JP2002200450A - 非接触移動式テーブルコータ - Google Patents
非接触移動式テーブルコータInfo
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- JP2002200450A JP2002200450A JP2000401921A JP2000401921A JP2002200450A JP 2002200450 A JP2002200450 A JP 2002200450A JP 2000401921 A JP2000401921 A JP 2000401921A JP 2000401921 A JP2000401921 A JP 2000401921A JP 2002200450 A JP2002200450 A JP 2002200450A
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】 レールの変形等があってもこれらに影響され
ることなくスムーズに塗工することができるテーブルコ
ータを提供する。 【解決手段】 基板Ｗを載置するテーブル１と、このテ
ーブルに対して相対的に水平移動可能で、かつ、昇降可
能なダイ本体４と、前記テーブル表面あるいは基板表面
とダイ本体のリップ先端部との距離を測定するダイ本体
に設けた非接触式の距離測定センサ８と、この距離測定
センサでの測定値に基づきダイ本体の昇降量を制御する
制御装置とで構成したテーブルコータＴにおいて、前記
ダイ本体の支持手段を、テーブルに所定間隔で設けた一
対のレール３と、このレールの表面との間に所定間隔を
持って対向する面に気体の噴出孔を有するスライダ１３
とで構成するとともに、駆動手段をリニアモータとした
非接触移動式テーブルコータ。
ることなくスムーズに塗工することができるテーブルコ
ータを提供する。 【解決手段】 基板Ｗを載置するテーブル１と、このテ
ーブルに対して相対的に水平移動可能で、かつ、昇降可
能なダイ本体４と、前記テーブル表面あるいは基板表面
とダイ本体のリップ先端部との距離を測定するダイ本体
に設けた非接触式の距離測定センサ８と、この距離測定
センサでの測定値に基づきダイ本体の昇降量を制御する
制御装置とで構成したテーブルコータＴにおいて、前記
ダイ本体の支持手段を、テーブルに所定間隔で設けた一
対のレール３と、このレールの表面との間に所定間隔を
持って対向する面に気体の噴出孔を有するスライダ１３
とで構成するとともに、駆動手段をリニアモータとした
非接触移動式テーブルコータ。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、テーブルコータに
関するものである。
関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、ガラス板等の基板上へ薄膜を形成
する塗工装置としてダイコータが広く使用されている。
する塗工装置としてダイコータが広く使用されている。
【０００３】このダイコータＴ’は図４に示すように、
大略、テーブル１と、このテーブル１の両側に設けられ
たレール３上をスライド部５ａを介して水平移動するダ
イ本体４とからなる。
大略、テーブル１と、このテーブル１の両側に設けられ
たレール３上をスライド部５ａを介して水平移動するダ
イ本体４とからなる。
【０００４】そして、前記テーブル１の上面は、たとえ
ば、２μｍ以下の平面度を有し、かつ、貫通孔を介して
真空ポンプに連通する格子状の溝（いずれも図示せず）
を備える。
ば、２μｍ以下の平面度を有し、かつ、貫通孔を介して
真空ポンプに連通する格子状の溝（いずれも図示せず）
を備える。
【０００５】前記ダイ本体４は、前記各レール３上に載
置されるスライダ部５ａのそれぞれに設けた支柱部材５
を連結する連結材６に取り付けられており、前記スライ
ダ部５ａは、駆動手段７を構成するサーボモータＭ1の
駆動によりべべルギヤＧを介してボールねじが回転する
ことで前記レール３上を水平方向に移動する一方、前記
支柱部材５に取り付けたステッピングモータＭ2により
連結材６が昇降する。
置されるスライダ部５ａのそれぞれに設けた支柱部材５
を連結する連結材６に取り付けられており、前記スライ
ダ部５ａは、駆動手段７を構成するサーボモータＭ1の
駆動によりべべルギヤＧを介してボールねじが回転する
ことで前記レール３上を水平方向に移動する一方、前記
支柱部材５に取り付けたステッピングモータＭ2により
連結材６が昇降する。
【０００６】なお、前記スライダ部５ａは、ベアリング
（図示せず）を介して前記レール３に接触した状態で、
移動自在に構成されている。
（図示せず）を介して前記レール３に接触した状態で、
移動自在に構成されている。
【０００７】また、前記ダイ本体４の中央前方には、前
記テーブル１の表面あるいはテーブル１上に載置された
基板Ｗの上面とダイ本体４のリップ先端部との距離を測
定する非接触式の距離測定センサ８を備えている。
記テーブル１の表面あるいはテーブル１上に載置された
基板Ｗの上面とダイ本体４のリップ先端部との距離を測
定する非接触式の距離測定センサ８を備えている。
【０００８】そして、前記テーブル１に基板Ｗを載置
し、真空ポンプで吸引することにより基板Ｗをテーブル
１上に吸引保持し、基板Ｗのそれやうねり等の変形を矯
正した後、塗布前にダイ本体４に設けた前記距離測定セ
ンサ８を用いて基板Ｗの全面について予めギャップを測
定し、この測定したギャップと設定値（予め設定した基
準となるギャップ）との偏差を求め、この偏差をなくす
ようにダイ本体４を前記ステップモータＭ2の駆動によ
り昇降させながらレール３上を走行（水平移動）するこ
とで基板Ｗの表面形状に沿って塗布液を塗工していた。
し、真空ポンプで吸引することにより基板Ｗをテーブル
１上に吸引保持し、基板Ｗのそれやうねり等の変形を矯
正した後、塗布前にダイ本体４に設けた前記距離測定セ
ンサ８を用いて基板Ｗの全面について予めギャップを測
定し、この測定したギャップと設定値（予め設定した基
準となるギャップ）との偏差を求め、この偏差をなくす
ようにダイ本体４を前記ステップモータＭ2の駆動によ
り昇降させながらレール３上を走行（水平移動）するこ
とで基板Ｗの表面形状に沿って塗布液を塗工していた。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】ところが、基板Ｗの全
面について塗布前にギャップを測定し、基板の表面形状
に合わせてダイ本体４を昇降させながら塗工しているに
もかかわらず、形成された塗布膜に塗工ムラ（チャタマ
ーク）が現れるという問題があった。
面について塗布前にギャップを測定し、基板の表面形状
に合わせてダイ本体４を昇降させながら塗工しているに
もかかわらず、形成された塗布膜に塗工ムラ（チャタマ
ーク）が現れるという問題があった。
【００１０】この塗工ムラの原因について検討したとこ
ろ、ダイ本体４を水平移動させるために設けたレール３
のテーブル１への固定方法とレール３に対する支柱部材
５の支持方法、および駆動機構７に原因があることが判
明した。
ろ、ダイ本体４を水平移動させるために設けたレール３
のテーブル１への固定方法とレール３に対する支柱部材
５の支持方法、および駆動機構７に原因があることが判
明した。
【００１１】すなわち、従来、前記レール３は、図５に
示すように、テーブル１に設けた取付孔９にねじ孔１１
を有する取付具１０を接着固定し、この取付具１０にボ
ルト１２を螺合させてレール３をテーブル１に固定して
いたが、前記テーブル１の平面度を出すための研磨を施
す際、テーブル１に取付具１０を固着したのち研磨を行
うので、テーブル１と取付具１０の材質（通常、テーブ
ル１は石材であり取付具１０は金属（ＳＵＳ））が違う
のでその硬度が大きく異なるため、テーブル１の表面を
所定平面度がでるまで研磨すると、取付具１０の上面の
方が多く研磨されて段差ができ、ボルト１２の締め付け
時にレール３がこの段差で歪み（撓み）、この部分の変
形により支柱部材５を支えるスライダ部（摺動部にベア
リングを有する）５ａが前記歪みに対応して上下動する
ことが塗工ムラの発生原因の１つであった。
示すように、テーブル１に設けた取付孔９にねじ孔１１
を有する取付具１０を接着固定し、この取付具１０にボ
ルト１２を螺合させてレール３をテーブル１に固定して
いたが、前記テーブル１の平面度を出すための研磨を施
す際、テーブル１に取付具１０を固着したのち研磨を行
うので、テーブル１と取付具１０の材質（通常、テーブ
ル１は石材であり取付具１０は金属（ＳＵＳ））が違う
のでその硬度が大きく異なるため、テーブル１の表面を
所定平面度がでるまで研磨すると、取付具１０の上面の
方が多く研磨されて段差ができ、ボルト１２の締め付け
時にレール３がこの段差で歪み（撓み）、この部分の変
形により支柱部材５を支えるスライダ部（摺動部にベア
リングを有する）５ａが前記歪みに対応して上下動する
ことが塗工ムラの発生原因の１つであった。
【００１２】また、第２の原因は、水平移動させるため
の駆動手段７としてサーボモータＭ 1、ベベルギアＧ、
ボールねじを組合わせているため、ボールねじやベベル
ギアＧのバックラッシュによる移動誤差に起因するもの
であった。
の駆動手段７としてサーボモータＭ 1、ベベルギアＧ、
ボールねじを組合わせているため、ボールねじやベベル
ギアＧのバックラッシュによる移動誤差に起因するもの
であった。
【００１３】したがって、本発明は前記課題を解決する
ことのできるテーブルコータを提供することを目的とす
る。
ことのできるテーブルコータを提供することを目的とす
る。
【００１４】
【課題を解決するための手段】本発明は、前記目的を達
成するために、基板を載置するテーブルと、このテーブ
ルに対して相対的に水平移動可能で、かつ、昇降可能な
ダイ本体と、前記テーブル表面あるいは基板表面とダイ
本体のリップ先端部との距離を測定するダイ本体に設け
た非接触式の距離測定センサと、この距離測定センサで
の測定値に基づきダイ本体の昇降量を制御する制御装置
とで構成したテーブルコータにおいて、前記ダイ本体の
支持手段を、テーブルに所定間隔で設けた一対のレール
と、このレールの表面との間に所定間隔を持って対向す
る面に気体の噴出孔を有するスライダとで非接触移動式
テーブルコータとしたものである。
成するために、基板を載置するテーブルと、このテーブ
ルに対して相対的に水平移動可能で、かつ、昇降可能な
ダイ本体と、前記テーブル表面あるいは基板表面とダイ
本体のリップ先端部との距離を測定するダイ本体に設け
た非接触式の距離測定センサと、この距離測定センサで
の測定値に基づきダイ本体の昇降量を制御する制御装置
とで構成したテーブルコータにおいて、前記ダイ本体の
支持手段を、テーブルに所定間隔で設けた一対のレール
と、このレールの表面との間に所定間隔を持って対向す
る面に気体の噴出孔を有するスライダとで非接触移動式
テーブルコータとしたものである。
【００１５】なお、前記ダイ本体を水平移動するための
駆動手段をリニアモータで構成することが好ましい。
駆動手段をリニアモータで構成することが好ましい。
【００１６】
【発明の実施の形態】つぎに、本発明の実施の形態につ
いて図１、図２にしたがって説明する。図１は本発明に
かかる非接触搬送式テーブルコータＴで、ダイ本体４の
レール３への支持機構であるスライダと水平移動するた
めの駆動手段とが異なるのみで他の構成は同一であるた
め、同一部分に同一符号を付して説明を省略する。
いて図１、図２にしたがって説明する。図１は本発明に
かかる非接触搬送式テーブルコータＴで、ダイ本体４の
レール３への支持機構であるスライダと水平移動するた
めの駆動手段とが異なるのみで他の構成は同一であるた
め、同一部分に同一符号を付して説明を省略する。
【００１７】図において、テーブル１の両側には段部２
が設けられ、レール（石材あるいはセラミック板）３が
前記テーブル１の上面に、一側が前記段部２側に突出し
た状態で従来同様の手段にて取り付けられている。
が設けられ、レール（石材あるいはセラミック板）３が
前記テーブル１の上面に、一側が前記段部２側に突出し
た状態で従来同様の手段にて取り付けられている。
【００１８】また、スライダ１３は断面コ字形状の石
材、セラミック板あるいは金属からなり、前記レール３
を外側から抱持するもので、２個のスライダ１３は従来
同様連結材６により連結されている。なお、前記連結材
６で連結されたスライダ１３は、レール３の上下面およ
び側面との間に各々１０μｍ程度の隙間が形成される状
態で嵌合されている。
材、セラミック板あるいは金属からなり、前記レール３
を外側から抱持するもので、２個のスライダ１３は従来
同様連結材６により連結されている。なお、前記連結材
６で連結されたスライダ１３は、レール３の上下面およ
び側面との間に各々１０μｍ程度の隙間が形成される状
態で嵌合されている。
【００１９】そして、スライダ１３の前記レール３と対
向する面には複数の噴出孔１４が設けられ、この噴出孔
１４から加圧した気体（空気）が噴出するようになって
いる。
向する面には複数の噴出孔１４が設けられ、この噴出孔
１４から加圧した気体（空気）が噴出するようになって
いる。
【００２０】一方、前記テーブル１に設けた段差２に
は、対向面に永久磁石１７を備えた断面コ字形の鉄芯１
５が上方に開口１６が位置するように取り付けられ、ま
た、前記スライダ１３の下面には前記鉄芯１５の開口１
６内に突入するコイル１８が取り付けられ、前記鉄芯１
５とコイル１８とでリニアモータ１９を構成している。
は、対向面に永久磁石１７を備えた断面コ字形の鉄芯１
５が上方に開口１６が位置するように取り付けられ、ま
た、前記スライダ１３の下面には前記鉄芯１５の開口１
６内に突入するコイル１８が取り付けられ、前記鉄芯１
５とコイル１８とでリニアモータ１９を構成している。
【００２１】前記構成からなるため、ダイ本体４を移動
させるには、まず、加圧した気体をスライダ１３に供給
することにより気体を噴出孔１４から噴射し、前記レー
ル３との隙間内に静圧を発生させてスライダ１３を非接
触状態に浮上させ、前記コイル１８に直流電圧を印加す
ることにより、リニアモータ１９の原理によりスライダ
１３と一体となったダイ本体４は前記レール３に沿って
所定速度で移動する。
させるには、まず、加圧した気体をスライダ１３に供給
することにより気体を噴出孔１４から噴射し、前記レー
ル３との隙間内に静圧を発生させてスライダ１３を非接
触状態に浮上させ、前記コイル１８に直流電圧を印加す
ることにより、リニアモータ１９の原理によりスライダ
１３と一体となったダイ本体４は前記レール３に沿って
所定速度で移動する。
【００２２】この場合、前記レール３をテーブル１に固
着するに当り、たとえレール３の上面に凹凸が生じてい
ても、スライダ１３は従来のようにベアリング等でレー
ル面を摺動（接触移動）するものでなく静圧によりレー
ル３から浮上状態、すなわち非接触状態で支持するもの
であるから、前記凹凸部はスライダ１３の移動に何の支
障も与えない。
着するに当り、たとえレール３の上面に凹凸が生じてい
ても、スライダ１３は従来のようにベアリング等でレー
ル面を摺動（接触移動）するものでなく静圧によりレー
ル３から浮上状態、すなわち非接触状態で支持するもの
であるから、前記凹凸部はスライダ１３の移動に何の支
障も与えない。
【００２３】また、ダイ本体４を水平移動させる駆動手
段としてリニアモータ１９を採用するため、従来のよう
にバックラッシュが生じず、極めてスムーズに移動する
ことになる。
段としてリニアモータ１９を採用するため、従来のよう
にバックラッシュが生じず、極めてスムーズに移動する
ことになる。
【００２４】なお、前記実施の形態では、ダイ本体４を
支持するスライダ１３とレール３との間を非接触状態と
するとともに、駆動手段をリニアモータ１９で構成した
が、駆動手段は従来通りモータとボールねじとで構成
し、ダイ本体の支持のみを非接触で行ってもよいことは
勿論である。
支持するスライダ１３とレール３との間を非接触状態と
するとともに、駆動手段をリニアモータ１９で構成した
が、駆動手段は従来通りモータとボールねじとで構成
し、ダイ本体の支持のみを非接触で行ってもよいことは
勿論である。
【００２５】また、前記実施の形態ではテーブル１に段
部２を設け、レール３の側方からスライダ１３を嵌合さ
せているが、本願はこれに限定するものではなく、たと
えば図３に示すように、レール３の上方からスライダ１
３を嵌合させ、テーブル１に段差を設けないようにして
もよい。
部２を設け、レール３の側方からスライダ１３を嵌合さ
せているが、本願はこれに限定するものではなく、たと
えば図３に示すように、レール３の上方からスライダ１
３を嵌合させ、テーブル１に段差を設けないようにして
もよい。
【００２６】
【発明の効果】以上の説明で明らかなように、請求項１
の発明によれば、ダイ本体のレールへの支持を気体の噴
出により非接触状態で行うため、ダイ本体の移動に際し
てレールの変形による影響は全く受けず、スムーズな塗
工を施すことができる。
の発明によれば、ダイ本体のレールへの支持を気体の噴
出により非接触状態で行うため、ダイ本体の移動に際し
てレールの変形による影響は全く受けず、スムーズな塗
工を施すことができる。
【００２７】請求項２の発明によれば、前記効果に加え
て、ダイ本体の駆動をリニアモータを用いて非接触状態
で行うため、従来のようにバックラッシュ等に基づく機
械的振動の発生がなく、よりスムーズな走行（塗工）を
行うことができるという効果を奏する。
て、ダイ本体の駆動をリニアモータを用いて非接触状態
で行うため、従来のようにバックラッシュ等に基づく機
械的振動の発生がなく、よりスムーズな走行（塗工）を
行うことができるという効果を奏する。
【図１】 本発明にかかる非接触移動式テーブルコータ
の斜視図。
の斜視図。
【図２】 図１のII−II線拡大断面図。
【図３】 他の実施例。
【図４】 従来テーブルコータの斜視図。
【図５】 図４のレールのテーブルへの取付状態を示す
断面図。
断面図。
１〜テーブル、２〜段部、３〜レール、４〜ダイ本体、
５〜支柱部材、６〜連結材、８〜距離測定センサ、１３
〜スライダ、１４〜噴出孔、１５〜鉄芯、１７〜永久磁
石、１８〜コイル、１９〜リニアモータ。
５〜支柱部材、６〜連結材、８〜距離測定センサ、１３
〜スライダ、１４〜噴出孔、１５〜鉄芯、１７〜永久磁
石、１８〜コイル、１９〜リニアモータ。
Claims (2)
- 【請求項１】 基板を載置するテーブルと、このテーブ
ルに対して相対的に水平移動可能で、かつ、昇降可能な
ダイ本体と、前記テーブル表面あるいは基板表面とダイ
本体のリップ先端部との距離を測定するダイ本体に設け
た非接触式の距離測定センサと、この距離測定センサで
の測定値に基づきダイ本体の昇降量を制御する制御装置
とで構成したテーブルコータにおいて、前記ダイ本体の
支持手段を、テーブルに所定間隔で設けた一対のレール
と、このレールの表面との間に所定間隔を持って対向す
る面に気体の噴出孔を有するスライダとで構成したこと
を特徴とする非接触移動式テーブルコータ。 - 【請求項２】 前記ダイ本体を水平移動するための駆動
手段をリニアモータで構成したことを特徴とする請求項
１に記載の非接触移動式テーブルコータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000401921A JP2002200450A (ja) | 2000-12-28 | 2000-12-28 | 非接触移動式テーブルコータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000401921A JP2002200450A (ja) | 2000-12-28 | 2000-12-28 | 非接触移動式テーブルコータ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002200450A true JP2002200450A (ja) | 2002-07-16 |
Family
ID=18866291
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000401921A Pending JP2002200450A (ja) | 2000-12-28 | 2000-12-28 | 非接触移動式テーブルコータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002200450A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003053249A (ja) * | 2001-08-22 | 2003-02-25 | Dainippon Printing Co Ltd | 枚葉式塗工装置 |
| JP2004223468A (ja) * | 2003-01-27 | 2004-08-12 | Toshiba Mach Co Ltd | 塗工装置の位置決め方法 |
| KR100731166B1 (ko) * | 2003-09-22 | 2007-06-20 | 다이닛뽕스크린 세이조오 가부시키가이샤 | 기판 처리장치 |
| US7372231B2 (en) | 2004-05-19 | 2008-05-13 | Sumitomo Heavy Industries, Ltd. | Movable body position control device and stage device using the movable body position control device |
| JP2009195907A (ja) * | 2009-04-23 | 2009-09-03 | Dainippon Printing Co Ltd | 塗布装置 |
| JP2010253446A (ja) * | 2009-04-28 | 2010-11-11 | Hitachi Plant Technologies Ltd | ペースト塗布装置及び塗布方法 |
| CN103301998A (zh) * | 2012-03-12 | 2013-09-18 | 东丽工程株式会社 | 涂布装置 |
| CN107583829A (zh) * | 2017-10-10 | 2018-01-16 | 温州职业技术学院 | 皮革涂胶机的胶料筒装置 |
| JP2021023901A (ja) * | 2019-08-08 | 2021-02-22 | 中外炉工業株式会社 | 塗布装置及び塗布方法 |
-
2000
- 2000-12-28 JP JP2000401921A patent/JP2002200450A/ja active Pending
Cited By (13)
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| JP2013191604A (ja) * | 2012-03-12 | 2013-09-26 | Toray Eng Co Ltd | 塗布装置 |
| KR102018506B1 (ko) * | 2012-03-12 | 2019-09-05 | 도레 엔지니아린구 가부시키가이샤 | 도포 장치 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20040106 |