JP4930543B2 - 塗布装置 - Google Patents
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Description
4,5 レール
6 アーム
9 リニアモータ
11 ダイヘッド
M 錘部材
R 移動系
P 駆動力
L 作用線
U 重心
G 基板
Claims (6)
- 塗布液を吐出した状態で基板上を所定方向に移動することによって基板の表面に塗布液を塗布する塗布液吐出用ダイヘッドを備えた塗布装置であって,
基板を載置する載置台と,
前記載置台に隣接して前記所定方向に向けて配置されたレールと,
前記塗布液吐出用ダイヘッドを有し,当該塗布液吐出用ダイヘッドと一体となって前記レール上を移動する移動系と,を備え,
前記移動系は,駆動部による外力が前記所定方向に作用することによって前記レール上を移動可能であり,
少なくとも前記所定方向に直交する方向の側面から見て前記移動系の重心を前記駆動部による外力の作用線上に位置させ,
平面から見たときにも前記移動系の重心を前記作用線上に位置させており,
当該移動系の重心を前記作用線上に位置させる錘部材と,前記塗布液吐出用ダイヘッドを支持した状態で前記レール上を移動する移送体を備え,
前記錘部材は,前記移送体に取り付けられ,
前記移送体は,前記レール上から上方に向かって形成された垂直部材と,前記垂直部材から水平方向に向かって形成され前記塗布液吐出用ダイヘッドを支持する水平部材を備え,
前記錘部材は,前記垂直部材に取り付けられていることを特徴とする,塗布装置。 - 塗布液を吐出した状態で基板上を所定方向に移動することによって基板の表面に塗布液を塗布する塗布液吐出用ダイヘッドを備えた塗布装置であって,
基板を載置する載置台と,
前記載置台に隣接して前記所定方向に向けて配置されたレールと,
前記塗布液吐出用ダイヘッドを有し,当該塗布液吐出用ダイヘッドと一体となって前記レール上を移動する移動系と,を備え,
前記移動系は,駆動部による外力が前記所定方向に作用することによって前記レール上を移動可能であり,
少なくとも前記所定方向に直交する方向の側面から見て前記移動系の重心を前記駆動部による外力の作用線上に位置させ,
当該移動系の重心を前記作用線上に位置させる錘部材と,前記塗布液吐出用ダイヘッドを支持した状態で前記レール上を移動する移送体を備え,
前記錘部材は,前記移送体に取り付けられ,
前記移送体は,前記レール上から上方に向かって形成された垂直部材と,前記垂直部材から水平方向に向かって形成され前記塗布液吐出用ダイヘッドを支持する水平部材を備え,
前記錘部材は,前記垂直部材に取り付けられ,
前記移動系は,前記レールに対して非接触の状態で前記レール上を移動できることを特徴とする,塗布装置。 - 平面から見たときにも前記移動系の重心を前記作用線上に位置させていることを特徴とする,請求項2に記載の塗布装置。
- 少なくとも前記所定方向に直交する方向の側面から見て前記塗布液吐出用ダイヘッドの吐出口の位置は,前記移動系の重心に一致していることを特徴とする,請求項1,2又は3のいずれかに記載の塗布装置。
- 前記移動系に接続された配線,配管などの接続線を,前記レールに沿って前記移動系に追従させて移動させる駆動機構を,さらに備えたことを特徴とする,請求項1,2,3又は4のいずれかに記載の塗布装置。
- 前記駆動機構は,前記レールに沿って設けられた他のレールと,前記接続線の一部を保持した状態で前記他のレール上を移動する移動部材を備えたことを特徴とする,請求項5に記載の塗布装置。
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