JP2002357222A - 流体軸受 - Google Patents

流体軸受

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JP2002357222A JP2001280095A JP2001280095A JP2002357222A JP 2002357222 A JP2002357222 A JP 2002357222A JP 2001280095 A JP2001280095 A JP 2001280095A JP 2001280095 A JP2001280095 A JP 2001280095A JP 2002357222 A JP2002357222 A JP 2002357222A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 流体軸受における軸受剛性の向上とランドに
おける発熱の抑制という二つの目的の同時達成 【解決手段】 流体軸受は、回転軸を支持する軸受面に
おいて、回転軸の滑動面の移動方向に適宜の間隔をあけ
て複数の静圧ポケット14が列設され、静圧ポケット以
外の区域にランド15が形成され、軸受面の静圧ポケッ
トには給油手段に連通する給油孔17が開口し、ランド
には、排出手段に連通し、回転軸回転速度を検出する回
転速度検出手段、軸受内の流体圧を検出する圧力セン
サ、軸受面と回転軸の滑動面との軸受隙間を検出する変
位計及び軸受内の流体温度を測定する温度センサからの
検出信号に応じて制御手段で調整される可変絞り弁41
を介して潤滑油を流出する排油孔18が1個以上開口し
ている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、流体軸受、例え
ば工作機械の主軸等に用いられる流体軸受に関する。
【0002】
【従来の技術】従来の技術における工作機械の主軸等の
回転軸を支承するラジアル流体軸受は、図20に示すよ
うに、軸受面に四辺形(図20(A)参照)又はU字形
(図20(B)参照)の静圧ポケット14が適宜の間隔
をあけて軸の回転方向に並んで形成され、静圧ポケット
14以外の軸受面域は、ランド15となっておいる。
【0003】同じく、スラスト流体軸受は、図21に示
すように、砥石軸Sのような回転軸の中央部に形成され
たフランジ部の端面が滑動自在に対向して接するスラス
ト軸受面が形成され、スラスト軸受面は、外周域と内周
域とを残して中間域に同心的に連続円環帯形(図21
(A)参照)又は不連続円環帯形(図21(B)(C)
参照)の静圧ポケット34が形成されている。そして、
スラスト軸受面において、静圧ポケット34以外の区域
は、ランド35a,b,cとなる。(フランジ部Fは、
図17のスラスト軸受面の中心軸線を中心に回転す
る。)
【0004】静圧ポケット34が不連続円環帯形の場
合、外周域ランド35aと内周域ランド35bとの間の
静圧ポケット34が等分割(図示の例では4等分割)さ
れて静圧ポケット34が不連続円環帯形となり、静圧ポ
ケット34を分割する円周4等分の放射状の半径方向ラ
ンド35cは、外周域ランド35aと内周域ランド35
bとを連結している。
【0005】そして、流体軸受には、非分離型と分離型
とがある。分離型では、ラジアル軸受の場合、図20
(C)に示すように隣接した静圧ポケット14,14間
においてランド15に軸方向に突き抜けた分離溝19が
形成され、ランド15は静圧ポケット毎に分離されてお
り、スラスト軸受の場合、図21(C)に示すように半
径方向ランド35cに半径方向に突き抜けた分離溝19
が形成され、半径方向ランド35cは静圧ポケット毎に
分離されている。
【0006】非分離型では、ラジアル軸受の場合のラン
ド15やスラスト軸受の場合の半径方向ランド35cに
分離型のような分離溝19がない。(図20(A)
(B)、図21(B)参照)
【0007】そして、ラジアル軸受及びスラスト軸受の
いずれにおいても、静圧ポケット14,34の底面に給
油孔17が開口している。給油孔は、外部のポンプのよ
うな外部の圧油供給源に接続された例えば研削盤の砥石
主軸ケーシングの油供給孔のような給油通路に接続され
ている。
【0008】上記の流体軸受において、給油孔17から
減圧調整された潤滑油が静圧ポケット14,34に流出
し、静圧ポケット14,34と回転軸の外周面又はフラ
ンジ部の端面とによる空間を満して外側のランド15,
35aと回転軸の外周面又はフランジ部の端面との間で
絞られて両側から外部に排出される。
【0009】それにより静圧流体軸受として機能すると
共に、静圧ポケット14,34と回転軸の外周面又はフ
ランジ部の端面とによる空間を満した潤滑油は、ランド
15,35aと回転軸の外周面又はフランジ部の端面と
の間の隙間に存在して、回転軸の回転において、狭めら
れたランド15,35aと回転軸の外周面又はフランジ
部の端面との間隙における潤滑油の楔作用により動圧が
発生して、流体軸受に動圧効果も加わる。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】上記のような従来の技
術の流体軸受において、非分離型、特にランドを効率良
く一層広く形成して、動圧効果を高めたU字形の静圧ポ
ケットのラジアル流体軸受は、剛性及び減衰性が高い。
【0011】しかし、回転軸の回転速度が高速である
と、ランドにおいて流体摩擦により潤滑油に大量の発熱
が生じる。その結果、外側固定の軸受は、加熱されて熱
膨張し、軸受隙間が縮小して、ランドにおける潤滑油の
発熱量は増大する。
【0012】すると、軸受が更に熱膨張し、軸受隙間が
縮小し、益々潤滑油の発熱量が増大するという悪循環が
生じる。このランドにおける潤滑油の発熱の増大・軸受
隙間の縮小の因果サイクルが時間の経過と共に進行し
て、軸受性能の劣化に繋がり、最終的には回転軸と軸受
部材とが焼付くことになる。
【0013】そこで、非分離型で問題となる発熱を抑制
するために、ランドに分離溝を形成したのが分離型であ
るが、分離型は、非分離型に比し軸受負荷能力の低下、
即ち剛性が低下する。
【0014】又、高速化において、空気の吸い込みが生
じ、それによる気泡が軸受性能に影響を与える。そし
て、回転軸の回転速度が高速になるほど、動圧支持剛性
を高めたいという要求と、ランドでの発熱を抑制したい
という要求とは、二律背反となる。
【0015】この発明は、上記の従来の技術の流体軸受
における軸受剛性の向上とランドにおける発熱の抑制と
いう二つの目的を合わせて可能にすることを図ったもの
である。
【0016】そして、又、従来型の流体軸受は、軸受隙
間や潤滑油の給排に関し、初期に設定された条件で軸受
性能が固定である。そのため最大の要求性能をクリアす
る流体軸受を設計しておかなければならない。また、常
に最大性能の状態で使用することになるため剛性は十分
高いが、その分発熱も大きくなっている。
【0017】また、回転軸の高速回転時の熱変形に対す
る軸受隙間の変化、軸受油の温度変化に伴う粘性の変化
により、実際に一番使用したいところで最適絞り比を外
れていることが多い。仮に、使用時の状況を推定して設
計できたとしても回転軸の回転速度や軸受油の温度等が
変わると最適条件から外れることになる。
【0018】この発明は、上記の従来の技術の流体軸受
における軸受剛性とランドにおける発熱のバランスの最
適絞り比を使用時に設定できるようになり、使用条件下
で最高性能の発揮を可能とすることを図ったものであ
る。
【0019】
【課題を解決するための手段】この発明の流体軸受は、
回転軸を支持する軸受面において、回転軸の滑動面の移
動方向に適宜の間隔をあけて複数の静圧ポケットが列設
され、該静圧ポケット以外の区域にランドが形成され、
軸受面の静圧ポケットには給油手段に連通する給油孔が
開口し、ランドには、排出手段に連通し、可変絞りを介
して排出手段に連通している排油孔が1個以上開口して
いる。
【0020】可変絞りは、回転軸の回転速度に応じて調
整される絞りであり、更には、軸受作動状態検出手段に
よる検出信号に基づいて制御手段により開閉が制御され
る可変絞り弁である。軸受作動状態検出手段は、回転軸
回転速度を検出する回転速度検出手段、軸受内の流体圧
を検出する圧力センサ、軸受面と回転軸の滑動面との軸
受隙間を検出する変位計及び軸受内の流体温度を測定す
る温度センサから構成されている。
【0021】流体軸受は、ラジアル軸受として回転軸を
支持する軸受面が回転軸の滑動面である外周面を支承す
るラジアル軸受面である場合、スラスト軸受として回転
軸を支持する軸受面が回転軸の滑動面である回転軸の一
部を形成する端面、例えばフランジの端面を支承するス
ラスト軸受面である場合、又はラジアル軸受面とスラス
ト軸受面が併存する場合がある。
【0022】ラジアル軸受面の静圧ポケットは、例え
ば、四辺形の凹所、又は軸受面で円周方向に伸びる対向
して平行な脚部をもつU字形の凹所、又は凹所内に独立
したランドが形成された四辺形の輪状の凹所である。
【0023】そして、ラジアル軸受としては、ラジアル
軸受面が内周面に形成されたインナースリーブが軸受ケ
ーシングの内周面に嵌着された二層一体の軸受部材で構
成され、軸受ケーシングとインナースリーブとの嵌合面
において円周方向に給油通路が形成され、給油孔の一端
側が給油通路を介して給油手段に連通している構造が考
えられる。
【0024】スラスト軸受面の静圧ポケットは、円環帯
形の外周域ランドと内周域ランドとの間に形成され、外
周域ランドと内周域ランドとを連結している複数の半径
方向ランドにより円周方向で複数に分割されており、半
径方向ランドの夫々には1個以上の排油孔が開口してい
る。
【0025】流体軸受においては、外部の圧油供給源か
ら供給された適宜圧力調整された潤滑油は、給油孔を通
して静圧ポケットに流出し、静圧ポケットを満して、ラ
ンドと回転軸の外周面との間隙を流れ、排油孔から流出
し、可変絞りにより絞られて排出される。排油孔が絞り
を介して排出手段に連通させることにより、キャビテー
ションの防止や剛性と発熱のバランスの調整を可能とし
ている。
【0026】かくして、流体軸受は、静圧ポケットにお
いてラジアル静圧流体軸受として機能すると共に、ラン
ドにおける潤滑油には、回転軸の回転における楔作用に
より動圧が発生して、流体軸受に動圧効果も加わる。更
に、絞りが、可変絞りで、制御手段で開閉が制御される
ことにより、流体軸受内の圧力分布が調整され、流体軸
受の剛性と排油孔からの排油量とのバランスが最適に保
たれる。
【0027】
【発明の実施の形態】この発明の実施の形態における流
体軸受について図面に従って説明する。この発明の実施
の形態における流体軸受は、例えば図5、図9及び図1
7に示すように回転軸としての研削盤の砥石軸Sに用い
られている。砥石主軸ケーシングCには、砥石軸S、即
ち回転軸の外周面を回転自在に支承するラジアル流体軸
受10,20が設けられ、更には必要に応じて、スラス
ト流体軸受30が併設されている。なお、図5では、排
油系の両方と、図9では排油系の一方と給油通路中の絞
りが省略されている。
【0028】先ず発明の実施の第1形態におけるラジア
ル流体軸受10について説明する。ラジアル流体軸受の
軸受部材11は、図1に示すように、砥石軸Sのような
回転軸の外周面を回転自在に支承する円筒形のインナー
スリーブ12が円筒形の軸受ケーシング13の内周面に
例えば圧入、焼嵌め等により嵌着一体化されて二層構造
に構成され、砥石主軸ケーシングCに嵌着されている。
【0029】軸受面となるインナースリーブ12の内周
面、即ち軸受面には、図2に示すような四辺形の静圧ポ
ケット14又は図3に示すような回転軸の外周面の回転
方向に伸びる平行部をもつU字形の静圧ポケット14が
適宜数円周方向に等間隔配列で形成されている。(回転
軸は図3のインナースリーブ12の内周面に対して、下
から上に向けて回転する。)そして、インナースリーブ
12の内周面において、静圧ポケット14を囲う静圧ポ
ケット14以外の区域は、ランド15となる。
【0030】図1に示すように、インナースリーブ12
の外周面には、両側端部を残して全周に亘る円周方向の
凹溝が形成され、インナースリーブ12が軸受ケーシン
グ13に嵌着された状態では、凹溝は、軸受ケーシング
13の内周面と共に、給油円周通路16を形成し、給油
円周通路16には、ポンプPのような外部の圧油供給源
からの絞り弁付き給油管路Lが接続されている例えば研
削盤の砥石主軸ケーシングCの給油孔に接続されてい
る。
【0031】そして、静圧ポケット14の中央部には、
給油円周通路16と連通する給油孔17が開口してお
り、インナースリーブ12には、端面とランド15との
夫々に開口した排油孔18が貫通している。
【0032】排油孔18のランド15における開口部
は、隣接した静圧ポケット14,14の間に適宜数設け
られ、図示の例では、1箇所又は回転軸の軸方向に間隔
をあけた2箇所である。インナースリーブ12の端面に
おける排油孔18の開口には、絞り、好ましくは可変絞
り41(例えば電磁可変絞り弁)が介在する排油管42
が接続され、排油管42は油槽43に達している(図1
参照)。
【0033】上記の軸受部材11においては、ポンプP
のような外部の圧油供給源から給油円周通路16に供給
された適宜圧力調整された潤滑油は、給油孔17を通し
て静圧ポケット14に流出し、静圧ポケット14を満し
て、ランド15と回転軸の外周面との間隙、即ち軸受隙
間を流れ、排油孔18から流出し、可変絞り41により
絞られて排油管42を介して油槽43へ排出される。排
油孔に絞り(可変絞り41)を設けることにより、キャ
ビテーションの防止や剛性と発熱のバランスの調整を可
能としている。
【0034】給油円周通路16を流れる潤滑油は、ラン
ド15における流体摩擦による発熱で加熱されるランド
15を裏側から冷却する。かくして、上記の流体軸受
は、静圧ポケット14においてラジアル静圧流体軸受と
して機能すると共に、ランド15と回転軸の外周面との
間隙に存在する潤滑油には、回転軸の回転における楔作
用により動圧が発生して、流体軸受に動圧効果も加わ
る。
【0035】その際の軸受面の図6(A)に示すa−a
における圧力分布は、図6(B)のようになり、排油管
42における絞り抵抗に応じて変化する。即ち可変絞り
41の調節により変化する。そして、排油管42におけ
る絞り抵抗の変化により後述する流体軸受の静剛性を示
す図7及びランドにおける潤滑油の発熱による軸受の温
度上昇を示す図8における性能は変化し、絞り抵抗を大
きくすると曲線は上方に変位する。
【0036】そして、下記のような高い静剛性の維持及
び温度上昇抑性を両立させるために分離溝がないランド
15に設けられた排油孔18において、特に高速回転時
には、排出効率が良ければ良い程、空気の巻き込みによ
るキャビテーションが発生する可能性が高いので、軸受
性能に支障をきたすが、排油管42に絞り、即ち管路抵
抗が設けられているので、排油孔18における圧力が負
圧になることが防止される。従って、問題となるキャビ
テーションの発生は防止される。
【0037】更に、絞りが、可変絞り41であることに
より、流体軸受内の圧力分布が調整され得るので、流体
軸受の剛性と排油孔18からの排油量とのバランスが最
適に保たれる。そして、流体軸受の静剛性及びランドに
おける潤滑油の発熱による軸受の温度上昇について述べ
ると、流体軸受の静剛性は、図7に示すようになり、ラ
ンドにおける潤滑油の発熱による軸受の温度上昇は、図
8に示すようになる。
【0038】そのいずれについても、この発明のように
ランド15に排油孔18が設けられたものについては実
線で示されているようになり、既述の従来技術における
ランド非分離型については破線で、分離型については一
点鎖線で夫々示されているようになる。
【0039】即ち、この発明の流体軸受は、ランドに分
離溝がない非分離型流体軸受のランド15に適宜数の排
油孔を開口することにより、静剛性がランド非分離型に
近く、温度上昇がランド分離型に近く、高い静剛性の維
持及び温度上昇抑性の性能は、ランド非分離型及びラン
ド分離型に僅かに劣るとしながらも、共に十分に発揮さ
れ、剛性の向上と発熱の抑制とが両立し、ランド非分離
型及びランド分離型の夫々において問題とされている点
が解消される。
【0040】静圧ポケット14の形状として図2の四辺
形、図3のU字形を例示したが、静圧ポケット14の形
状は、この形状に限定されるものでなく、例えば図4の
ように中央の独立したランド15を囲む四辺形の輪状で
も良い。静圧ポケット14を四辺形の輪状にすることに
より、図2の四辺形のものよりも動圧効果を高め、剛性
及び減衰性を向上することができる。又、四辺形の輪状
よりも前記U字形の方が、ランド15が砥石軸Sの回転
方向において一番長く連続するため、動圧効果を一層高
めることができる。
【0041】工作物の材質や要求精度により砥石車の回
転数が変更された場合、可変絞り41による絞りを砥石
軸Sの回転速度の増減に応じて調整することで、回転速
度に応じた軸受剛性と発熱のバランスを調整することが
できる。更に、各種工作機械における回転軸の軸受部材
を共通化して、要求される軸受性能に応じて軸受から離
れた箇所から可変絞り41の絞りを調整するようにして
もよい。
【0042】なお、図1においては、インナースリーブ
12の外周に給油円周通路16が設けられているため、
排油孔18がインナースリーブの内周面から側面に抜け
るように設けられているが、排油孔18の加工の容易
性、配管の行い易さから、給油円周通路16を円周方向
に複数分断したポケット形状にするか、又は給油円周通
路16を無くして、排油孔18が給油孔17と同様に砥
石軸Sに直交する方向に設けられてもよい。
【0043】次に発明の実施の第2形態におけるラジア
ル流体軸受20について説明する。第2形態におけるラ
ジアル流体軸受20のラジアル流体軸受自体は、第1形
態におけるラジアル流体軸受11(図1参照)と同様の
ものであるが、図9に示すように研削盤の砥石軸Sに用
いられる。
【0044】砥石主軸ケーシングCには、砥石軸S、即
ち回転軸の外周面を回転自在に支承するラジアル流体軸
受20が設けられ、既述のような図5に示す実施の第1
形態におけるラジアル流体軸受同様の給排油により作用
するようになっている。
【0045】発明の実施の第2形態におけるラジアル流
体軸受20の排油管42に介在する可変絞り41は、例
えばコントローラ21に接続された電磁可変絞り弁であ
り、その開閉はコントローラ21により制御され、軸受
油温度、ポケット内圧力、クリアランスに応じて調整さ
れ、軸受剛性とランドにおける発熱のバランスの最適絞
り比となり、使用条件下で最高の性能を発揮され得るよ
うになっている。
【0046】実施の第2形態におけるラジアル流体軸受
10が適用される図9に示す研削盤では、砥石軸Sに
は、砥石軸Sの回転速度を測定するようにエンコーダ2
2が設けられており、静圧ポケット14あるいは排油管
42には温度センサ23が取り付けられ、潤滑油温度が
測定される。更に、静圧ポケット14には圧力センサ2
4や変位計25が取り付けられており、静圧ポケット内
圧力や軸受隙間が測定されるようになっている。
【0047】可変絞り41(電磁可変絞り弁)の開閉を
制御するように可変絞り41に接続して設けられたコン
トローラ21は、エンコーダ22、温度センサ23、圧
力センサ24及び変位計25からの各測定値信号が入力
されるようにエンコーダ22、温度センサ23、圧力セ
ンサ24及び変位計25の夫々に接続されている。
【0048】そして、上記の各測定量に応じてコントロ
ーラ21が、軸受の剛性と発熱のバランスが最適になる
ように、可変絞り41を調整する。実際には設計の段階
で上記の測定量のうち必要なものを選択すればよい。な
お、図9において、左側の流体軸受20の排油系が省略
されているが、左側の流体軸受20にも、右側の流体軸
受20と同様に温度センサ23、圧力センサ24及び変
位計25が設けられ、それらの測定値信号がコントロー
ラ21に入力されるようになっていてもよい。
【0049】工作物の材質や要求される加工精度により
砥石軸Sの回転速度が変更された場合、回転速度の測定
値をもとにコントローラ21が可変絞り41を調整する
ことで、回転速度に応じた軸受剛性と発熱のバランスを
調整することができる。図11及び図12に示すよう
に、一般には回転速度が高いほど動圧効果の影響で剛性
も高くなるが、潤滑油の流体摩擦による発熱も大きくな
る。
【0050】ただし、図12は潤滑油温度が定常になる
まで回転軸を一定の回転速度で回転させ、回転速度0の
ときの定常温度と各回転速度での定常温度との差を取っ
ている。よって、図13で示すように低速回転時では絞
りを閉めて剛性を高め、高速回転時では可変絞り41を
開くことにより必要以上の剛性の上昇を低減し、潤滑油
の温度上昇を抑制することが可能である。
【0051】工作物の加工中、特に回転軸の高速回転時
において、ランド15と潤滑油との流体摩擦による発熱
により、軸受部材11や砥石軸Sが熱変形を起こして軸
受隙間が縮小したり、潤滑油温度が上昇して潤滑油の粘
性が低くなって、軸受性能が変化する。
【0052】そのような場合でも、温度センサ23で測
定した潤滑油温度をもとに、図14に示す潤滑油温度と
絞りの関係に応じて絞りを調整すればよく、又、圧力セ
ンサ24により測定された静圧ポケット14内の圧力に
基づいて静圧ポケット14内圧力と絞りとの関係に応じ
て絞りを調整すればよい。又、変位計25で測定した軸
受隙間をもとに、軸受隙間と絞りの関係に応じて絞りを
調整すればよい。このようにして、流体軸受20を常に
最適な状態に縦持することが可能となる。
【0053】この発明では、排油孔18ごとに可変絞り
41が設けられる(図5(A)参照)ことにより、個別
に絞りを調整して図10に示すような圧力分布をとるこ
とも可能となる。すなわち、加工の仕方から定まる負荷
方向の軸受の剛性だけを上げることが可能である。ま
た、加工物の向きを変更したり加工物を交換する際に軸
受にかかる負荷が変化する。
【0054】このような場合、図15に示すようにする
ことも可能である。即ち、図20に示す流体軸受は、そ
の最大負荷を許容するだけの剛性に合わせて設計される
ため、加工サイクルの繰返しのような負荷変動があって
も(図15(a))、負荷変動に拘らず一様の発熱量に
よる一様の高い温度上昇が生じる(図15(b))。こ
れに対して、この発明による流体軸受においては、コン
トローラ21により加工中のような高負荷時では可変絞
り41を閉じて剛性を高めるため、従来の技術のものと
同程度の発熱量による温度上昇が生じるが、低負荷時で
は可変絞り41を開いて、排出量を増やし発熱量を抑制
して、無駄な温度上昇を防ぐ(図15(c)(d))。
【0055】このように、この発明の流体軸受は砥石軸
Sの回転速度、潤滑油温度、静圧ポケット内圧力、軸受
隙間に応じて可変絞り41を調整することにより、軸受
剛性と発熱のバランスが常に最適な状態に維持される。
【0056】上記の実施の第2形態においては、砥石軸
Sの両端支持の一方の軸受部材11にのみに状態検出手
段である温度センサ23、圧力センサ24、変位計25
を設けて可変絞り41を制御するようにしたが、他方の
軸受部材11にも同様の可変絞り41が設けられていて
もよい。
【0057】次に、発明の実施の第3形態におけるスラ
スト流体軸受30について説明する。スラスト軸受30
は、図17に示すように、砥石軸Sのような回転軸の中
央部に形成されたフランジ部Fの端面が滑動自在に対向
して接するスラスト軸受面31が形成され、砥石軸Sが
挿通される中心孔32が形成された円環板体である軸受
部材33が研削盤の砥石主軸ケーシングCに嵌着される
か、又は、フランジ部Fの端面が対向して接する砥石主
軸ケーシングCの部位の面に円環帯形のスラスト軸受面
が直接形成されるかして構成されている。軸受部材33
は、実施の第1形態における軸受部材11のように給油
通路を形成する二層構造に構成されていてもよい。
【0058】砥石軸Sのような回転軸の中央部に形成さ
れたフランジ部Fの端面に接する円環帯形のスラスト軸
受面31には、図16に示すように外周域と内周域とを
残して中間域に同心的に不連続円環帯形の静圧ポケット
34が形成されている。そして、スラスト軸受面31に
おいて、静圧ポケット34以外の区域は、ランド35と
なる。(フランジ部Fは、図17のスラスト軸受面31
の中心軸線を中心に回転する。)
【0059】具体的には、スラスト軸受面31は、外周
域ランド35aと内周域ランド35bとの間の静圧ポケ
ット34が円周方向で等分割(図示の例では4等分割)
されて静圧ポケット34が不連続円環帯形となり、夫々
の静圧ポケット34の底面に給油孔17が開口してい
る。静圧ポケット34を分割する円周4等分の放射状の
半径方向ランド35cは、外周域ランド35aと内周域
ランド35bとを連結している。
【0060】放射状の半径方向ランド35cの夫々に、
適宜数(図示の例では1個)の排油孔36が開口してい
る。排油孔36の流出側には、実施の第1形態ど同様に
絞り、好ましくは可変絞り41(例えば電磁可変絞り
弁)が介在する排油管42が接続され、排油管42は油
槽43に達している(図17参照)。
【0061】スラスト軸受面31の静圧ポケット34の
底面に開口している給油孔17は、スラスト軸受30の
内部を貫通し、外部のポンプPのような外部の圧油供給
源からの例えば研削盤の砥石主軸ケーシングCの給油孔
のような給油通路に接続されている。
【0062】必要に応じ、実施の第2形態の場合と同様
に、回転速度の測定値をもとにコントローラ21が可変
絞り41(電磁可変絞り弁)を調整することで、回転速
度に応じた軸受剛性と発熱のバランスを調整するように
なっている。
【0063】即ち、実施の第2形態の場合と同様に設け
られたエンコーダ22、温度センサ23、圧力センサ2
4及び変位計25から各測定値信号が入力されるコント
ローラ21が、上記の各測定値に応じて軸受の剛性と発
熱のバランスが最適になるように、可変絞り41が調整
されるようになっており、高速回転時と低速回転時での
軸受性能の切替えが適切に行われる。
【0064】スラスト軸受30における潤滑油の供給・
排出の流れは、前記実施の第1形態及び第2形態のラジ
アル軸受と同様である。前記実施の第1形態及び第2形
態のラジアル軸受の場合と異なり、動圧効果を有効利用
して消費動力低減は望めないが、低発熱化は十分に発揮
される。
【0065】回転速度に対応する静剛性性能及び温度上
昇低減性能は、図18及び図19に示すように、従来の
技術の分離型(図21(C))や排油孔無しの非分離型
(図21(B))に比し優れている。又、潤滑油の排出
が排油孔36を介して行われる結果、軸受の内周側・外
周側からの流出量が抑制されるので、シール能力不足と
はならない。
【0066】上記の実施の形態においては、流体軸受が
研削盤の砥石軸に適用されている状態で述べられている
が、この発明の流体軸受の適用は、研削盤の砥石軸に限
定されるものできはなく、切削機、研磨機、マシニング
センタ等の各種工作機械のみならず、その他の各種機械
の回転軸にも可能である。
【0067】
【発明の効果】この発明の流体軸受においては、静圧ポ
ケットに給油孔を、ランドに排油孔を開口することによ
り、二律背反のランド非分離型に近い高い静剛性の維持
とランド分離型に近い優れた温度上昇抑性という二つの
性能が発揮される。
【0068】そして、排油孔が絞りを介して排出手段に
連通している場合には、排油孔におけるキャビテーショ
ンの発生を防止し、延いては、軸受性能の支障、例えば
最悪で焼付きが防止され、又、排油孔の位置や個数に加
えて、排油孔に絞りなどの抵抗を適宜設けることによ
り、排出状態を制御することができる。
【0069】しかも、絞りが可変絞りであるので、工作
物の材質や要求精度により回転軸の回転速度が変更さ
れ、軸受油温度が変化し、軸受油の粘性や軸受隙間が変
化した場合においても、随時、適宜絞りを調整し得るの
で、流体軸受内の圧力分布が調整され得、流体軸受の剛
性と排油孔からの排油量とのバランスを常に最適に保た
れる。そして、可変絞りは、回転軸の回転速度、軸受内
の温度、流体圧力、軸受隙間等の検出量に基づいて自動
的に調整され得る。
【0070】更に、排油孔ごとに可変絞りを設けること
により、負荷方向の軸受剛性だけを高くすることができ
る。また、低負荷時は絞りを開いて無駄な温度上昇を防
ぐことも可能である。又、可変絞りにより軸受剛性の最
適設計の容易化と共に、軸受設計の自由度の増加、絞り
抵抗の変更により軸受性能の適宜調整を図ることによる
軸受部材の共通化等が可能となる。
【0071】軸受部材内の給油通路が形成されている場
合には、そこを流れる潤滑油により流体摩擦による発熱
で加熱されるランドが裏側から冷却するされ得る。 そ
して、軸受部材が二層構造である場合には、給油通路の
加工が容易に実現され、生産性もよく、生産コストも低
廉となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の実施の第1・2形態におけるラジア
ル流体軸受の断面斜視図である。
【図2】この発明の実施の第1・2形態におけるラジア
ル流体軸受の軸受面展開図である。
【図3】この発明の実施の第1・2形態におけるラジア
ル流体軸受の別型の軸受面展開図である。
【図4】この発明の実施の第1・2形態におけるラジア
ル流体軸受の別型の軸受面展開図である。
【図5】この発明の実施の第1形態におけるラジアル流
体軸受を適用した砥石軸の構成図である。
【図6】この発明の実施の第1・2形態におけるラジア
ル流体軸受の作用説明図である。
【図7】この発明の実施の第1形態におけるラジアル流
体軸受作動中の静剛性グラフである。
【図8】この発明の実施の第1形態におけるラジアル流
体軸受作動中の温度グラフである。
【図9】この発明の実施の第2形態におけるラジアル流
体軸受を適用した砥石軸の構成図である。
【図10】図2の軸受面のラジアル流体軸受の作用説明
図である。
【図11】この発明の実施の第2形態におけるラジアル
流体軸受作動中の静剛性グラフである。
【図12】この発明の実施の第2形態におけるラジアル
流体軸受作動中の温度グラフである。
【図13】この発明の実施の第2形態におけるラジアル
流体軸受作動の絞りと回転速度との関係グラフである。
【図14】この発明の実施の第2形態におけるラジアル
流体軸受作動の絞りと軸受内温度との関係グラフであ
る。
【図15】この発明の実施の第2形態におけるラジアル
流体軸受の低負荷時の発熱抑制グラフである。
【図16】この発明の実施の第3形態におけるスラスト
流体軸受の軸受面正面図である。
【図17】この発明の実施の第3形態におけるスラスト
流体軸受を適用した砥石軸の構成図である。
【図18】この発明の実施の第3形態におけるスラスト
流体軸受作動中の静剛性グラフである。
【図19】この発明の実施の第3形態におけるスラスト
流体軸受作動中の温度グラフである。
【図20】従来の技術におけるラジアル流体軸受の軸受
面展開図である。
【図21】従来の技術におけるスラスト流体軸受の軸受
面正面図である。
【符号の説明】
10 ラジアル流体軸受 11 軸受部材 12 インナースリーブ 13 軸受ケーシング 14 静圧ポケット 15 ランド 16 給油円周通路 17 給油孔 18 排油孔 41 可変絞り 42 排油管 43 油槽 20 ラジアル流体軸受 21 コントローラ 22 エンコーダ 23 温度センサ 24 圧力センサ 25 変位計 30 スラスト流体軸受 31 スラスト軸受面 32 中心孔 33 軸受部材 34 静圧ポケット 35 ランド 35a 外周域ランド 35b 内周域ランド 35c 半径方向ランド 36 排油孔 S 砥石軸 C 砥石主軸ケーシング P ポンプ
フロントページの続き Fターム(参考) 3C048 AA07 CC07 DD12 DD13 EE02 3J102 AA02 AA08 BA03 BA17 BA18 CA03 CA07 CA09 CA12 CA33 EA03 EA06 EA09 EA12 EA16 EA22 EA25 EB01 EB02 EB03 EB06 EB07 GA07

Claims (15)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 回転軸を支持する軸受面において、回転
    軸の滑動面の移動方向に適宜の間隔をあけて複数の静圧
    ポケットが列設され、該静圧ポケット以外の区域にラン
    ドが形成され、軸受面の静圧ポケットには給油手段に連
    通する給油孔が開口し、ランドには、排出手段に連通し
    た排油孔が1個以上開口した流体軸受。
  2. 【請求項2】 排油孔は可変絞りを介して排出手段に連
    通している請求項1に記載の流体軸受。
  3. 【請求項3】 可変絞りが回転軸の回転速度に応じて調
    整される絞りである請求項2に記載の流体軸受。
  4. 【請求項4】 排油孔は可変絞りを介して排出手段に連
    通し、軸受作動状態検出手段と、該軸受作動状態検出手
    段による検出信号により可変絞り弁の開閉を制御する制
    御手段とを具備している請求項1に記載の流体軸受。
  5. 【請求項5】 軸受作動状態検出手段が回転軸回転速度
    を検出する回転速度検出手段及び軸受内の流体圧を検出
    する圧力センサを含む請求項4に記載の流体軸受。
  6. 【請求項6】 軸受作動状態検出手段が軸受面と回転軸
    の滑動面との軸受隙間を検出する変位計を含む請求項4
    又は請求項5に記載の流体軸受。
  7. 【請求項7】 軸受作動状態検出手段が軸受内の流体温
    度を測定する温度センサを含む請求項4乃至請求項6の
    いずれかに記載された流体軸受。
  8. 【請求項8】 回転軸を支持する軸受面が回転軸の滑動
    面である外周面を支承するラジアル軸受面である請求項
    1乃至請求項7のいずれかに記載された流体軸受。
  9. 【請求項9】 回転軸を支持する軸受面が回転軸の滑動
    面である回転軸の一部を形成する端面を支承するスラス
    ト軸受面である請求項1乃至請求項7のいずれかに記載
    された流体軸受。
  10. 【請求項10】 回転軸を支持する軸受面が回転軸の滑
    動面である外周面を支承するラジアル軸受面及び回転軸
    の滑動面である回転軸の一部を形成する端面を支承する
    スラスト軸受面である請求項1乃至請求項7のいずれか
    に記載された流体軸受。
  11. 【請求項11】 ラジアル軸受面の静圧ポケットが四辺
    形の凹所である請求項8又は請求項10に記載の流体軸
    受。
  12. 【請求項12】 ラジアル軸受面の静圧ポケットが軸受
    面で円周方向に伸びる対向して平行な脚部をもつU字形
    の凹所である請求項8又は請求項10に記載の流体軸
    受。
  13. 【請求項13】 ラジアル軸受面の静圧ポケットの凹所
    内に独立したランドが形成されている請求項8、請求項
    10又は請求項11に記載の流体軸受。
  14. 【請求項14】 ラジアル軸受面が内周面に形成された
    インナースリーブが軸受ケーシングの内周面に嵌着され
    た二層一体の軸受部材で構成され、軸受ケーシングとイ
    ンナースリーブとの嵌合面において円周方向に給油通路
    が形成され、給油孔の一端側が給油通路を介して給油手
    段に連通している請求項8、又は請求項10乃至請求項
    13のいずれかに記載の流体軸受。
  15. 【請求項15】 スラスト軸受面の静圧ポケットが円環
    帯形の外周域ランドと内周域ランドとの間に形成され、
    外周域ランドと内周域ランドとを連結している複数の半
    径方向ランドにより円周方向で複数に分割されており、
    半径方向ランドの夫々には1個以上の排油孔が開口して
    いる請求項9又請求項10に記載の流体軸受。
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Cited By (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003089026A (ja) * 2001-09-17 2003-03-25 Toyoda Mach Works Ltd 工作機械の主軸装置
JP2006017122A (ja) * 2004-06-29 2006-01-19 Ford Global Technologies Llc エンジンなどの状態監視方法及びシステム
JP2006114852A (ja) * 2004-10-18 2006-04-27 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板保持装置
JP2008215439A (ja) * 2007-03-01 2008-09-18 Jtekt Corp すべり案内装置
JP2010151236A (ja) * 2008-12-25 2010-07-08 Jtekt Corp 流体軸受装置の軸受部材の製造方法およびその方法により製造された流体軸受装置の軸受部材
JP2010151255A (ja) * 2008-12-25 2010-07-08 Disco Abrasive Syst Ltd スピンドルアセンブリ
JP2011257232A (ja) * 2010-06-08 2011-12-22 Denso Corp 回転体のバランス計測装置
JP2012107744A (ja) * 2010-10-28 2012-06-07 Jtekt Corp 静圧流体軸受装置
JP2014237208A (ja) * 2013-06-10 2014-12-18 株式会社ジェイテクト 主軸装置
CN104454994A (zh) * 2014-10-31 2015-03-25 湖南大学 气体静压径向轴承
JP2015112672A (ja) * 2013-12-11 2015-06-22 株式会社ジェイテクト 主軸装置
JP2015530538A (ja) * 2012-09-19 2015-10-15 シーメンス インダストリー インコーポレイテッドSiemens Industry, Inc. 油膜軸受け用ブッシュ
JP2017210991A (ja) * 2016-05-24 2017-11-30 ユニバーサル製缶株式会社 流体軸受の異常検知装置及び異常検知方法

Families Citing this family (47)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2002061297A1 (de) * 2001-02-02 2002-08-08 Alstom (Switzerland) Ltd. Verfahren und vorrichtung zur betriebsüberwachung eines gleitlagers
JP4161651B2 (ja) * 2001-09-26 2008-10-08 株式会社ジェイテクト 流体軸受
US7048520B1 (en) * 2002-04-16 2006-05-23 Mccarthy James Multistage sealed coolant pump
US7008111B2 (en) * 2002-12-16 2006-03-07 Aerojet-General Corporation Fluidics-balanced fluid bearing
DE10336894A1 (de) * 2003-08-08 2005-03-10 Sms Demag Ag Ölfilmlager für Walzenzapfen mit hydrostatischer Unterstützung
US7559696B2 (en) * 2004-08-30 2009-07-14 Hamilton Sundstrand Corporation Active thrust management system
US7553085B2 (en) * 2006-04-28 2009-06-30 The United States Of America As Represented By The United States Environmental Protection Agency Fluid bearing and method of operation
JP4387402B2 (ja) * 2006-12-22 2009-12-16 株式会社神戸製鋼所 軸受及び液冷式スクリュ圧縮機
JP4823931B2 (ja) * 2007-02-02 2011-11-24 東芝機械株式会社 ロール加工装置
WO2008115473A2 (en) * 2007-03-15 2008-09-25 The University Of Akron Self-acting self-circulating fluid system without external pressure source and use in bearing system
US7758320B2 (en) * 2007-05-03 2010-07-20 Tank, Inc. Two-stage hydrodynamic pump and method
US8646979B2 (en) * 2007-09-13 2014-02-11 Elka Precision, Llc Hybrid hydro (air) static multi-recess journal bearing
US20090199939A1 (en) * 2008-02-08 2009-08-13 Milana Pruzhansky Purse with Wrist Attachment
FR2934015A1 (fr) * 2008-07-15 2010-01-22 Alstom Hydro France Machine hydraulique et installation de conversion d'energie comprenant une telle machine
JP5428704B2 (ja) * 2009-09-25 2014-02-26 株式会社ジェイテクト 回転動力伝達装置
GB2487891B (en) 2009-11-13 2014-01-08 Otis Elevator Co Bearing cartridge and elevator machine assembly
KR100979479B1 (ko) * 2010-05-19 2010-09-02 윤계천 증기터빈 밸브용 정압 베어링 서보 실린더
US20120110818A1 (en) * 2010-11-05 2012-05-10 Leonid Kashchenevsky Machine for rotating a part and method for doing the same
ES2395350B1 (es) * 2011-02-02 2014-09-09 Fagor, S. Coop. Prensa mecánica adaptada a procesos de conformado, en particular procesos de conformado en caliente
CN102086903A (zh) * 2011-02-21 2011-06-08 东南大学 一种用于重载和高频摆动工况的动静压球头铰链机构
CN102167248B (zh) * 2011-03-21 2013-01-16 东华大学 一种液压支撑的卷绕机
US9016099B2 (en) * 2011-09-29 2015-04-28 Siemens Industry, Inc. Hybrid hydrodynamic and hydrostatic bearing bushing and lubrication system for rolling mill
JP5602122B2 (ja) * 2011-12-13 2014-10-08 日立Geニュークリア・エナジー株式会社 すべり軸受とそれを用いたポンプ装置
CN102562828B (zh) * 2012-02-14 2013-07-17 湖南大学 可控节流器
US20140029878A1 (en) * 2012-07-27 2014-01-30 Massachusetts Institute Of Technology Partial arc hydrostatic bearing
CN102797754A (zh) * 2012-08-28 2012-11-28 天津市第二机床有限公司 内反馈静压轴承
US9279446B2 (en) 2013-03-09 2016-03-08 Waukesha Bearings Corporation Bearing with axial variation
US9284976B2 (en) 2013-03-09 2016-03-15 Waukesha Bearings Corporation Countershaft
US9506498B2 (en) 2014-03-25 2016-11-29 Specialty Components, Inc. Gap sensing method for fluid film bearings
CN103939472B (zh) * 2014-03-27 2017-04-26 西安交通大学 一种双螺杆压缩机滑动轴承
US9410572B2 (en) * 2014-05-12 2016-08-09 Lufkin Industries, Llc Five-axial groove cylindrical journal bearing with pressure dams for bi-directional rotation
CN104088904A (zh) * 2014-06-23 2014-10-08 湖南宗胜制造有限公司 一种内节流液体静压圆柱导轨
KR101690420B1 (ko) * 2015-07-17 2016-12-27 한국기계연구원 혼합베어링 장치 및 그 구동방법
US9587672B1 (en) 2015-08-11 2017-03-07 Lufkin Industries, Llc Adjustable offset pivot journal pad
ITUB20153896A1 (it) 2015-09-25 2017-03-25 Nuovo Pignone Tecnologie Srl Metodo per uniformare la temperatura in un albero supportato da un cuscinetto a fluido, sistema a cuscinetto e turbomacchina
EP3176450B1 (fr) * 2015-12-03 2018-09-26 Flender-Graffenstaden S.A.S. Palier hydrostatique à fonction hydrodynamique
CN105485167B (zh) * 2016-01-07 2017-11-24 燕山大学 一种推力轴承的轴向支承垫
CN105570301A (zh) * 2016-02-19 2016-05-11 天津市第二机床有限公司 高精度静压主轴
JP6790574B2 (ja) * 2016-08-12 2020-11-25 株式会社ジェイテクト 主軸装置と、該主軸装置を備えた研削盤
CN107299939A (zh) * 2017-04-09 2017-10-27 北京工业大学 一种带圆角的扇形腔静压回转台油垫
JP6796537B2 (ja) * 2017-04-14 2020-12-09 大同メタル工業株式会社 コンロッド軸受、及び軸受装置
IT201700084319A1 (it) * 2017-07-24 2019-01-24 Arol Spa Dispositivo di guida a cuscino d’aria
DE102017213760A1 (de) * 2017-08-08 2019-02-14 Robert Bosch Gmbh Hydrostatische Axialkolbenmaschine
US11863053B2 (en) * 2019-10-08 2024-01-02 Neapco Intellectual Property Holdings, Llc Lubricant supported electric motor with a monitoring port
KR102653700B1 (ko) * 2019-11-01 2024-04-03 선전 스페리칼 플루이드 파워 테크놀로지 컴퍼니 리미티드 구형 펌프 회전자 정압 지지 구조 및 정압 지지 구조를 구비하는 구형 펌프
CN113618627B (zh) * 2021-10-09 2022-01-14 北京博鲁斯潘精密机床有限公司 一种航空发动机叶榫叶片磨削机床的静压导轨副
CN114623159A (zh) * 2022-03-25 2022-06-14 西安热工研究院有限公司 一种防止出现穴蚀的静压轴承

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB700589A (en) * 1951-04-09 1953-12-02 Roulements A Billes Miniatures Fluid support bearing
GB873202A (en) * 1957-10-18 1961-07-19 Atomic Energy Authority Uk Improvements in or relating to gas lubricated journal bearings
GB877233A (en) * 1958-03-19 1961-09-13 Glacier Co Ltd Plain bearings
GB1047342A (ja) * 1963-01-30
GB1107721A (en) * 1963-12-18 1968-03-27 Mach Tool Industry Res Ass Improvements in or relating to fluid bearings
FR1487180A (fr) * 1966-07-21 1967-06-30 Lucas Industries Ltd Palier perfectionné et ses applications
CA1096431A (en) * 1978-07-03 1981-02-24 Kunio Shibata Fluid bearing
US5364190A (en) * 1992-01-14 1994-11-15 Toshiba Kikai Kabushiki Kaisha Hydrostatic bearing apparatus
US5433528A (en) * 1994-02-28 1995-07-18 Rockwell International Corporation Two pad axially grooved hydrostatic bearing
US5456535A (en) * 1994-08-15 1995-10-10 Ingersoll-Rand Company Journal bearing
JPH08277899A (ja) 1995-04-06 1996-10-22 Toyoda Mach Works Ltd 静圧送りねじ装置および移動体の送り装置
JP3555634B2 (ja) 1995-11-24 2004-08-18 豊田工機株式会社 主軸装置
EP0888501A1 (en) * 1996-02-08 1999-01-07 Aesop Inc. Combined hydrostatic/hydrodynamic bearing
US5928061A (en) 1996-10-21 1999-07-27 Toyoda Koki Kabushiki Kaisha Wheel-head feed mechanism and grinder using the same
US5769545A (en) * 1996-12-04 1998-06-23 Bently Nevada Corporation Hydrostatic bearing for supporting rotating equipment, a fluid handling system associated therewith, a control system therefore, method and apparatus
JPH10227312A (ja) 1997-02-14 1998-08-25 Toyoda Mach Works Ltd 流体軸受装置
JP3613309B2 (ja) 1997-03-19 2005-01-26 豊田工機株式会社 流体軸受装置
JP4031867B2 (ja) * 1998-06-16 2008-01-09 Ntn株式会社 静圧空気軸受装置

Cited By (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003089026A (ja) * 2001-09-17 2003-03-25 Toyoda Mach Works Ltd 工作機械の主軸装置
JP2006017122A (ja) * 2004-06-29 2006-01-19 Ford Global Technologies Llc エンジンなどの状態監視方法及びシステム
JP4594031B2 (ja) * 2004-10-18 2010-12-08 大日本スクリーン製造株式会社 基板保持装置
JP2006114852A (ja) * 2004-10-18 2006-04-27 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板保持装置
JP2008215439A (ja) * 2007-03-01 2008-09-18 Jtekt Corp すべり案内装置
JP2010151255A (ja) * 2008-12-25 2010-07-08 Disco Abrasive Syst Ltd スピンドルアセンブリ
JP2010151236A (ja) * 2008-12-25 2010-07-08 Jtekt Corp 流体軸受装置の軸受部材の製造方法およびその方法により製造された流体軸受装置の軸受部材
JP2011257232A (ja) * 2010-06-08 2011-12-22 Denso Corp 回転体のバランス計測装置
JP2012107744A (ja) * 2010-10-28 2012-06-07 Jtekt Corp 静圧流体軸受装置
JP2015530538A (ja) * 2012-09-19 2015-10-15 シーメンス インダストリー インコーポレイテッドSiemens Industry, Inc. 油膜軸受け用ブッシュ
JP2014237208A (ja) * 2013-06-10 2014-12-18 株式会社ジェイテクト 主軸装置
JP2015112672A (ja) * 2013-12-11 2015-06-22 株式会社ジェイテクト 主軸装置
CN104454994A (zh) * 2014-10-31 2015-03-25 湖南大学 气体静压径向轴承
JP2017210991A (ja) * 2016-05-24 2017-11-30 ユニバーサル製缶株式会社 流体軸受の異常検知装置及び異常検知方法

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