JP2012107744A - 静圧流体軸受装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】軸受面に設けられた静圧ポケット11と、静圧ポケット11に加圧流体を供給する流体供給手段Pと、流体供給手段Pから静圧ポケット11に至る流体の通路を形成する流体供給流路13と、流体供給流路13の途中に設けられた供給側絞り手段40と、静圧ポケット11からドレン23に至る流体の通路を形成する流体排出流路15と、流体排出流路15の途中に設けられた排出側絞り手段60と、を備えた。
【選択図】図1
Description
特許文献1の流体軸受装置では、静圧ポケットの圧力の増加が検出されると、圧力に応じて、ダイアフラムを引き上げ、可変絞りの開度を大きくし、供給流量を増加させている。ダイアフラムを引き上げると、開度の増加とともに、静圧ポケットと流体流通孔で連通された充填空間の体積が増加することになる。ダイアフラムを引き上げる速度が低速な場合、体積変動の速度も低速であるため、流入した流体は、体積変動の速度に追従して、充填空間が充填され、供給流量は滑らかに増加する。しかし、ダイアフラムを引き上げる速度が高速な場合、体積変動の速度も高速であるため、流入した流体は、体積変動の速度に追従して、充填空間を充填することができない。流入した流体は、静圧ポケットに供給されるよりも、先に増加した充填空間の充填に流れていくため、静圧ポケットの供給流量は一時的に減少する。また、静圧ポケットからの排出流量は一定であるため、静圧ポケットの圧力が低下し、軸受剛性が維持できなくなる。このように、圧力に応じて、ダイアフラムを引き上げ、可変絞りの開度を大きくしたにもかかわらず、一時的に供給流量が減少することにより、軸受剛性の維持に必要な厚さの流体膜が形成されず、軸受剛性が低下するという問題があった。
以下、本発明の第1の実施形態を図面に従って説明する。図1は、本発明の第1実施形態の静圧流体軸受装置の概略図であり、図3、図4は図1に示された各可変絞り装置の断面図である。矢印は流体の流れる方向を示している。
図1に示すように、本実施形態による静圧流体軸受装置1は、直動テーブルの軸受面5に静圧ポケット11を備えており、静圧ポケット11には流体供給口14と流体排出口16が設けられている。流体供給口14は流体供給流路13と接続し、流体排出口16は流体排出流路15と接続している。流体供給流路13はポンプPと静圧ポケット11間を連通しており、流体供給流路13の途中には、供給側絞り手段に相当するダイアフラム式可変絞り装置40が設けられている。流体排出流路15は、静圧ポケット11とドレン23間を連通しており、流体排出流路15の途中には、排出側絞り手段に相当するピエゾ式可変絞り装置60が設けられている。
図1に示すように、静圧流体軸受装置1は、ポンプPにより加圧された流体を、流体供給流路13の途中に設けられたダイアフラム式可変絞り装置40により減圧し、静圧ポケット11に流体を供給させている。静圧ポケット11に供給された流体により、案内面6と軸受面5の間に所定の厚さの流体膜が形成され、案内面6が支持される。流体膜は動的に形成された後、ドレン23及び排出流路15へ排出されることを繰り返すことにより維持されている。静圧軸受に加わる外乱負荷により流体膜に外乱力が作用すると、静圧ポケット11の圧力が変動する。
図2は、本発明の第2実施形態の静圧流体軸受装置の概略図であり、図3、図5は図2に示された各可変絞り装置40,80の断面図である。矢印は流体の流れる方向を示している。
図2に示すように、本実施形態による静圧流体軸受装置2は、直動テーブルの軸受面5に静圧ポケット11を備えており、静圧ポケット11には流体供給口14と流体排出口16が設けられている。流体供給口14は流体供給流路13と接続し、流体排出口16は流体排出流路15と接続している。流体供給流路13はポンプPと静圧ポケット間11を連通しており、流体供給流路13の途中には、供給側絞り手段に相当するダイアフラム式可変絞り装置40が設けられている。流体排出流路15は、静圧ポケット11とドレン23間を連通している。流体排出流路15の途中には、排出側絞り手段に相当する差圧式可変絞り装置80が設けられている。差圧式可変絞り装置80は、2つの流入口を有し、それぞれ流体排出流路15が途中分岐した流路と接続しており、一方の流入口は固定絞り19を介して流入し、他方の流入口は直接流入するようになっている。
図2に示すように、静圧流体軸受装置1は、ポンプPにより加圧された流体を、流体供給流路13の途中に設けられたダイアフラム式可変絞り装置40により減圧し、静圧ポケット11に流体を供給させている。静圧ポケット11に供給された流体により、案内面6と軸受面5の間に所定の厚さの流体膜が形成され、案内面6が支持される。流体膜は動的に形成された後、ドレン23及び排出流路15へ排出されることを繰り返すことにより維持されている。静圧軸受に加わる外乱負荷により流体膜に外乱力が作用すると、静圧ポケット11の圧力が変動する。
13:流体供給流路、 14:流体供給口、 15:流体排出流路、
16:流体排出口、 18:圧力センサ、 19:固定絞り、 22:タンク、
23:ドレン、
40:ダイアフラム式可変絞り装置(供給側可変絞り)、
41:第1流入口、 42:流出口、 43:ダイアフラム 44:第1圧力室、
45:弁座、 46:第2流入口、 49:第2圧力室、 50:ハウジング、
60:ピエゾ式可変絞り装置(排出側可変絞り)、
61:流入口、 62:流出口、 63:ダイアフラム、 64:圧力室、
65:弁座、 66:圧電アクチュエータ、 70:ハウジング、
80:差圧式可変絞り装置(排出側可変絞り)、
81:第1流入口、 82:流出口、 83:ダイアフラム、 84:第1圧力室、
85:弁座、 86:第2流入口、 87:Oリング、 89:第2圧力室、
90:ハウジング、
100:制御装置
C:変動体積、 D:隙間, DL,DH:開度、 E:隙間、 F:隙間、
P:ポンプ
Claims (3)
- 軸受面に設けられた静圧ポケットと、
前記静圧ポケットに加圧流体を供給する流体供給手段と、
前記流体供給手段から前記静圧ポケットに至る流体の通路を形成する流体供給流路と、
前記流体供給流路の途中に設けられた供給側絞り手段と、
前記静圧ポケットからドレンに至る流体の通路を形成する流体排出流路と、
前記流体排出流路の途中に設けられた排出側絞り手段と、
を備えたことを特徴とする静圧流体軸受装置。 - 請求項1に記載の静圧流体軸受装置であって、
前記静圧ポケット内の圧力を検出する圧力検出手段を備え、
前記排出側絞り手段は、前記圧力検出手段により検出された圧力に応じて絞り量が増減される可変絞り装置であることを特徴とする静圧流体軸受装置。 - 請求項1に記載の静圧流体軸受装置であって、
前記排出側絞り手段は、前記静圧ポケット内の圧力と、前記静圧ポケット内の圧力を固定絞りにより減衰された圧力との差圧に応じて絞り量が増減される可変絞り装置であることを特徴とする静圧流体軸受装置。
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