JP3778694B2 - カセットボックス受渡装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶、半導体等の製造工場において、搬送台車と、スタッカに設置したスタッカークレーンとの間に設置され、ガラス板等の薄板を収納したカセットボックスの受け渡しを行う受渡装置に関し、特に、ガラス板等の薄板を収納したカセットボックスをスタッカに長時間保管した場合においても、ガラス板等の薄板に発生する撓み量を低減できるようにしたカセットボックス受渡装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来、例えば、液晶の製造工場においては、液晶の基板となるガラス板を専用のカセットボックスに水平方向に収納して、生産工程間を移送するとともに、必要に応じて、スタッカに一時保管するようにしている。
ところで、近年、液晶の高性能化、多機能化等に伴い、基板となるガラス板は、板厚が薄く、かつサイズが大形化される傾向にある。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
そして、このように、板厚が薄く、かつサイズが大形化されたガラス板を、カセットボックスに水平方向に収納して、スタッカに長時間保管した場合、ガラス板は、カセットボックス内で、その両端部を支持されて架け渡すようにして収納されているため、撓み(歪み)が発生し、これにより、液晶の品質や歩留まりが低下するという問題があった。
【0004】
本発明は、上記従来のガラス板等の薄板を収納したカセットボックスをスタッカに長時間保管する場合の問題点に鑑み、ガラス板等の薄板を収納したカセットボックスをスタッカに長時間保管した場合においても、ガラス板等の薄板に発生する撓み量を低減し、液晶の品質や歩留まりを向上することができるようにしたカセットボックス受渡装置を提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明のカセットボックス受渡装置は、搬送台車と、スタッカに備えたスタッカークレーンとの間に設置され、ガラス板等の薄板を収納したカセットボックスの受け渡しを行う受渡装置において、基台上に傾転可能に支持した傾転台と、傾転台を略90゜の範囲で傾転する傾転駆動機構と、傾転台に形成したカセットボックス載置台とからなるカセットボックス受渡装置において、カセットボックス載置台に、カセットボックスを載置した状態で、カセットボックス載置台とカセットボックスとの間の略直角をなす2方向に、フォークを挿入することができるようにするための凹部を形成したことを特徴とする。
【0006】
このカセットボックス受渡装置は、基台上に傾転可能に支持した傾転台と、傾転台を略90゜の範囲で傾転する傾転駆動機構と、傾転台に形成したカセットボックス載置台とからなり、これを、搬送台車と、スタッカに備えたスタッカークレーンとの間に設置することにより、搬送台車とスタッカークレーンとの間でカセットボックスの受け渡しをする際に、傾転駆動機構により傾転台を略90゜の範囲で傾転することにより、傾転台に形成したカセットボックス載置台に載置したカセットボックスを、傾転台と共に略90゜傾転して、カセットボックスに水平方向に収納されていたガラス板等の薄板を、カセットボックスに略垂直に立てて収納されるようにし、この状態でカセットボックスをスタッカに保管するようにする。
これにより、カセットボックスをスタッカに長時間保管した場合におけるガラス板等の薄板に発生する撓み量を低減することができる。
さらに、カセットボックス載置台に、カセットボックスを載置した状態で、カセットボックス載置台とカセットボックスとの間の略直角をなす2方向に、フォークを挿入することができるようにするための凹部を形成することにより、フォークを備えた移載機を使用して、搬送台車又はスタッカークレーンとこのカセットボックス受渡装置との間のカセットボックスの受け渡しを円滑に行うことができる。
【0007】
この場合において、傾転台の外側面を円弧形に形成し、基台に配設した傾転ローラを介して傾転可能に支持することができる。
【0008】
これにより、傾転台の支持及び所定角度の傾転を円滑に行うことができ、ガラス板等の薄板に大きな振動や衝撃を与えることなく、カセットボックスに収納されているガラス板等の薄板の収納方向を変更することができる。
【0009】
また、カセットボックス載置台を、ガイドレールに沿って摺動可能に配設した、カセットボックスを載置するスライド台と、スライド台の摺動駆動機構と、スライド台と略直角をなすストッパとで構成することができる。
【0010】
これにより、スライド台の摺動駆動機構により、カセットボックスを載置したスライド台を、カセットボックスがストッパに当接するまで摺動させた状態で、傾転台を傾転することにより、カセットボックスが傾転以外の移動をすることを防止することができ、ガラス板等の薄板に大きな振動や衝撃を与えることなく、カセットボックスに収納されているガラス板等の薄板の収納方向を変更することができるとともに、カセットボックス受渡装置におけるカセットボックスの位置決めが正確に行えるため、搬送台車又はスタッカークレーンとこのカセットボックス受渡装置との間のカセットボックスの受け渡しを円滑に行うことができる。
【0011】
また、傾転台を支持する基台を、固定側に対して摺動可能に配設し、基台の摺動駆動機構を設けるようにすることができる。
【0012】
これにより、フォークを備えた移載機を使用して、搬送台車又はスタッカークレーンとこのカセットボックス受渡装置との間のカセットボックスの受け渡しをより円滑に行うことができる。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下、本発明のカセットボックス受渡装置の実施の形態を図面に基づいて説明する。
【0014】
カセットボックス受渡装置Aは、所定の停止位置に停止した搬送台車Cと、スタッカSに備えたスタッカークレーンSKとの間に設置され、搬送台車CとスタッカークレーンSKとの間でカセットボックスKの受け渡しをする際に、傾転台3を略90゜の範囲で傾転することにより、傾転台3に形成したカセットボックス載置台4に載置したカセットボックスK(図5(A)参照)を、傾転台3と共に略90゜傾転して、カセットボックスKに水平方向に収納されていたガラス板等の薄板Gを、カセットボックスKに略垂直に立てて収納されるようにし(図5(B)参照)、この状態でカセットボックスKをスタッカSに保管するようにするためのもので、このカセットボックス受渡装置Aは、ベース1上に、搬送台車C又はスタッカークレーンSKの方向に摺動可能に基台2を配設し、この基台2上に、基台2の摺動方向と直角方向に傾転可能に傾転台3を支持し、傾転台3にカセットボックス載置台4を形成して構成するようにする。
【0015】
この場合において、ベース1は、床面、スタッカSの下部等に水平に設置するとともに、その上部にガイドレール11,11を敷設し、このガイドレール11,11により、スライダ12,12を介して、基台2を摺動可能に支持するようにする。
また、ベース1上には、ガイドレール11,11と平行に、基台2の摺動駆動機構としてのシリンダ13、例えば、ロッドレスシリンダを配設し、このシリンダ13を駆動することにより、基台2をガイドレール11に沿って摺動するようにする。
この場合、基台2の摺動範囲を規制するため、ベース1上の基台2の最大許容摺動範囲の位置にショックアブソーバ14(又はストッパ)を配置し、基台2から突設した突片15が当接するようにする。
【0016】
基台2の上部には、架台21,21を突設し、この架台21,21の上部に傾転ローラ22,23を回動可能に支持するとともに、この傾転ローラ22,23を介して、外側面を円弧形に形成した傾転台3を傾転可能に支持するようにする。
傾転台3の外側面には、円弧形の外側面に沿うように円弧形に形成した2条のガイドレール31,32を平行に配設し、傾転ローラ22,23を案内するようにする。
この場合、一方のガイドレール31は溝付とし、この溝内に傾転ローラ22,23が嵌合し、傾転台3がガイドレール31,32の直角方向に移動することを防止するようにするとともに、他方のガイドレール32は平面状とし、一方のガイドレール31と共に、傾転ローラ22,23に当接して、傾転台3の荷重を支持するようにする。
【0017】
また、傾転ローラ22,23のほぼ中間位置の基台2に突設したブラケット24に、傾転台3の傾転駆動機構としてのモータ25にて駆動されるスプロケットホイール26(又はギヤ)を配設し、スプロケットホイール26を傾転台3の外側面に配設したラック33と噛合させ、モータ25を駆動することにより、スプロケットホイール26及びラック33を介して、傾転台3を傾転するようにする。
この場合、ラック33は、チェンを傾転台3の外側面に添って張架し、チェンの両端をチェン止具34,35を介して傾転台3に固定して構成するようにしているが、傾転台3の円弧形の外側面に沿うように円弧形に形成したラックを用いることもできる。
このラック33の長さにより、傾転台3の最大傾転角度が規定されるとともに、ラック33の長さの範囲内において傾転台3の傾転角を任意に設定することができる。
【0018】
これにより、傾転台3の支持及び所定角度の傾転を円滑に行うことができ、ガラス板等の薄板Gに大きな振動や衝撃を与えることなく、カセットボックスKに収納されているガラス板等の薄板Gの収納方向を変更することができるものとなる。
【0019】
傾転台3の内側には、カセットボックス載置台4を形成する。
このカセットボックス載置台4は、傾転台3の端縁に沿って支片41,41を対向して突設し、この支片41,41に、傾転台3が定位置(傾転する前の状態)にあるとき(図1参照)、水平となるように受台42を配設し、この受台42の上部、望ましくは、支片41に添って、ガイドレール43,43を敷設し、このガイドレール43,43により、スライダ46,46を介して、スライド台45を摺動可能に支持するようにする。
【0020】
また、スライド台45の一端側の受台42には、スライド台45の摺動駆動機構としてのシリンダ47を配設し、このシリンダ47を駆動することにより、シリンダ47のシリンダロッド47Lを介して接続したスライド台45をガイドレール43に沿って摺動するようにするとともに、スライド台45の他端側の支片41には、スライド台45と略直角をなすストッパ44を配設するようにする。
これにより、シリンダ47により、カセットボックスKを載置したスライド台45を、カセットボックスKがストッパ44に当接するまで摺動させた状態で、傾転台3を傾転することにより、カセットボックスKが傾転以外の移動をすることを防止することができ、ガラス板等の薄板Gに大きな振動や衝撃を与えることなく、カセットボックスKに収納されているガラス板等の薄板Gの収納方向を変更することができるとともに、カセットボックス受渡装置AにおけるカセットボックスKの位置決めが正確に行えるため、搬送台車C又はスタッカークレーンSKとこのカセットボックス受渡装置Aとの間のカセットボックスKの受け渡しを円滑に行うことができるものとなる。
【0021】
また、カセットボックス載置台4には、カセットボックス載置台4に、カセットボックスKを載置した状態で、カセットボックス載置台4とカセットボックスKとの間の略直角をなす2方向に、搬送台車C、スタッカークレーンSK等に設けたカセットボックスKの移載機(図示省略)のフォークを挿入することができるようにするための凹部48,49を形成するようにするとともに、凹部48の位置においては、受台42及びガイドレール43,43を省くようにする。
【0022】
なお、傾転台3を略90゜の範囲で傾転する機構としては、本実施例において採用したものに限定されず、例えば、軸受、リンク機構等からなる揺動機構と、シリンダ、モータ等からなる駆動機構を組み合わせた任意の機構を採用することができる。
【0023】
以下、このカセットボックス受渡装置Aの動作について説明する。
搬送台車Cにて搭載され、搬送されてきたカセットボックスKには、ガラス板等の薄板Gが、水平方向に収納されている。
この状態で、所定の停止位置に停止した搬送台車Cから、例えば、搬送台車C上に搭載した移載機(図示省略)を用いて、カセットボックス受渡装置Aのカセットボックス載置台4のスライド台45に移載するようにする(図5(A)参照)。
その後、シリンダ47を駆動することにより、カセットボックスKを載置したスライド台45を、カセットボックスKがストッパ44に当接するまで摺動させた状態で、モータ25を駆動することにより、傾転台3を略90゜、より具体的には、90度より少し小さな角度、例えば、80〜89度の範囲内で傾転するようにする。なお、傾転台3の傾転角度は、各種のセンサ等を用いてにより測定することができ、任意の値に設定することができる。
これにより、傾転台3に形成したカセットボックス載置台4のスライド台45に載置したカセットボックスKは、ストッパ44上に載置されることとなるとともに、カセットボックスKに水平方向に収納されていたガラス板等の薄板Gは、カセットボックスKに略垂直に立てて収納されることとなり、この状態で、シリンダ13を駆動することにより、基台2をスタッカークレーンSKの方向に摺動し、カセットボックスKを、スタッカークレーンSKに搭載した移載機(図示省略)を用いて、スタッカSに保管するようにする。
この場合、基台2をスタッカークレーンSKの方向に摺動することにより、カセットボックス載置台4に形成した凹部49に、スタッカークレーンSKに搭載した移載機のフォークが挿入されることとなり、カセットボックス受渡装置AとスタッカークレーンSKとの間のカセットボックスKの受け渡しを円滑に行うことができるものとなる。
これにより、従来のガラス板等の薄板をカセットボックスに水平方向に収納した状態でカセットボックスをスタッカに保管するようにした場合と比較して、カセットボックスKをスタッカSに長時間保管した場合におけるガラス板等の薄板Gに発生する撓み量を低減することができるものとなる。
【0024】
また、スタッカSに保管されているカセットボックスKの取り出しは、スタッカークレーンSC及びカセットボックス受渡装置Aに、上記のカセットボックスKをスタッカSに保管する場合と逆の動作をさせることにより行うことができる。
なお、この場合、必要に応じて、傾転台3を逆方向に傾転させることを省略することにより、搬送台車Cに対して、ガラス板等の薄板Gを略垂直に立てて収納した状態のカセットボックスKを搭載することができる。
【0025】
【発明の効果】
本発明のカセットボックス受渡装置によれば、基台上に傾転可能に支持した傾転台と、傾転台を略90゜の範囲で傾転する傾転駆動機構と、傾転台に形成したカセットボックス載置台とからなり、これを、搬送台車と、スタッカに備えたスタッカークレーンとの間に設置することにより、搬送台車とスタッカークレーンとの間でカセットボックスの受け渡しをする際に、傾転駆動機構により傾転台を略90゜の範囲で傾転することにより、傾転台に形成したカセットボックス載置台に載置したカセットボックスを、傾転台と共に略90゜傾転して、カセットボックスに水平方向に収納されていたガラス板等の薄板を、カセットボックスに略垂直に立てて収納されるようにし、この状態でカセットボックスをスタッカに保管するようにする。
これにより、従来のガラス板等の薄板をカセットボックスに水平方向に収納した状態でカセットボックスをスタッカに保管するようにした場合と比較して、カセットボックスをスタッカに長時間保管した場合におけるガラス板等の薄板に発生する撓み量を低減することができ、液晶の品質や歩留まりを向上することができる。
さらに、カセットボックス載置台に、カセットボックスを載置した状態で、カセットボックス載置台とカセットボックスとの間の略直角をなす2方向に、フォークを挿入することができるようにするための凹部を形成することにより、フォークを備えた移載機を使用して、搬送台車又はスタッカークレーンとこのカセットボックス受渡装置との間のカセットボックスの受け渡しを円滑に行うことができる。
【0026】
また、傾転台の外側面を円弧形に形成し、基台に配設した傾転ローラを介して傾転可能に支持することにより、傾転台の支持及び所定角度の傾転を円滑に行うことができ、ガラス板等の薄板に大きな振動や衝撃を与えることなく、カセットボックスに収納されているガラス板等の薄板の収納方向を変更することができる。
【0027】
また、カセットボックス載置台を、ガイドレールに沿って摺動可能に配設した、カセットボックスを載置するスライド台と、スライド台の摺動駆動機構と、スライド台と略直角をなすストッパとで構成することにより、スライド台の摺動駆動機構により、カセットボックスを載置したスライド台を、カセットボックスがストッパに当接するまで摺動させた状態で、傾転台を傾転することにより、カセットボックスが傾転以外の移動をすることを防止することができ、ガラス板等の薄板に大きな振動や衝撃を与えることなく、カセットボックスに収納されているガラス板等の薄板の収納方向を変更することができるとともに、カセットボックス受渡装置におけるカセットボックスの位置決めが正確に行えるため、搬送台車又はスタッカークレーンとこのカセットボックス受渡装置との間のカセットボックスの受け渡しを円滑に行うことができる。
【0028】
また、傾転台を支持する基台を、固定側に対して摺動可能に配設し、基台の摺動駆動機構を設けるようにすることにより、フォークを備えた移載機を使用して、搬送台車又はスタッカークレーンとこのカセットボックス受渡装置との間のカセットボックスの受け渡しをより円滑に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明のカセットボックス受渡装置の一実施例を示す正面図である。
【図2】 同側面図である。
【図3】 同平面図である。
【図4】 同ローラ支持部の側面図である。
【図5】 カセットボックス受渡装置の動作の説明図で、(A)は傾転する前の状態、(B)は傾転した後の状態を示す。
【図6】 カセットボックス受渡装置、搬送台車及びスタッカに備えたスタッカークレーンの関係を示す説明図である。
【符号の説明】
1 ベース
11 ガイドレール
12 スライダ
13 シリンダ(摺動駆動機構)
14 ショックアブソーバ
15 突片
2 基台
21 架台
22,23 傾転ローラ
24 ブラケット
25 モータ(傾転駆動機構)
26 スプロケットホイール
3 傾転台
31,32 ガイドレール
33 ラック
34,35 チェン止具
4 カセットボックス載置台
41 支片
42 受台
43 ガイドレール
44 ストッパ
45 スライド台
46 スライダ
47 シリンダ(摺動駆動機構)
47L シリンダロッド
48,49 凹部
A カセットボックス受渡装置
C 搬送台車
G 薄板
K カセットボックス
S スタッカ
SK スタッカークレーン
Claims (4)
- 搬送台車(C)と、スタッカ(S)に備えたスタッカークレーン(SK)との間に設置され、ガラス板等の薄板(G)を収納したカセットボックス(K)の受け渡しを行う受渡装置において、基台(2)上に傾転可能に支持した傾転台(3)と、傾転台(3)を略90゜の範囲で傾転する傾転駆動機構(25)と、傾転台(3)に形成したカセットボックス載置台(4)とからなるカセットボックス受渡装置において、カセットボックス載置台(4)に、カセットボックス(K)を載置した状態で、カセットボックス載置台(4)とカセットボックス(K)との間の略直角をなす2方向に、フォークを挿入することができるようにするための凹部(48,49)を形成したことを特徴とするカセットボックス受渡装置。
- 傾転台(3)の外側面を円弧形に形成し、基台(2)に配設した傾転ローラ(22,23)を介して傾転可能に支持したことを特徴とする請求項1記載のカセットボックス受渡装置。
- カセットボックス載置台(4)を、ガイドレール(43)に沿って摺動可能に配設した、カセットボックス(K)を載置するスライド台(45)と、スライド台(45)の摺動駆動機構(47)と、スライド台(45)と略直角をなすストッパ(44)とで構成したことを特徴とする請求項1又は2記載のカセットボックス受渡装置。
- 傾転台(3)を支持する基台(2)を、固定側に対して摺動可能に配設し、基台(2)の摺動駆動機構(13)を設けたことを特徴とする請求項1、2又は3記載のカセットボックス受渡装置。
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