CN1824393B - 涂布装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种涂布装置，该涂布装置中左右移动体移动的同步偏差不会导致狭缝式喷嘴的变形。当驱动电动机(20)而使螺纹杆(23)旋转时，楔形螺母部件(22)沿导轨(21)移动，通过该楔形螺母部件(22)的移动，与楔形螺母部件(22)的倾斜面相抵接的楔形凸轮(24)和升降体(18)沿上下方向的导轨(17)移动，狭缝式喷嘴(19)进行升降运动。

Description

涂布装置
技术领域
本发明涉及在玻璃基板等的基板表面上涂布涂布液的涂布装置。
背景技术
在专利文献1中提出有如下装置：在彩色液晶用玻璃基板上形成三原色的彩色过滤器的涂布装置，以及在等离子显示器用发光基板上涂布三原色的荧光体糊剂的装置。
专利文献1所公开的涂布装置是：在通过滚珠丝杠移动的载物台的上方配设两个狭缝式喷嘴，在上述载物台的上面将两张玻璃基板相互隔离载置，且采用上述两个狭缝式喷嘴分别同时涂布两张玻璃基板，所以与用一个狭缝式喷嘴涂布时相比，缩短了时间。
专利文献2所公开的涂布装置是：在一对轨道之间配置基板载置台，在一对轨道之间跨越设置三台门型移动机构，在这三台门型移动机构上分别安装涂布R(红)、G(绿)、B(蓝)的荧光体糊剂的狭缝式喷嘴，且由三台门型移动机构向玻璃基板表面按顺序涂布各颜色的糊剂。
专利文献1：JP特开平10-216599号公报
专利文献2：JP特开2002-140982号公报
在专利文献1所公开的涂布装置中，由于使载置玻璃基板的载物台移动，因此移动时的振动传递至玻璃基板，产生覆膜的起伏现象，而无法形成均匀的覆膜。
此外，在专利文献2所公开的涂布装置中，由于在跨越设于轨道之间的门型移动机构上安装狭缝式喷嘴，而玻璃基板不移动，所以不存在专利文献1那样的问题。但是，在玻璃基板大型化时，将产生问题。即，当大型化玻璃基板时，门型移动机构也要随之大型化。在门型移动机构大型化，将构造设为通过一个驱动部件(电动机)来移动时，会出现设置有驱动部件的一侧先移动，而没有设置驱动部件的一侧则在后移动的情况。其结果，门型移动机构产生变形，由于该变形的影响，而无法均匀地涂布。
在向大型玻璃基板等涂布涂布液时，需要先不让玻璃基板移动而移动狭缝式喷嘴，并且使移动狭缝式喷嘴的移动装置在各左右轨道上与具有驱动源的移动体相配合。但是，即使采取此种构成，也无法完全同步地移动左右移动体，在门型移动机构上产生变形，此变形导致狭缝式喷嘴变形。
发明内容
为解决上述问题，本发明的涂布装置，包括水平延伸的一对平行轨道、配置在这些轨道之间的基板载置台、沿上述轨道移动的移动装置、由该移动装置支撑的狭缝式喷嘴，该涂布装置中：在上述各轨道的外侧与轨道平行配置直线电动机的支架部，在上述各轨道隔着气垫来配合移动体，该移动体构成移动机构的一部分且包括直线电动机的可动部，这些移动体为了移动时呈一体而用横梁部件来连接，而且在各移动体上与上述横梁部件独立地设置有升降体，在这些升降体之间安装有狭缝式喷嘴。
根据上述构成，可通过横梁部件抑止左右移动体移动的同步偏差，另外，由于横梁部件和狭缝式喷嘴不连接且相互独立，因此，即使假设由左右移动体移动的同步偏差而导致在横梁部件上产生变形，该变形也不会对狭缝式喷嘴产生影响。
此外，优选构成为：上述轨道由第一基架支撑，上述直线电动机的支架部由第二基架支撑，在这些第一基架和第二基架之间设置反作用力缓冲部件。特别是，更优选地，反作用力缓冲部件设在上下两处。
根据上述构成，消除了在驱动直线电动机时所发生的支架部的反作用力向第二基架传递的情况，其结果，也消除了支架部的反作用力向轨道和沿轨道移动的移动体传递的情况。
此外，在通过电动机来升降安装有狭缝式喷嘴的升降体时，优选地，该电动机以其轴与上述轨道平行的方式横卧设置，并且吸收振动的空气支撑缸(エアサポ一トシリンダ；air support cylinder)与将电动机的旋转运动转换成上下运动的凸轮部件相抵接。
通过将电动机横卧放置，可降低固定有该电动机的移动体本身的重心，通过降低重心，可实现稳定的移动。此外，当将电动机横卧放置时，虽然需要有将电动机的旋转运动转换成上下运动的凸轮部件，但如果使空气支撑缸与该凸轮部件相抵接，也可有效地吸收振动。另外，为降低振动，优选地将空气支撑缸也横卧放置。
根据本发明，涂布装置是在一对平行轨道的各方设置有通过直线电动机移动的移动体的装置，即使产生各个移动体的同步偏差，也不会对狭缝式喷嘴产生不良影响。因此，可将涂布液均匀地涂布到玻璃基板等的表面。
此外，通过在支撑轨道的第一基架和支撑直线电动机的支架部的第二基架之间设置反作用力缓冲部件，可防止在驱动直线电动机时所发生的支架部的反作用力传递到移动体的情况，并且可通过横卧放置升降狭缝式喷嘴的电动机，来实现重心降低。
附图说明
图1是本发明涉及的涂布装置的整体俯视图。
图2是图1的A方向的向视图。
图3是从图1的B-B方向看去的放大图。
图4是图2的主要部分放大图。
图5是从图4的相反侧看移动体的图。
符号说明如下：
1…第一基架    1a…副架    2…第二基架
3…轨道  4…直线电动机的支架部    5、6…反作用力缓冲部件
10…移动机构    11…移动体    12…气垫
13…直线电动机的芯部(可动部)    14…横梁
15…升降机构    16…托架    17…导轨    18…升降体
19…狭缝式喷嘴  20…电动机  21…导轨  22…楔形螺母部件
23…螺纹杆    24…楔形凸轮    25、26…空气支撑缸
27…基板载置台  28…预先分配部  29…清洗部  30…待机部
具体实施方式
以下，根据附图说明本发明的实施方式。图1是本发明涉及的涂布装置的整体俯视图，图2是图1的A方向向视图，图3是从图1的B-B方向看到的放大图，图4是图2的主要部分放大图，图5是从图4的相反侧看移动体的图。
涂布装置通过基架支撑在地面上。基架包括第一基架和第二基架。在第一基架1的上部设置有呈L字形的副架1a，在该副架1a上，沿水平方向且平行地设置有热膨胀系数小的石制的一对轨道3。
在府视图上看，在上述一对轨道3的外侧，与导轨3平行配置有直线电动机的支架部4。该支架部4固定在上述第二基架2上。
在驱动直线电动机时，在上述支架部4处产生反作用力。一旦该反作用力通过第一基架传递至轨道3，将影响后述的狭缝式喷嘴的均匀涂布，因此，本实施例在第一基架1和第二基架2之间，以及在副架1 a和第二基架2之间，设置有反作用力缓冲部件5、6。这些反作用力缓冲部件5、6例如在金属容器内填充橡胶等来构成。
移动机构10可沿上述轨道3移动。移动机构10中，行走物11与上述轨道3配合。该移动体11具有在环绕支撑轨道3的内侧面与轨道3之间形成间隙的气垫12，并且在移动体11的外侧面，安装有向上述直线电动机的支架部4内插入的芯部(可动部)13。
在与上述各轨道3配合的移动体11、11之间，跨越设有横梁14。该横梁14由不锈钢或铝合金构成，即使在左右移动体11、11产生同步偏差时，左右移动体11、11也牢固地连接而一起移动。
此外，在上述各移动体11上，设置有升降狭缝式喷嘴的升降机构15。
升降机构15在移动体11上竖立设置托架16，在该托架16设置上下方向的导轨17，在该导轨17上配合升降体18，在左右升降体18之间，安装有狭缝式喷嘴19。
使升降体18升降的具体构成为：将电动机20横卧放置且固定在移动体11的上面，另外，在行走物11的上面与上述轨道3平行地设置导轨21，在该导轨21上可自由滑动地配合楔形螺母部件22，并且将由上述电动机20旋转的螺纹杆23与上述楔形螺母部件22螺纹结合。并且，在上述升降体18的外侧面安装有与楔形螺母部件22的倾斜面(上面)相抵接的楔形凸轮24。
当驱动电动机22并转动螺纹杆23时，楔形螺母部件22沿导轨21移动，通过该楔形螺母部件22的移动，与楔形螺母部件22的倾斜面相抵接的楔形凸轮24和升降体18沿上下方向的导轨17移动，狭缝式喷嘴19便升降，
此外，在上述移动体11上水平配置有空气支撑缸25、26。一侧的空气支撑缸25与上述楔形螺母部件22的端面相抵接，另一侧的空气支撑缸26与上述楔形凸轮24的端面相抵接。如此，通过将空气支撑缸与对电动机20的旋转运动进行上下转换的部件相抵接，可吸收随电动机20驱动而产生的振动。
图中的27是载置玻璃基板W等的基板载置台，其本实施例中，设置在副架1a上，但也可固定在地面等。
在实施例所示的涂布装置中，将基板载置台27的宽度方向中心线作为基准，左右对称地使两个移动机构10、10可独立移动，但移动机构10也可以是一个。此外，在移动机构10、10的移动领域中，在离开基板载置台27的位置上，按顺序配置有预先分配(プリデイスペンス；predispense)部28、清洗部29和具有浸泡槽的待机部30。
以下说明采用了上述涂布装置的涂布方法。首先，设一侧(左侧)的移动装置10位于预先分配部28的时间为出发时间，在该预先分配部28进行狭缝式喷嘴19的预备涂布后，驱动直线电动机，使移动装置10向右方向移动，从狭缝式喷嘴19向玻璃基板W的表面供应抗蚀液、荧光体糊剂等的涂布液。期间，向另一侧(右侧)的移动机构10供应下一次涂布的一次用量的涂布液。
另外，涂布时，通过未图示的传感器测量狭缝式喷嘴19下端和玻璃基板W的表面之间的间隔，通过升降机构15调整狭缝式喷嘴19的高度位置，以使该间隔保持一定。
在完成上述涂布后，将移动机构10返回到清洗部29，清洗狭缝式喷嘴19的吐出口，并在该位置进行干燥。然后将其移动至待机部10，将狭缝式喷嘴19的前端浸渍在浸泡槽中并待机。期间，将新的玻璃基板W安装到基板载置台3上。另外，不必一定要浸渍在浸泡槽内。
接下来，将待机中的另一个移动装置10移动至预先分配部28并进行预备排液后，与上述同样，驱动直线电动机，将移动机构10向左方向移动，从狭缝式喷嘴19向玻璃基板W的表面供应抗蚀液或荧光体糊剂。期间，向一侧的移动机构10供应下一次涂布的一次用量的涂布液。通过重复以上内容，连续地对玻璃基板W进行涂布作业。
本发明的涂布装置可用作在装入到各种显示器装置的玻璃基板上形成涂膜用的涂布装置。

Claims (3)

1.一种涂布装置，包括水平延伸的一对平行轨道、配置在这些轨道之间的基板载置台、沿上述轨道移动的移动装置、由该移动装置支撑的狭缝式喷嘴，该涂布装置的特征在于：
在上述各轨道的外侧与轨道平行配置直线电动机的支架部，在上述各轨道隔着气垫来配合移动体，该移动体构成移动机构的一部分且包括直线电动机的可动部，这些移动体为了移动时呈一体而用横梁部件来连接，而且在各移动体上设置有升降体，且该升降体与上述横梁部件分体设置，在这些升降体之间安装有狭缝式喷嘴。
2.根据权利要求1所述的涂布装置，其特征在于：上述轨道由第一基架支撑，上述直线电动机的支架部由第二基架支撑，在这些第一基架和第二基架之间设置有反作用力缓冲部件。
3.根据权利要求1所述的涂布装置，其特征在于：上述升降体通过升降用电动机进行升降，该升降用电动机以其轴与上述轨道平行的方式被横卧设置，而且吸收振动的空气支撑缸与将升降用电动机的旋转运动转换为上下运动的凸轮部件相抵接。
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