JP3304213B2 - 摺動案内装置 - Google Patents
摺動案内装置Info
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- JP3304213B2 JP3304213B2 JP25355694A JP25355694A JP3304213B2 JP 3304213 B2 JP3304213 B2 JP 3304213B2 JP 25355694 A JP25355694 A JP 25355694A JP 25355694 A JP25355694 A JP 25355694A JP 3304213 B2 JP3304213 B2 JP 3304213B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、相対移動する部材間に
エアーベアリング装置を設けた摺動案内装置に関する。
たとえば、被測定物の寸法や形状などを測定する三次元
測定機において、各軸の摺動案内機構に利用できる。
エアーベアリング装置を設けた摺動案内装置に関する。
たとえば、被測定物の寸法や形状などを測定する三次元
測定機において、各軸の摺動案内機構に利用できる。
【０００２】
【背景技術】たとえば、被測定物の寸法や形状などを測
定する三次元測定機においては、各軸の相対移動する部
材間にエアーベアリング装置を設けた摺動案内装置が用
いられている。従来の摺動案内装置として、本出願人が
先に出願した実公平５−１７４４７号公報の摺動案内装
置が知られている。これは、互いに平行な摺動案内面を
有する第１の部材と、この第１の部材の摺動案内面を挟
んで対向配置された少なくとも一組のエアーパッドを有
し、第１の部材に沿って摺動しながら移動する第２の部
材とを備えた摺動案内装置において、第２の部材の高速
化をはかるべく、第１の部材をセラミックス、第２の部
材をアルミニウムで形成するとともに、それらの線膨張
係数が異なる材料を用いたことによるエアーベアリング
装置のクリアランス変動を補償すべく、前記一組のエア
ーパッドのうちの少なくとも一方側のエアーパッドを、
所定の温度変化に伴う第１の部材と第２の部材との熱収
縮、膨張差分を吸収できる剛性を有する皿ばねを介して
第２の部材に係合するとともに、その皿ばねを第２の部
材に螺合されかつ摺動案内面に対して進退自在な調整ね
じの先端に保持した構造である。
定する三次元測定機においては、各軸の相対移動する部
材間にエアーベアリング装置を設けた摺動案内装置が用
いられている。従来の摺動案内装置として、本出願人が
先に出願した実公平５−１７４４７号公報の摺動案内装
置が知られている。これは、互いに平行な摺動案内面を
有する第１の部材と、この第１の部材の摺動案内面を挟
んで対向配置された少なくとも一組のエアーパッドを有
し、第１の部材に沿って摺動しながら移動する第２の部
材とを備えた摺動案内装置において、第２の部材の高速
化をはかるべく、第１の部材をセラミックス、第２の部
材をアルミニウムで形成するとともに、それらの線膨張
係数が異なる材料を用いたことによるエアーベアリング
装置のクリアランス変動を補償すべく、前記一組のエア
ーパッドのうちの少なくとも一方側のエアーパッドを、
所定の温度変化に伴う第１の部材と第２の部材との熱収
縮、膨張差分を吸収できる剛性を有する皿ばねを介して
第２の部材に係合するとともに、その皿ばねを第２の部
材に螺合されかつ摺動案内面に対して進退自在な調整ね
じの先端に保持した構造である。
【０００３】この構造によれば、温度が変化すると、た
とえば、温度が低下すると、第１の部材と第２の部材の
熱収縮差によってエアーパッドと第１の部材との間のク
リアランスが減少し、エアーパッドの負荷荷重が増大す
る。すると、皿ばねが弾性変形するので、クリアランス
の減少分が皿ばねの弾性変形によって吸収され、その結
果、第１の部材とエアーパッドとのクリアランスを適正
値内に抑えることができる。また、調整ねじを各エアー
パッドごとに調整すると、皿ばねの撓み量が変化するの
で、エアーパッドと第２の部材との間の弾性力を変化さ
せることができる。このため、第２の部材に生じる負荷
荷重に応じて調整ねじを調整すれば、皿ばねの弾性力に
よる負荷荷重を受け持つ割合を変化させることができ、
その結果、各エアーパッドと第１の部材とのクリアラン
スを常に適正範囲内に維持させることができる。
とえば、温度が低下すると、第１の部材と第２の部材の
熱収縮差によってエアーパッドと第１の部材との間のク
リアランスが減少し、エアーパッドの負荷荷重が増大す
る。すると、皿ばねが弾性変形するので、クリアランス
の減少分が皿ばねの弾性変形によって吸収され、その結
果、第１の部材とエアーパッドとのクリアランスを適正
値内に抑えることができる。また、調整ねじを各エアー
パッドごとに調整すると、皿ばねの撓み量が変化するの
で、エアーパッドと第２の部材との間の弾性力を変化さ
せることができる。このため、第２の部材に生じる負荷
荷重に応じて調整ねじを調整すれば、皿ばねの弾性力に
よる負荷荷重を受け持つ割合を変化させることができ、
その結果、各エアーパッドと第１の部材とのクリアラン
スを常に適正範囲内に維持させることができる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来の摺動案内装置の
構造では、クリアランス変動を皿ばねの弾性変形によっ
て吸収するものであるから、温度変化に伴う第１の部材
と第２の部材との熱収縮、膨張差分程度のクリアランス
変動を吸収できるとしても、第１の部材の各摺動案内面
の平面度や両摺動案内面の平行度のくるいなどに基づく
クリアランス変動は吸収できない。そのため、第１の部
材の各摺動案内面の平面度や互いの摺動案内面の平行度
を厳しく抑える必要があるが、各摺動案内面の平面度や
平行度を第２の部材が移動する長いストローク範囲に亘
って高精度に加工しなければならないから、製造コスト
が高くつくという問題があった。また、各エアーパッド
と第１の部材とのクリアランスを適正範囲内に設定する
ために調整ねじを各エアーパッドごとに調整しなければ
ならないから、調整が面倒で時間がかかるという問題が
あった。本発明の目的は、このような従来の問題を解消
し、摺動案内面の平行度を厳しく抑える必要がなく、従
って、コストダウンが可能で、しかも、クリアランス調
整も不要な摺動案内装置を提供することにある。
構造では、クリアランス変動を皿ばねの弾性変形によっ
て吸収するものであるから、温度変化に伴う第１の部材
と第２の部材との熱収縮、膨張差分程度のクリアランス
変動を吸収できるとしても、第１の部材の各摺動案内面
の平面度や両摺動案内面の平行度のくるいなどに基づく
クリアランス変動は吸収できない。そのため、第１の部
材の各摺動案内面の平面度や互いの摺動案内面の平行度
を厳しく抑える必要があるが、各摺動案内面の平面度や
平行度を第２の部材が移動する長いストローク範囲に亘
って高精度に加工しなければならないから、製造コスト
が高くつくという問題があった。また、各エアーパッド
と第１の部材とのクリアランスを適正範囲内に設定する
ために調整ねじを各エアーパッドごとに調整しなければ
ならないから、調整が面倒で時間がかかるという問題が
あった。本発明の目的は、このような従来の問題を解消
し、摺動案内面の平行度を厳しく抑える必要がなく、従
って、コストダウンが可能で、しかも、クリアランス調
整も不要な摺動案内装置を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明の摺動案内装置
は、上記目的を達成するため、互いに対向する面に摺動
案内面を有する第１の部材と、この第１の部材の摺動案
内面を挟んで対向配置された少なくとも一組のエアーパ
ッドを有し、前記第１の部材に沿って摺動しながら移動
する第２の部材とを備えた摺動案内装置において、前記
一組のエアーパッドのうちの一方側のエアーパッドと前
記第２の部材との間に、シリンダおよびピストンを含
み、これらのうちの一方が他方に対して変位可能でかつ
前記一方側のエアーパッドを摺動案内面に対して変位さ
せるシリンダ装置を設け、前記シリンダおよびピストン
によって区画されたシリンダ室内に供給されるエアー圧
によって前記一方側のエアーパッドを第１の部材の摺動
案内面に押圧したことを特徴とする。ここにおいて、前
記一方側のエアーパッドのエアー噴出溝と前記シリンダ
室とを互いに連通した構成としてもよい。また、前記シ
リンダおよびピストンの間にばねを収納した構成として
もよい。
は、上記目的を達成するため、互いに対向する面に摺動
案内面を有する第１の部材と、この第１の部材の摺動案
内面を挟んで対向配置された少なくとも一組のエアーパ
ッドを有し、前記第１の部材に沿って摺動しながら移動
する第２の部材とを備えた摺動案内装置において、前記
一組のエアーパッドのうちの一方側のエアーパッドと前
記第２の部材との間に、シリンダおよびピストンを含
み、これらのうちの一方が他方に対して変位可能でかつ
前記一方側のエアーパッドを摺動案内面に対して変位さ
せるシリンダ装置を設け、前記シリンダおよびピストン
によって区画されたシリンダ室内に供給されるエアー圧
によって前記一方側のエアーパッドを第１の部材の摺動
案内面に押圧したことを特徴とする。ここにおいて、前
記一方側のエアーパッドのエアー噴出溝と前記シリンダ
室とを互いに連通した構成としてもよい。また、前記シ
リンダおよびピストンの間にばねを収納した構成として
もよい。
【０００６】
【０００７】
【作用】本発明の摺動案内装置によれば、シリンダ装置
のシリンダ室内に所定圧のエアーを供給すると、そのシ
リンダ室内に供給されるエアー圧によって一方側のエア
ーパッドが第１の部材の摺動案内面に押圧される。この
状態において、第２の部材を第１の部材に沿って移動さ
せると、一方側のエアーパッドと摺動案内面とのクリア
ランスが略一定に保たれたまま、一方側のエアーパッド
が摺動案内面に沿って追従するので、第１の部材の長手
方向において摺動案内面間の距離が異なっていても、そ
の変化を一方側のエアーパッドの追従により吸収でき
る。従って、摺動案内面の平行度を厳しく抑える必要が
ないから、コストダウンが可能で、しかも、従来のよう
なクリアランス調整も不要にできる。
のシリンダ室内に所定圧のエアーを供給すると、そのシ
リンダ室内に供給されるエアー圧によって一方側のエア
ーパッドが第１の部材の摺動案内面に押圧される。この
状態において、第２の部材を第１の部材に沿って移動さ
せると、一方側のエアーパッドと摺動案内面とのクリア
ランスが略一定に保たれたまま、一方側のエアーパッド
が摺動案内面に沿って追従するので、第１の部材の長手
方向において摺動案内面間の距離が異なっていても、そ
の変化を一方側のエアーパッドの追従により吸収でき
る。従って、摺動案内面の平行度を厳しく抑える必要が
ないから、コストダウンが可能で、しかも、従来のよう
なクリアランス調整も不要にできる。
【０００８】ここで、一方側のエアーパッドのエアー噴
出溝とシリンダ室とを互いに連通した構成とすれば、エ
アー供給口を１つだけ形成すればよいから、つまり、エ
アーパッドとシリンダ室とにそれぞれエアー供給口を形
成しなくてもよいから、エアー配管を簡単にできる。ま
た、シリンダおよびピストンの間にばねを収納した構成
とすれば、エアーの供給を断った場合でも、ばねによっ
てエアーパッドが第１の部材の摺動案内面に押圧されて
いるから、第２の部材の変位（動き）を防止できる。
出溝とシリンダ室とを互いに連通した構成とすれば、エ
アー供給口を１つだけ形成すればよいから、つまり、エ
アーパッドとシリンダ室とにそれぞれエアー供給口を形
成しなくてもよいから、エアー配管を簡単にできる。ま
た、シリンダおよびピストンの間にばねを収納した構成
とすれば、エアーの供給を断った場合でも、ばねによっ
てエアーパッドが第１の部材の摺動案内面に押圧されて
いるから、第２の部材の変位（動き）を防止できる。
【０００９】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図を参照しながら
詳細に説明する。図１は本発明の摺動案内装置を三次元
測定機のＸ軸ビームとＸ軸スライダとの間に適用した実
施例の概略斜視図である。同図において、１は第１の部
材であるＸ軸ビーム、１１はＸ軸ビーム１に沿って摺動
しながら移動する第２の部材としてのＸ軸スライダであ
る。Ｘ軸ビーム１には、互いに対向する面、つまり、上
下面および左右側面に摺動案内面２，３および４，５が
それぞれ形成されている。ここで、２，４は高精度な真
直度を有する基準摺動案内面である。Ｘ軸スライダ１１
には、Ｘ軸ビーム１の対向する摺動案内面２，３および
４，５を挟んで対向する複数組（２組）のエアーパッド
１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃ、１３および１４Ａ，１４Ｂ、
１５が設けられている。
詳細に説明する。図１は本発明の摺動案内装置を三次元
測定機のＸ軸ビームとＸ軸スライダとの間に適用した実
施例の概略斜視図である。同図において、１は第１の部
材であるＸ軸ビーム、１１はＸ軸ビーム１に沿って摺動
しながら移動する第２の部材としてのＸ軸スライダであ
る。Ｘ軸ビーム１には、互いに対向する面、つまり、上
下面および左右側面に摺動案内面２，３および４，５が
それぞれ形成されている。ここで、２，４は高精度な真
直度を有する基準摺動案内面である。Ｘ軸スライダ１１
には、Ｘ軸ビーム１の対向する摺動案内面２，３および
４，５を挟んで対向する複数組（２組）のエアーパッド
１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃ、１３および１４Ａ，１４Ｂ、
１５が設けられている。
【００１０】図２に図１の横断面、図３に図１の縦断面
をそれぞれ示す。前記各組のエアーパッド１２Ａ，１２
Ｂ，１２Ｃ、１３および１４Ａ，１４Ｂ、１５のうち、
基準摺動案内面２，４側に配置された基準エアーパッド
１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃ，１４Ａ，１４Ｂは、前記Ｘ軸
スライダ１１に螺合された調整ねじ２１の先端に鋼球２
２を介して係合されている。また、これとは反対側の摺
動案内面３，５側に配置された従動エアーパッド１３，
１５と前記Ｘ軸スライダ１１との間にはシリンダ装置２
５が設けられている。
をそれぞれ示す。前記各組のエアーパッド１２Ａ，１２
Ｂ，１２Ｃ、１３および１４Ａ，１４Ｂ、１５のうち、
基準摺動案内面２，４側に配置された基準エアーパッド
１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃ，１４Ａ，１４Ｂは、前記Ｘ軸
スライダ１１に螺合された調整ねじ２１の先端に鋼球２
２を介して係合されている。また、これとは反対側の摺
動案内面３，５側に配置された従動エアーパッド１３，
１５と前記Ｘ軸スライダ１１との間にはシリンダ装置２
５が設けられている。
【００１１】図４は前記シリンダ装置２５（従動エアー
パッド１５とＸ軸スライダ１１との間のシリンダ装置）
を示している。なお、従動エアーパッド１３とＸ軸スラ
イダ１１との間のシリンダ装置２５については、図４と
同じ構造であるため、図４をもって説明を省略する。同
シリンダ装置２５は、前記従動エアーパッド１５の後端
壁１６から一体的に形成された筒状のシリンダ３１と、
このシリンダ３１内に摺動自在に収納されかつ保持プレ
ート３２を介して前記Ｘ軸スライダ１１に固定されたピ
ストン３３とを含んで構成されている。
パッド１５とＸ軸スライダ１１との間のシリンダ装置）
を示している。なお、従動エアーパッド１３とＸ軸スラ
イダ１１との間のシリンダ装置２５については、図４と
同じ構造であるため、図４をもって説明を省略する。同
シリンダ装置２５は、前記従動エアーパッド１５の後端
壁１６から一体的に形成された筒状のシリンダ３１と、
このシリンダ３１内に摺動自在に収納されかつ保持プレ
ート３２を介して前記Ｘ軸スライダ１１に固定されたピ
ストン３３とを含んで構成されている。
【００１２】前記シリンダ３１の内周面と前記ピストン
３３の外周面との間には、シリンダ３１側（従動エアー
パッド１５）が摺動案内面５に追従できるように隙間３
４が形成されているとともに、その間がシール材３５に
よって塞がれている。ピストン３３とシリンダ３１とに
よって区画されたシリンダ室３６内には、エアー配管３
７を通じて所定圧のエアーが供給されている。また、シ
リンダ室３６と前記エアーパッド１５のエアー噴出溝１
７とは、前記後端壁１６に形成された連通孔１８を通じ
て連通されている。なお、ピストン３３とシリンダ３１
を構成する従動エアーパッド１５の後端壁１６との間に
はばね３８が介装されている。
３３の外周面との間には、シリンダ３１側（従動エアー
パッド１５）が摺動案内面５に追従できるように隙間３
４が形成されているとともに、その間がシール材３５に
よって塞がれている。ピストン３３とシリンダ３１とに
よって区画されたシリンダ室３６内には、エアー配管３
７を通じて所定圧のエアーが供給されている。また、シ
リンダ室３６と前記エアーパッド１５のエアー噴出溝１
７とは、前記後端壁１６に形成された連通孔１８を通じ
て連通されている。なお、ピストン３３とシリンダ３１
を構成する従動エアーパッド１５の後端壁１６との間に
はばね３８が介装されている。
【００１３】以上の構成において、エアー配管３７を通
じて所定圧のエアーを各シリンダ室３６内に供給する
と、そのエアーは連通孔１８を通じてエアーパッド１５
のエアー噴出溝１７に供給される。すると、エアーパッ
ド１５は、シリンダ室３６内に供給されたエアーによっ
てＸ軸ビーム１の摺動案内面５に押圧され、かつ、エア
ー噴出溝１７に供給されるエアーによってエアーベアリ
ングとしての機能を果たす。この状態で、Ｘ軸スライダ
１１をＸ軸ビーム１に沿って移動させる。このとき、図
５に示すように、Ｘ軸ビーム１の幅（摺動案内面４，５
間の寸法）が変化していても、エアーパッド１５が摺動
案内面５に沿って追従するので、幅むらを吸収できる。
じて所定圧のエアーを各シリンダ室３６内に供給する
と、そのエアーは連通孔１８を通じてエアーパッド１５
のエアー噴出溝１７に供給される。すると、エアーパッ
ド１５は、シリンダ室３６内に供給されたエアーによっ
てＸ軸ビーム１の摺動案内面５に押圧され、かつ、エア
ー噴出溝１７に供給されるエアーによってエアーベアリ
ングとしての機能を果たす。この状態で、Ｘ軸スライダ
１１をＸ軸ビーム１に沿って移動させる。このとき、図
５に示すように、Ｘ軸ビーム１の幅（摺動案内面４，５
間の寸法）が変化していても、エアーパッド１５が摺動
案内面５に沿って追従するので、幅むらを吸収できる。
【００１４】従って、本実施例によれば、Ｘ軸ビーム１
の摺動案内面２〜５を挟んで対向配置された各組のエア
ーパッド１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃ、１３および１４Ａ，
１４Ｂ、１５のうち、摺動案内面３，５側に配置された
従動エアーパッド１３，１５とＸ軸スライダ１１との間
に、シリンダ３１とピストン３３とを含むシリンダ装置
２５を設け、このシリンダ装置２５のシリンダ室３６内
に供給されるエアー圧によって従動エアーパッド１３，
１５を摺動案内面３，５に押圧するようにしたので、Ｘ
軸ビーム１の長手方向において摺動案内面２，３間およ
び４，５間の距離が異なっていても、その変化を従動エ
アーパッド１３，１５の追従により吸収することができ
る。そのため、基準摺動案内面２，４の真直度が高精度
にでていれば、摺動案内面２，３間および４，５間の平
行度を厳しく抑える必要がないから、コストダウンが可
能で、しかも、従来のようなクリアランス調整も不要に
できる。
の摺動案内面２〜５を挟んで対向配置された各組のエア
ーパッド１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃ、１３および１４Ａ，
１４Ｂ、１５のうち、摺動案内面３，５側に配置された
従動エアーパッド１３，１５とＸ軸スライダ１１との間
に、シリンダ３１とピストン３３とを含むシリンダ装置
２５を設け、このシリンダ装置２５のシリンダ室３６内
に供給されるエアー圧によって従動エアーパッド１３，
１５を摺動案内面３，５に押圧するようにしたので、Ｘ
軸ビーム１の長手方向において摺動案内面２，３間およ
び４，５間の距離が異なっていても、その変化を従動エ
アーパッド１３，１５の追従により吸収することができ
る。そのため、基準摺動案内面２，４の真直度が高精度
にでていれば、摺動案内面２，３間および４，５間の平
行度を厳しく抑える必要がないから、コストダウンが可
能で、しかも、従来のようなクリアランス調整も不要に
できる。
【００１５】また、エアーパッド１５のエアー噴出溝７
と前記シリンダ室３６とを連通孔１８を通じて互いに連
通させたので、シリンダ室３６にエアー配管３７を通じ
てエアーを供給するだけでよいから、つまり、エアーパ
ッド１５とシリンダ室３６とにそれぞれエアー供給口を
形成しなくてもよいから、エアー配管を簡単にできる。
また、シリンダ装置２５のピストン３３とシリンダ３１
との間にばね３８を収納したので、エアーの供給を断っ
た場合でも、ばね３８によってエアーパッド１５はＸ軸
ビーム１の摺動案内面５に押圧されているから、Ｘ軸ス
ライダ１１の変位（動き）を防止できる。
と前記シリンダ室３６とを連通孔１８を通じて互いに連
通させたので、シリンダ室３６にエアー配管３７を通じ
てエアーを供給するだけでよいから、つまり、エアーパ
ッド１５とシリンダ室３６とにそれぞれエアー供給口を
形成しなくてもよいから、エアー配管を簡単にできる。
また、シリンダ装置２５のピストン３３とシリンダ３１
との間にばね３８を収納したので、エアーの供給を断っ
た場合でも、ばね３８によってエアーパッド１５はＸ軸
ビーム１の摺動案内面５に押圧されているから、Ｘ軸ス
ライダ１１の変位（動き）を防止できる。
【００１６】以上、本発明について好適な実施例を挙げ
て説明したが、本発明は、この実施例に限られるもので
なく、本発明の要旨を逸脱しない範囲での変更が可能で
ある。
て説明したが、本発明は、この実施例に限られるもので
なく、本発明の要旨を逸脱しない範囲での変更が可能で
ある。
【００１７】たとえば、上記実施例では、従動エアーパ
ッド１３，１５にシリンダ３１を、Ｘ軸スライダ１１に
ピストン３３を設けたが、これらを逆に設けた構成でも
よい。つまり、従動エアーパッド１３，１５にピストン
を、Ｘ軸スライダ１１にシリンダを設けるようにしても
よい。また、本発明の摺動案内装置は、上記実施例で述
べた三次元測定機のＸ軸摺動案内機構に限らず、他のＹ
またはＺ軸摺動案内機構でもよく、あるいは、三次元測
定機とは関係なく、相対移動する部材間にエアーベアリ
ング装置を設けた摺動案内装置一般に応用できる。
ッド１３，１５にシリンダ３１を、Ｘ軸スライダ１１に
ピストン３３を設けたが、これらを逆に設けた構成でも
よい。つまり、従動エアーパッド１３，１５にピストン
を、Ｘ軸スライダ１１にシリンダを設けるようにしても
よい。また、本発明の摺動案内装置は、上記実施例で述
べた三次元測定機のＸ軸摺動案内機構に限らず、他のＹ
またはＺ軸摺動案内機構でもよく、あるいは、三次元測
定機とは関係なく、相対移動する部材間にエアーベアリ
ング装置を設けた摺動案内装置一般に応用できる。
【００１８】
【発明の効果】本発明の摺動案内装置によれば、摺動案
内面の平行度を厳しく抑える必要がなく、従って、コス
トダウンがはかれるとともに、クリアランス調整も不要
にできる。
内面の平行度を厳しく抑える必要がなく、従って、コス
トダウンがはかれるとともに、クリアランス調整も不要
にできる。
【図１】本発明の摺動案内装置を三次元測定機のＸ軸ビ
ームとＸ軸スライダとの間に適用した実施例の概略図で
ある。
ームとＸ軸スライダとの間に適用した実施例の概略図で
ある。
【図２】同上実施例の横断面図である。
【図３】同上実施例の縦断面図である。
【図４】同上実施例における従動エアーパッドを示す拡
大断面図である。
大断面図である。
【図５】同上実施例においてＸ軸ビームの摺動案内面に
対する基準エアーパッドおよび従動エアーパッドの追従
状態を説明するための図である。
対する基準エアーパッドおよび従動エアーパッドの追従
状態を説明するための図である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 実開 昭63−171726（ＪＰ，Ｕ) 実開 平５−73510（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) F16C 32/06
Claims (2)
- 【請求項１】 互いに対向する面に摺動案内面を有する
第１の部材と、この第１の部材の摺動案内面を挟んで対
向配置された少なくとも一組のエアーパッドを有し、前
記第１の部材に沿って摺動しながら移動する第２の部材
とを備えた摺動案内装置において、 前記一組のエアーパッドのうちの一方側のエアーパッド
と前記第２の部材との間に、シリンダおよびピストンを
含み、これらのうちの一方が他方に対して変位可能でか
つ前記一方側のエアーパッドを摺動案内面に対して変位
させるシリンダ装置を設け、前記シリンダおよびピスト
ンによって区画されたシリンダ室内に供給されるエアー
圧によって前記一方側のエアーパッドを第１の部材の摺
動案内面に押圧するとともに、前記一方側のエアーパッ
ドのエアー噴出溝と前記シリンダ室とを互いに連通させ
たことを特徴とする摺動案内装置。 - 【請求項２】 請求項１に記載の摺動案内装置におい
て、前記シリンダおよびピストンの間には、ばねが収納
されていることを特徴とする摺動案内装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25355694A JP3304213B2 (ja) | 1994-10-19 | 1994-10-19 | 摺動案内装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25355694A JP3304213B2 (ja) | 1994-10-19 | 1994-10-19 | 摺動案内装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08121481A JPH08121481A (ja) | 1996-05-14 |
| JP3304213B2 true JP3304213B2 (ja) | 2002-07-22 |
Family
ID=17253013
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25355694A Expired - Fee Related JP3304213B2 (ja) | 1994-10-19 | 1994-10-19 | 摺動案内装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3304213B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JP5919733B2 (ja) * | 2011-11-01 | 2016-05-18 | 日本精工株式会社 | 移動テーブル装置、露光装置、及びエアパッド |
-
1994
- 1994-10-19 JP JP25355694A patent/JP3304213B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH08121481A (ja) | 1996-05-14 |
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