CN101130184A - 涂敷装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种涂敷装置，其具有当狭缝喷嘴进行涂敷而移动时能抑制起伏的构造。在为了对放置于载台(2)上的玻璃衬底(W)涂敷涂敷液，而从狭缝喷嘴(10)向衬底(W)的表面喷出涂敷液，同时利用线性马达使移动体(3)移动时，由于驱动装置(11)的重心(G1)位于比狭缝喷嘴(10)的重心(G2)低的位置，所以能抑制移动体(3)沿着轨道(4、4)在水平方向移动时产生的起伏(上下动)，从而可以稳定地进行涂敷。

Description

涂敷装置
技术领域
本发明涉及一种对玻璃衬底等的衬底表面涂敷涂敷液的涂敷装置。
背景技术
在玻璃衬底上形成覆膜时，涂敷覆膜形成用的涂敷液，并使涂敷液干燥(烘干)而制成覆膜。已知在专利文献1至6中公布了该用途的涂敷装置。
专利文献1中公布的涂敷装置，在台座的两侧设置有轨道，在这些轨道上安装有移动台，在该移动台上通过升降汽缸安装有狭缝喷嘴。
专利文献2中公布的涂敷装置，对放置玻璃衬底的载台，以从下方横跨载台的方式配置了一个上方开放的コ字形框架，在该コ字形框架的上端之间安装有狭缝喷嘴。在该现有技术中未公开用于升降狭缝喷嘴的机构。
专利文献3中公布的涂敷装置，在放置玻璃衬底的台座的两侧设置有轨道，在这些轨道上可移动地接合了呈门形的支柱，在该支柱的上部中央设置的升降部上安装有喷头(狭缝喷嘴)。
专利文献4中公布的涂敷装置，与专利文献3中的涂敷装置的结构相同，但是，狭缝喷嘴是通过固定部件安装在呈门形的支撑部件上的，其未公开用于升降狭缝喷嘴的机构。
专利文献5中公布的涂敷装置，在利用滚珠螺杆移动的载台的上方设置有两个狭缝喷嘴，通过在上述载台的上表面有间隔地放置两块玻璃衬底，并利用上述两个狭缝喷嘴同时对两个玻璃衬底分别进行涂敷，与用一个狭缝喷嘴进行涂敷时相比，可以缩短时间。
专利文献6中公布的涂敷装置，在一对轨道间配置有衬底放置载台，并在一对轨道间架设有门形移动机构，在该门形移动机构上安装有利用Z轴(上下方向)马达升降的狭缝喷嘴。
专利文献1：日本特开2003-236435号公报
专利文献2：日本特开平11-162815号公报
专利文献3：日本特开2002-102771号公报
专利文献4：日本特开2004-298775号公报
专利文献5：日本特开平10-216599号公报
专利文献6：日本特开2002-140982号公报
在专利文献1至6的现有文献中，在具有升降狭缝喷嘴的机构的现有文献中，构成升降机构的马达或汽缸的重心，都位于比狭缝喷嘴的重心还靠上方的位置。因此，当狭缝喷嘴在水平方向移动时，门形移动机构等的重心位置变高，出现起伏，使得涂敷变得不稳定，从而产生无法得到均匀的膜厚的问题。
发明内容
为解决上述课题，本发明提供一种涂敷装置，其设置有移动体，该移动体设置成可沿衬底放置载台的两侧移动，在该移动体上以可升降的方式保持有狭缝喷嘴，在上述移动体上安装有使上述狭缝喷嘴升降的驱动装置，该驱动装置的重心设置得比狭缝喷嘴的重心低。
上述移动体也可以为门形，但门形移动体的重量会变大，所以最好采用在各个轨道上安装移动体，在这些移动体之间以可升降的方式支撑狭缝喷嘴的结构。此时，若只在一侧的移动体上设置驱动装置，则升降时狭缝喷嘴容易发生歪斜，所以最好是在各移动体上分别设置由马达或汽缸组件构成的驱动装置。
根据本发明，当狭缝喷嘴与移动体一起移动时，能将重心维持在较低位置，所以能抑制起伏的发生，从而能进行稳定的涂敷。
附图说明
图1是本发明的涂敷装置的侧视图。
图2是图1的主要部分的俯视图。
图3是驱动装置的放大图。
图4是图3的A方向向视图。
图5是图3的B方向向视图。
图中：1...台座，2...载台，3...移动体，4...轨道，5...导向槽，6...线性马达(linear motor)的定子，7...线性马达的动子，8...上下方向的导轨，8a、8b...限位开关，9...支撑体，10...狭缝喷嘴，11...驱动装置，12...马达，13...螺杆轴，14...螺母部件，14a...操作片，G1...驱动装置的重心，G2...狭缝喷嘴的重心，W...衬底
具体实施方式
以下参照附图来说明本发明的实施方式。图1是本发明的涂敷装置的侧视图、图2是图1的主要部分的俯视图、图3是驱动装置的放大图、图4是图3的A方向向视图、图5是图3的B方向向视图。
对于涂敷装置，在台座1上固定有放置衬底W的载台2，沿该载台2的两侧配置有移动体3、3，该移动体3在水平方向(与图1的纸面垂直的方向)是可移动的。
在本实施例中，移动体3利用线性马达来移动。即，在载台2的侧面框架上设置有轨道4、4，该轨道4与移动体3的导向槽5接合。并且，将线性马达的定子6与上述轨道4平行地配置，并将线性马达的动子7安装在移动体3上，该动子7与该定子6维持规定的间隔。另外，上述轨道4与导向槽5之间由于空气垫而形成了一定间隙。
在移动体3的上部设置有上下方向的导轨8，支撑体9可自由升降地接合在该导轨8上，在左右支撑体9、9之间安装有狭缝喷嘴10。
另外，在各移动体3上安装有用于使支撑体9升降的驱动装置11。驱动装置11具有：固定于移动体3的侧面的马达12；利用该马达12使之转动的螺杆轴13；以及与该螺杆轴13接合，并且随着螺杆轴13的转动而上下旋进的螺母部件14。并且，上述螺母部件14的一部分安装在上述支撑体9上，支撑体9和狭缝喷嘴10因螺母部件14的上下旋进而升降移动。
另外，支撑体9的升降移动的上限和下限，如图4所示，由安装在螺母部件14上的操作片14a和安装在左右导轨8中的一个导轨上的限位开关8a、8b来决定。
这里，在构成驱动装置11的部件中，重量最重的是马达12，该马达12设置在比狭缝喷嘴10低的位置，其结果，驱动装置11的重心G1处于比狭缝喷嘴10(准确地说是狭缝喷嘴10和支撑体9)的重心G2低的位置。
在对放置于载台2上的玻璃衬底W涂敷涂敷液时，利用驱动装置11，使狭缝喷嘴10下降，直到狭缝喷嘴10的下端与玻璃衬底W的上表面之间的间隔达到规定值，然后从狭缝喷嘴10向衬底W表面喷出涂敷液，同时利用线性马达使左右的移动体3同步移动，由此，在衬底W表面形成均匀厚度的涂膜。
这时，因为驱动装置11的重心G1位于比狭缝喷嘴10的重心G2低的位置，所以能抑制移动体3沿着轨道4、4在水平方向移动时产生的起伏(上下动)。
在实施例中，在载台2的两侧分别独立地配置了移动体3、3，但也可以把移动体的形状做成门形而成为一个移动体。不过，即使在这种情况下，为了不使门形移动体发生歪斜，线性马达也需要设置在两侧。
(产业可利用性)
本发明的涂敷装置，可以用作以下这样的涂敷装置：在要组装到各种显示装置中的玻璃衬底上形成涂膜。

Claims (2)

1.一种涂敷装置，设置有移动体，该移动体被设置成可沿衬底放置载台的两侧移动，在该移动体上以可升降的方式保持有狭缝喷嘴，其特征在于：
在上述移动体上安装有使上述狭缝喷嘴升降的驱动装置，该驱动装置的重心设置得比狭缝喷嘴的重心低。
2.根据权利要求1所述的涂敷装置，其特征在于：
上述移动体分别独立地设置在衬底放置载台的两侧，且对每个移动体都设置了驱动装置。
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