KR20180096528A - 초고속 스핀들 장치 - Google Patents

Abstract

초고속 스핀들 장치가 개시된다. 초고속 스핀들 장치는 레이디얼 저널과 스러스트 디스크를 갖는 스핀들; 상기 레이디얼 저널의 일 영역을 감싸며, 압축공기가 공급되는 제1공기 유입구를 갖는 제1외부가압 공기베어링; 상기 레이디얼 저널의 타 영역을 감싸는 제1포일 베어링; 상기 스러스트 디스크의 일 면과 마주하며, 압축공기가 공급되는 제2공기 유입구를 갖는 제2외부가압 공기베어링; 상기 스러스트 디스크의 타 면과 마주하는 제2포일 베어링; 상기 스핀들의 회전속도를 측정하는 속도 센서; 및 상기 스핀들의 회전속도에 따라 상기 제1공기 유입구와 상기 제2공기 유입구에 공급되는 압축공기의 압력을 조절하는 압력 조절부를 포함한다.

Description

초고속 스핀들 장치{High speed spindle apparatus}

본 발명은 초고속 스핀들 장치에 관련된 것으로, 보다 상세하게는 외부가압 공기베어링과 포일베어링으로 구성되는 초고속 스핀들 장치에 관한 것이다.

고속 스핀들 장치과 같은 소형 초고속 회전기기에는 외부가압공기베어링 혹은 공기동압 베어링이 널리 사용되었다.

외부가압공기베어링은 기기 외부 탱크에 저장된 압축된 공기를 강제적으로 베어링 내부로 주입하여 그 압력으로 스핀들을 부상시키는 베어링으로, 반드시 고압의 압축기 시스템과 공기 공급 밸브 및 필터 장치, 배관 장비들을 필요로 한다. 이러한 외부가압공기베어링은 정지상태에서 정격속도로 가속되는 과정에서의 초기 구동토크가 작고, 스핀들과 베어링 표면의 마찰이 없어 반영구적으로 사용이 가능하며 공기동압 베어링에 비해 하중지지력이 매우 큰 장점이 있다.

반면, 공기동압 베어링은 회전축의 회전속도가 증가함에 따라 베어링 표면과 회전축의 사이에 발생하는 공기 유막의 압력에 의해서 회전축이 부상하도록 하는 베어링이다. 따라서 공기동압 베어링은 별도의 압축공기 공급 시스템을 필요로 하지 않기 때문에 구조가 단순하고, 전체시스템을 보다 작고 단순하게 제작할 수 있는 장점이 있다.

외부가압공기베어링은 낮은 초기 구동토크와 긴 베어링 수명을 가지고 있으나, 지속적으로 공기를 소모하기 때문에 압축공기 공급 시스템을 구성하는데 많은 비용이 발생하는 단점을 가지고 있다.

반면, 공기동압 베어링은 스핀들과 베어링 표면이 접촉되어 있기 때문에 스핀들의 회전으로 동압이 발생하기 전까지 높은 초기구동토크를 필요로 하며, 베어링 표면의 마모로 베어링 수명이 상대적으로 짧은 단점이 있다.

최근, 상술한 외부가압공기베어링과 공기동압 베어링의 단점을 개선하고, 장점을 활용한 초고속 스핀들 장치에 대한 연구가 진행되고 있다.

한국등록실용신안 제20-0460963호

본 발명은 외부가압공기베어링과 공기동압 베어링을 함께 적용하여 각 베어링의 단점을 개선할 수 있는 초고속 스핀들 장치를 제공한다.

또한, 본 발명은 초고속 머시닝 스핀들 시스템, 실리콘 와이버 다이싱, 옵티컬 머시닝, PCB 드릴링 머신, 펌프, 압축기, 터보차저와 같은 다양한 소형 고속회전기기에 적용할 수 있는 초고속 스핀들 장치를 제공한다.

본 발명에 따른 초고속 스핀들 장치는 레이디얼 저널과 스러스트 디스크를 갖는 스핀들; 상기 레이디얼 저널의 일 영역을 감싸며, 압축공기가 공급되는 제1공기 유입구를 갖는 저널베어링인 제1외부가압 공기베어링; 상기 레이디얼 저널의 타 영역을 감싸는 저널베어링인 제1포일 베어링; 상기 스러스트 디스크의 일 면과 마주하며, 압축공기가 공급되는 제2공기 유입구를 갖는 스러스트베어링인 제2외부가압 공기베어링; 상기 스러스트 디스크의 타 면과 마주하는 스러스트베어링인 제2포일 베어링; 상기 스핀들의 회전속도를 측정하는 속도 센서; 및 상기 스핀들의 회전속도에 따라 상기 제1공기 유입구와 상기 제2공기 유입구에 공급되는 압축공기의 압력을 조절하는 압력 조절부를 포함한다.

또한, 상기 압력 조절부는, 상기 스핀들의 제1회전 속도에서 제1압력의 압축공기를 상기 제1공기 유입구에 공급하고, 상기 스핀들의 상기 제1회전 속도보다 낮은 제2회전 속도에서 상기 제1압력보다 높은 제2압력의 압축공기를 상기 제1공기 유입구에 공급할 수 있다.

또한, 상기 압력 조절부는 상기 제1공기 유입구에 공급되는 압축공기의 압력과 상기 제2공기 유입구에 공급되는 압축공기의 압력을 독립적으로 조절가능하다.

또한, 상기 스핀들의 축방향과 반경방향 변위를 측정하는 변위 센서를 더 포함하되, 상기 압력 조절부는 상기 스핀들의 축방향과 반경방향 변위가 커질수록 상기 제1공기 유입구와 상기 제2공기 유입구에 공급되는 압축공기의 압력을 증가시킬 수 있다.

본 발명에 따른 초고속 스핀들 장치는, 기존의 외부가압 공기베어링만으로 구성된 스핀들 장치와 비교하여, 압축공기의 공급량을 운전조건에 따라 조절함으로써 베어링에 사용되는 공기 소모량을 최소화 할 수 있고, 동역학적 안정성을 향상시킬 수 있고, 고부하 조건에서 능동제어를 통해 외부가압공기를 추가로 공급하여 하중지지력을 증가시킴으로써 베어링 파손을 지연시켜 스핀들 장치의 내구성 및 신뢰성을 향상시킬 수 있고, 공기동압 베어링과 함께 적용함으로써 시스템의 크기 및 부품의 수를 줄일 수 있다.

또한, 본 발명에 따른 초고속 스핀들 장치는, 기존의 공기동압 베어링만으로 구성된 스핀들 장치와 비교하여, 저속에서 가속 및 감속할 때의 구동토크를 현저히 감소시킴으로써 스핀들 장치의 과도응답특성을 개선할 수 있고, 동역학적 안정성을 향상시킬 수 있고, 고부하 조건에서 능동제어를 통해 외부가압공기를 추가로 공급하여 하중지지력을 증가시킴으로써 베어링 파손을 지연시켜 스핀들 시스템의 내구성 및 신뢰성을 향상시킬 수 있다.

도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 초고속 스핀들 장치를 나타내는 도면이다.
도 2는 도 1의 초고속 스핀들 장치에서 스핀들의 회전속도에 따라 제1외부가압 공기베어링에 공급되는 압축공기의 압력 변화의 실시예를 나타내는 그래프이다.
도 3은 도 1의 초고속 스핀들 장치에서 스핀들의 축방향 또는 반경방향 변위에 따라 제2외부가압 공기베어링에 공급되는 압축공기의 압력 변화의 실시예를 나타내는 그래프이다.

이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 상세히 설명할 것이다. 그러나 본 발명의 기술적 사상은 여기서 설명되는 실시 예에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화 될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시 예는 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록 그리고 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되는 것이다.

본 명세서에서, 어떤 구성요소가 다른 구성요소 상에 있다고 언급되는 경우에 그것은 다른 구성요소 상에 직접 형성될 수 있거나 또는 그들 사이에 제 3의 구성요소가 개재될 수도 있다는 것을 의미한다. 또한, 도면들에 있어서, 막 및 영역들의 두께는 기술적 내용의 효과적인 설명을 위해 과장된 것이다.

또한, 본 명세서의 다양한 실시 예 들에서 제1, 제2, 제3 등의 용어가 다양한 구성요소들을 기술하기 위해서 사용되었지만, 이들 구성요소들이 이 같은 용어들에 의해서 한정되어서는 안 된다. 이들 용어들은 단지 어느 구성요소를 다른 구성요소와 구별시키기 위해서 사용되었을 뿐이다. 따라서, 어느 한 실시 예에 제 1 구성요소로 언급된 것이 다른 실시 예에서는 제 2 구성요소로 언급될 수도 있다. 여기에 설명되고 예시되는 각 실시 예는 그것의 상보적인 실시 예도 포함한다. 또한, 본 명세서에서 '및/또는'은 전후에 나열한 구성요소들 중 적어도 하나를 포함하는 의미로 사용되었다.

명세서에서 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한 복수의 표현을 포함한다. 또한, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 구성요소 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징이나 숫자, 단계, 구성요소 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 배제하는 것으로 이해되어서는 안 된다. 또한, 본 명세서에서 "연결"은 복수의 구성 요소를 간접적으로 연결하는 것, 및 직접적으로 연결하는 것을 모두 포함하는 의미로 사용된다.

또한, 하기에서 본 발명을 설명함에 있어 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략할 것이다.

도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 초고속 스핀들 장치를 나타내는 도면이다.

도 1을 참조하면, 초고속 스핀들 장치(100)는 스핀들(110), 제1외부가압 공기베어링(120), 제1포일 베어링(130), 제2외부가압 공기베어링(140), 제2포일 베어링(150), 속도 센서(160), 제1변위 센서(170), 제2변위 센서(180), 압축공기 공급부(190), 그리고 압력 조절부(210)를 포함한다.

스핀들(110)은 고속 회전 몸체로, 레이디얼 저널(radial journal, 111)과 스러스터 디스크(thrust disk, 112)을 갖는다. 레이디얼 저널(111)은 스핀들(110)의 축방향으로 소정 길이로 제공되는 원기둥 형상이고, 스러스터 디스크(112)은 레이디얼 저널(111)의 반경 방향으로 돌출되며, 소정 직경을 갖는 원판 형상이다. 레이디얼 저널(111)과 스러스터 디스크(112)은 일체로 형성된다. 스핀들(110)의 전단에는 정밀 가공 공구(tool, 113)이 장착될 수 있다.

제1외부가압 공기베어링(120)은 레이디얼 저널(111)의 일 영역을 감싸도록 제공된다. 제1외부가압 공기베어링(120)은 다공성 공기 베어링(porous air bearing)으로 제공될 수 있다. 다공성 공기 베어링(120)은 홀들이 형성된 다공성 물질로 제공될 수 있다. 다공성 공기 베어링(120)은 실리카 에폭시 복합 소재로 제공될 수 있다. 다공성 공기 베어링(120)은 상기 복합 소재가 알루이늄으로 가공된 슬리브 내부에 끼워져 고정된 상태로 제공될 수 있다. 제1외부가압 공기베어링(120)에는 제1공기 유입구(121)가 형성되며, 제1공기 유입구(121)에 공급된 압축 공기는 상기 홀들을 통해 제1외부가압 공기베어링(120)과 레이디얼 저널(111) 사이 공간으로 유입된다. 유입된 압축 공기의 압력에 의해 레이디얼 저널(111)이 부상한다.

제1포일 베어링(130)은 레이디얼 저널(111)의 타 영역을 감싸도록 제공된다. 실시 예에 의하면, 제1포일 베어링(130)은 제1외부가압 공기 베어링(120)보다 스핀들(110)의 선단에 인접 위치할 수 있다. 제1포일 베어링(130)은 공기동압베어링으로, 스핀들(110)의 회전속도가 증가함에 따라 제1포일 베어링(130)의 표면과 레이디얼 저널(111) 사이에는 공기 유막이 발생하며, 공기 유막은 레이디얼 저널(111)을 부상시킨다.

제2외부가압 공기베어링(140)은 스러스트 디스크(112)의 일 면과 마주 배치된다. 실시 예에 의하면, 제2외부가압 공기베어링(140)은 스러스트 디스크(112)의 후면과 마주 배치된다. 제2외부가압 공기 베어링(140)은 다공성 공기 베어링으로 제공될 수 있다. 제2외부가압 공기베어링(140)에는 제2공기 유입구(141)가 형성되며, 제2공기 유입구(141)에 공급된 압축 공기는 제2외부가압 공기베어링(140)에 형성된 홀들을 통해 제2외부가압 공기 베어링(140)과 스러스트 디스크(112) 사이 공간으로 유입된다. 유입된 압축 공기의 압력은 스핀들(110)의 축 방향 하중을 지지한다.

제2포일 베어링(150)은 스러스트 디스크(112)의 타 면과 마주 배치된다. 실시 예에 의하면, 제2포일 베어링(150)은 스러스트 디스크(112)의 전면과 마주 배치된다. 제2포일 베어링(150)은 스러스트 디스크(112)을 사이에 두고 제2외부가압 공기 베어링(140)과 마주 배치된다. 제2포일 베어링(150)은 공기동압베어링으로, 스핀들(110)의 회전속도가 증가함에 따라 제2포일 베어링(150)의 표면과 스러스트 디스크(112) 사이에는 공기 유막이 발생하며, 공기 유막은 스러스트 디스크(112)의 축방향 하중을 지지한다.

속도 센서(160)는 스핀들(110)의 회전 속도를 측정하고, 제1변위 센서(170)는 스핀들(110)의 축방향 변위를 측정한다. 그리고 제2변위 센서(180)는 스핀들(110)의 반경 방향 변위를 측정한다.

압축공기 공급부(190)는 제1공기 유입구(121)와 제2공기 유입구(141)에 압축공기를 공급한다. 압축공기 공급부(190)는 압축공기 공급원(191), 제1압축공기 공급라인(192), 제2압축공기 공급라인(193), 제1압력조절밸브(194), 그리고, 제2압력조절밸브(195)를 포함한다.

압축공기 공급원(191)은 압축공기를 공급한다. 제1압축공기 공급라인(192)은 압축공기 공급원(191)과 제1공기 유입구(121)를 연결하며, 압축공기가 공급되는 유로를 제공한다. 제2압축공기 공급라인(193)은 압축공기 공급원(191)과 제2공기 유입구(141)를 연결하며, 압축공기가 공급되는 유로를 제공한다.

제1압력조절밸브(194)는 제1압축공기 공급라인(192)에 설치되며, 제1압축공기 공급라인(192)을 통해 공급되는 압축공기의 유량을 조절한다.

제2압력조절밸브(195)는 제2압축공기 공급라인(193)에 설치되며, 제2압축공기 공급라인(193)을 통해 공급되는 압축공기의 유량을 조절한다.

실시 예에 의하면, 제1압력조절밸브(194)와 제2압력조절밸브(195)는 전자식공기압력밸브가 사용될 수 있다.

압력 조절부(210)는 제1공기 유입구(121)와 제2공기 유입구(141)에 공급되는 압축공기의 압력을 조절한다. 속도 센서(160)와 변위 센서(170, 180)들 각각과 연결된 컨버터(161, 171, 181)에서 신호 변환된 데이터들은 압력 조절부(210)에 입력되며, 압력 조절부(210)는 입력된 데이터에 따라 제1압력조절밸브(194)와 제2압력조절밸브(195)를 제어한다.

압력 조절부(210)는 속도 센서(160)에서 측정되는 스핀들(110)의 회전속도가 증가할수록 제1공기 유입구(141)에 공급되는 압축공기의 압력이 증가 혹은 감소하도록 제1압력조절밸브(194)를 제어할 수 있다. 구체적으로, 스핀들(110)의 제1회전 속도에서는 제1공기 유입구(141)에 제1압력의 압축공기가 공급되고, 제1회전 속도보다 빠른 스핀들(110)의 제2회전 속도에서는 제1공기 유입구(121)에 제1압력보다 낮은 제2압력의 압축공기가 공급되도록 제1압력조절밸브(194)를 제어할 수 있다. 초고속 스핀들 장치(100)는 초기 구동 단계 혹은 정지 단계와 같은 저속 구동 구간에서는 제1외부가압 공기베어링(120)의 표면과 레이디얼 저널(111) 표면간의 마찰이 커서 스핀들(110)의 토크 손실이 크게 발생한다. 이로 인해 장치의 전체 효율이 저하되기 때문에, 저속 구동 구간에서는 높은 압력의 압축 공기를 제1공기 유입구(141)에 공급한다. 반면, 고속 구동 구간에서는 스핀들(110)이 완전히 부상하기 때문에 토크와 마찰 손실이 작아 높은 압력의 공기가 필요하지 않다. 따라서, 고속 구동 구간에서는 압축 공기의 압력과 공급 유량을 최소화하여 제1공기 유입구(141)에 공급한다.

또한, 압력 조절부(210)는 제2변위 센서(180)에서 측정되는 스핀들(110)의 반경 방향 변위에 따라 제1공기 유입구(141)에 공급되는 압축공기의 압력이 변경되도록 제1압력조절밸브(194)를 제어한다.

또한, 압력 조절부(210)는 제1변위 센서(170)에서 측정되는 스핀들(110)의 축방향 변위가 커질수록 제2압력조절밸브(195)를 개방하여 제2공기 유입구(141)에 공급되는 압축공기의 압력 및 유량을 증가시킨다. 구체적으로, 초고속 스핀들 장치(100)를 이용한 가공 공정에서 공구(113)에 작용하는 부하하중이 증가하는 경우, 스핀들(110)이 뒤로 밀리게 되고, 제2 외부가압 공기베어링(140)이 충분한 힘으로 스핀들(110)을 지지하지 못하면 제2 외부가압 공기베어링(140)이 손상되게 된다. 이러한 작동조건하에서는 부하하중의 증가에 따른 스핀들(110)의 축방향 변위를 변위센서(170)로 모니터링하고, 스핀들(110)의 축방향 이동에 따라 공기유막이 급격히 줄어드는 작동조건에서 제2공기 유입구(141)에 공급되는 압축 공기의 압력과 유량을 증가시켜 하중 지지력을 상승시킴으로써 기기의 파손을 미연에 방지할 수 있다.

상술한 바와 같이 압력 조절부(210)는 속도 센서(160)와 변위 센서(170, 180)에서 측정되는 데이터에 따라 제1압력조절밸브(194)와 제2압력조절밸브(195)의 개방을 개별적으로 조절하므로, 제1공기 유입구(121)에 공급되는 압축공기의 압력과 제2공기 유입구(141)에 공급되는 압축공기의 압력을 독립적으로 조절할 수 있다.

이하, 본 발명의 실시 예에 따른 초고속 스핀들 장치의 작동 예에 대해 설명한다.

도 2는 도 1의 초고속 스핀들 장치에서 스핀들의 회전속도에 따라 제1외부가압 공기베어링에 공급되는 압축공기의 압력 변화를 나타내는 그래프이고, 도 3은 도 1의 초고속 스핀들 장치에서 스핀들의 축방향 변위에 따라 제2외부가압 공기베어링에 공급되는 압축공기의 압력 변화를 나타내는 그래프이다.

도 1 내지 도 3을 참조하면, 우선 제1압력조절밸브(194)가 0.5볼트 이하의 입력전압신호에서는 5bar의 공기를 배출하고 0.5볼트 이상의 입력전압신호에서는 2bar의 공기를 배출하도록 설정한다. 한편 스핀들(110)의 회전속도가 증가함에 따라 속도센서(160)에서의 출력직류전압신호는 회전속도와 선형적인 관계로 변화하게 된다. 예를 들면 0 rpm에서 속도 센서(160)의 출력전압은 0 볼트이고 20만 rpm에서 속도 센서(160)의 출력직류전압은 10볼트로 설정한다. 이러한 속도 센서(160)의 출력전압과 제1압력조절밸브(194)의 입력전압과의 관계를 이용하여, 1만 rpm까지의 저속 회전 조건(즉, 속도센서의 출력직류전압이 0.5볼트 이하의 출력이 이루어지는 운전영역)에서는 지속적인 회전축 부상이 이루어지게 하기 위하여, 제1압력조절밸브(194)를 통해 5 bar의 공기가 제1외부가압 공기베어링(120)에 공급되도록 하고 그 이상의 회전속도(즉, 속도 센서(160)의 출력직류전압이 0.5볼트 이상의 출력이 이루어지는 운전영역)에서는 제1압력조절밸브(194)를 통해 2 bar의 공기가 제1외부가압 공기베어링(120)에 공급되도록 설정한다.

또한, 제2압력조절밸브(170)는 10볼트의 입력직류전압신호에서는 2bar의 공기를 배출하고 12볼트의 입력직류전압신호에서는 8bar의 공기를 배출하도록 설정한다. 한편, 축방향으로 가해지는 정적 혹은 동적 하중의 크기에 따라 제1 변위센서(170)의 출력직류전압신호와 축방향 변위는 선형적인 관계로 변화하게 된다. 예를 들면, 제1변위센서(170)의 감도가 20 V/mm인 경우, 스핀들(110)이 축방향으로 50 마이크로미터 움직일 경우 1볼트의 전압이 변화하게 된다. 따라서, 축방향 정적 혹은 동적 하중이 증가함에 따라 축방향 변위가 변화할 경우 이에 따라 제2외부가압 공기베어링(140)이 공급되는 공기의 압력이 증가하게 되어 보다 높은 하중지지력을 가지게 된다.

본 발명을 바람직한 실시 예를 사용하여 상세히 설명하였으나, 본 발명의 범위는 특정 실시 예에 한정되는 것은 아니며, 첨부된 특허청구범위에 의하여 해석되어야 할 것이다. 또한, 이 기술분야에서 통상의 지식을 습득한 자라면, 본 발명의 범위에서 벗어나지 않으면서도 많은 수정과 변형이 가능함을 이해하여야 할 것이다.

100: 초고속 스핀들 장치
110: 스핀들
120: 제1외부가압 공기베어링
130: 제1포일 베어링
140: 제2외부가압 공기베어링
150: 제2포일 베어링
160: 속도 센서
170: 제1변위 센서
180: 제2변위 센서
190: 압축공기 공급부
210: 압력 조절부

Claims (4)

1. 레이디얼 저널과 스러스트 디스크을 갖는 스핀들;
   상기 레이디얼 저널의 일 영역을 감싸며, 압축공기가 공급되는 제1공기 유입구를 갖는 제1외부가압 공기베어링;
   상기 레이디얼 저널의 타 영역을 감싸는 제1포일 베어링;
   상기 스러스터 디스크의 일 면과 마주하며, 압축공기가 공급되는 제2공기 유입구를 갖는 제2외부가압 공기베어링;
   상기 스러스터 디스크의 타 면과 마주하는 제2포일 베어링;
   상기 스핀들의 회전속도를 측정하는 속도 센서; 및
   상기 스핀들의 회전속도에 따라 상기 제1공기 유입구와 상기 제2공기 유입구에 공급되는 압축공기의 압력을 조절하는 압력 조절부를 포함하는 초고속 스핀들 장치.
2. 제 1 항에 있어서,
   상기 압력 조절부는,
   상기 스핀들의 제1회전 속도에서 제1압력의 압축공기를 상기 제1공기 유입구에 공급하고,
   상기 스핀들의 상기 제1회전 속도보다 높은 제2회전 속도에서 상기 제1압력보다 낮은 제2압력의 압축공기를 상기 제1공기 유입구에 공급하는 초고속 스핀들 장치.
3. 제 1 항에 있어서,
   상기 압력 조절부는
   상기 제1공기 유입구에 공급되는 압축공기의 압력과 상기 제2공기 유입구에 공급되는 압축공기의 압력을 독립적으로 조절가능한 초고속 스핀들 장치.
4. 제 1 항에 있어서,
   상기 스핀들의 축방향과 반경방향 변위를 측정하는 변위 센서를 더 포함하되,
   상기 압력 조절부는 상기 스핀들의 축방향과 반경방향 변위가 커질수록 상기 제1공기 유입구와 상기 제2공기 유입구에 공급되는 압축공기의 압력을 증가시키는 초고속 스핀들 장치.
   

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