明に依る測尺装置の例を示す斜視図、第２
図Ａ及びＢは本発明に依る取付具の例を示す平面図及び
側面図、第３図及び第４図は夫々本発明の説明に供する
線図、第５図，第６図〜第10図は夫々取付具の他の例を
示す線図、第11図は従来のスケール取付例を示す斜視
図、第12図は第11図の説明に供する線図である。 （１）はスケール、（２）は取付具、（2a）は主部、
（2b）（2c）（2d）は夫々脚部、（2e）（2f）は延長
部、（３）は部材、（6a）（6b）（7a）及び（7b）は夫
々ネジ孔、（８）及び（９）は夫々取付ネジである。
図Ａ及びＢは本発明に依る取付具の例を示す平面図及び
側面図、第３図及び第４図は夫々本発明の説明に供する
線図、第５図，第６図〜第10図は夫々取付具の他の例を
示す線図、第11図は従来のスケール取付例を示す斜視
図、第12図は第11図の説明に供する線図である。 （１）はスケール、（２）は取付具、（2a）は主部、
（2b）（2c）（2d）は夫々脚部、（2e）（2f）は延長
部、（３）は部材、（6a）（6b）（7a）及び（7b）は夫
々ネジ孔、（８）及び（９）は夫々取付ネジである。
フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭63−111410（ＪＰ，Ａ) 実開 昭61−112649（ＪＰ，Ｕ)
Claims (2)
- 【請求項１】スケールを部材に取付具を介して取付ける
に、 該取付具に第１の孔と、第２の孔と、挟持部とを設け、
前記第１の孔により前記取付具を前記部材に固定し、そ
の後前記第２の孔をネジで締付けることにより前記部材
と前記取付具の挟持部とで前記スケールを挟持固定する
様にしたことを特徴とする測尺装置のスケール取付方
法。 - 【請求項２】取付具自身を部材に固定する第１の孔と、 スケールを前記部材と挟持固定する挟持部と、 前記部材と前記挟持部と間を締付ける第２の孔とを有す
ることを特徴とする測尺装置のスケール取付具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1047902A JP2700911B2 (ja) | 1989-02-28 | 1989-02-28 | 測尺装置のスケール取付方法及び取付具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1047902A JP2700911B2 (ja) | 1989-02-28 | 1989-02-28 | 測尺装置のスケール取付方法及び取付具 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02227607A JPH02227607A (ja) | 1990-09-10 |
| JP2700911B2 true JP2700911B2 (ja) | 1998-01-21 |
Family
ID=12788325
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1047902A Expired - Fee Related JP2700911B2 (ja) | 1989-02-28 | 1989-02-28 | 測尺装置のスケール取付方法及び取付具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2700911B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004301541A (ja) * | 2003-03-28 | 2004-10-28 | Mitsutoyo Corp | 長さ測定装置の弾性固定具及び固定方法 |
| DE102005027025B4 (de) * | 2005-06-11 | 2015-04-30 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Halterung für einen Maßstab |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3635511A1 (de) * | 1986-10-18 | 1988-04-28 | Zeiss Carl Fa | Halterung fuer mass- und formverkoerperung |
-
1989
- 1989-02-28 JP JP1047902A patent/JP2700911B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02227607A (ja) | 1990-09-10 |
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