JP2003053249A - 枚葉式塗工装置 - Google Patents
枚葉式塗工装置Info
- Publication number
- JP2003053249A JP2003053249A JP2001251072A JP2001251072A JP2003053249A JP 2003053249 A JP2003053249 A JP 2003053249A JP 2001251072 A JP2001251072 A JP 2001251072A JP 2001251072 A JP2001251072 A JP 2001251072A JP 2003053249 A JP2003053249 A JP 2003053249A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- coating
- film thickness
- coating apparatus
- linear motor
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】
【課題】 塗布膜厚の精度が良好で、塗布開始時の膜厚
不安定領域を最小限に抑えることができ、また塗布面の
段ムラ発生を防止でき、しかも生産性の向上を図るよう
にする。 【解決手段】 基板Ｂを載置するためのテーブル１２が
ベース部１１の上に一軸方向にスライド移動可能に設置
され、そのテーブル１２を跨ぐようにして立設したフレ
ーム１３に沿って塗工部１４が上下移動可能に取り付け
られており、テーブル１２の駆動部にリニアモータを使
用し、スライド部にエアスライダを使用する。リニアモ
ータの特性により塗布開始部の膜厚安定性及び塗布時の
走行安定性が高まり、塗布膜厚の精度が良好となる上に
塗布開始時の膜厚不安定領域を最小限に抑えることがで
き、エアスライダによる振動抑制作用により塗布面の段
ムラ発生を防止でき、しかも高速動作が可能であるため
に塗布後の原点復帰が速くなることから生産性の向上を
図ることができる。
不安定領域を最小限に抑えることができ、また塗布面の
段ムラ発生を防止でき、しかも生産性の向上を図るよう
にする。 【解決手段】 基板Ｂを載置するためのテーブル１２が
ベース部１１の上に一軸方向にスライド移動可能に設置
され、そのテーブル１２を跨ぐようにして立設したフレ
ーム１３に沿って塗工部１４が上下移動可能に取り付け
られており、テーブル１２の駆動部にリニアモータを使
用し、スライド部にエアスライダを使用する。リニアモ
ータの特性により塗布開始部の膜厚安定性及び塗布時の
走行安定性が高まり、塗布膜厚の精度が良好となる上に
塗布開始時の膜厚不安定領域を最小限に抑えることがで
き、エアスライダによる振動抑制作用により塗布面の段
ムラ発生を防止でき、しかも高速動作が可能であるため
に塗布後の原点復帰が速くなることから生産性の向上を
図ることができる。
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、コーティングや印
刷の分野において使用される塗工装置に係り、特に塗布
対象としての基板に接着剤や樹脂の塗布を行う枚葉式塗
工装置に関するものである。 【０００２】 【従来の技術】図１はこの種の枚葉式塗工装置の一例を
示す概略構成図である。同図において１はベース部で、
そのベース部１の上には塗布対象としての基板Ｂを載置
するためのテーブル２が設けられている。テーブル２の
両サイドにはリニアガイド３が設置されており、テーブ
ル２を跨ぐフレーム４がこのリニアガイド３に案内され
て一軸方向（Ｘ軸方向）にスライド移動するとともに、
ダイヘッドからなる塗布部５がフレーム４に対して上下
方向（Ｚ軸方向）に移動するように構成されている。そ
して、テーブル２の上に基板Ｂを載置し、塗布部５を塗
布位置まで下降して基板Ｂに対向させた状態とし、その
状態で液供給部６から塗工液を塗布部５に供給しなが
ら、フレーム４を一方向に移動して塗布を行っている。 【０００３】 【発明が解決しようとする課題】従来の技術で述べたタ
イプの枚葉式塗工装置は、ベース部の上のテーブルを固
定した塗布部移動方式であり、この方式を採った装置は
設置スペースが少なくてよいという利点を有してはいる
ものの、塗布部に接続した配管類も塗布部と共に移動す
るため、これらが振動して吐出ブレが生じ、膜厚が変動
してしまうという欠点があった。 【０００４】そして、リニアガイドに接続したフレーム
を回転式モータとボールネジにより一方向に移動させる
駆動機構を採っているため、速度ムラやボールネジの回
転による振動によって塗布面に段ムラが発生するという
問題点があった。また、この駆動機構では推力が十分に
出せずに、一定の塗布速度に達するまでの時間が長くな
るため、図２に示すように、塗布開始部ａから膜厚安定
領域Ｕまでの距離が長くなり、また塗布終端部ｂまでの
距離もかかり、したがって塗布面に膜厚不安定領域Ｎが
広がってしまう。また、駆動機構が接触式の構造である
ため、動作時における噛み合い箇所の摩擦によるゴミや
ボールネジに使用するグリースから発生するミストが塗
布膜面を汚す可能性があった。 【０００５】本発明は、このような問題点に鑑みてなさ
れたものであり、その目的とするところは、塗布膜厚の
精度が良好で、塗布開始時の膜厚不安定領域を最小限に
抑えることができ、また塗布面の段ムラ発生を防止で
き、しかも生産性の向上を図ることができる枚葉式塗工
装置を提供することにある。 【０００６】 【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明の枚葉式塗工装置は、塗布対象としての基板
を載置するためのテーブルがベース部の上に一軸方向に
スライド移動可能に設置され、そのテーブルを跨ぐよう
にして立設したフレームに沿って塗工部が上下移動可能
に取り付けられており、テーブルの駆動部にリニアモー
タを使用し、スライド部にエアスライダを使用したこと
を特徴としている。 【０００７】 【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して説明する。 【０００８】図３は本発明に係る枚葉式塗工装置の一例
を示す概略構成図である。同図において１１はベース部
で、そのベース部１１の上には塗布対象としての基板Ｂ
を載置するためのテーブル１２が一軸方向（Ｘ軸方向）
にスライド移動可能に設置され、そのテーブル１２を跨
ぐようにして立設したフレーム１３に沿ってダイヘッド
からなる塗工部１４が上下移動可能に取り付けられてい
る。 【０００９】そして、図３の枚葉式塗工装置では、テー
ブル１２の駆動部にリニアモータが使用され、スライド
部にはエアスライダが使用されている。すなわち、テー
ブル１２はベース部１１の上に設けられたガイドとの間
に一定の空隙を保つ状態で保持され、この状態でリニア
モータによりベース部１１の上をスライドするようにな
っている。 【００１０】本発明で使用するエアスライダは、一般的
には図４に示すような原理をしており、同図に示す如
く、テーブルＴから絞りを通して圧縮空気ＡをガイドＧ
に向けて噴出させ、発生した静圧によりテーブルＴを浮
上させる構造である。このように、エアスライダは浮上
させる構造であるため、ガイドＧ、テーブルＴ等の表面
の微小なうねりや表面粗さに影響されることなく、テー
ブル面内で平均化された浮上量を保つことができる。ま
た、摺動抵抗が極めて少なく、高い位置決め精度が可能
であり、振動が微小で、摩擦による発熱がないので、高
速移動が可能である。しかも、注油、グリースなどが不
要なため、クリーンかつメンテナンスフリーであるとい
う多くの利点を有している。 【００１１】図３に示す枚葉式塗工装置による塗布工程
は次のようである。まず、テーブル１２の上に塗布対象
の基板Ｂをセットし、その基板Ｂを載せたテーブル１２
を塗布開始位置のところに移動する。次いで、塗布部１
４を待機位置から塗布位置まで下降し、液供給部１５か
ら塗工液を塗布部１４に供給する。そして、塗布部１４
から塗工液を吐出するのと同時にテーブル１２をＸ軸方
向にスライド移動し、基板Ｂの上に連続的な膜面を形成
する。塗布部１４が塗布終端部に達して塗布が終わる
と、塗布部１４は上昇して待機位置に戻る。塗工液が塗
布された基板は、テーブル１２の上に載ったままで或い
はテーブル１２の外に搬出した後に塗工液の乾燥が行わ
れる。その後、テーブル１２が待機位置に戻り、次の塗
布工程に備える。 【００１２】図３に示す塗工装置では、テーブル１２の
駆動部に使用したリニアモータは大推力であり、応答
性、安定性に秀でているため、塗布開始部の膜厚安定性
及び塗布時の走行安定性が高まり、塗布膜厚精度を数％
以内に抑えることができ、しかも塗布開始時の膜厚不安
定領域を最小限に抑えることが可能となる。 【００１３】また、スライド部に、接触式のリニアガイ
ドでなく、非接触式のエアスライダを使用しているの
で、駆動により発生する低周波領域（１０Ｈｚ以下）の
振動を抑えることができ、塗布面の段ムラ発生を防ぐこ
とが可能となる。 【００１４】また、高速動作（例えば、１０００ｍｍ／
秒程度）が可能であり、塗布後に原点へ高速で戻ること
ができるため、生産性の向上を図ることができる。 【００１５】以上、本発明を実施の形態に基づいて説明
したが、本発明による枚葉式塗工装置は、上記実施の形
態に何ら限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱
しない範囲において種々の変更が可能であることは言う
までもないことである。 【００１６】 【発明の効果】本発明の枚葉式塗工装置は、塗布対象と
しての基板を載置するためのテーブルがベース部の上に
一軸方向にスライド移動可能に設置され、そのテーブル
を跨ぐようにして立設したフレームに沿って塗工部が上
下移動可能に取り付けられており、テーブルの駆動部に
リニアモータを使用し、スライド部にエアスライダを使
用したことを特徴としているので、リニアモータのもつ
大推力、応答性、安定性等の特性により塗布開始部の膜
厚安定性及び塗布時の走行安定性が高まることから、塗
布膜厚の精度が良好となる上に、塗布開始時の膜厚不安
定領域を最小限に抑えることができ、またエアスライダ
による振動抑制作用により塗布面の段ムラ発生を防止で
き、しかも高速動作が可能であるために塗布後の原点復
帰が速くなることから生産性の向上を図ることができ
る。
刷の分野において使用される塗工装置に係り、特に塗布
対象としての基板に接着剤や樹脂の塗布を行う枚葉式塗
工装置に関するものである。 【０００２】 【従来の技術】図１はこの種の枚葉式塗工装置の一例を
示す概略構成図である。同図において１はベース部で、
そのベース部１の上には塗布対象としての基板Ｂを載置
するためのテーブル２が設けられている。テーブル２の
両サイドにはリニアガイド３が設置されており、テーブ
ル２を跨ぐフレーム４がこのリニアガイド３に案内され
て一軸方向（Ｘ軸方向）にスライド移動するとともに、
ダイヘッドからなる塗布部５がフレーム４に対して上下
方向（Ｚ軸方向）に移動するように構成されている。そ
して、テーブル２の上に基板Ｂを載置し、塗布部５を塗
布位置まで下降して基板Ｂに対向させた状態とし、その
状態で液供給部６から塗工液を塗布部５に供給しなが
ら、フレーム４を一方向に移動して塗布を行っている。 【０００３】 【発明が解決しようとする課題】従来の技術で述べたタ
イプの枚葉式塗工装置は、ベース部の上のテーブルを固
定した塗布部移動方式であり、この方式を採った装置は
設置スペースが少なくてよいという利点を有してはいる
ものの、塗布部に接続した配管類も塗布部と共に移動す
るため、これらが振動して吐出ブレが生じ、膜厚が変動
してしまうという欠点があった。 【０００４】そして、リニアガイドに接続したフレーム
を回転式モータとボールネジにより一方向に移動させる
駆動機構を採っているため、速度ムラやボールネジの回
転による振動によって塗布面に段ムラが発生するという
問題点があった。また、この駆動機構では推力が十分に
出せずに、一定の塗布速度に達するまでの時間が長くな
るため、図２に示すように、塗布開始部ａから膜厚安定
領域Ｕまでの距離が長くなり、また塗布終端部ｂまでの
距離もかかり、したがって塗布面に膜厚不安定領域Ｎが
広がってしまう。また、駆動機構が接触式の構造である
ため、動作時における噛み合い箇所の摩擦によるゴミや
ボールネジに使用するグリースから発生するミストが塗
布膜面を汚す可能性があった。 【０００５】本発明は、このような問題点に鑑みてなさ
れたものであり、その目的とするところは、塗布膜厚の
精度が良好で、塗布開始時の膜厚不安定領域を最小限に
抑えることができ、また塗布面の段ムラ発生を防止で
き、しかも生産性の向上を図ることができる枚葉式塗工
装置を提供することにある。 【０００６】 【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明の枚葉式塗工装置は、塗布対象としての基板
を載置するためのテーブルがベース部の上に一軸方向に
スライド移動可能に設置され、そのテーブルを跨ぐよう
にして立設したフレームに沿って塗工部が上下移動可能
に取り付けられており、テーブルの駆動部にリニアモー
タを使用し、スライド部にエアスライダを使用したこと
を特徴としている。 【０００７】 【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して説明する。 【０００８】図３は本発明に係る枚葉式塗工装置の一例
を示す概略構成図である。同図において１１はベース部
で、そのベース部１１の上には塗布対象としての基板Ｂ
を載置するためのテーブル１２が一軸方向（Ｘ軸方向）
にスライド移動可能に設置され、そのテーブル１２を跨
ぐようにして立設したフレーム１３に沿ってダイヘッド
からなる塗工部１４が上下移動可能に取り付けられてい
る。 【０００９】そして、図３の枚葉式塗工装置では、テー
ブル１２の駆動部にリニアモータが使用され、スライド
部にはエアスライダが使用されている。すなわち、テー
ブル１２はベース部１１の上に設けられたガイドとの間
に一定の空隙を保つ状態で保持され、この状態でリニア
モータによりベース部１１の上をスライドするようにな
っている。 【００１０】本発明で使用するエアスライダは、一般的
には図４に示すような原理をしており、同図に示す如
く、テーブルＴから絞りを通して圧縮空気ＡをガイドＧ
に向けて噴出させ、発生した静圧によりテーブルＴを浮
上させる構造である。このように、エアスライダは浮上
させる構造であるため、ガイドＧ、テーブルＴ等の表面
の微小なうねりや表面粗さに影響されることなく、テー
ブル面内で平均化された浮上量を保つことができる。ま
た、摺動抵抗が極めて少なく、高い位置決め精度が可能
であり、振動が微小で、摩擦による発熱がないので、高
速移動が可能である。しかも、注油、グリースなどが不
要なため、クリーンかつメンテナンスフリーであるとい
う多くの利点を有している。 【００１１】図３に示す枚葉式塗工装置による塗布工程
は次のようである。まず、テーブル１２の上に塗布対象
の基板Ｂをセットし、その基板Ｂを載せたテーブル１２
を塗布開始位置のところに移動する。次いで、塗布部１
４を待機位置から塗布位置まで下降し、液供給部１５か
ら塗工液を塗布部１４に供給する。そして、塗布部１４
から塗工液を吐出するのと同時にテーブル１２をＸ軸方
向にスライド移動し、基板Ｂの上に連続的な膜面を形成
する。塗布部１４が塗布終端部に達して塗布が終わる
と、塗布部１４は上昇して待機位置に戻る。塗工液が塗
布された基板は、テーブル１２の上に載ったままで或い
はテーブル１２の外に搬出した後に塗工液の乾燥が行わ
れる。その後、テーブル１２が待機位置に戻り、次の塗
布工程に備える。 【００１２】図３に示す塗工装置では、テーブル１２の
駆動部に使用したリニアモータは大推力であり、応答
性、安定性に秀でているため、塗布開始部の膜厚安定性
及び塗布時の走行安定性が高まり、塗布膜厚精度を数％
以内に抑えることができ、しかも塗布開始時の膜厚不安
定領域を最小限に抑えることが可能となる。 【００１３】また、スライド部に、接触式のリニアガイ
ドでなく、非接触式のエアスライダを使用しているの
で、駆動により発生する低周波領域（１０Ｈｚ以下）の
振動を抑えることができ、塗布面の段ムラ発生を防ぐこ
とが可能となる。 【００１４】また、高速動作（例えば、１０００ｍｍ／
秒程度）が可能であり、塗布後に原点へ高速で戻ること
ができるため、生産性の向上を図ることができる。 【００１５】以上、本発明を実施の形態に基づいて説明
したが、本発明による枚葉式塗工装置は、上記実施の形
態に何ら限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱
しない範囲において種々の変更が可能であることは言う
までもないことである。 【００１６】 【発明の効果】本発明の枚葉式塗工装置は、塗布対象と
しての基板を載置するためのテーブルがベース部の上に
一軸方向にスライド移動可能に設置され、そのテーブル
を跨ぐようにして立設したフレームに沿って塗工部が上
下移動可能に取り付けられており、テーブルの駆動部に
リニアモータを使用し、スライド部にエアスライダを使
用したことを特徴としているので、リニアモータのもつ
大推力、応答性、安定性等の特性により塗布開始部の膜
厚安定性及び塗布時の走行安定性が高まることから、塗
布膜厚の精度が良好となる上に、塗布開始時の膜厚不安
定領域を最小限に抑えることができ、またエアスライダ
による振動抑制作用により塗布面の段ムラ発生を防止で
き、しかも高速動作が可能であるために塗布後の原点復
帰が速くなることから生産性の向上を図ることができ
る。
【図面の簡単な説明】
【図１】従来の枚葉式塗工装置の一例を示す概略構成図
である。 【図２】従来の枚葉式塗工装置により形成される塗布面
の膜厚安定領域と不安定領域の説明図である。 【図３】本発明に係る枚葉式塗工装置の一例を示す概略
構成図である。 【図４】エアスライダの原理を示す説明図である。 【符号の説明】 Ｂ 基板 １１ ベース部 １２ テーブル １３ フレーム １４ 塗布部 １５ 液供給部
である。 【図２】従来の枚葉式塗工装置により形成される塗布面
の膜厚安定領域と不安定領域の説明図である。 【図３】本発明に係る枚葉式塗工装置の一例を示す概略
構成図である。 【図４】エアスライダの原理を示す説明図である。 【符号の説明】 Ｂ 基板 １１ ベース部 １２ テーブル １３ フレーム １４ 塗布部 １５ 液供給部
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 青木 孝
東京都新宿区市谷加賀町一丁目１番１号
大日本印刷株式会社内
Ｆターム(参考） 4F041 AA02 BA21
4F042 AA02 DF00 DF25 DF31
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 【請求項１】 塗布対象としての基板を載置するための
テーブルがベース部の上に一軸方向にスライド移動可能
に設置され、そのテーブルを跨ぐようにして立設したフ
レームに沿って塗工部が上下移動可能に取り付けられて
おり、テーブルの駆動部にリニアモータを使用し、スラ
イド部にエアスライダを使用したことを特徴とする枚葉
式塗工装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001251072A JP2003053249A (ja) | 2001-08-22 | 2001-08-22 | 枚葉式塗工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001251072A JP2003053249A (ja) | 2001-08-22 | 2001-08-22 | 枚葉式塗工装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003053249A true JP2003053249A (ja) | 2003-02-25 |
Family
ID=19079778
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001251072A Pending JP2003053249A (ja) | 2001-08-22 | 2001-08-22 | 枚葉式塗工装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003053249A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006224039A (ja) * | 2005-02-21 | 2006-08-31 | Dainippon Printing Co Ltd | パターン形成装置、パターニング方法、基板処理装置、基板処理方法 |
| KR100916558B1 (ko) | 2007-12-24 | 2009-09-14 | 주식회사 나래나노텍 | 코팅 장치에 사용되는 코팅 모션 조건을 설정하는 방법 및이를 사용하는 코팅 장치 |
| JP2010227845A (ja) * | 2009-03-27 | 2010-10-14 | Yasui Seiki:Kk | 塗工装置 |
Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62200283A (ja) * | 1986-02-28 | 1987-09-03 | 株式会社東芝 | 非接触式送りテ−ブル |
| JPH0344593A (ja) * | 1989-07-12 | 1991-02-26 | Toshiba Corp | 位置決め装置 |
| WO1994027737A1 (fr) * | 1993-05-27 | 1994-12-08 | Dai Nippon Printing Co., Ltd. | Procede et appareil pour l'application d'un liquide |
| JPH06339655A (ja) * | 1993-05-31 | 1994-12-13 | Hirata Kiko Kk | 流体塗布装置 |
| JPH11221509A (ja) * | 1998-02-09 | 1999-08-17 | Sharp Corp | 塗布装置 |
| JP2000056051A (ja) * | 1999-06-22 | 2000-02-25 | Nikon Corp | 移動ステ―ジ装置 |
| JP2000157908A (ja) * | 1998-11-25 | 2000-06-13 | Canon Inc | 枚葉塗工方法及び枚葉塗工装置、カラーフィルタの製造方法 |
| JP2002200450A (ja) * | 2000-12-28 | 2002-07-16 | Chugai Ro Co Ltd | 非接触移動式テーブルコータ |
-
2001
- 2001-08-22 JP JP2001251072A patent/JP2003053249A/ja active Pending
Patent Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62200283A (ja) * | 1986-02-28 | 1987-09-03 | 株式会社東芝 | 非接触式送りテ−ブル |
| JPH0344593A (ja) * | 1989-07-12 | 1991-02-26 | Toshiba Corp | 位置決め装置 |
| WO1994027737A1 (fr) * | 1993-05-27 | 1994-12-08 | Dai Nippon Printing Co., Ltd. | Procede et appareil pour l'application d'un liquide |
| JPH06339655A (ja) * | 1993-05-31 | 1994-12-13 | Hirata Kiko Kk | 流体塗布装置 |
| JPH11221509A (ja) * | 1998-02-09 | 1999-08-17 | Sharp Corp | 塗布装置 |
| JP2000157908A (ja) * | 1998-11-25 | 2000-06-13 | Canon Inc | 枚葉塗工方法及び枚葉塗工装置、カラーフィルタの製造方法 |
| JP2000056051A (ja) * | 1999-06-22 | 2000-02-25 | Nikon Corp | 移動ステ―ジ装置 |
| JP2002200450A (ja) * | 2000-12-28 | 2002-07-16 | Chugai Ro Co Ltd | 非接触移動式テーブルコータ |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006224039A (ja) * | 2005-02-21 | 2006-08-31 | Dainippon Printing Co Ltd | パターン形成装置、パターニング方法、基板処理装置、基板処理方法 |
| KR100916558B1 (ko) | 2007-12-24 | 2009-09-14 | 주식회사 나래나노텍 | 코팅 장치에 사용되는 코팅 모션 조건을 설정하는 방법 및이를 사용하는 코팅 장치 |
| JP2010227845A (ja) * | 2009-03-27 | 2010-10-14 | Yasui Seiki:Kk | 塗工装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP5435750B2 (ja) | ペースト塗布装置及びペースト塗布方法 | |
| JP2003053249A (ja) | 枚葉式塗工装置 | |
| JP2005064418A (ja) | 電子部品実装用装置の直動機構 | |
| JP5127127B2 (ja) | 塗膜形成方法 | |
| JP2002200450A (ja) | 非接触移動式テーブルコータ | |
| JP5377899B2 (ja) | ペースト塗布機 | |
| WO2019026624A1 (ja) | 塗布機構及び塗布装置 | |
| JP2004224592A (ja) | 硬質脆性板の振動スクライブ方法及び装置 | |
| KR100591941B1 (ko) | 테이블 코터기용 스테이지 장치 | |
| JP2005052822A (ja) | テーブルコータ機用ステージ装置 | |
| KR20050009682A (ko) | 테이블 코터기용 스테이지 장치 | |
| JP4096837B2 (ja) | 電子部品実装用装置の直動機構 | |
| JP4039342B2 (ja) | 電子部品実装用装置の直動機構 | |
| JP3656302B2 (ja) | リニアスライダ | |
| JP2003264207A (ja) | ボイスコイルモータによる加重方法とそれによる部品実装装置、それらに用いるボイスコイルモータ | |
| JPS62159088A (ja) | 移動ステ−ジ装置 | |
| JP2011083743A (ja) | 塗布装置および塗布方法 | |
| JP2006275162A (ja) | 空気静圧軸受装置 | |
| JPH0669321A (ja) | プローブ装置 | |
| JPH11105376A (ja) | 記録装置の印字部摺動機構および位置調整方法 | |
| JP2023075568A (ja) | ワイヤソー及びそれを用いたワーク加工方法 | |
| JP2005052823A (ja) | テーブルコータ機用ステージ装置 | |
| JPH09148797A (ja) | 電子部品実装装置 | |
| JP2008270263A (ja) | 塗布装置 | |
| JP2019152283A (ja) | マイクロスライド台及びリニアスライドレール |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080717 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20101020 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20101027 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20101221 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20110627 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110907 |
|
| A911 | Transfer of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20110915 |
|
| A912 | Removal of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912 Effective date: 20111104 |