JP5016232B2 - スライダ装置 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の第1実施形態に係るスライダ装置の断面図である。スライダ装置は、主に、紙面と直交する軸方向(三次元測定機の場合、例えばX軸方向)に延びる四角柱状のビーム(第1の部材)10と、このビーム10に対してスライド自在に配置され、ビーム10を取り囲む矩形環状のスライダ(第2の部材)20と、スライダ20のビーム10を介して対向する部分にそれぞれ設けられ、ビーム10との間に空気による静圧を作用させてスライダ20をビーム10に対して非接触で支持させる第1〜第4の空気静圧軸受30A,30B,30C,30Dとを備えている。スライダ20は、例えば、アルミ合金鋳物(AC4C)などで、ビーム10は、例えば、Al−Mg−Si合金(A6063)などで形成されている。
式(3)、式(4)をもとに、X1を消去して、スライダ20に作用した外力f2から、スライダ20の変位x2に関する伝達関数X2/Fを求めると、式(5)となる。
第2実施形態に係るスライダ装置は、第1実施形態と同様に、ビーム10と、スライダ20と、4つの空気静圧軸受30とを備えている(図示略)。しかし、第2実施形態に係るスライダ装置は、空気静圧軸受30A,30Cに替えて図8に示すような空気静圧軸受30Eを用いている点が、第1実施形態と異なる点である。
Claims (8)
- 第1の部材と、
前記第1の部材を介して対向する部分を有し前記第1の部材に対して相対移動可能に配置された第2の部材と、
前記第2の部材の前記第1の部材を介して対向する部分にそれぞれ設けられ前記第1の部材との間に流体による静圧を作用させて前記第1の部材を非接触で支持する流体静圧軸受と
を備えたスライダ装置において、
前記第1の部材を介して対向する流体静圧軸受の少なくとも一方は、
前記第2の部材に固定的に配置される固定部と、
前記固定部に対して前記第1の部材に向かう方向に進退自在に設けられ前記第1の部材に対して流体による静圧を供給する流体静圧部と、
前記固定部と前記流体静圧部との間に設けられ前記第1の部材に対して静圧をプリロードするための押圧部材と、
前記固定部と前記流体静圧部との間に前記押圧部材と並列して設けられ前記固定部と前記空気静圧部の間の振動を減衰させる振動減衰部材と
を備えたものであることを特徴とするスライダ装置。 - 前記第2の部材から前記第1の部材に向かって進退する調整部材が設けられ、
前記流体静圧部は、前記調整部材の先端に設けられ、前記調整部材の進退によって前記プリロード量を調整されるものである
ことを特徴とする請求項1記載のスライダ装置。 - 前記振動減衰部材は、シリコンゲルであることを特徴とする請求項1又は2記載のスライダ装置。
- 前記流体は、空気であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項記載のスライダ装置。
- 前記押圧部材は、バネ部材であることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項記載のスライダ装置。
- 前記調整部材は、螺子であることを特徴とする請求項2記載のスライダ装置。
- 前記押圧部材は、エアーシリンダ装置であることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項記載のスライダ装置。
- 前記エアーシリンダ装置は、エアー圧力を可変として前記調整部材を兼ねるものであることを特徴とする請求項7記載のスライダ装置。
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