CN102019255B - 用于滴下液体的设备 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种用于滴下液体的设备，其包含：台，其经配置以支撑衬底；台架，其定位于所述台上；多个垫块，其安装在所述台架上，所述垫块在第一方向上彼此间隔开布置着；多个卸料单元，其定位于所述垫块下方，且与所述垫块间隔开，所述卸料单元在所述第一方向上彼此间隔开布置着，且所述卸料单元经配置以将液体卸放到所述衬底上；以及第一驱动单元，其经配置以水平传送每个所述卸料单元。因此，重量相对较高的所述垫块不必移动，以防止在卸料单元水平移动并将所述液体卸放到所述衬底上时可能在所述垫块移动的同时产生的粒子。

Description

用于滴下液体的设备

技术领域

本发明涉及一种用于滴下液体的设备，且更特定来说涉及一种用于在多个垫块(head block)固定到台架(gantry)的状态下水平移动卸料单元的同时在衬底上分配液晶(liquid crystal)的设备。

背景技术

通常，阴极射线管(cathode ray tube，CRT)被广泛地用作显示装置。然而，CRT具有各种缺点，例如体积相对较大且重量相对较重。因此，近些年来使用例如液晶显示器(liquid crystal display，LCD)装置、等离子显示面板(plasma display panel，PDP)装置或有机发光装置(organic lightemitting device，OLED)等平板显示装置。平板显示装置具有例如重量相对较轻、厚度相对较薄且功耗相对较低等特性。

可通过组合一对平坦的衬底来制造平板显示装置。换句话说，为了制造LCD装置，形成包含多个薄膜晶体管和多个像素电极的下部衬底，以及包含彩色滤光片(color filter)和共同电极的上部衬底。随后，将液晶卸放到下部衬底上。下部衬底和上部衬底彼此密封在一起以制造LCD装置。可利用一种用于滴下液晶的设备以便将液晶滴到衬底上。

用于滴下液晶的设备包含：多个垫块，其各自具有经配置以储存液晶的容器和注射器；多个卸料单元，其各自连接到每个垫块的下部部分以将液晶卸放到衬底上。所述设备进一步包含驱动单元，其经配置以水平传送垫块。在垫块水平移动的同时，位于垫块下方的卸料单元将液晶提供到衬底的一部分上。通过重复卸料单元的操作和停止，将液晶卸放到衬底的所有区域上。

然而，每个包含容器和注射器的垫块的重量可能相对较重。当垫块移动时，垫块与驱动单元之间的摩擦可产生粒子。粒子可滴下到衬底上而造成LCD装置的故障。此外，在沉重的垫块移动时，每个垫块中包含的容器可能会摇晃，因而在容器中的液晶中产生气泡。因此，LCD装置可能会出现缺陷。

发明内容

本发明提供一种用于滴下液体的设备，其包含分别制造的多个垫块和多个滴下单元，使得所述滴下设备可在垫块固定到台架的状态下水平移动卸料单元的同时在衬底的整个表面上滴下液晶。

根据示范性实施例，一种用于滴下液体的设备包含：台，其经配置以支撑衬底；台架，其定位于所述台上；多个垫块，其安装在所述台架上，所述垫块在第一方向上彼此间隔开布置着；多个卸料单元，其定位于所述垫块下方，且与所述垫块间隔开，所述卸料单元在所述第一方向上彼此间隔开布置着，且所述卸料单元经配置以将液体卸放到所述衬底上；以及第一驱动单元，其经配置以水平传送每个所述卸料单元。

在一些实施例中，所述垫块可固定到所述台架，且每个所述卸料单元在所述第一驱动单元水平传送每个所述卸料单元的同时将所述液体卸放到所述衬底上。

在其它实施例中，以上设备可进一步包含第二驱动单元，所述第二驱动单元经配置以在与所述第一方向交叉的第二方向上水平传送所述台架。

在另外其它实施例中，所述卸料单元可定位于所述台架上且在所述垫块下方。

在其它实施例中，所述卸料单元可在实质上垂直于所述台架水平移动的方向的所述第一方向上彼此间隔开布置。

在另外其它实施例中，每个所述垫块可包含：容器，其经配置以储存所述液体；注射器，其定位于所述容器下方，所述注射器经配置以储存从所述容器接收的液体；以及固定部件，其经配置以支撑所述容器和所述注射器，以将所述容器和所述注射器固定到所述台架。

在另外的实施例中，以上设备可进一步包含：第一连接部件，其使所述容器与所述注射器连通，以提供所述液体从所述容器到所述注射器的流动路径；以及第二连接部件，其使所述注射器与每个所述卸料单元连通，以提供所述液体从所述注射器到每个所述卸料单元的流动路径。

在另外其它实施例中，每个所述卸料单元可包含：喷嘴，其经配置以将所述液体滴下到所述衬底上；支撑部件，其经配置以支撑所述喷嘴；以及移动块，其具有连接到所述支撑部件的第一部分和连接到所述第一驱动单元的第二部分，且所述移动块经配置以水平传送所述支撑部件。

在另外的实施例中，所述第一驱动单元可包含：磁性部分，其在所述第一方向上延伸；导轨，其连接到每个所述卸料单元以导引每个所述卸料单元的移动；以及驱动部分，其经配置以沿着所述导轨传送所述卸料单元，所述驱动部分包含连接到所述磁性部分的第一末端部分和连接到每个所述卸料单元中的每个移动块的第二末端部分。

在其它实施例中，所述磁性部分可定位于所述台架上且位在所述垫块与所述卸料单元之间，且所述磁性部分在所述第一方向上延伸。

在另外其它实施例中，所述磁性部分可包含导引凹槽，使得所述第一驱动单元部分插入且安装在所述导引凹槽中，且所述导引凹槽在所述第一方向上延伸。

在其它实施例中，所述驱动部分的上部部分可插入且安装在所述导引凹槽中，且所述驱动部分的下部部分可连接到包含于每个所述卸料单元中的移动块的上部部分。

在另外其它实施例中，所述导轨可定位于所述磁性部分下方且与所述磁性部分间隔开，且所述导轨在所述第一方向上延伸。

在另外的实施例中，所述卸料单元可布置于所述导轨上，且在所述第一方向上彼此间隔开。

在再另外的实施例中，所述液体可包含液晶。

附图说明

包含附图是为了有助于进一步理解本发明的概念，附图并入且构成本说明书的一部分。图式说明本发明的概念的示范性实施例，且连同描述内容一起用以解释本发明的概念的原理。在图中：

图1是说明根据示范性实施例的用于在衬底上滴下液体的设备的透视图。

图2是图1所示的“A”部分的放大透视图。

图3是图1所示的“A”部分的放大横截面图。

图4A和图4B是说明使用根据示范性实施例的用于滴下液体的设备在衬底上滴下液体的方法的横截面图。

具体实施方式

下文将参照附图更详细地描述本发明的概念的示范性实施例。然而本发明的概念可以不同形式来实施，且不应解释为限于本文陈述的实施例。而是，提供这些实施例是为了使本发明详尽且完整，且将本发明的概念的范围完整地传达给所属领域的技术人员。

在图中，为了能清楚地说明而夸大了层和区的尺寸。还将了解，当将一层(或膜)称为在另一层或衬底“上”时，其可直接在另一层或衬底上，或者也可能存在介入层。此外将了解，当将一层称为在另一层“下方”时，其可直接位于下方，也可能存在一个或一个以上介入层。另外，还将了解，当将一层称为在两个层“之间”时，其可为两个层之间仅有的层，或者也可能存在一个或一个以上介入层。在全文中相同元件符号指代相同元件。

下文中将参照附图来详细描述本发明的概念的示范性实施例。

图1是说明根据示范性实施例的用于在衬底上滴下液体的设备的透视图。图2是图1所示的“A”部分的放大视图。图3是图1所示的“A”部分的放大横截面图。

参照图1到图3，根据一些示范性实施例，用于在衬底上滴下液体的设备包含台100、台架200、多个垫块300、多个卸料单元400以及经配置以移动卸料单元400的第一驱动单元500。

台100支撑衬底S。台架200定位于台100上。垫块300紧固到台架200，且在第一方向上彼此间隔开布置着。用于卸放液晶的卸料单元400定位于垫块300下方，且与垫块300间隔开。此外，卸料单元400在第一方向上彼此间隔开。卸料单元400定位于台架200的下部部分上，且垫块300定位于台架200的上部部分上，使得每个卸料单元400和每个垫块300彼此垂直间隔开。

在一些示范性实施例中，用于滴下液体的设备可进一步包含定位于台100上的第二驱动单元700。第二驱动单元700经配置以水平移动台架200。此外，液体可包含液晶，可将液晶卸放到衬底S上，使得用于在衬底S上滴下液体的设备可对应于用于在衬底S上滴下液晶的设备。可采用各种液体以便在衬底S上分配液体。

台100的形状可对应于衬底S的形状以支撑衬底S。举例来说，当衬底具有矩形的板形状时，台100可具有矩形的板形状。台100可包含固持部分(未图示)，其经配置以将衬底S固持到台100的上表面。举例来说，固持部分可包含静电卡盘(electrostatic chuck)(未图示)或真空固持器(vacuum holder)(未图示)。当固持部分包含真空固持器时，真空固持器可包含真空泵(未图示)和形成于台100的上表面上的与真空泵连通的多个真空孔(未图示)。因此，真空固持器可将衬底S紧固到台100的上表面。

第二驱动单元700可经配置以在与卸料单元400移动的第一方向交叉的第二方向上传送台架200。举例来说，第二方向可实质上垂直于第一方向。第二驱动单元700可包含多个第二导轨(guide rail)710和多个第二驱动部分720。

第二导轨710定位于台100的上表面上。第二导轨710彼此平行，且彼此间隔开以形成一对第二导轨710。每个第二驱动部分720定位于每个第二导轨710上以沿着第二导轨710滑动。第二导轨710可在实质上垂直于卸料单元400水平移动的第一方向的第二方向上延伸。第二导轨710安装在台100上。每个第二驱动部分720的上部部分连接到台架200的下部部分。因此，当第二驱动部分720沿着第二导轨710滑动时，连接到第二驱动部分720的台架200在第二方向上水平移动。

在示范性实施例中，每个第二驱动部分720可包含线性电动机(linearmotor)(未图示)或组合件(未图示)，所述组合件包含滚珠螺杆(ballscrew)(未图示)和用于使滚珠螺杆旋转的电动机(未图示)。各种部分可在所述部分沿着第二导轨710滑动的条件下配接至(adapted to)第二驱动部分720。

垫块300定位于台架200上。举例来说，垫块300安装在台架200的侧壁上。此外，垫块300可在实质上垂直于第二导轨710延伸的第二方向的第一方向上布置着。各垫块300彼此间隔开。

在示范性实施例中，每个垫块300包含用于储存液体的容器310、注射器330、经配置以支撑容器310的第一支撑部件340、经配置以支撑注射器330的第二支撑部件350，以及固定部件360。注射器330定位于容器310下方。注射器330可从容器310接收液体以用一预定体积储存液体。第一支撑部件340与容器310的下表面接触以支撑容器310。第二支撑部件350定位于第一支撑部件340下方并面朝彼此。第二支撑部件350与注射器330的上表面接触以支撑注射器330。固定部件360连接到第一支撑部件340和第二支撑部件350，以将容器310和注射器330固定到台架200。

容器310用以储存将被提供到注射器330内的液体。容器310可具有圆柱形形状。但容器310可具有各种形状。在示范性实施例中，容器310可包含气泡移除单元(未图示)，其具有真空部分，用以移除容器310中的液体中的气泡。注射器330从容器310接收液体，以便为卸料单元400提供液体。注射器330可连接到加压单元(未图示)，所述加压单元经配置以使用例如氮气等载气(carrier gas)来对注射器330中的液体加压，使得液体可在均匀的压力下从注射器330流动到卸料单元400。

在示范性实施例中，用于滴下液体的设备还可包含使容器310与注射器330连通的第一连接部件610，以及阀630。第一连接部件610定位于容器310与注射器330之间。第一连接部件610可具有管的形状。阀630定位于第一连接部件610与注射器330之间。当阀630打开时，经由第一连接部件610将容器310中的液体提供到注射器330中。

卸料单元400可用以将液体卸放到定位于台100上的衬底S上。举例来说，卸料单元400可在第一方向上水平移动的同时将液体分配到衬底S上。卸料单元400定位于垫块300下方，且与垫块300间隔开。此外，卸料单元400在第一方向上彼此间隔开。卸料单元400定位于台架200的下部部分上，且垫块300定位于台架200的上部部分上，使得卸料单元400和垫块300彼此垂直间隔开。此外，卸料单元400在实质上垂直于第二导轨710延伸的第二方向的第一方向上布置着。

在一些示范性实施例中，每个卸料单元400包含喷嘴430、第三支撑部件420和移动块410。喷嘴430可在衬底S上分配液体。第三支撑部件420与喷嘴430连接以支撑喷嘴430。移动块410将第三支撑部件420与第一驱动单元500连接，以水平传送第三支撑部件420。卸料单元400的数目可对应于垫块300的数目。在一些示范性实施例中，用于滴下液体的设备还可包含第二连接部件620，其定位于每个卸料单元400的喷嘴430与每个垫块300的注射器330之间。第二连接部件620使喷嘴430与注射器330连通。阀630定位于第二连接部件620的末端部分处。阀630定位于第二连接部件630与注射器330之间，以连接第二连接部件620与注射器330。阀630控制注射器330中的液体是否经由第二连接部件620而流入喷嘴330。第二连接部件620可具有管的形状。

第一驱动单元500用以水平传送每个将液体卸放到衬底S上的卸料单元400。在一些示范性实施例中，第一驱动单元500可包含磁性部分510、第一导轨530和第一驱动部分520。

磁性部分510在第一方向上延伸。第一导轨530可连接到移动块410以导引卸料单元400的移动。第一驱动部分520包含将连接到磁性部分510的第一部分，和将连接到每个卸料单元400的移动块410以使得卸料单元400沿着第一导轨530而移动的第二部分。磁性部分510可在台架200的位于垫块300与卸料单元400之间的部分上延伸。磁性部分510可在布置着卸料单元400的第一方向上延伸。在示范性实施例中，磁性部分510具有导引凹槽511，使得第一驱动部分520安装在导引凹槽511中。导引凹槽511在一个方向上延伸。导引凹槽511可在磁性部分510延伸的第一方向上延伸。举例来说，导引凹槽511形成于磁性部分510的下部部分处。因此，第一驱动部分520的上部部分插入且安装在导引凹槽511中。此外，第一驱动部分520的下部部分组合到移动块410的上部部分。第一导轨530定位于磁性部分510下方。第一导轨530与磁性部分510间隔开而延伸。第一导轨530可在磁性部分510延伸的第一方向上延伸。卸料单元400安装在第一导轨530上。卸料单元400在第一导轨530延伸的第二方向上布置着。各卸料单元400彼此间隔开。

在示范性实施例中，第一驱动部分520可包含产生线性运动的线性电动机(未图示)，或包含滚珠螺杆(未图示)和使滚珠螺杆旋转的电动机(未图示)的组合件(未图示)。各种组合件可在组合件沿着第一导轨530滑动的条件下配上第一驱动部分520。

当第一驱动部分520操作以沿着形成于磁性部分510中的导引凹槽511而移动时，连接到第一驱动部分520的卸料单元400沿着第一导轨530而水平移动。

图4A和图4B为说明使用根据示范性实施例的用于滴下液体的设备在衬底上滴下液体的方法的横截面图。下文中，将参照图1到图3来说明使用一种用于在衬底上滴下液体的设备在衬底上滴下液晶的方法。

为第一连接部件610提供包含于每个垫块300中的容器310中的液晶。随后，打开阀630以使第一连接部件610与注射器330连通。因此，液晶经由第一连接部件610而从容器310流入注射器330。打开阀630以使注射器330与第二连接部件620连通。因此，液晶从注射器330流动到包含于每个卸料单元400中的喷嘴430。当多个垫块300和多个卸料单元400安装在台架200上时，卸料单元400将大量液晶的液滴卸放到衬底S上。

如图4A和图4B所示，在卸料单元400水平移动的同时，卸料单元400在垫块300固定到台架200的条件下将液晶卸放到衬底S上。换句话说，第一驱动部分520操作以沿着形成于磁性部分510中的导引凹槽511而移动，使得连接到第一驱动部分520的卸料单元400在沿着第一导轨530的第一方向上水平移动。在卸料单元400水平移动的同时，卸料单元400经由喷嘴430而卸放液晶。虽然未图示，但第二驱动单元700传送连接垫块300与卸料单元400的台架200。举例来说，第二驱动单元700在实质上垂直于卸料单元400水平移动的第一方向的第二方向上水平传送台架200。在第二驱动单元700将台架200水平传送预定距离之后，第二驱动单元700停止。随后卸料单元400在衬底上卸放液晶。因此，将液晶卸放到衬底的一部分上的一个循环完成。通过重复循环，在衬底S的整个表面上滴下液晶。

根据示范性实施例，垫块300和卸料单元400是分别制造的。此外，在卸料单元400水平移动且垫块300固定到台架200时，卸料单元400将液体卸放到衬底S上。因此，重量相对较重的垫块300无需移动，借此可抑制由垫块300的移动而引起的粒子的产生。此外，由于垫块300不移动，而是固定到台架200，因此可防止在包含于每个垫块300中的容器310中产生气泡。此外，由于重量相对较轻的卸料单元400移动，因此卸料单元可以相对高的速度而在衬底上卸放液体。

如上文说明，根据一些示范性实施例的用于在衬底上滴下液体的设备在衬底S上卸放液晶。然而，用于滴下液体的设备可适于滴下各种液体。

根据一些示范性实施例，具有用于储存液体的容器和注射器的多个垫块以及用于卸放液体的多个卸料单元是分别制造的。垫块固定到台架，且经配置以传送卸料单元的驱动单元定位于台架上。因此，在垫块固定到台架且卸料单元水平移动时，卸料单元将液晶卸放到衬底的所有区域上。因此，重量相对较重的垫块无需移动，借此可抑制由垫块的移动引起的粒子的产生。此外，由于垫块不移动，而是固定到台架，因此可防止在包含于每个垫块中的容器中产生气泡。此外，由于重量相对较轻的卸料单元移动，因此卸料单元可以相对高的速度而在衬底上卸放液体。

虽然已参考具体实施例描述了用于滴下液体的设备，但所述设备不限于此。因此所属领域的技术人员将容易了解，在不脱离由所附权利要求书界定的本发明的精神和范围的情况下可对其做出各种修改和改变。

Claims (15)

1.一种用于滴下液体的设备，其包括：

台，上面放置衬底；

台架，其设置于所述台上；

多个垫块，其安装在所述台架上，且在第一方向上彼此间隔开布置着；

多个卸料单元，其定位于所述垫块下方，且与所述垫块间隔开，所述卸料单元在所述第一方向上彼此间隔开布置着，且所述卸料单元经配置以将液体卸放到所述衬底上；以及

第一驱动单元，其经配置以水平传送每个所述卸料单元。

2.根据权利要求1所述的设备，其中所述垫块固定到所述台架，且在所述第一驱动单元水平传送每个所述卸料单元的同时，每个所述卸料单元将所述液体卸放到所述衬底上。

3.根据权利要求2所述的设备，其还包括第二驱动单元，所述第二驱动单元经配置以在与所述第一方向交叉的第二方向上水平传送所述台架。

4.根据权利要求1所述的设备，其中所述卸料单元定位于所述台架上且在所述垫块下方。

5.根据权利要求1所述的设备，其中所述卸料单元在实质上垂直于所述台架水平移动的方向的所述第一方向上彼此间隔开布置着。

6.根据权利要求1所述的设备，其中每个所述垫块包括：

容器，其经配置以储存所述液体；

注射器，其定位于所述容器下，所述注射器经配置以储存从所述容器接收的所述液体；以及

固定部件，其经配置以支撑所述容器和所述注射器，以将所述容器和所述注射器固定到所述台架。

7.根据权利要求6所述的设备，其进一步包括：

第一连接部件，其使所述容器与所述注射器连通，以提供所述液体从所述容器到所述注射器的流动路径；以及

第二连接部件，其使所述注射器与其相对应的一个所述卸料单元连通，以提供所述液体从所述注射器到每个所述卸料单元的流动路径。

8.根据权利要求1所述的设备，其中每个所述卸料单元包括：

喷嘴，其经配置以将所述液体滴下到所述衬底上；

支撑部件，其经配置以支撑所述喷嘴；以及

移动块，其包含连接到所述支撑部件的第一部分和连接到所述第一驱动单元的第二部分，且所述移动块经配置以水平传送所述支撑部件。

9.根据权利要求1所述的设备，其中所述第一驱动单元包括：

磁性部分，其在所述第一方向上延伸；

导轨，其连接到每个所述卸料单元以导引每个所述卸料单元的移动；以及

驱动部分，其经配置以沿着所述导轨传送所述卸料单元，所述驱动部分包含连接到所述磁性部分的第一末端部分，和连接到所述驱动部分其相对应的一个所述卸料单元中的每个移动块的第二末端部分。

10.根据权利要求9所述的设备，其中所述磁性部分定位于所述台架上且位在所述垫块与所述卸料单元之间，且所述磁性部分在所述第一方向上延伸。

11.根据权利要求9所述的设备，其中所述磁性部分包括导引凹槽，使得所述第一驱动单元部分地插入且安装到所述导引凹槽中，且所述导引凹槽在所述第一方向上延伸。

12.根据权利要求11所述的设备，其中所述驱动部分的上部部分插入且安装到所述导引凹槽中，且所述驱动部分的下部部分连接到包含在其相对应的一个所述卸料单元中的移动块的上部部分。

13.根据权利要求9所述的设备，其中所述导轨定位于所述磁性部分下方且与所述磁性部分间隔开，且所述导轨在所述第一方向上延伸。

14.根据权利要求9所述的设备，其中所述卸料单元布置于所述导轨上，且在所述第一方向上彼此间隔开。

15.根据权利要求1所述的设备，其中所述液体包括液晶。

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