JP4823931B2 - ロール加工装置 - Google Patents

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Description

この発明は、ロールを水平に支持して回転させつつ該ロールの表面を加工するロール加工装置に係り、特に液晶画面に使用される光学フィルム及びリアプロジェクションに使用されるレンチキュラーレンズに用いられるロール金型等の精密加工を必要とするロール加工装置に関する。
上記のロール金型は、微細で極めて高精度な加工を必要とするため、回転に伴う振れや軸芯位置の変位などを抑えてロールを正確に支持する必要がある。このためには、ロールの両端を支持する主軸を静圧軸受により支持することが好ましい。
しかしながら、主軸を静圧軸受により支持すると、該静圧軸受は軸受隙間が小さいため、特に長さが大きなロールの場合、スラスト荷重を受ける静圧スラスト軸受は、室温変動等によるロールの長手方向の熱膨張を吸収することができず、かじりを発生するという課題を生じる。
ところで、特許文献1には、ワークとしてのクランクシャフトを加工する装置において、ラジアル方向とスラスト方向の両方を静圧軸受で支持した2つの主軸でワークの両端を支持する方式を採用しつつ、一方の主軸にはワークを直接固定することなく、該一方の主軸内に設けたピストンにワークの一端を固定し、該ピストンにより上記ワークの一端に引張り力を与えてワークを支持する方式が開示されている。
この方式によれば、室温変動等によるワークの長手方向の熱膨張を吸収することはできるが、構造が複雑であると共に、上記ワークの一端は主軸に直接固定されず、ピストンを介して該主軸に固定されるため、ワークの支持が不安定となり、回転に伴う振れや軸芯位置の変位などを生じ易いという欠点がある
特開平11−207503号公報
この発明は、室温変動等によるロールの長手方向の熱膨張を簡単な構造により吸収しながら該ロールを静圧軸受により的確に支持して加工精度の向上を図ることのできるロール加工装置を提供することを目的としている。
上記目的を達成するためのこの発明は、水平に置かれたロールの両端を互いに対向して配置された第一及び第二主軸により支持して前記ロールの表面を加工するロール加工装置において、前記第一主軸を回転自在に支持する静圧ラジアル軸受と、前記第一主軸の軸方向移動を規制する静圧スラスト軸受と、前記第二主軸を回転自在に支持する静圧ラジアル軸受と、前記第二主軸の軸方向移動を選択的に規制可能なフローティングスラストと、を備えてなることを特徴としている。
なお、前記フローティングスラストは、ボールベアリングを用いて構成されていてもよく、このボールベアリングは、アウタレース側が前記第二主軸を支持する主軸ヘッド本体に対して軸方向へのみ移動可能に取り付けられると共に、該アウタレース側を前記軸方向へ移動可能なピストンにより前記軸方向の所定位置に選択的に押圧固定可能に構成されていることが好ましい。また、前記ピストンは、前記アウタレース側の前後にそれぞれ配置されていることが好ましい。
この発明は、上記のようにロールの両端を支持する2つの主軸のうち第一主軸は、ラジアル方向とスラスト方向の両方を静圧軸受とし、第二主軸は、ラジアル方向を静圧軸受とし、スラスト方向については軸方向移動を選択的に規制可能なフローティングスラストとしたため、構造は簡単であり、室温変動等によるロールの長手方向の熱膨張は、フローティングスラストにより吸収され、該ロールは、第一及び第二主軸の静圧ラジアル軸受と第一主軸の静圧スラスト軸受により的確に支持され、これにより加工精度の向上を図ることができるという効果を得ることができる。
なお、フローティングスラストは、第一及び第二主軸に対するロールの着脱時に第二主軸の軸方向位置をその主軸ヘッド本体に対して所定位置に固定すると共に、該主軸ヘッド本体に対する第二主軸の軸方向位置の初期設定を行うためのものであるため、必ずしも静圧スラスト軸受とする必要はなく、ボールベアリングとすれば、装置をより簡単な構成とすることができると共に、より安価にすることができる効果を得ることができる。
以下図1ないし図3によりこの発明の一実施形態例について説明する。図1において、Rは加工対象のロールである。10は第一主軸、11は第二主軸であり、水平な同一軸芯上に互いに対向して配置され、ロールRを水平に保ってその両端を着脱可能に固定して支持するように構成されている。
両主軸10、11は、ロールRに向かって前側と後側をそれぞれ静圧ラジアル軸受12、13、14、15により回転自在に支持されている。これらの静圧ラジアル軸受12、13、14、15は、静圧ラジアル軸受12を例にとって図2に示すように、上下と左右にそれぞれ互いに対向して2組をなす静圧ポケット12A、12B、12C、12Dを有している。
上記静圧ポケット12A、12B、12C、12Dのうち、ロールRの荷重が作用する上下方向の位置にある組の上方の静圧ポケット12Aの圧油供給回路16には、静圧ポケット12A内の圧力変化に応じて静圧ポケット12Aへ供給する圧油の流量を変化させて静圧ポケット12Aの軸受隙間を一定に保つ定圧比流量調整弁17が設けられている。なお、第二主軸11の前側の静圧ラジアル軸受14も同様に、上方の静圧ポケット14Aの圧油供給回路16に定圧比流量調整弁17が設けられている。
他方、両主軸10、11の後側の静圧ラジアル軸受13、15は、下方の静圧ポケット13B、15Bの圧油供給回路16に定圧比流量調整弁17が設けられている。圧油供給回路16は、温度調整ユニット18を介して圧油供給源であるアキュームレータタンク19に接続されている。
なお、静圧ラジアル軸受12、13、14、15の上記静圧ポケット12A、14A、13B、15B以外の静圧ポケット(符号は省略)は、定圧比流量調整弁17を経ることなく、温度調整ユニット18を介して圧油供給源であるアキュームレータタンク19に接続されている。
20、21は、第一主軸10の静圧スラスト軸受であり、第一主軸10に設けられた鍔22の両端面にそれぞれ対向する複数の静圧ポケットを有し、各静圧ポケットは、圧油供給回路16により上記温度調整ユニット18を介してアキュームレータタンク19に接続されている。なお、23は、上記の各静圧軸受12〜15、20、21からの流出油をタンク24へ戻すためのドレンである。
第二主軸11の後端(図1において右端)にはフローティングスラスト25が設けられている。このフローティングスラスト25は、図3に示すように、スラスト軸受としてのボールベアリング26、27がスペーサ28を介してナット29により第二主軸11の後端に取り付けられている。ボールベアリング26、27のアウタレース側は、ベアケース32を介してハウジング31の穴31Aに嵌入され、ガイドピン31Bにより軸方向へのみ移動可能に支持されている。なお、このハウジング31は、上記静圧ラジアル軸受14、15を介して第二主軸11を回転自在に支持する主軸ヘッド本体(一部のみ図示)30に取り付けられている。
ハウジング31には、ベアケース32を前後から押圧するピストン33、34が設けられている。両ピストン33、34は、穴31Aの前後の段差部により前進限位置を規制され、それぞれ所定量後退可能に設けられている。両ピストン33、34の背面側は、切換弁35により上記圧油供給回路16とタンク24が選択的に接続可能に構成され、圧油供給回路16への接続によりピストン33、34を前進限位置へ押圧し、ベアケース32を介してボールベアリング26、27の軸方向位置を固定すると共に、タンク24へ接続して両ピストン33、34の背面側の圧力を解放することによりボールベアリング26、27の軸方向移動を許すようになっている。
再び、図1において、アキュームレータタンク19には、工場エアー等の加圧空気源36からの加圧空気を増圧弁37により増圧した高圧空気を蓄えるレシーバタンク38が接続され、上記各静圧軸受12〜15、20、21に必要な圧力をアキュームレータタンク19に与えるようになっている。
また、アキュームレータタンク19には、逆止弁39を介してポンプ40が接続され、アキュームレータタンク19に設けられた上下の液面計41、42によりポンプ40の起動停止を制御し、アキュームレータタンク19内に所定値以上の圧油を蓄えるようになっている。なお、第一及び第二主軸10、11の回転駆動機構及びロールRを着脱するための第一主軸10又は第二主軸11の軸方向移動機構は、この発明と直接関係がないため、図示及び説明を省略する。
次いで、この装置の作用について説明する。第一及び第二主軸10、11にロールRを取り付けるに際して、まず、切換弁35により両ピストン33、34の背面側を圧油供給回路16に接続し、図3に示すように、ピストン33、34を穴31Aの前後の段差部に押圧してボールベアリング26、27をハウジング31に対して固定し、主軸ヘッド本体30に対する第二主軸11の軸方向位置を固定する。
次に、ロールRの両端を第一及び第二主軸10、11の先端にそれぞれ取付固定する。このロールRの取り付けにより両主軸10、11にはロールRの荷重が作用し、前側の静圧ラジアル軸受12、14は、下方に位置する静圧ポケット12B、14Bの軸受隙間が小さくなり、上方に位置する静圧ポケット12A、14Aの軸受隙間が大きくなろうとする。他方、後側の静圧ラジアル軸受13、15は、逆に上方に位置する静圧ポケット13A、15Aの軸受隙間が小さくなり、下方に位置する静圧ポケット13B、15Bの軸受隙間が大きくなろうとする。
軸受隙間が減少すると静圧ポケット内の圧油の圧力は上昇し、逆に軸受隙間が増加すると静圧ポケット内の圧油の圧力は低下する。しかし、軸受隙間が大きくなろうとする各静圧ポケット12A、14A、13B、15Bには、それぞれ定圧比流量調整弁17を介してアキュームレータタンク19からの圧油が供給されるため、該静圧ポケット12A、14A、13B、15B内の圧油の圧力変化に応じて該静圧ポケットへ供給される圧油の流量が変化し、各静圧ポケット12A、14A、13B、15Bの軸受隙間を一定に保持する。
このようにロールRの荷重により軸受隙間が変化しようとする上下に対向するの2つの静圧ポケットのうちの一方の静圧ポケット12A、14A、13B、15Bの軸受隙間が一定に保たれるため、他方の静圧ポケット12B、14B、13A、15Aの軸受隙間も一定に保たれ、ロールRの荷重による軸受隙間の変化が抑えられる。このため、図示しない回転駆動機構により両主軸10、11を高速回転させても各静圧ポケットでの発熱温度の違いは小さく抑えられ、両主軸10、11の変形を抑えてロールRを正確に支持する。そこで、加工精度の向上が図られる。
また、各静圧軸受12〜15、20、21へは、レシーバタンク38により安定した圧力を与えられているアキュームレータタンク19から圧油が供給されるため、ポンプから圧油を直接供給する場合のような脈動の発生が抑えられ、ロールRを正確かつ安定して支持・回転させることができ、これによってもロールRの加工精度の向上が図られる。
さらにまた、アキュームレータタンク19には、液面計41、42によりポンプ40の起動停止を制御して所定値以上の圧油を蓄えるようになっているため、停電時にも各静圧ポケットへ圧油が供給され、軸受のかじり等の損傷の発生が抑えられる。
なお、上記のようにロールRを両主軸10、11に取り付けた後、両主軸10、11を回転させてロールRの加工を開始する前に、フローティングスラスト25に対する切換弁35を切り換えて両ピストン33、34の背面側をタンクへ開放する。これにより、ロールRが例えば室温の変化等により伸縮しても、これに伴ってボールベアリング26、27がハウジング31に対して軸方向へ移動可能となり、第二主軸11の軸方向移動を許す。このため、第一主軸10の静圧スラスト軸受20、21には、無理な荷重が作用せず、かじり等の損傷を生じないことはもちろん、ロールRを正確かつ安定して支持・回転させることができ、ロールRの加工精度の向上が図られる。
前述した実施形態例では、ロールRの荷重が作用する位置にある組の互いに対向する静圧ポケット12A、12B等のうち、ロールRの荷重により軸受隙間が増加する側の静圧ポケット12A等に定圧比流量調整弁17を接続して軸受隙間を一定に保つ例を示したが、軸受隙間が減少する側の静圧ポケット12B等や両静圧ポケット12A、12B等に定圧比流量調整弁17を接続してもよく、また、この発明においては、定圧比流量調整弁17の使用を省略してもよい。さらにまた、前述した実施形態例では、各静圧軸受12等に温度調整ユニット18を介してアキュームレータタンク19から圧油を供給する例を示したが、この発明はこれに限定されるものではなく、温度調整ユニット18を省略したり、アキュームレータタンク19をポンプ40に変更したり、さらには、ポンプ40から直接圧油を供給したりするようにしてもよい。
さらにまた、前述した実施形態例では、フローティングスラスト25にボールベアリング26、27を用いた例を示したが、フローティングスラスト25は、第一及び第二主軸10、11に対するロールRの着脱時に第二主軸11の軸方向位置を主軸ヘッド本体30に対して所定位置に固定すると共に、主軸ヘッド本体30に対する第二主軸11の軸方向位置の初期設定を行うためのものであるため、ボールベアリング26、27の代わりに静圧又はすべり等の種々のスラスト軸受を用いることができる。
さらにまた、前述した実施形態例では、フローティングスラスト25のボールベアリング26、27を主軸ヘッド本体30に固定するのに静圧軸受用の圧油供給回路16の圧油を用いた例を示したが、空圧を用いてもよい。さらにまた、前述した実施形態例では、ロールRの伸縮のいずれにも対応可能とするため、ピストン33、34によりボールベアリング26、27を前後に移動可能とした例を示したが、加工条件によりロールRの伸縮がいずれか一方のみに生じる場合には、ピストン33、34もいずれか一方のみとしてもよい等種々変形実施可能である。
この発明は、特に液晶画面に使用される光学フィルム及びリアプロジェクションに使用されるレンチキュラーレンズに用いられるロール金型等の精密加工を必要とするロール加工装置に好適であるが、これに限らず、互いに対向配置された第一及び第二主軸によりロールを水平に支持して回転させつつ該ロールの表面を加工するロール加工装置に広く適用可能である。
この発明を適用したロール加工装置の要部概要構成図。 図1のA−A線による横断面図。 図1に示すフローティングスラストの拡大詳細縦断面図。
符号の説明
10 第一主軸
11 第二主軸
12、13、14、15 静圧ラジアル軸受
12A、12B、12C、12D、13A、13B、14A、14B、15A、15B 静圧ポケット
16 圧油供給回路
17 定圧比流量調整弁
18 温度調整ユニット
19 アキュームレータタンク
20、21 静圧スラスト軸受
22 鍔
23 ドレン
24 タンク
25 フローティングスラスト
26、27 ボールベアリング
28 スペーサ
29 ナット
30 主軸ヘッド本体
31 ハウジング
31A 穴
31B ガイドピン
32 ベアケース
33、34 ピストン
35 切換弁
36 加圧空気源
37 増圧弁
38 レシーバタンク
39 逆止弁
40 ポンプ
41、42 液面計
R ロール。

Claims (4)

  1. 水平に置かれたロールの両端を互いに対向して配置された第一及び第二主軸により支持して前記ロールの表面を加工するロール加工装置において、
    前記第一主軸を回転自在に支持する静圧ラジアル軸受と、
    前記第一主軸の軸方向移動を規制する静圧スラスト軸受と、
    前記第二主軸を回転自在に支持する静圧ラジアル軸受と、
    前記第二主軸の軸方向移動を選択的に規制可能なフローティングスラストと、
    を備えてなることを特徴とするロール加工装置。
  2. 前記フローティングスラストは、ボールベアリングを用いて構成されていることを特徴とする請求項1に記載のロール加工装置。
  3. 前記ボールベアリングは、アウタレース側が前記第二主軸を支持する主軸ヘッド本体に対して軸方向へのみ移動可能に取り付けられると共に、該アウタレース側を前記軸方向へ移動可能なピストンにより前記軸方向の所定位置に選択的に押圧固定可能に構成されていることを特徴とする請求項2に記載のロール加工装置。
  4. 前記ピストンは、前記アウタレース側の前後にそれぞれ配置されていることを特徴とする請求項3に記載のロール加工装置。
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Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5363950B2 (ja) * 2009-11-16 2013-12-11 東芝機械株式会社 油圧供給装置
RU2465986C1 (ru) * 2011-08-19 2012-11-10 Олег Савельевич Кочетов Шпиндельный узел
JP6379264B1 (ja) * 2017-08-30 2018-08-22 東芝機械株式会社 高速溝入れ加工方法
CN113020638B (zh) * 2021-03-09 2022-08-09 邯郸钢铁集团有限责任公司 一种实现卧式车床车削万能轧机立辊的装置及方法

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SE398377B (sv) * 1974-10-04 1977-12-19 New Invent Sa Strypfordelningsventil vid hydrostatiska lager
JPS5451078A (en) 1977-09-29 1979-04-21 Koyo Kikai Kougiyou Kk Grinding wheel shaft device
JPS61160698A (ja) * 1985-01-07 1986-07-21 Hitachi Ltd スラスト軸受保護装置
JPS61168405A (ja) 1985-01-21 1986-07-30 Toyoda Mach Works Ltd 心押台
JPS62258217A (ja) * 1986-04-30 1987-11-10 Nippon Seiko Kk ロ−ルの支持装置
DE3821571A1 (de) * 1988-06-25 1989-12-28 Schloemann Siemag Ag Vorrichtung zum axialen verschieben von walzen im geruest eines walzwerkes
JPH05138407A (ja) * 1991-11-21 1993-06-01 Hitachi Seiko Ltd 回転軸の支持装置
US5364190A (en) * 1992-01-14 1994-11-15 Toshiba Kikai Kabushiki Kaisha Hydrostatic bearing apparatus
JPH06143092A (ja) * 1992-11-06 1994-05-24 Seiko Seiki Co Ltd ダイシングスピンドル装置
JPH10328983A (ja) * 1997-03-25 1998-12-15 Nippon Seiko Kk 円筒体の製作方法
JP3569622B2 (ja) * 1998-01-29 2004-09-22 本田技研工業株式会社 軸物ワークのクランプ方法
DE19835339A1 (de) * 1998-08-05 2000-02-17 Alfred Jaeger Luftlager, insbesondere für die Welle einer Motorspindel
JP3613754B2 (ja) * 1999-04-30 2005-01-26 株式会社ニイガタマシンテクノ 工作機械の主軸装置
JP4134541B2 (ja) * 2000-09-25 2008-08-20 株式会社ジェイテクト 流体軸受
CN100478155C (zh) * 2003-03-04 2009-04-15 可乐丽股份有限公司 光学片的制造方法和光学片

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