CN112548595A - 一种串联复合节流闭式液体静压导轨 - Google Patents

一种串联复合节流闭式液体静压导轨 Download PDF

Info

Publication number
CN112548595A
CN112548595A CN202011564105.1A CN202011564105A CN112548595A CN 112548595 A CN112548595 A CN 112548595A CN 202011564105 A CN202011564105 A CN 202011564105A CN 112548595 A CN112548595 A CN 112548595A
Authority
CN
China
Prior art keywords
hole
block
vertical
communicated
guide rail
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN202011564105.1A
Other languages
English (en)
Inventor
陈刚利
阳红
刘有海
尹承真
姜忠
李星占
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Institute of Mechanical Manufacturing Technology of CAEP
Original Assignee
Institute of Mechanical Manufacturing Technology of CAEP
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Institute of Mechanical Manufacturing Technology of CAEP filed Critical Institute of Mechanical Manufacturing Technology of CAEP
Priority to CN202011564105.1A priority Critical patent/CN112548595A/zh
Publication of CN112548595A publication Critical patent/CN112548595A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
    • B23Q1/01—Frames, beds, pillars or like members; Arrangement of ways
    • B23Q1/017—Arrangements of ways
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
    • B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
    • B23Q1/26—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members
    • B23Q1/38—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members using fluid bearings or fluid cushion supports
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q11/00—Accessories fitted to machine tools for keeping tools or parts of the machine in good working condition or for cooling work; Safety devices specially combined with or arranged in, or specially adapted for use in connection with, machine tools
    • B23Q11/12—Arrangements for cooling or lubricating parts of the machine
    • B23Q11/121—Arrangements for cooling or lubricating parts of the machine with lubricating effect for reducing friction
    • B23Q11/124—Arrangements for cooling or lubricating parts of the machine with lubricating effect for reducing friction for lubricating linear guiding systems

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)

Abstract

本发明公开了一种串联复合节流闭式液体静压导轨，包括工作台和底座，工作台上设有竖直滑块，底座上设有导轨条，竖直滑块滑动配合在底座与导轨条之间，工作台上设有水平滑块，水平滑块滑动配合在导轨条之间。本发明的优点：整体结构对称、布置合理，能够保证导轨高精度的平稳运行；节流效应强，导轨承载力大、刚度高，对节流器要求低，有利于节流器制造；无需在导轨外部安装节流装置，占用空间小，导轨整体结构简单紧凑；采用独立的多个节流器进行调节，油腔间的油压相互影响小，导轨抗干扰能力强；抑制油源脉动、环境扰动和动态切削力等因素对导轨运动精度的影响，提高导轨动态性能。

Description

一种串联复合节流闭式液体静压导轨
技术领域
本发明涉及流体静压支承领域，具体涉及一种串联复合节流闭式液体静压导轨。
背景技术
液体静压导轨借助外部液体压力源向导轨移动副间隙供给一定静压力的液体，形成一层油膜将移动部件悬浮起来，进而实现无固体直接接触的近无摩擦支承。液体静压导轨具有运动精度高、承载力大、支承刚度高、运动阻力小、使用寿命长和精度保持性好等技术优点，广泛应用于高精度磨床、加工中心、超精密车床和超精密飞切机床等各种精密和超精密机床中。
兵器、航空、航天、生物、医疗、电子和光学等诸多行业的发展对零件加工精度的要求越来越高，不仅有加工尺寸、形状和表面质量等传统指标的极端制造精度要求，而且对零件表面特定空间频率范围内的加工误差提出了极其苛刻的精度要求。液体静压导轨是精密和超精密机床的核心功能部件之一，其动态性能的优劣直接关系到机床的加工精度。
液体静压导轨通过节流器调整油膜压力来实现外部载荷变化时的自适应调节，小孔和毛细管是液体静压导轨的常用节流方式。小孔节流器结构简单，但动态性能差，毛细管节流器动态性能更好，但需要更大的安装空间。
目前，液体静压导轨的精度需要进一步提高，由于结构受力不均或外部的影响，容易导致导轨的偏载问题，使得导轨运行精度不高。同时液体静压导轨的油膜压力普遍通过一个节流器进行调节，为提高液体静压导轨的承载特性，需要对小孔节流器的孔径和毛细管节流器的长径比等节流器关键尺寸进行严格控制，常出现节流器制造困难、安装所需空间大或容易堵塞等问题。此外，液体静压导轨的油膜压力在油源脉动、环境扰动和动态切削力等干扰的作用下会产生不可忽略的波动，单个节流器对油膜压力波动的抑制能力较弱，导致超精密机床的动态性能难以进一步提升。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是克服现有技术的不足，目的在于提供一种串联复合节流闭式液体静压导轨，解决现有静压导轨抗干扰能力和动态性能差的问题，同时降低节流器的制造难度。
本发明通过下述技术方案实现：一种串联复合节流闭式液体静压导轨，包括工作台和底座，工作台上设有竖直滑块，底座上设有导轨条，竖直滑块滑动配合在底座与导轨条之间，工作台上设有水平滑块，水平滑块滑动配合在导轨条之间。
进一步的，所述的竖直滑块对称设在工作台的两侧，水平滑块设在工作台的中部，导轨条对称设在底座的两侧。
进一步的，所述的工作台的两侧设有支腿，竖直滑块设在支腿上，底座的两侧设有承压面和支台，导轨条设在支台上端的条安装面上，承压面与竖直滑块滑动配合。
进一步的，所述的工作台与竖直滑块之间、工作台与水平滑块之间、导轨条与底座之间均通过螺钉连接。
进一步的，所述的工作台内设有台通道，竖直滑块内设有竖块通道，水平滑块内设有平块通道，台通道分别与竖块通道、平块通道连通，竖块通道分别连通竖直滑块与底座之间的压力腔、竖直滑块与导轨条之间的压力腔，平块通道连通导轨条与水平滑块之间的压力腔。
进一步的，所述的台通道、竖块通道和平块通道内均设有节流器。
进一步的，所述的竖直滑块与底座之间的压力腔、竖直滑块与导轨条之间的压力腔、导轨条与水平滑块之间的压力腔均包括两个对称布置的独立腔体。
进一步的，所述的台通道包括台纵孔，台纵孔分别与台一进孔、台二进孔、台三进孔连通，台一进孔与台一通孔连通，台一通孔与竖块通道的上腔通道连通，台二进孔与台二通孔连通，台二通孔与竖块通道的下腔通道连通，台三进孔与台三通孔连通，台三通孔与平块通道连通。
进一步的，所述的台纵孔之间连通有台横孔。
进一步的，所述的台一进孔、台二进孔、台三进孔内的阶梯孔口处设有台节流孔，台节流孔内设有节流器。
进一步的，所述的竖块通道包括上腔通道和下腔通道，台通道分别与上腔通道、下腔通道连通。
进一步的，所述的上腔通道包括竖块一进孔，竖块一进孔与台通道连通，竖块一进孔与竖块一横通孔连通，竖块一横通孔与竖块一纵通孔连通，竖块一纵通孔与竖块上腔进孔连通，竖块上腔进孔连通竖直滑块与导轨条之间的压力腔；下腔通道包括竖块二进孔，竖块二进孔与台通道连通，竖块二进孔与竖块二横通孔连通，竖块二横通孔与竖块二纵通孔连通，竖块二纵通孔与竖块下腔进孔连通，竖块下腔进孔连通竖直滑块与底座之间的压力腔。
进一步的，所述的竖块一纵通孔和竖块二纵通孔内的阶梯孔口处设有竖块节流孔，竖块节流孔内设有节流器。
进一步的，所述的竖直滑块与底座之间的压力腔为竖块上压力腔，竖直滑块与导轨条之间的压力腔为竖块下压力腔。
进一步的，所述的竖直滑块上设有竖块回流槽。
进一步的，所述的平块通道包括平块进孔，平块进孔与台通道连通，平块进孔与平块通孔连通，平块通孔与平块腔进孔连通，平块腔进孔连通导轨条与水平滑块之间的压力腔。
进一步的，所述的平块通孔内的阶梯孔口处设有平块节流孔，平块节流孔内设有节流器。
进一步的，所述的导轨条与水平滑块之间的压力腔为平块压力腔。
进一步的，所述的水平滑块上设有平块回流槽。
进一步的，所述的节流器为小孔节流器、毛细管节流器中的至少一种。
进一步的，所述的底座上设有座回流槽，底座内设有回油通道，座回流槽与回油通道连通。
进一步的，所述的回油通道包括竖直回流孔，竖直回流孔与座回流槽连通，竖直回流孔与水平回流孔连通。
本发明与现有技术相比，具有如下的优点和有益效果：
1、整体结构对称、布置合理，能够保证导轨高精度的平稳运行；
2、油腔油压通过多个节流器进行串联复合节流，节流效应强，导轨承载力大、刚度高，并且对单个节流器的尺寸及其精度要求低，有利于节流器制造；
3、将节流器安装在工作台、竖直滑块和水平滑块内部，无需在导轨外部安装节流装置，占用空间小，导轨整体结构简单紧凑，节流器含有导磁材料，可用磁性扳手取出，有利于导轨装配；
4、各油腔采用独立的多个节流器进行调节，油腔间的油压相互影响小，导轨抗干扰能力强；
5、节流器安装孔的空间大，可在油路上安装多个毛细管节流器或者其他具有高动态性能的节流器，抑制油源脉动、环境扰动和动态切削力等因素对导轨运动精度的影响，提高导轨动态性能；
6、可推广应用于液体静压轴承、气体静压轴承和气体静压导轨等其他流体静压支承领域。
附图说明
此处所说明的附图用来提供对本发明实施例的进一步理解，构成本申请的一部分，并不构成对本发明实施例的限定。在附图中：
图1为本发明结构示意图。
图2为本发明工作台结构主视图。
图3为图2的俯视图。
图4为本发明竖直滑块结构侧视图。
图5为图4的俯视图。
图6为本发明底座的结构主视图。
图7为图6的俯视图。
图8为本发明水平滑块结构侧视图。
图9为图8的俯视图。
图10为本发明小孔节流器结构示意图。
图11为本发明毛细管节流器结构示意图。
图中：1、工作台，2、竖直滑块，3、底座，4、导轨条，5、水平滑块；11、台横孔，12、台纵孔，13、台一进孔，14、台一通孔，15、台二进孔，16、台二通孔，17、台三通孔，18、台三进孔，19、台密封孔，110、台节流孔；21、竖块一进孔，22、竖块一横通孔，23、竖块一纵通孔，24、竖块上腔进孔，25、竖块上压力腔，26、竖块回流槽，27、竖块下压力腔，28、竖块下腔进孔，29、竖块二纵通孔，210、竖块二横通孔，211、竖块二进孔，212、竖块密封孔，213、竖块节流孔；31、座回流槽，32、承压面，33、条安装面，34、竖直回流孔，35、水平回流孔；51、平块进孔，52、平块密封孔，53、平块通孔，54、平块节流孔，55、平块腔进孔，56、平块压力腔，57、平块回流槽；6、小孔节流器，7、毛细管节流器，71、螺纹塞，72、针管。
具体实施方式
为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚明白，下面结合实施例和附图，对本发明作进一步的详细说明，本发明的示意性实施方式及其说明仅用于解释本发明，并不作为对本发明的限定。
实施例
如图1所示，一种串联复合节流闭式液体静压导轨，包括工作台1、竖直滑块2、底座3、导轨条4和水平滑块5。工作台1的两侧设有对称的支腿，竖直滑块2通过螺钉设在支腿上，实现竖直滑块2对称固定在工作台1的两侧。工作台1上通过螺钉设有水平滑块5，实现水平滑块5固定设在工作台1的中部凸台上。工作台、竖直滑块和水平滑块构成导轨的运动部分。
底座3的两侧设有对称的承压面32和支台，导轨条4通过螺钉设在支台上端的条安装面33上，实现导轨条4对称固定在底座3的两侧。底座3和导轨条构成导轨的静止部分。竖直滑块2滑动配合在底座3的承压面32与导轨条4下表面之间，水平滑块5滑动配合在导轨条4之间。
导轨条下表面和承压面间的距离比竖直滑块的厚度尺寸稍大，从而在竖直滑块的上下表面形成竖向支承膜，限制导轨运动部分的竖直上下运动。两个导轨条间的装配间距比水平滑块的宽度尺寸稍大，在水平滑块的左右两个侧面形成水平导向膜，限制导轨运动部分的水平侧向运动。安装在通往各通道上的多个节流器可根据导轨外部载荷的变化来自适应调节竖块上压力腔、竖块下压力腔和平块压力腔的压力，进而实现导轨的承载和导向。
工作台1内设有台通道，竖直滑块2内设有竖块通道，水平滑块5内设有平块通道，台通道分别与竖块通道、平块通道连通，竖块通道分别连通竖直滑块2与底座3之间的压力腔、竖直滑块2与导轨条4之间的压力腔，平块通道连通导轨条4与水平滑块5之间的压力腔。流体(优选为润滑油)通过台通道进入竖块通道和平块通道，然后进入相应的压力腔形成压力膜，实现非接触摩擦支承。上述各压力腔均对称布置，保证整体结构受力平衡。台通道、竖块通道和平块通道由阶梯孔连通形成，阶梯孔的孔口处内均设有节流器，实现串联复合节流。
如图10和11所示，节流器为小孔节流器6、毛细管节流器7中的至少一种。小孔节流器由导磁金属材料制成，外侧为圆锥外螺纹，较大端设置内六角口，较小端设置节流小孔。毛细管节流器7由螺纹塞71(优选为圆锥外螺纹塞)和针管72连接而成，螺纹塞由导磁金属材料制成，较大端设置内六角口，较小端通过焊接或粘接连接针管。
如图2和3所示，台通道包括台横孔11和台纵孔12，台横孔11连通在两个左右对称的台纵孔12之间，将通往各个油腔的油路连通，使得供油管路简单，只需一根供油管就可进行供油。台横孔11和台纵孔12的孔口处设置有台密封孔19，其中一个用于连接供油管，其余安装堵头进行密封。
台纵孔12分别与前后对称的台一进孔13、台二进孔15、台三进孔18连通，台一进孔13与台一通孔14连通，台一通孔14与竖块通道的上腔通道连通，台二进孔15与台二通孔16连通，台二通孔16与竖块通道的下腔通道连通，台三进孔18与台三通孔17连通，台三通孔17与平块通道连通。台一进孔13、台二进孔15、台三进孔18内的阶梯孔口处设有台节流孔110，台节流孔110内设有节流器。
如图4和5所示，竖块通道包括上腔通道和下腔通道，台通道分别与上腔通道、下腔通道连通。上腔通道包括前后对称的竖块一进孔21，竖块一进孔21与台通道连通，竖块一进孔21与竖块一横通孔22连通，竖块一横通孔22与竖块一纵通孔23连通，竖块一纵通孔23与竖块上腔进孔24连通，竖块上腔进孔24连通竖直滑块2与导轨条4之间的压力腔，竖直滑块2与底座3之间的压力腔为竖块上压力腔25，竖块上压力腔25包括前后对称布置的两个独立腔体。
下腔通道包括前后对称的竖块二进孔211，竖块二进孔211与台通道连通，竖块二进孔211与竖块二横通孔210连通，竖块二横通孔210与竖块二纵通孔29连通，竖块二纵通孔29与竖块下腔进孔28连通，竖块下腔进孔28连通竖直滑块2与底座3之间的压力腔，竖直滑块2与导轨条4之间的压力腔为竖块下压力腔27，竖块下压力腔27包括前后对称布置的两个独立腔体。
竖块一纵通孔23和竖块二纵通孔29内的阶梯孔口处设有竖块节流孔213，竖块节流孔213内设有节流器。竖直滑块上设有位于中部的竖块回流槽，便于流体回流至底座上。竖块一横通孔22、竖块一纵通孔23、竖块二横通孔210与竖块二纵通孔29的孔口处均设置竖块密封孔212，竖块密封孔内安装堵头进行密封。
如图8和9所示，平块通道包括前后对称的平块进孔51，平块进孔51与平块通孔53连通，平块通孔53与平块腔进孔55连通，平块腔进孔55连通导轨条4与水平滑块5之间的压力腔，导轨条4与水平滑块5之间的压力腔为平块压力腔56，平块压力腔包括前后对称的两个独立腔体。平块通孔53内的阶梯孔口处设有平块节流孔54，平块节流孔54内设有节流器。水平滑块上设有位于中部的平块回流槽57，便于流体回流至底座上。平块通孔53的孔口处设置平块密封孔52，平块密封孔内安装堵头进行密封。
如图6和7所示，底座3上设有座回流槽31，底座3内设有回油通道，座回流槽31与回油通道连通，回油通道包括竖直回流孔34，竖直回流孔34与座回流槽31连通，竖直回流孔34与水平回流孔35连通。润滑油到达各油腔后流经各油膜间隙流出汇集到底座回流槽，再经底座上的竖直回流孔和水平回流孔回到供油装置中。
以上所述的具体实施方式，对本发明的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本发明的具体实施方式而已，并不用于限定本发明的保护范围，凡在本发明的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种串联复合节流闭式液体静压导轨，包括工作台(1)和底座(3)，其特征在于：所述的工作台(1)上设有竖直滑块(2)，底座(3)上设有导轨条(4)，竖直滑块(2)滑动配合在底座(3)与导轨条(4)之间，工作台(1)上设有水平滑块(5)，水平滑块(5)滑动配合在导轨条(4)之间。
2.根据权利要求1所述的串联复合节流闭式液体静压导轨，其特征在于：所述的竖直滑块(2)对称设在工作台(1)的两侧，水平滑块(5)设在工作台(1)的中部，导轨条(4)对称设在底座(3)的两侧。
3.根据权利要求1所述的串联复合节流闭式液体静压导轨，其特征在于：所述的工作台(1)内设有台通道，竖直滑块(2)内设有竖块通道，水平滑块(5)内设有平块通道，台通道分别与竖块通道、平块通道连通，竖块通道分别连通竖直滑块(2)与底座(3)之间的压力腔、竖直滑块(2)与导轨条(4)之间的压力腔，平块通道连通导轨条(4)与水平滑块(5)之间的压力腔。
4.根据权利要求3所述的串联复合节流闭式液体静压导轨，其特征在于：所述的台通道、竖块通道和平块通道内均设有节流器。
5.根据权利要求3所述的串联复合节流闭式液体静压导轨，其特征在于：所述的台通道包括台纵孔(12)，台纵孔(12)分别与台一进孔(13)、台二进孔(15)、台三进孔(18)连通，台一进孔(13)与台一通孔(14)连通，台一通孔(14)与竖块通道的上腔通道连通，台二进孔(15)与台二通孔(16)连通，台二通孔(16)与竖块通道的下腔通道连通，台三进孔(18)与台三通孔(17)连通，台三通孔(17)与平块通道连通。
6.根据权利要求3所述的串联复合节流闭式液体静压导轨，其特征在于：所述的竖块通道包括上腔通道和下腔通道，台通道分别与上腔通道、下腔通道连通。
7.根据权利要求6所述的串联复合节流闭式液体静压导轨，其特征在于：所述的上腔通道包括竖块一进孔(21)，竖块一进孔(21)与台通道连通，竖块一进孔(21)与竖块一横通孔(22)连通，竖块一横通孔(22)与竖块一纵通孔(23)连通，竖块一纵通孔(23)与竖块上腔进孔(24)连通，竖块上腔进孔(24)连通竖直滑块(2)与导轨条(4)之间的压力腔；下腔通道包括竖块二进孔(211)，竖块二进孔(211)与台通道连通，竖块二进孔(211)与竖块二横通孔(210)连通，竖块二横通孔(210)与竖块二纵通孔(29)连通，竖块二纵通孔(29)与竖块下腔进孔(28)连通，竖块下腔进孔(28)连通竖直滑块(2)与底座(3)之间的压力腔。
8.根据权利要求3所述的串联复合节流闭式液体静压导轨，其特征在于：所述的平块通道包括平块进孔(51)，平块进孔(51)与台通道连通，平块进孔(51)与平块通孔(53)连通，平块通孔(53)与平块腔进孔(55)连通，平块腔进孔(55)连通导轨条(4)与水平滑块(5)之间的压力腔。
9.根据权利要求4所述的串联复合节流闭式液体静压导轨，其特征在于：所述的节流器为小孔节流器(6)、毛细管节流器(7)中的至少一种。
10.根据权利要求1或3所述的串联复合节流闭式液体静压导轨，其特征在于：所述的底座(3)上设有座回流槽(31)，底座(3)内设有回油通道，座回流槽(31)与回油通道连通。
CN202011564105.1A 2020-12-25 2020-12-25 一种串联复合节流闭式液体静压导轨 Pending CN112548595A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202011564105.1A CN112548595A (zh) 2020-12-25 2020-12-25 一种串联复合节流闭式液体静压导轨

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202011564105.1A CN112548595A (zh) 2020-12-25 2020-12-25 一种串联复合节流闭式液体静压导轨

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN112548595A true CN112548595A (zh) 2021-03-26

Family

ID=75034309

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202011564105.1A Pending CN112548595A (zh) 2020-12-25 2020-12-25 一种串联复合节流闭式液体静压导轨

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN112548595A (zh)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113649868A (zh) * 2021-08-26 2021-11-16 郑良钢 闭式静压导轨及超精密球轴承套圈磨削设备
CN114857174A (zh) * 2022-06-16 2022-08-05 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 一种用于液体静压支承的抗扰动节流器及液体静压导轨

Citations (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008101695A (ja) * 2006-10-19 2008-05-01 Shigiya Machinery Works Ltd 可動リング式静圧軸受の軸合わせ方法と可動リング式静圧軸受
TW200940235A (en) * 2008-03-31 2009-10-01 Sumitomo Heavy Industries XY stage device
CN201622163U (zh) * 2009-11-27 2010-11-03 苏州东菱振动试验仪器有限公司 一种油膜支承座
CN101905443A (zh) * 2010-07-16 2010-12-08 湖南宇环同心数控机床有限公司 一种直驱式非对称闭式矩形静压导轨
TW201219149A (en) * 2010-11-02 2012-05-16 Weibo Prec Co Ltd Rotary hydrostatic bearing working table
JP2012107744A (ja) * 2010-10-28 2012-06-07 Jtekt Corp 静圧流体軸受装置
CN202597467U (zh) * 2012-03-28 2012-12-12 哈尔滨工业大学深圳研究生院 闭式流体静压导轨
CN103009066A (zh) * 2012-12-20 2013-04-03 西安瑞特快速制造工程研究有限公司 一种油静压导轨的热对称结构
CN108817993A (zh) * 2018-08-09 2018-11-16 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 一种立式液体静压导轨伺服进给系统
CN110142647A (zh) * 2019-05-20 2019-08-20 华中科技大学 一种液体静压导轨稳态性能实时测量装置及方法
CN213917066U (zh) * 2020-12-25 2021-08-10 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 一种串联复合节流闭式液体静压导轨

Patent Citations (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008101695A (ja) * 2006-10-19 2008-05-01 Shigiya Machinery Works Ltd 可動リング式静圧軸受の軸合わせ方法と可動リング式静圧軸受
TW200940235A (en) * 2008-03-31 2009-10-01 Sumitomo Heavy Industries XY stage device
CN201622163U (zh) * 2009-11-27 2010-11-03 苏州东菱振动试验仪器有限公司 一种油膜支承座
CN101905443A (zh) * 2010-07-16 2010-12-08 湖南宇环同心数控机床有限公司 一种直驱式非对称闭式矩形静压导轨
JP2012107744A (ja) * 2010-10-28 2012-06-07 Jtekt Corp 静圧流体軸受装置
TW201219149A (en) * 2010-11-02 2012-05-16 Weibo Prec Co Ltd Rotary hydrostatic bearing working table
CN202597467U (zh) * 2012-03-28 2012-12-12 哈尔滨工业大学深圳研究生院 闭式流体静压导轨
CN103009066A (zh) * 2012-12-20 2013-04-03 西安瑞特快速制造工程研究有限公司 一种油静压导轨的热对称结构
CN108817993A (zh) * 2018-08-09 2018-11-16 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 一种立式液体静压导轨伺服进给系统
CN110142647A (zh) * 2019-05-20 2019-08-20 华中科技大学 一种液体静压导轨稳态性能实时测量装置及方法
CN213917066U (zh) * 2020-12-25 2021-08-10 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 一种串联复合节流闭式液体静压导轨

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
王启义，: "金属切削机床设计", vol. 1, 31 October 1989, 东北工业学院出版社, pages: 263 - 264 *

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113649868A (zh) * 2021-08-26 2021-11-16 郑良钢 闭式静压导轨及超精密球轴承套圈磨削设备
CN114857174A (zh) * 2022-06-16 2022-08-05 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 一种用于液体静压支承的抗扰动节流器及液体静压导轨

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8333512B2 (en) Self-compensating hydrostatic planar bearing device and method thereof
CN112548595A (zh) 一种串联复合节流闭式液体静压导轨
EP1534969B1 (en) Hydrostatic bearing for linear motion guidance
TWI458586B (zh) 複合式可變流阻液靜壓滑塊模組
US7101080B2 (en) Hydrostatic pressure linear guide device
CN213917066U (zh) 一种串联复合节流闭式液体静压导轨
CN112122946B (zh) 一种高精度闭式内反馈静压直线导轨
CN101253342A (zh) 静压型轨导引装置
CN114857174B (zh) 一种用于液体静压支承的抗扰动节流器及液体静压导轨
CN201922255U (zh) 数控机床的反包容闭式静压导轨结构
CN103084848B (zh) 一种铁基多孔含油材料滑块型滑动导轨
TWM348658U (en) Hydrostatic linear slide track
CN216742467U (zh) 一种高精度高刚度液体静压装置流量控制器
CN110762118A (zh) 一种气-油混合静压导轨
CN110757176B (zh) 直驱式高精度高刚度闭式静压导轨
CN114427572B (zh) 一种高精度高刚度液体静压装置流量控制方法
CN102588436B (zh) 内置式可变节流器
CN113001198B (zh) 一种数控机床抗扭转液体静压导轨
CN211059200U (zh) 一种气-油混合静压导轨
JPS6348809Y2 (zh)
CN108708952B (zh) 一种内置式预压可调单面薄膜节流静压丝杠副
CN114576270B (zh) 静压滑块及静压导轨
CN112901659A (zh) 一种超精密液体静压导轨用滑行组件
CN112692592A (zh) 一种精密高强度滑台
CN116493958A (zh) 一种燕尾式液体静压支撑机床导轨

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination