JPH0349415U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案に係る流体軸受装置を三次元測
定機に適用した一実施例を示す全体斜視図、第２
図はその要部の拡大断面図、第３図は従来の流体
軸受装置を組込んだ三次元測定機の全体正面図、
第４図はその要部の拡大断面図、第５図は従来の
流体軸受装置の特性線図である。 ２０……三次元測定機、２１……基台、２２…
…支柱、２５……検出器、３０……流体軸受装置
としての空気軸受装置、３２……隔壁、３３……
流体流通孔、３４……流体（空気）噴出口、３６
……通路、３７……圧力センサ、３８……駆動手
段としての圧電アクチユエータ、３９……弾性変
形部材としてのダイアフラム、４１……可変絞り
、Ｗ……被測定物。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 相対移動する二部材のうちの一方の部材に
   設けられた流体噴出口と、この流体噴出口に流体
   を供給する通路の途中に設けられた可変絞りと、
   前記流体噴出口から噴出されて前記二部材間に加
   わる流体圧力を検出する圧力センサと、この圧力
   センサによる検知圧力に応じて前記可変絞りを作
   動させ検知圧力が増加したときには絞りを開く方
   向に、減少したときには絞る方向にそれぞれ駆動
   して二部材間における浮遊距離を略一定に保持す
   る駆動手段とを具備したことを特徴とする流体軸
   受装置。 (2) 請求項１に記載の流体軸受装置において、
   前記駆動手段は、圧電アクチユエータを備えて構
   成されたことを特徴とする流体軸受装置。 (3) 請求項１または２に記載の流体軸受装置に
   おいて、前記可変絞りは、前記一方の部材に形成
   され流体流通孔を有する隔壁と、この隔壁の流体
   流通孔に対向されるとともに前記通路を仕切るよ
   うに配置されかつ流体流通用の貫通孔を有するダ
   イアフラムとを備えて構成されたことを特徴とす
   る流体軸受装置。