KR100900383B1

KR100900383B1 - 도포장치

Info

Publication number: KR100900383B1
Application number: KR1020070083178A
Authority: KR
Inventors: 요시아키 마스; 히데노리 미야모토; 겐지 요시자와; 야스히로 소네
Original assignee: 도쿄 오카 고교 가부시키가이샤; 다즈모 가부시키가이샤
Priority date: 2006-08-22
Filing date: 2007-08-20
Publication date: 2009-06-02
Also published as: JP2008049231A; TW200815929A; JP5208387B2; CN101130184B; CN101130184A; TWI355561B; KR20080018111A

Abstract

본 발명은 슬릿 노즐이 도포시에 주행할 때 피칭이 억제되는 구성의 도포장치를 제공하는 것을 과제로 한다.

또한, 본 발명은 스테이지(2) 상에 재치(載置)한 유리기판(W)에 도포액을 도포하기 위해, 슬릿 노즐(10)로부터 기판(W) 표면에 도포액을 토출하면서 리니어 모터에 의해서 주행체(3)를 주행시킬 때, 구동장치(11)의 중심(G1)은 슬릿 노즐(10)의 중심(G2) 보다도 낮은 위치에 있기 때문에, 주행체(3)가 레일(4, 4)을 따라서 수평방향으로 주행할 때에 발생하는 피칭 움직임(상하 움직임)이 억제되어, 안정된 도포가 행해진다.

Description

도포장치{Coating apparatus}

본 발명은 유리기판 등의 기판표면에 도포액을 도포하는 도포장치에 관한 것이다.

유리기판에 피막을 형성하기 위해서는 피막형성용 도포액을 도포하고, 이를 건조(베이크)하여 피막으로 하고 있다. 이를 위한 도포장치로서 특허문헌 1~6에 개시되는 것이 알려져 있다.

특허문헌 1에 개시되는 도포장치는 기대(基台)의 양쪽에 레일을 설치하고, 이들 레일에 이동대(移動台)를 취부하며, 이 이동대에 승강 실린더를 매개로 하여 슬릿 노즐을 취부(取付)하고 있다.

특허문헌 2에 개시되는 도포장치는 유리기판을 재치(載置)하는 스테이지에 대해 스테이지를 아래로부터 걸치듯이 위쪽이 개방된 コ자상 프레임을 배치하고, 이 コ자상 프레임의 상단(上端) 사이에 슬릿 노즐을 취부하고 있다. 이 선행기술에 있어서는 슬릿 노즐을 승강하는 기구는 나타내어져 있지 않다.

특허문헌 3에 개시되는 도포장치는 유리기판을 재치하는 베이스의 양쪽에 레일을 설치하고, 이들 레일에 문형(門型)을 이루는 지주(支柱)를 주행 가능하게 계 합(係合;걸어 맞춤)하며, 이 지주의 상부 중앙에 설치한 승강부에 대(슬릿 노즐)를 취부하고 있다.

특허문헌 4에 개시되는 도포장치는 특허문헌 3과 동일한 구성이지만, 문형을 이루는 지지부재에 고정부재를 매개로 하여 슬릿 노즐이 취부되고, 슬릿 노즐을 승강하는 기구는 나타내어져 있지 않다.

특허문헌 5에 개시되는 도포장치는 볼나사에 의해서 이동하는 스테이지의 위쪽에 슬릿 노즐을 2개 배설(配設)하고, 상기 스테이지의 상면(上面)에 2장의 유리기판을 이간하여 재치하며, 상기 2개의 슬릿 노즐을 사용하여 2장의 유리기판의 각각에 동시에 도포함으로써, 1개의 슬릿 노즐로 도포하는 경우에 비교하여 시간을 단축하도록 하고 있다.

특허문헌 6에 개시되는 도포장치는 한쌍의 레일 사이에 기판 재치 스테이지를 배치하고, 한쌍의 레일 사이에 문형 이동기구를 가설(架設)하며, 이 문형 이동기구에 Z축(상하방향) 모터에 의해서 승강하는 슬릿 노즐을 취부하고 있다.

[특허문헌 1] 일본국 특허공개 제2003-236435호 공보

[특허문헌 2] 일본국 특허공개 제(평)11-162815호 공보

[특허문헌 3] 일본국 특허공개 제2002-102771호 공보

[특허문헌 4] 일본국 특허공개 제2004-298775호 공보

[특허문헌 5] 일본국 특허공개 제(평)10-216599호 공보

[특허문헌 6] 일본국 특허공개 제2002-140982호 공보

특허문헌 1~6의 선행문헌 중, 슬릿 노즐을 승강하는 기구를 갖는 선행문헌에 있어서는 모두 승강기구를 구성하는 모터 또는 실리더의 중심이 슬릿 노즐의 중심 보다도 위쪽에 위치해 있다. 이 때문에, 슬릿 노즐이 수평방향으로 주행할 때, 문형 이동기구 등의 중심위치가 높아져 피칭 움직임을 발생시키고, 도포가 불안정해지며, 균일한 막두께가 얻어지지 않는다고 하는 문제가 있다.

상기 과제를 해결하기 위해 본 발명은 기판 재치 스테이지의 양쪽을 따라서 이동 가능하게 주행체를 설치하고, 이 주행체에 슬릿 노즐이 승강 가능하게 유지된 도포장치로서, 상기 주행체에는 상기 슬릿 노즐을 승강시키는 구동장치가 취부되고, 이 구동장치의 중심은 슬릿 노즐의 중심 보다도 낮게 설정된 구성으로 하였다.

상기 주행체로서는 문형이어도 되지만, 문형인 경우 중량이 커지기 때문에 각 레일에 주행체를 취부하고, 이들 주행체 사이에 슬릿 노즐을 승강 가능하게 지지하는 구성이 바람직하다. 이 경우, 한쪽의 주행체에만 구동장치를 설치하면 승강시에 슬릿 노즐에 변형이 발생하기 쉬워지기 때문에, 각각의 주행체에 모터 또는 실린더 유닛으로 되는 구동장치를 설치하는 것이 바람직하다.

본 발명에 의하면, 주행체와 함께 슬릿 노즐이 주행할 때 중심을 낮게 유지할 수 있기 때문에, 피칭의 발생을 억제할 수 있고, 안정된 도포를 행할 수 있다.

이하에 본 발명의 실시형태를 첨부 도면을 토대로 설명한다. 도 1은 본 발명의 도포장치의 측면도이고, 도 2는 도 1의 주요부 평면도이며, 도 3은 구동장치의 확대도이고, 도 4는 도 3의 A방향 화살표에서 본 도면이며, 도 5는 도 3의 B방향 화살표에서 본 도면이다.

도포장치는 기대(1) 상에 기판(W)을 재치하는 스테이지(2)가 고정되고, 이 스테이지(2)의 양쪽을 따라서 주행체(3, 3)가 수평방향(도 1의 지면(紙面) 수직방향)으로 이동 가능하게 배치되어 있다.

본 실시예에 있어서는 주행체(3)는 리니어 모터로 주행한다. 즉, 스테이지(2)의 측면 프레임에 레일(4, 4)을 설치하고, 이 레일(4)에 주행체(3)의 가이드(5)를 계합하며, 또한 리니어 모터의 고정자(6)를 상기 레일(4)에 평행하게 배치하고, 이 고정자(6)와 소정의 간격을 유지하는 리니어 모터의 가동자(7)를 주행체(3)에 취부하며, 또한 에어패드에 의해서 상기 레일(4)과 가이드(5) 사이에 일정의 간극을 형성하고 있다.

주행체(3)의 상부에는 상하방향의 가이드 레일(8)을 설치하고, 이 가이드 레일(8)에 지지체(9)를 승강 움직임 자유자재로 계합하며, 좌우의 지지체(9, 9) 사이에 슬릿 노즐(10)을 취부하고 있다.

또한, 각 주행체(3)에는 지지체(9)를 승강 움직임을 하게 하는 구동장치(11)가 취부되어 있다. 구동장치(11)는 주행체(3)의 측면에 고정되는 모터(12), 이 모터(12)로 회전되는 스크류 샤프트(13), 이 스크류 샤프트(13)에 계합되는 동시에 스크류 샤프트(13)의 회전에 따라서 상하로 나진(螺進)하는 너트부재(14)를 구비하고 있다. 그리고, 상기 너트부재(14)의 일부가 상기 지지체(9)에 취부되고, 너트부재(14)가 상하로 나진함으로써 지지체(9) 및 슬릿 노즐(10)이 승강 움직임을 한다.

또한, 지지체(9)의 승강 움직임의 상한 및 하한은 도 4에 나타내는 바와 같이, 너트부재(14)에 취부한 조작편(14a)이 좌우 한쪽의 가이드 레일(8)에 취부한 리미트 스위치(8a, 8b)에 맞닿음으로써 결정된다.

여기에서, 구동장치(11)를 구성하는 부재 중, 가장 중량이 무거운 것은 모터(12)로서, 이 모터(12)가 상기 슬릿 노즐(10) 보다도 낮은 위치에 설치되어 있다. 그 결과, 구동장치(11)의 중심(G1)은 슬릿 노즐(10)(정확하게는 슬릿 노즐(10)과 지지체(9))의 중심(G2) 보다도 낮은 위치가 된다.

이상에 있어서, 스테이지(2) 상에 재치한 유리기판(W)에 도포액을 도포하기 위해서는, 구동장치(11)에 의해서 슬릿 노즐(10) 하단(下端)과 유리기판(W) 상면의 간격이 소정값이 될 때까지 슬릿 노즐(10)을 하강시키고, 이어서 슬릿 노즐(10)로부터 기판(W) 표면에 도포액을 토출하면서 리니어 모터에 의해서 좌우의 주행체(3, 3)를 동기(同期)하여 주행시키고, 이것에 의해 기판(W) 표면에 균일한 두께의 도막을 형성한다.

이 때, 구동장치(11)의 중심(G1)은 슬릿 노즐(10)의 중심(G2) 보다도 낮은 위치에 있기 때문에, 주행체(3)가 레일(4, 4)을 따라서 수평방향으로 주행할 때에 발생하는 피칭 움직임(상하 움직임)이 억제된다.

실시예에서는 스테이지(2)의 양쪽에 각각 독립하여 주행체(3, 3)를 배치하였 지만, 주행체의 형상을 문형으로 하여 1개의 주행체로 해도 된다. 또한, 이 경우에도 리니어 모터는 양쪽에 설치하는 것이 문형의 주행체에 변형을 발생시키지 않게 하기 위해서 필요하다.

본 발명의 도포장치는 각종 디스플레이장치에 삽입하는 유리기판에 도막을 형성하기 위한 도포장치로서 이용할 수 있다.

도 1은 본 발명의 도포장치의 측면도이다.

도 2는 도 1의 주요부 평면도이다.

도 3은 구동장치의 확대도이다.

도 4는 도 3의 A방향 화살표에서 본 도면이다.

도 5는 도 3의 B방향 화살표에서 본 도면이다.

부호의 설명

1…기대(基台), 2…스테이지, 3…주행체(走行體), 4…레일, 5…가이드, 6…리니어 모터의 고정자(固定子), 7…리니어 모터의 가동자(可動子), 8…상하방향의 가이드 레일, 8a, 8b…리미트 스위치, 9…지지체, 10…슬릿 노즐, 11…구동장치, 12…모터, 13…스크류 샤프트, 14…너트부재, 14a…조작편, G1…구동장치의 중심, G2…슬릿 노즐의 중심, W…기판.

Claims

기판 재치 스테이지의 양쪽을 따라서 이동 가능하게 주행체를 설치하고, 이 주행체에 슬릿 노즐이 승강 가능하게 유지된 도포장치로서, 상기 주행체에는 상기 슬릿 노즐을 승강시키는 구동장치가 취부되고, 이 구동장치의 중심은 레일(4)의 중심 보다도 낮게 설정되어 있는 것을 특징으로 하는 도포장치.
제1항의 도포장치에 있어서, 상기 주행체는 기판 재치 스테이지의 양쪽에 각각 독립하여 설치되고, 각 주행체마다 구동장치가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 도포장치.