JP2015218827A - 静圧流体軸受装置 - Google Patents
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Abstract
Description
図1に示すように、本実施形態による静圧流体軸受装置1は、直動テーブルの案内面6に対向する軸受面5に静圧ポケット11を備えており、静圧ポケット11には静圧ポケット11と一体的になったダイアフラム式可変絞り装置40が設けられている。
制御装置100は、あらかじめ設定された案内面6と軸受面5との間の隙間の大きさと、変位センサ18の検出した値に基づき、ダイアフラム43に対する指令値を生成する。この指令値は、位置制御部105、速度制御部106、電流制御部107を通り、ボイスコイルモータ50へ電流が印加される。
図1に示すように、静圧流体軸受装置1は、ポンプPにより加圧された流体を、流体供給流路13の途中に設けられた、ダイアフラム式可変絞り装置40により減圧し、静圧ポケット11に流体を供給させる。
11 静圧ポケット、 13 流体供給流路、 15 圧力センサ、
16 速度センサ、 17 位置センサ、 18 変位センサ、
19 電流センサ、 25 エンコーダーケース、 28 エンコーダスケール、
30 タンク、 31 ドレン、 40 ダイアフラム式可変絞り装置、
41 流路、 41a,41b 流入口、 42 流出口、
43 ダイアフラム、 44a 流体供給室、 44b 流体貯留室、
45 弁座、 47 流路、 48 ハウジング、 50 ボイスコイルモータ、
51 ボイスコイル、 52 コイルキャップ、 53 コイルボビン、
54 貫通孔、 55 外部ヨーク、 56 ヨーク基部、
57 センターヨーク、 59 永久磁石、
60 連結部材、 61 固定子、 62 可動子、
100 制御装置、 105 位置制御部、 106 速度制御部、
107 電流制御部、 D 開度、 DL 最小開度、 DH 最小開度、
P ポンプ、 t:隙間
Claims (4)
- 案内面または軸受面の一方に設けた静圧ポケットと、前記静圧ポケットに流体を供給する流体供給手段と、前記流体供給手段から前記静圧ポケットに至る流体の通路を形成する流体流路と、前記流体流路の途中に設けられ、流体の流量を絞って前記静圧ポケットに流入させる可変絞りを備え、
前記可変絞りは、前記流体流路を経由して流体が充填される流体貯留室と、前記流体貯留室に対向して配置され、中央に突起部を有し、前記突起部に前記静圧ポケットへ連通する流路を備えた流体供給室と、前記流体供給室と前記流体貯留室との間を仕切るとともに、前記流体供給室と前記流体貯留室との間に外周部が把持され、一方の面が前記突起部と所定の隙間を隔てて対向するダイアフラムと、前記ダイアフラムを挟んで前記突起部と反対側の前記可変絞り本体に取り付けられたボイスコイルモータと、前記可変絞り本体に固定された固定子であるヨークと、前記ボイスコイルモータの可動子として前記ヨークの外周に配置されたボイスコイルと、前記ボイスコイルの端部と前記ダイアフラムの他方の面との間を連結する連結部材と、前記ボイスコイルモータを駆動して、前記ダイアフラムを変位させて絞り量を制御する制御手段と、を備えることを特徴とする静圧流体軸受装置。 - 請求項1に記載の静圧流体軸受装置であって、
前記可変絞りは、前記案内面と前記軸受面との間の変位を検出する変位検出手段を備え、
前記制御手段は、前記変位検出手段により検知された前記変位に応じて、前記ボイスコイルモータを駆動して、前記ダイアフラムを変位させて絞り量を制御することを特徴とする静圧流体軸受装置。 - 請求項1に記載の静圧流体軸受装置であって、
前記可変絞りは、前記静圧ポケットの圧力を検出する圧力検出手段を備え、
前記制御手段は、前記圧力検出手段により検知された前記圧力に応じて、前記ボイスコイルモータを駆動して、前記ダイアフラムを変位させて絞り量を制御することを特徴とする静圧流体軸受装置。 - 請求項2または請求項3に記載の静圧流体軸受装置であって、
前記制御手段は、前記ボイスコイルの位置を検出する位置検出手段と、前記ボイスコイルの速度を検出する速度検出手段と、前記ボイスコイルモータの印加電流を検出する電流検出手段とを備え、前記位置と前記速度と前記印加電流をそれぞれフィードバックして制御することを特徴とする静圧流体軸受装置。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110925308A (zh) * | 2018-09-19 | 2020-03-27 | 武汉科技大学 | 一种气膜形状可变的主动气浮轴承 |
JP2020197276A (ja) * | 2019-06-05 | 2020-12-10 | 株式会社ジェイテクト | 静圧流体支持装置を備えた工作機械 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60102861A (ja) * | 1983-11-09 | 1985-06-07 | Diesel Kiki Co Ltd | ボイスコイル型モ−タ |
JPH01308162A (ja) * | 1988-06-01 | 1989-12-12 | Japan Servo Co Ltd | リニアアクチュエータ |
JPH02100114A (ja) * | 1988-10-06 | 1990-04-12 | Mitsubishi Electric Corp | サーボモータの制御方式 |
JPH0349415U (ja) * | 1989-09-22 | 1991-05-14 | ||
JP2009282609A (ja) * | 2008-05-20 | 2009-12-03 | Toshiba Mach Co Ltd | サーボ調整方法および装置 |
JP2011043232A (ja) * | 2009-08-24 | 2011-03-03 | Tokyo Univ Of Science | 静圧軸受およびの圧力制御ユニット |
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Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60102861A (ja) * | 1983-11-09 | 1985-06-07 | Diesel Kiki Co Ltd | ボイスコイル型モ−タ |
JPH01308162A (ja) * | 1988-06-01 | 1989-12-12 | Japan Servo Co Ltd | リニアアクチュエータ |
JPH02100114A (ja) * | 1988-10-06 | 1990-04-12 | Mitsubishi Electric Corp | サーボモータの制御方式 |
JPH0349415U (ja) * | 1989-09-22 | 1991-05-14 | ||
JP2009282609A (ja) * | 2008-05-20 | 2009-12-03 | Toshiba Mach Co Ltd | サーボ調整方法および装置 |
JP2011043232A (ja) * | 2009-08-24 | 2011-03-03 | Tokyo Univ Of Science | 静圧軸受およびの圧力制御ユニット |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110925308A (zh) * | 2018-09-19 | 2020-03-27 | 武汉科技大学 | 一种气膜形状可变的主动气浮轴承 |
JP2020197276A (ja) * | 2019-06-05 | 2020-12-10 | 株式会社ジェイテクト | 静圧流体支持装置を備えた工作機械 |
JP7234808B2 (ja) | 2019-06-05 | 2023-03-08 | 株式会社ジェイテクト | 静圧流体支持装置を備えた工作機械 |
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