KR101099240B1 - 대차식 반송 장치와 그 반송 및 조립 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명의 과제는 페이스트 도포 장치의 갠트리와 가대를 분할함으로써 장치를 소형화하여 반송하고, 이들을 조립할 때에 정밀한 위치 결정을 가능하게 하는 것이다.
페이스트 도포 장치는 가대(1)로부터 갠트리(2B)를 제거 가능하다. 대차식 반송 장치는 2대의 반송 대차(40a, 40b)로 이루어지고, 이들은 동일한 구조를 이루고 있다. 반송 대차(40a)는 하부 개방의 「ㄷ」자 형상의 외측 다리(43a)와 「H」자 형상의 내측 다리(44a)가, 중앙 부근에서 회전 가능하게 설치되고, 외측 다리(43a)와 내측 다리(44a)의 상단부가 천장판(46a)에 이동 가능하게 접촉되고, 이들 하단부가 바닥판(45a)에 이동 가능하게 접촉되어 있다. 이에 의해, 반송 대차용 서보 모터 유닛(42a)의 신축 동작을 따라서, 외측 다리(43a)와 내측 다리(44a)가 회전하여 천장판(46a)이 상하 이동한다. 그리고, 반송 대차(40a, 40b) 각각의 천장판(46a, 46b)에 갠트리(2B)의 가로 빔(2a)의 단부가 탑재되어 고정된다.

Description

대차식 반송 장치와 그 반송 및 조립 방법 {CARRIER TYPE CONVEYING APPARATUS, AND CONVEYING AND ASSEMBLING METHOD OF THE SAME}

본 발명은 플랫 패널의 제조 과정에서, 기판 상에 페이스트를 도포하기 위한, 또한 액정을 적하하기 위한 페이스트 도포 장치에 관한 것으로, 특히 도포 노즐이 설치된 갠트리를 가대에 설치하거나, 제거하기 위한 대차식 반송 장치와 반송 및 조립 방법에 관한 것이다.

종래의 페이스트 도포 장치의 일례로서 갠트리 프레임을 포함하는 문(門)형의 베이스 유닛과, 기판을 적재하는 테이블 유닛을 분리할 수 있는 구조의 것이 알려져 있다(예를 들어, 특허문헌 1 참조).

이러한 페이스트 도포 장치를 트럭 등으로 이송하는 경우, 일단, 테이블 유닛을 문형 베이스 유닛으로부터 제거하여 문형 베이스 유닛의 외측으로 분리 이동함으로써, 문형 베이스 유닛의 내측에 공간을 형성하고, 다음에, 갠트리 프레임을 회전하여 절첩된 상태로 한다. 이에 의해, 트럭 등에 의한 이송 시에는 점유 스페이스가 작아지도록 변형할 수 있는 것이다. 절첩 동작에 의한 위치 재현성에 관해서는, 절대값 인코더를 사용하여 값을 기억시킴으로써 위치 조정을 용이하게 한다.

또한, 다른 예로서는, 도포 헤드를 구비한 갠트리 구조를 갖고, 도포 헤드가 글래스 기판 상부에서 페이스트의 도포 동작을 행하도록 한 페이스트 도포 장치가 알려져 있다(예를 들어, 특허문헌 2 참조).

이러한 페이스트 도포 장치에서는 가대 상부에 2대의 갠트리가 설치되고, 이들 갠트리의 가로 빔 상을 도포 헤드가 Y축 방향으로 구동되고, 또한 갠트리 자체는 리니어 모터에 의해 X축 방향으로 구동되는 것이다.

[특허문헌1]일본공개특허제2008-55554호공보 [특허문헌2]일본특허제3701882호공보

LCD 등의 플랫 패널의 분야에 있어서는, 글래스 기판 사이즈의 대형화가 급속하게 진행되고 있고, 이에 수반하여 페이스트 도포 장치도 대형화되고 있어, 이제는 글래스 기판을 탑재하는 XY 테이블을 구동하여, 도포 노즐을 상하 이동시키는 것만으로 묘화하는 방식으로는 공간 절약화를 도모하기 어려워지고 있다.

따라서, 상기한 특허문헌 1, 2에 기재된 페이스트 도포 장치에서는, 페이스트 묘화 시에는 글래스 기판을 X축 테이블 상에서 이동시키고, 상부에 설치한 문형 프레임 상의 Y축 방향으로 이동 가능하게 설치된 도포 노즐로 페이스트 묘화하는 방식이 제안되어 왔다. 이는, 글래스 기판과 도포 노즐이 그들의 상대 위치 관계를 변화시키면서 페이스트 도포하는 방식으로, 장치의 소형화가 도모되는 것이다.

그러나, 글래스 기판 사이즈의 대형화가 더욱 진행되어, 이 방식 그대로 비례하여 페이스트 도포 장치를 크게 하면, 반송차의 폭 한계를 초과해 버려, 수송이 곤란한 상황으로 되어 버린다.

따라서, 도포 노즐과 그 이동 기구가 설치된 가로 빔을 구비한 갠트리와, 가대에 고정하여 설치된 이 갠트리의 이동 기구를 지지하는 부분을, 기판을 탑재하는 테이블의 외측 또는 하측의 위치에서 분할할 수 있도록 한 구조가 제안되어 있다.

그러나, 이와 같은 구조의 것에 있어서는, 분할된 갠트리를 어떻게 고정밀도로 가대에 조립할지가 과제로 된다. 새로이 가동부를 늘려, 위치를 계측하여 고정밀도의 조립 상태를 재현하려고 해도, 가동부에서의 미소 어긋남을 전무하게 하는 것은 극히 곤란하고, 이와 같이 위치 계측에 의해 조립 상태를 재현하려고 해도, 완전한 재현을 실현하는 것은 극히 곤란해진다. 또한, 트럭 등에 의한 이송은 오로지 목적지에서 페이스트 도포 장치를 설치하기 위해 행해지는 것으로, 페이스트 도포 장치가 일단 설치되면, 그것을 빈번하게 이송하는 것은 드물고, 장치의 이송보다도 오히려 조립 시의 확실한 위치 결정의 쪽을 우선으로 하는 경우가 많다.

본 발명의 목적은 이러한 문제를 해소하여, 갠트리와 가대를 분할함으로써 장치를 소형화하여 반송하고, 그 후 이들을 조립하는 데 있어서 정밀한 위치 결정을 가능하게 하는 페이스트 도포 장치 등에 대응 가능한 소형 경량의 간편한 대차식 반송 장치와 반송 및 조립 방법을 제공하는 데 있다.

또한, 본 발명의 다른 목적은 분해 시에 있어서도, 조립 시와 역의 수순에 의해 확실하게 제거 가능하며, 그 후의 재조립에 위치 재현성에 지장을 초래하지 않는 소형 경량이고 간편한 대차식 반송 장치와 반송 및 조립 방법을 제공하는 데 있다.

상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명은 노즐 토출구로부터 페이스트를 토출하는 도포 헤드가 이동 가능하게 설치된 갠트리가 가대 상에 설치되고, 가대 상에 설치된 기판 적재 테이블에 적재된 기판에 대해 갠트리가 이동하여, 노즐 토출구로부터 기판 상으로 페이스트를 토출하는 페이스트 도포 장치의 갠트리를 반송하기 위한 대차식 반송 장치이며, 갠트리의 각각의 단부를 지지하는 2대의 반송 대차로 이루어지고, 반송 대차는 지지하는 갠트리의 단부의 높이를 변화시킬 수 있는 상하 이동 수단을 구비한 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명에 의한 대차식 반송 장치는 갠트리의 양단부의 지지가 반송 대차에서의 설치면에 갠트리의 양단부를 볼트 체결하는 것에 의한 것인 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명에 의한 대차식 반송 장치는 상하 이동 수단이 전동기에 의해 구동되는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명에 의한 대차식 반송 장치는 전동기에 의해 구동되는 각각의 반송 대차의 상하 이동 수단이, 높이를 변화시킬 때에 대략 동시에 상하 동작을 개시하고, 또한 대략 동일한 속도에 의해 연동하여 동작하는 것을 특징으로 한다.

상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명은 노즐 토출구로부터 페이스트를 토출하는 도포 헤드가 이동 가능하게 설치된 갠트리가 가대 상에 설치되고, 가대 상에 설치된 기판 적재 테이블에 적재된 기판에 대해 갠트리가 이동하여, 노즐 토출구로부터 기판 상으로 페이스트를 토출하는 페이스트 도포 장치의 갠트리를 반송하기 위한 반송 대차에 의한 갠트리의 반송 및 조립 방법에 있어서, 반송 대차는 2대를 1세트로 하여 반송 대차로 갠트리의 각각의 단부를 지지하고, 각각의 반송 대차로, 상하 수단에 의해, 지지한 갠트리의 양단부의 높이를 변화시킬 수 있는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명에 의한 반송 및 조립 방법은 갠트리의 양단부의 지지가 반송 대차에서의 설치면에 갠트리의 양단부를 볼트 체결하는 것에 의한 것인 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명에 의한 반송 및 조립 방법은 상하 이동 수단이 전동기에 의해 구동하는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명에 의한 반송 및 조립 방법은, 전동기에 의해 구동되는 각각의 반송 대차의 상하 이동 수단은 높이를 변화시킬 때에 대략 동시에 상하 동작을 개시하고, 또한 대략 동일한 속도에 의해 연동하여 동작하는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따르면, 첫째로, 취급하는 글래스 기판이 대형화되고, 이에 수반하여 도포 헤드를 지지하는 갠트리가 대형화되어도, 갠트리의 조립, 제거를 가능하게 하고, 장치를 보다 소형으로 하여 수송할 수 있고, 둘째로, 갠트리의 조립, 제거를 간편하고 또한 고정밀도로 행할 수 있고, 셋째로, 가대로부터 분리된 상태의 갠트리를 반송하는 수단으로서 사용함으로써, 반송 수단이나 들어올림ㆍ내림 수단을 추가 준비할 필요가 없어진다.

도 1은 본 발명에 의한 대차식 반송 장치와 반송 및 조립 방법의 일 실시 형태를 도시하는 사시도.
도 2는 페이스트 도포 장치의 일 구체예의 조립 상태를 도시하는 사시도.
도 3은 도 2에 도시하는 도포 헤드부에 있어서의 헤드 부분을 확대하여 도시하는 사시도.
도 4는 도 2에 도시하는 페이스트 도포 장치의 제어 시스템의 일 구체예를 도시하는 블록도.
도 5는 도 4에 있어서의 부제어부의 일 구체예를 도시하는 블록도.
도 6은 도 2에 도시하는 페이스트 도포 장치의 전체 동작의 일 구체예를 도시하는 흐름도.
도 7은 도 2에 있어서의 갠트리와 가대의 설치부의 일 구체예를 도시하는 사시도.
도 8은 도 1에 도시하는 실시 형태의 반송 대차의 속도 제어 패턴을 도시하는 도면.
도 9는 도 1에 도시하는 실시 형태의 대차 반송 장치를 사용하여 갠트리를 가대에 조립하는 작업의 수순의 일 구체예를 도시하는 흐름도.
도 10은 도 1에 도시하는 실시 형태의 대차 반송 장치를 사용하여 갠트리를 가대(1)로부터 제거하는 작업의 수순의 일 구체예를 도시하는 흐름도.

장치의 대형화에 수반하여, 조립, 조정 작업 후의 장치 일체의 상태 그대로 제조원으로부터 설치 장소 등으로 육상 수송하기 위해서는, 도로의 폭 제한 등으로 인해, 지장을 초래하는 상황으로 되어 왔다.

따라서, 본 발명에서는 갠트리의 지지체와 직동 가이드의 접속부 부근에서 갠트리측과 직동 가이드측이 분리 가능한 상태에서, 반송 대차가 갠트리측을 지지하고, 이와 같이 지지한 상태로 장시간 보유 지지할 수 있도록 하였다. 이에 의해, 육상 수송 시에는 갠트리측과 직동 가이드측을 분할하여 반송할 수 있고, 설치 장소에서는 정밀도를 저하시키지 않고 조립하여 접속하여, 장치를 가동할 수 있는 상태로 정렬한다. 이때, 반송 대차에 탑재하는 갠트리는 수평 상태를 유지한 상태에서, 상하 동작할 수 있는 구조로 되어 있다.

이하, 본 발명의 실시 형태를 도면을 사용하여 설명한다.

또한, 이하에 설명하는 실시 형태는, 문형 프레임 구조이고 기판면 상에 페이스트 패턴(시일재 패턴)을 묘화하는 페이스트 도포 장치에 관한 것이지만, 마찬가지로 문형 프레임 구조이고 기판 상에 액정을 적하하는 적하 장치에도 적용할 수 있는 것은 물론이다.

도 1은 본 발명에 의한 대차식 반송 장치와 반송 및 조립 방법의 일 실시 형태를 도시하는 사시도이며, 부호 1은 가대, 부호 2B는 갠트리, 부호 2b는 가로 빔, 부호 5는 기판 적재 테이블(기판 보유 지지 기구), 부호 18ab는 모터 드라이버, 부호 40은 대차식 반송 장치, 부호 40a, 40b는 반송 대차, 부호 41a, 41b는 갠트리 고정 부재, 부호 42a, 42b는 반송 대차용 서보 모터 유닛, 부호 43a, 43b는 외측 다리, 부호 44a, 44b는 내측 다리, 부호 45a, 45b는 바닥판, 부호 46a, 46b는 천장판, 부호 50a, 50b는 대차 모터 드라이버이다. 또한, 도 1에 대응하는 부분에는 동일 부호를 부여하고 있다.

도 1에 있어서, 본 실시 형태의 대차식 반송 장치(40)는 2대의 반송 대차(40a, 40b)와 이들을 구동하기 위한 대차 모터 드라이버(50a, 50b)로 이루어지는 것이다. 이들 반송 대차(40a, 40b)는 가대(1)의 내부에 설치된 주제어부의 모터 컨트롤러(18ab)에 의해 제어되는 대차 모터 드라이버(50a, 50b)에 의해, 페이스트 도포 장치의 1 또는 복수의 도포 헤드부(도시하지 않음)를 직동 안내하는 갠트리(문형 프레임부)를 반송하는 것이다.

여기서, 이 페이스트 도포 장치는 상면측에 기판 적재 테이블(5)이 설치된 가대(1) 상에 2대의 갠트리가 X축 방향으로 이동 가능하게 설치된 구성을 이루고 있고, 이들 갠트리가 가대(1)로부터 제거되거나, 가대(1)에 설치되거나 할 수 있다. 이러한 페이스트 도포 장치를 반송할 때, 가대(1)로부터 이들 갠트리를 제거하거나, 가대(1)에 갠트리를 설치하는데 반송 대차(40a, 40b)가 사용된다.

도 1은 가대(1)로부터 제거된 한쪽의 갠트리(2B)가 대차식 반송 장치, 즉 2대의 반송 대차(40a, 40b)에 적재되어 있는 상태를 도시하는 것이다.

이하에서는, 우선, 본 발명에 의한 대차식 반송 장치 및 그 반송 방법이 사용되는 페이스트 도포 장치의 구체예에 대해 설명하고, 도 1에 도시하는 실시 형태에 대해서는, 이 페이스트 도포 장치를 예로 들어 후술한다.

도 2는 페이스트 도포 장치의 일 구체예의 조립 상태를 도시하는 사시도이며, 부호 1은 가대, 부호 2A, 2B는 갠트리, 부호 2a, 2b는 가로 빔, 부호 3은 Y축 방향 이동 기구(리니어 레일), 부호 4a, 4b는 레일, 부호 5는 기판 보유 지지 기구, 부호 6a, 6b는 X축 방향 이동 기구, 부호 7a, 7b는 가로 빔측 지지 부재, 부호 8a, 8b는 가대측 지지 부재, 부호 9는 Z축 이동 테이블 지지 브래킷, 부호 10은 Z축 이동 테이블, 부호 11은 Z축 서보 모터, 부호 12는 도포 헤드부이다.

또한, 대향하여 설치한 복수의 도포 헤드 각 부는 번잡해지는 것을 피하기 위해 번호를 생략하지만, 동일한 구성으로 되어 있다.

도 2에 있어서, 가대(1) 상에는 X축 방향으로 배열되어 서로 대향한 2개의 갠트리(2A, 2B)가 설치되어 있다. 갠트리(2B)는 길이 방향이 Y축 방향인 가로 빔(2b)과 그 양단부측에 고정하여 설치된 가로 빔측 지지 부재(7a, 7b)로 이루어지고, 한쪽의 가로 빔측 지지 부재(7a)가, 가대(1)의 X축을 따르는 한쪽의 변측에 설치된 레일(4a)을 따라서, X축 방향 이동 기구(6a)에 의해, 이동하는 가대측 지지 부재(8a)에 체결되고, 다른 쪽의 가로 빔측 지지 부재(7b)도 마찬가지로, 가대(1)의 X축을 따르는 다른 쪽의 변측에 설치된 레일(4b)을 따라서, X축 방향 이동 기구(6b)에 의해, 이동하는 가대측 지지 부재(8b)에 체결되어 있다. 이에 의해, 갠트리(2B)는 2개의 X축 방향 이동 기구(6a, 6b)에 의해, X축 방향으로 이동한다.

갠트리(2A)도 마찬가지이며, 가로 빔(2a)과, 부호는 생략하고 있지만, 이 가로 빔(2a)의 양단부측에 고정하여 설치된 가로 빔측 지지 부재로 구성되어, 각각의 가로 빔측 지지 부재가 레일(4a, 4b)을 따라서 X축 방향으로 이동하는 가대측 지지 부재에 체결되어 있다. 이에 의해, 갠트리(2A)도 X축 방향 이동 기구에 의해, X축 방향으로 이동한다.

레일(4a, 4b) 사이에는 기판(도시하지 않음)을 보유 지지하는 기판 적재 테이블(5)이 설치되어 있고, 상기한 구성의 갠트리(2A, 2B)는 이 기판 적재 테이블(5)을 껴안듯이 하여 가대(1)에 설치되어 있고, 이들 갠트리(2A, 2B)의 가로 빔(2a, 2b)이 기판 적재 테이블(5)을 Y축 방향에서 전체에 걸쳐서 가로지른 상태로, X축 방향으로 이동한다.

갠트리(2A)의 가로 빔(2a)의 갠트리(2B)와 대향하는 측의 면에는 Y축 방향의 직동 가이드가 설치되어 있고, 이것을 따라서 리니어 모터를 구비한 복수의 도포 헤드부(12)가 Y축 방향으로 배열되어 설치되어 있다. 이들 도포 헤드부(12)는 각각 Y축 방향 이동 기구(리니어 레일)(3)에 의해, 갠트리(2A)의 면을 따라서 Y축 방향으로 이동한다.

각각의 복수의 도포 헤드부(12)에서는 이들을 지지하기 위한 Y축 방향 이동용 리니어 서보 모터가 이면측에 설치되고, 표면측에 Z축 서보 모터(11)가 설치된 Z축 이동 테이블 지지 브래킷(9)을 구비하고 있다. 이 Z축 이동 테이블 지지 브래킷(9)에, 이 Z축 서보 모터(11)에 의해 페이스트 도포부를 상하로 이동시키는 Z축 이동 테이블(10)이 설치되어 있다.

갠트리(2B)도 마찬가지이며, 가로 빔(2b)의 갠트리(2A)와 대향하는 측의 면에 각각 리니어 모터를 구비한 복수의 도포 헤드부가 Y축 방향으로 배열되어 설치되어 있고, 이들 도포 헤드부는 각각 Y축 방향 이동 기구(리니어 레일)에 의해, 갠트리(2B)의 면을 따라서 Y축 방향으로 이동한다.

도 3은 도 2의 도포 헤드부(12)에 있어서의 헤드 부분을 확대하여 도시하는 사시도이며, 부호 13은 페이스트 수납통(시린지), 부호 14는 노즐 지지구, 부호 15는 노즐, 부호 16은 거리계, 부호 17은 기판이다.

도 3에 있어서, Z축 이동 테이블(10)(도 2)에는 페이스트 수납통(13)이나 노즐(15)이 설치된 노즐 지지구(14)나 거리계(16), 조명이 가능한 광원을 구비한 경통(도시하지 않음), 화상 인식 카메라(도시하지 않음)가 설치되어 있다. 페이스트 수납통(13)으로부터 노즐(15)의 선단까지는 노즐 지지구(14)에 의해 지지되어 있다.

또한, 상기한 경통이나 화상 인식 카메라는 각 도포 헤드부(12)의 도포 노즐의 평행 조정이나 간격 조정용으로 사용되는 것 외에, 기판(17)의 위치 정렬이나 페이스트 패턴의 형상 인식 등에 사용되므로, 기판(17)에 대향하도록 설치되어 있다.

거리계(16)는 노즐(15)의 선단부에 대해 글래스로 이루어지는 기판(17)의 표면(상면)까지의 거리를 비접촉식 삼각 측거법으로 계측한다. 즉, 거리계(16)의 하우징 내에 발광 소자가 설치되고, 이 발광 소자로부터 방사된 레이저광은 기판(17) 상의 계측점(S)에서 반사되어, 마찬가지로 하우징 내에 설치된 수광 소자에서 수광되어, 수광 위치에 따라서 노즐(15)의 선단부와 기판(17) 사이의 거리를 계측한다. 또한, 기판(17) 상에서의 레이저광의 계측점(S)과 노즐(15)의 직하 위치는, 기판(17) 상에서 약간의 거리(ΔX 및 ΔY)만큼 어긋나 있지만, 이 약간의 거리의 어긋남은, 기판(17)의 표면의 요철의 차를 무시할 수 있는 범위이므로, 거리계(16)의 계측 결과와 노즐(15)의 선단부로부터 기판(17)의 표면(상면)까지의 거리 사이에 차는 거의 존재하지 않는다. 따라서, 이 거리계(16)의 계측 결과에 기초하여 Z축 이동 테이블(10)(도 2)을 제어함으로써, 기판(17)의 표면의 요철(굴곡)에 맞춘 노즐(15)의 선단부로부터 기판(17)의 표면(상면)까지의 거리(간격)를 일정하게 유지할 수 있다.

이와 같이 하여, 노즐(15)의 선단부로부터 기판(17)의 표면(상면)까지의 거리(간격)를 일정하게 유지하고, 또한 노즐(15)로부터 토출되는 단위 시간당의 페이스트량을 일정하게 유지함으로써, 기판(17) 상에 도포 묘화되는 페이스트 패턴은 폭이나 두께가 균일해진다.

도 4는 도 2에 도시하는 페이스트 도포 장치의 제어 시스템의 일 구체예를 도시하는 블록도이며, 부호 18a는 주제어부, 부호 18aa는 마이크로 컴퓨터, 부호 18ab는 모터 컨트롤러, 부호 18ac는 데이터 통신 버스, 부호 18ad는 외부 인터페이스, 부호 18ae는 화상 인식 장치, 부호 18af는 각 도포 헤드 이동용 Y축 리니어 모터 드라이버, 부호 18ag는 도포 헤드의 간격을 조정하는 X축의 리니어 모터 드라이버, 부호 18ah는 θ축 테이블의 모터 드라이버, 부호 18b는 부제어부, 부호 18c는 하드 디스크, 부호 18d는 USB 메모리, 부호 18e는 통신 케이블, 부호 18f는 모니터, 부호 18g는 키보드, 부호 19는 레귤레이터, 부호 20은 밸브 유닛, 부호 21은 화상 인식 카메라이다.

도 4에 있어서, 각 기구의 구동을 행하는 리니어 모터와 테이블을 이동하는 서보 모터를 제어하는 주제어부(18a)가, 가대(1)(도 2)의 내부에 설치되어 있다. 주제어부(18a)는 통신 케이블(18e)을 통해 부제어부(18b)에 접속되어 있다. 부제어부(18b)는 Z축 이동 테이블(10)(도 2)을 구동하는 서보 모터(10)(도 2)를 제어한다. 주제어부(18a)에는 모니터(18f)나 키보드(18g), 외부 기억 장치인 하드 디스크(18c), USB 메모리(18d)가 접속되어 있다. 키보드(18g)로부터 입력된 데이터 등은 외부 기억 장치인 하드 디스크(18c)나 USB 메모리(18d) 등의 기억 매체에 기억보관된다.

대차 모터 드라이버(50a, 50b)는, 도 1에 도시한 바와 같이 대차식 반송 장치의 반송 대차(40a, 40b)의 상하 이동의 구동원으로 되는 반송 대차용 서보 모터(42a, 42b)의 드라이버이다. 2대의 반송 대차(40a, 40b)의 높이를 계측하면서, 수동으로 상하 이동하는 방법도 있지만, 본 실시 형태에서는 모터를 채용한 예이다.

주제어부(18a)는 마이크로 컴퓨터(18aa)나 모터 컨트롤러(18ab), X축, Y축, θ축 등의 각 축 드라이버(18af 내지 18ah), 각 위치마다의 복수의 화상 인식 카메라(21) 중 어느 하나에서 얻어지는 영상 신호를 처리하는 화상 처리 장치(18ae), 부제어부(18b), 레귤레이터(19), 밸브 유닛(20)의 제어를 행하는 외부 인터페이스(18ad)를 내장하고 있다.

또한, 마이크로 컴퓨터(18aa)에는, 도시하지 않지만, 주연산부나 후술하는 도포 묘화를 행하기 위한 처리 프로그램을 저장한 ROM, 주연산부에서의 처리 결과나 외부 인터페이스(18ad) 및 모터 컨트롤러(18ab)로부터의 입력 데이터를 저장하는 RAM, 외부 인터페이스(18ad)나 모터 컨트롤러(18ab)와 데이터를 교환하는 입출력부 등을 구비하고 있다.

각 모터에는 위치를 검출하는 리니어 스케일과 회전량을 검출하는 인코더가 내장되어 있고, 그 검출 결과를 X축, Y축, θ축 등의 각 축 드라이버(18af 내지 18ah)로 복귀시켜 위치 제어를 행하고 있다.

도 5는 도 4에 있어서의 부제어부(18b)의 일 구체예를 도시하는 블록도이며, 부호 18ba는 마이크로 컴퓨터, 부호 18bb는 모터 컨트롤러, 부호 18bc는 데이터 통신 버스, 부호 18bd는 외부 인터페이스, 부호 18bi는 Z축 모터용 드라이버이고, 전술한 도면에 대응하는 부분에는 동일 부호를 부여하고 있다.

도 5에 있어서, 부제어부(18b)는 마이크로 컴퓨터(18ba)나 모터 컨트롤러(18bb), Z축 드라이버(18bi), 거리계(16)에서 얻어지는 높이 데이터의 입력이나 주제어부(18a)와의 신호 전송을 행하는 외부 인터페이스(18bd)를 내장하고 있다. 또한, 마이크로 컴퓨터(18ba)에는, 도시하지 않지만, 주연산부나 후술하는 도포 묘화 시의 노즐(15)의 높이 제어를 행하기 위한 처리 프로그램을 저장한 ROM, 주연산부에서의 처리 결과나 외부 인터페이스(18bd) 및 모터 컨트롤러(18bb)로부터의 입력 데이터를 저장하는 RAM, 외부 인터페이스(18bd)나 모터 컨트롤러(18bb)와 데이터를 교환하는 입출력부 등을 구비하고 있다. Z축 모터(10)(도 2)에는 회전량을 검출하는 인코더가 내장되어 있어, 그 검출 결과를 Z축 드라이버(18bi)로 복귀시켜 Z축 모터(10)의 위치 제어를 행하고 있다.

이상의 주제어부(18a)와 부제어부(18b)가 연계한 제어 하에, 도 2에 도시하는 페이스트 도포 장치에서의 각 모터가, 키보드(18g)로부터 입력되어 마이크로 컴퓨터(18aa)의 RAM에 저장되어 있는 데이터에 기초하여 이동ㆍ회전함으로써, 기판 적재 테이블(5)(도 2)에 보유 지지된 기판(17)(도 3)을, X축 방향으로 임의의 거리를 이동하고, 또한 노즐부를 상하로 이동하는 Z축 이동 테이블(10)(도 2)을 통해, 지지한 노즐(15)(도 3)을, 가로 빔(2a, 2b)(도 2)의 도포 헤드의 Y축 방향 이동 기구(3)(도 2)에 의해, Y축 방향으로 임의의 거리를 이동하고, 그 이동 중, 페이스트 수납통(13)(도 3)에 설정한 기압이 계속해서 인가되어 노즐(15)의 선단부의 토출구로부터 페이스트가 토출되어, 기판(17)에 원하는 페이스트 패턴이 도포된다.

노즐(15)이 X축 방향으로 수평 이동 중에 거리계(16)(도 3)가 노즐(15)과 기판(17)의 간격을 계측하고, 이것을 항상 일정한 간격을 유지하도록 노즐(15)이 Z축 이동 테이블(10)의 상하 이동에 의해 제어된다.

도 6은 도 2에 도시하는 페이스트 도포 장치의 전체 동작의 일 구체예를 도시하는 흐름도이다.

도 6에 있어서, 전원이 투입되면(스텝 100), 우선, 페이스트 도포 장치의 초기 설정이 실행된다(스텝 101). 이 초기 설정 공정에서는, 도 2에 있어서, 각 축 이동용 모터 및 Z축 이동 테이블(10)을 구동함으로써, 기판 적재 테이블(5)을 X방향으로 이동시켜 소정의 기준 위치에 위치 결정하고, 또한 노즐(15)(도 3)을, 그 페이스트 토출구가 페이스트 도포를 개시하는 위치(즉, 페이스트 도포 개시점)로 되도록, 소정의 원점 위치로 설정하는 동시에, 또한 페이스트 패턴 데이터나 기판 위치 데이터, 페이스트 토출 종료 위치 데이터의 설정을 행하는 것이다.

이러한 데이터의 입력은 키보드(18g)(도 4)로부터 행해지고, 입력된 데이터는, 전술한 바와 같이 마이크로 컴퓨터(18aa)(도 4)에 내장된 RAM에 저장된다.

이 초기 설정 공정(스텝 101)이 종료되면, 다음에, 기판(17)을 기판 적재 테이블(5)(도 2)에 탑재하여 보유 지지시킨다(스텝 102).

계속해서, 기판 예비 위치 결정 처리(스텝 103)를 행한다. 이 처리에서는, 기판 적재 테이블(5)에 탑재된 기판(17)의 위치 결정용 마크를 복수의 화상 인식 카메라(21) 중으로부터 설정되어 있는 화상 인식 카메라를 사용하여 촬영하여, 위치 결정용 마크의 무게 중심 위치를 화상 처리에서 구하여 기판(17)의 θ방향에서의 기울기를 검출하고, 이것에 따라서 각 축 드라이버(18af 내지 18ah)(도 4)를 제어하여 각 축 서보 모터를 구동하여, 도포 헤드를 Y축 방향으로 이동하고, 이 θ방향의 기울기를 보정한다. 이상에 의해, 기판 예비 위치 결정 처리(스텝 103)를 종료한다.

다음에, 페이스트 패턴 묘화 처리(스텝 104)를 행한다. 이 처리에서는, 우선 기판(17)의 도포 개시 위치에 각 도포 헤드부(12)(도 2)의 노즐(15)의 토출구를 위치 이동시켜, 노즐 위치를 정밀하게 위치 결정한다.

다음에, 각 도포 헤드부(12)의 서보 모터 및 Z축 이동 테이블(10)(도 2)을 동작시켜 노즐(15)의 높이를 페이스트 패턴 묘화 높이로 설정한다.

노즐의 초기 이동 거리 데이터에 기초하여 노즐(15)을 초기 이동 거리만큼 하강시킨다. 계속되는 동작에서는 기판(17)의 표면 높이를 각 도포 헤드부(12)의 거리계(16)(도 3)에 의해 측정하고, 각 도포 헤드부(12)의 노즐(15)의 선단이 페이스트 패턴을 묘화하는 높이로 설정되어 있는지 여부를 확인하여, 묘화 높이로 설정되어 있지 않은 경우에는, 노즐(15)을 미소 거리 하강시켜, 상기한 기판(17)의 표면 계측과 노즐(15)의 미소 거리 하강 동작을 반복해서 행하여, 노즐(15)의 선단을 페이스트 패턴의 도포 묘화 높이로 설정한다.

이상의 처리가 종료되면, 다음에, 마이크로 컴퓨터(18aa)(도 4)의 RAM에 저장된 페이스트 패턴 데이터와 θ방향의 기울기를 보정에 기초하여 갠트리(2A, 2B)가 X축 방향으로, 이들 갠트리에서의 도포 헤드부(12)가 Y축 방향으로 각각 구동되고, 이에 의해 각 헤드부(13)에서의 노즐(15)의 페이스트 토출구가 기판(17)에 대향한 상태에서, 이 페이스트 패턴 데이터를 따라서 노즐(15)과 기판(17)이 각각 X, Y축 방향으로 이동하는 동시에, 페이스트 수납통(13)(도 3)에 설정한 기압을 인가하여 노즐(15)의 페이스트 토출구로부터의 페이스트의 토출을 개시한다.

이와 같이 하여, 기판(17)으로의 페이스트 패턴의 도포가 개시된다.

그리고, 이와 함께, 도 5에서 앞서 설명한 바와 같이, 부제어부(18b)의 마이크로 컴퓨터(18ba)는 각 도포 헤드부(12)에서의 거리계(16)로부터 노즐(15)의 페이스트 토출구와 기판(17)의 표면의 간격의 실측 데이터가 입력되어, 이에 의해 기판(17)의 표면의 굴곡을 측정하고, 이 측정치에 따라서 Z축 드라이버(18bi)를 제어하여 Z축 서보 모터(11)(도 2)를 구동함으로써, 기판(17)의 표면으로부터의 노즐(15)의 설정 높이가 일정하게 유지된다. 이에 의해, 원하는 도포량으로 페이스트 패턴을 도포할 수 있다.

이상과 같이 하여, 페이스트 패턴의 묘화가 진행되지만, 노즐(15)의 페이스트 토출구가 기판(17) 상의 상기 페이스트 패턴 데이터에 의해 정해지는 묘화 패턴의 종단부인지 여부의 판단에 의해, 이 종단부가 아니면, 다시 기판의 표면 굴곡의 측정 처리로 복귀되어, 이하, 상기한 도포 묘화를 반복하여, 페이스트 패턴 형성이 묘화 패턴의 종단부에 도달할 때까지 계속한다.

그리고, 이 묘화 패턴 종단부에 도달하면, Z축 서보 모터(11)를 구동하여 노즐(15)을 상승시켜, 이 페이스트 패턴 묘화 공정(스텝 104)이 종료된다.

다음에, 기판 배출 처리(스텝 105)로 진행되어, 기판 보유 지지 기구(5)(도 2)에서의 기판(17)의 보유 지지를 해제하여 장치 밖으로 배출한다.

그리고, 이상의 전체 공정을 정지할지 여부를 판정하여(스텝 105), 복수매의 기판에 동일한 패턴으로 페이스트막을 형성하는 경우에는(스텝 106의 "예"), 기판 탑재 처리(스텝 320)로부터 반복되어, 모든 기판에 대해 이러한 일련의 처리가 종료되면(스텝 106의 "아니오"), 작업이 모두 종료(스텝 107)로 된다.

도 7은 도 2에 있어서의 A부로서 나타내는 갠트리(2)[갠트리(2A, 2B)의 총칭]와 가대(1)의 설치부의 일 구체예를 도시하는 사시도이며, 부호 22는 체결 볼트이고, 상기한 도면에 대응하는 부분에는 동일 부호를 부여하여 중복되는 설명을 생략한다.

도 7에 있어서, 갠트리(2)의 가로 빔측 지지 부재(7a)의 선단에는 가대측 지지 부재(8a)가 고정되어 있고, 가대(1) 상에 설치된 레일(4a) 상을 이동하는 X축 방향 이동 기구(6a)의 상면 상에 이 가대측 지지 부재(8a)가 적재된다. 그리고, 이와 같이, X축 방향 이동 기구(6a) 상에 가대측 지지 부재(8a)가 적재된 상태에서, 이들 X축 방향 이동 기구(6a)에 가대측 지지 부재(8a)가, 체결 볼트(22)에 의해 체결되어 고정된다. 이와 같이 하여, 각각의 갠트리(2)가 X축 방향 이동 기구(6a)에 고정되어, 가대(1) 상을 X축 방향으로 이동시킬 수 있다.

또한, 갠트리(2)를 가대(1)로부터 분리할 때에는, 체결 볼트(22)를 제거하면 된다.

다음에, 도 1에 도시하는 본 발명에 의한 대차식 반송 장치와 반송 및 조립 방법의 일 실시 형태에 대해 설명한다. 또한, 반송 대차(40a)와 반송 대차(40b)는 구조가 동일하므로, 한쪽의 반송 대차(40a)에 대해 설명한다.

도 1에 있어서, 2개의 바 형상 부재를 상부에서 연결하여 하부 개방의 「ㄷ」자 형상을 한 외측 다리(43a)와 2개의 바 형상 부재를 중앙에서 연결하여 「H」자 형상을 한 내측 다리(44a)가, 중앙 부근에서 회전 힌지에 의해 좌우가 접속되어 회전 가능하게 설치되어 있다. 외측 다리(43a)의 하측 단부는 바닥판(45a)에 연직면 방향으로 회전 가능한 상태로 고정되고, 외측 다리(43a)의 상측 단부는 롤러가 부착되어 있고, 그 롤러가 천장판(46a)의 이면을 구르도록 접촉되어 있다. 한편, 내측 다리(43a)의 하측 단부에는 롤러가 설치되어 있고, 이 롤러가 바닥판(45a) 위를 구르도록 접촉하고 있다. 내측 다리(44a)의 상측 단부는 천장판(46a)의 이면에 연직면 방향으로 회전 가능한 상태로 고정되어 있다.

반송 대차용 서보 모터 유닛(42a)은 샤프트 선단에 피니언이 설치되고, 가이드에 지지된 랙과 맞물림으로써, 직선 형상, 즉 신축 동작하는 구조로 되어 있다.

내측 다리(44a)의 중앙 부근의 횡방향의 바에는 반송 대차용 서보 모터 유닛(42a)이 연직면 방향으로 회전 가능한 상태로 고정되어 있다. 반송 대차용 서보 모터 유닛(42a)의 타단부는 바닥판(45a)에 연직면 방향으로 회전 가능한 상태로 고정되어 있다. 이에 의해, 반송 대차용 서보 모터 유닛(42a)의 신축 동작에 따라서, 외측 다리(43a)와 내측 다리(44a)가 롤러에 의해 구르면서 회전 힌지부로 서로 각도를 바꾸어서 기울어져, 천장판(46a)이 상하 이동한다.

이 반송 대차용 서보 모터 유닛(42a)은 모터 컨트롤러(18ab)로부터, 대차 모터 드라이버(50a)를 통해 제어 구동한다. 여기서, 반송 대차(40a)의 반송 대차용 서보 모터 유닛(42a)과 반송 대차(40b)의 반송 대차용 서보 모터 유닛(42b)의 2계통은 각각 대차 모터 드라이버(50a, 50b)에 접속되어, 공통의 1대의 모터 컨트롤러(18ab)에 의해, 동시에 기동 및 정지, 또한 등속 구동하도록 제어된다.

동작 패턴은, 도 8에 도시한 바와 같이 사다리꼴 구동이고, 원활하게 가속ㆍ감속에 의해, 기동ㆍ정지하여, 동일한 위치에서 정지할 수 있다.

반송 대차(40a, 40b)에 장시간 갠트리를 적재한 상태로 해 두는 경우에는, 그 높이를 가장 낮은 위치로 해 두는 쪽이, 무게 중심이 낮아지므로, 그 적재 상태가 안전하다. 또한, 반송 대차용 서보 모터 유닛(42a, 42b)의 모터는 전자기 브레이크가 부착된 것을 채용하여, 전원 오프 시에 제동이 걸리도록 하면 더욱 좋다.

다음에, 도 1에 도시하는 대차식 반송 장치에 의한 갠트리(2)의 가대(1)로의 조립, 가대(1)로부터의 분해 작업에 대해 설명한다.

도 9는 본 실시 형태의 대차 반송 장치를 사용하여 갠트리(2)를 가대(1)에 조립하는 작업의 수순의 일 구체예를 도시하는 흐름도이다. 여기서는, 갠트리(2B)에 대해 설명한다.

도 9에 있어서, 본체 장치, 즉 페이스트 도포 장치를 정지시킨 후(스텝 200)에, 반송 대차(40a, 40b)에 설치한 반송 대차용 서보 모터로 원점 복귀시켜, 2대의 반송 대차(40a, 40b)의 받침대의 천장판(46a, 46b)의 높이가 소정의 높이이고, 또한 동일하게 되도록 하여(스텝 201), 정지 높이 위치에 정상적으로 위치 결정된 것을 확인한다(스텝 202). 원점 복귀 동작 스텝 201은 반송 대차(40a, 40b)에 갠트리(2B)를 탑재하고 있지 않은 상태에서 시작하는 경우에 실시하는 것으로, 선택하여 행할 수 있다. 이때, 별도의 계측기로 받침대의 높이를 계측하면, 더욱 좋다.

다음에, 크레인 등의 수단에 의해, 갠트리(2B)를 반송 대차(40a, 40b)의 받침대의 천장판(46a, 46b) 상에 내리고, 이 갠트리(2B)의 양단부를 갠트리 고정 부재(41a, 41b)에 적재하여 고정한다(스텝 203). 도시하지 않지만, 받침대의 천장판(46a, 46b)으로의 갠트리 고정 부재(41a, 41b)의 고정은 전용의 볼트로 가대로의 체결 개소와는 다른 위치에서 체결한다.

이후, 가로 빔(2a)을 포함하는 갠트리(2B)의 양측을 각각 반송 대차(40a, 40b)에 적재한 상태에서, 반송 대차(40a, 40b)를 이동시킴으로써, 갠트리(2B)를 가대(1) 상의 그 체결부의 상부로 이동한다(스텝 204). 다음에, 반송 대차용 서보 모터 유닛(42a, 42b)의 회전에 수반하는 신축에 의한 승강 이동 기구에 의해, 갠트리(2B)를 가대(1)측의 접촉면까지 내리고(스텝 205), 체결부[즉, 도 7에서의 X축 방향 이동 기구(6a)]에 접속(탑재)하고(스텝 206), 도 7에서 설명한 바와 같이 체결 볼트(22)(도 7)로 체결한다(스텝 207). 이에 의해, 갠트리(2B)가 X축 방향 이동 기구(6a)에 고정되어 가대(1)에 설치되게 된다.

체결 볼트(22)로 체결한 후에, 반송 대차(40a, 40b)를 가대(1)로부터 제거하여(스텝 208), 갠트리(2B)측과 가대(1)측의 배선 및 배관을 접속(스텝 209)한다.

그 후, 원래 가대(1)에는 2대 이상의 갠트리가 설치되어 있는 것이므로, 이때, 가대(1)에 설치해야만 하는 갠트리가 또 있으면[예를 들어, 갠트리(2A) : 스텝 210의 "예"], 그 갠트리에 대해, 스텝 201로부터 스텝 210까지의 수순을 반복한다. 그리고, 설치해야 할 갠트리가 달리 없으면(스텝 210의 "아니오"), 세트 종료로 된다(스텝 211).

도 10은 본 실시 형태의 대차 반송 장치를 사용하여 갠트리(2)를 가대(1)로부터 제거하는 작업의 수순의 일 구체예를 도시하는 흐름도이다. 이 작업 수순은, 기본적으로는 도 9에서의 조립 작업의 역의 수순으로 된다. 여기서도, 갠트리(2B)에 대해 설명한다.

도 10에 있어서, 본체 장치, 즉 페이스트 도포 장치의 가대(1)를 설치한 후(스텝 300)에, 반송 대차(40a, 40b)의 반송 대차용 서보 모터 유닛(42a, 42b)을 원점 복귀시켜, 2대의 반송 대차(40a, 40b)의 받침대의 천장판(46a, 46b)의 높이가 소정의 높이, 또한 동일해지도록 하여(스텝 301), 소정의 정지 높이 위치에 정상적으로 위치 결정된 것을 확인한다(스텝 302). 이 받침대의 높이는 별도 계측기로 계측하는 것이 좋다.

갠트리(2B)측과 가대(1)측의 배선 및 배관의 접속을 제거하여(스텝 303), 반송 대차(40a, 40b)를 가대(1)의 근방으로 운반하여 갠트리(2B)의 가대(1)와의 체결부에 접촉시킨다(스텝 304). 다음에, 갠트리(2B)와 가대(1)를 체결하고 있는 체결 볼트(22)(도 7)를 제거하여(스텝 305), 갠트리(2B)를 가대(1)로부터 분리하여 반송 대차(40a, 40b)에 고정하고(스텝 306), 반송 대차용 서보 모터 유닛(42a, 42b)의 회전에 의한 신축에 의한 승강 이동 기구를 사용하여, 갠트리(2B)를 가대(1)로부터 들어올린다(스텝 307).

이후, 갠트리(2B)의 가로 빔(2b)의 양측을 각각 반송 대차(40a, 40b)로 적재한 상태에서 가대(1)와 이격하여 가대(1)의 외부 위치로 반송하여 취출한다(스텝 308). 다음에, 시트면에 고정된 볼트를 제거하고, 크레인 등의 수단으로 반송 대차의 받침대의 천장판(46a, 46b) 상에 고정된, 양단부로 되는 갠트리 고정 부재(41a, 41b)의 볼트 체결을 해제하여 갠트리(2B)채로 제거한다(스텝 309). 여기서, 불필요한 현수 수단을 추가 설치하지 않고 조립, 제거 및 반송을 행하는 것도 가능하고, 이 경우에는 반송 대차(40a, 40b)에 갠트리(2B)를 설치한 채로 반송, 보관하는 것도 가능하고, 그 경우에는 스텝 309는 불필요하다.

원래, 가대(1)에는 2대 이상의 갠트리가 설치되어 있는 것이므로, 이때, 제거하는 갠트리(2)가 또 있으면[예를 들어, 갠트리(2A) : 스텝 310의 "예"], 스텝 301로부터 스텝 310까지의 수순을 반복한다. 그리고, 제거해야만 하는 갠트리가 달리 없으면(스텝 310의 "아니오"), 조립 작업이 종료로 된다(스텝 312).

이상과 같이, 본 발명에서는, 도포 노즐이 설치된 가로 빔의 이동 기구측을 갖는 갠트리 부분에 연결되는 가로 빔측 지지 부재(7a, 7b)와, 가대(1)에 고정하여 설치하는 갠트리(2)의 이동 기구를 지지하는 부분에 연결되는 가대측 지지 부재(8a, 8b)를, 기판을 탑재하는 테이블[기판 적재 테이블(5)]의 외측 또는 하측의 위치에 있어서, 반송 대차(40a, 40b)를 사용하여, 갠트리(2)의 수평 자세를 유지한 채, 분할 및 조립 가능한 구조로 하는 것이므로, 정밀도를 저감시키지 않고, 분해 후의 장치의 최대 치수를 협소화할 수 있다. 취급 대상이 2(m) 초과인 대형 마더 글래스 기판 용도라도, 장치의 최대 치수는 3(m) 정도 이내의 폭으로 억제할 수 있고, 나아가서는 일반 도로에 의한 장치의 반송 시의 문제도 해결할 수 있다. 조립 시에는 분해 전과 동일한 상태를 간편하게 재현할 수 있다. 이에 의해, 제조물(액정 패널)의 품질 향상에 기여한다.

1 : 가대
2A, 2B : 갠트리
2a, 2b : 가로 빔
3 : Y축 방향 이동 기구(리니어 레일)
4a, 4b : 레일
5 : 기판 적재 테이블(기판 보유 지지 기구)
6a, 6b : X축 방향 이동 기구
7a, 7b : 가로 빔측 지지 부재
8a, 8b : 가대측 지지 부재
9 : Z축 이동 테이블 지지 브래킷
1O : Z축 이동 테이블
11 : Z축 서보 모터
12 : 도포 헤드부
13 : 페이스트 수납통(시린지)
14 : 노즐 지지구
15 : 노즐
16 : 거리계
17 : 기판
18a : 주제어부
18aa : 마이크로 컴퓨터
18ab : 모터 컨트롤러
18ac : 데이터 통신 버스
18ad : 외부 인터페이스
18ae : 화상 인식 장치
18af : Y축 리니어 모터 드라이버
18ag : 리니어 모터 드라이버
18ah : 모터 드라이버
18b : 부제어부
18ba : 마이크로 컴퓨터
18bb : 모터 컨트롤러
18bc : 데이터 통신 버스
18bd : 외부 인터페이스
18bi : Z축 모터용 드라이버
18c : 하드 디스크
18d : USB 메모리
18e : 통신 케이블
18f : 모니터
18g : 키보드
19 : 레귤레이터
20 : 밸브 유닛
21 : 화상 인식 카메라
22 : 체결 볼트
40a, 40b : 반송 대차
41a, 41b : 갠트리 고정 부재
42a, 42b : 반송 대차용 서보 모터 유닛
43a, 43b : 외측 다리
44a, 44b : 내측 다리
45a, 45b : 바닥판
46a, 46b : 천장판
50a, 50b : 대차 모터 드라이버

Claims (8)

1. 노즐 토출구로부터 페이스트를 토출하는 도포 헤드가 이동 가능하게 설치된 갠트리가 가대 상에 설치되고, 상기 가대 상에 설치된 기판 적재 테이블에 적재된 기판에 대해 상기 갠트리가 이동하여, 상기 노즐 토출구로부터 상기 기판 상으로 페이스트를 토출하는 페이스트 도포 장치의 상기 갠트리를 반송하기 위한 대차식 반송 장치이며,
   상기 갠트리의 각각의 단부를 지지하는 2대의 반송 대차로 이루어지고,
   상기 반송 대차는 지지하는 상기 갠트리의 단부의 높이를 변화시킬 수 있는 상하 이동 수단을 구비한 것을 특징으로 하는, 대차식 반송 장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 갠트리의 양단부의 지지는 상기 반송 대차에서의 설치면에 상기 갠트리의 양단부를 볼트 체결하는 것에 의한 것인 것을 특징으로 하는, 대차식 반송 장치.
3. 제1항에 있어서, 상기 상하 이동 수단은 전동기에 의해 구동되는 것을 특징으로 하는, 대차식 반송 장치.
4. 제3항에 있어서, 상기 전동기에 의해 구동되는 상기 각각의 반송 대차의 상기 상하 이동 수단은 높이를 변화시킬 때에 동시에 상하 동작을 개시하고, 또한 동일한 속도에 의해 연동하여 동작하는 것을 특징으로 하는, 대차식 반송 장치.
5. 노즐 토출구로부터 페이스트를 토출하는 도포 헤드가 이동 가능하게 설치된 갠트리가 가대 상에 설치되고, 상기 가대 상에 설치된 기판 적재 테이블에 적재된 기판에 대해 상기 갠트리가 이동하여, 상기 노즐 토출구로부터 상기 기판 상으로 페이스트를 토출하는 페이스트 도포 장치의 상기 갠트리를 반송하기 위한 반송 대차에 의한 갠트리의 반송 및 조립 방법에 있어서,
   상기 반송 대차는 2대를 1세트로 하여, 상기 반송 대차로 상기 갠트리의 각각의 단부를 지지하고, 상기 각각의 반송 대차로, 상하 이동 수단에 의해, 지지한 상기 갠트리의 양단부의 높이를 변화시킬 수 있는 것을 특징으로 하는, 반송 및 조립 방법.
6. 제5항에 있어서, 상기 갠트리의 양단부의 지지는 상기 반송 대차에서의 설치면에 상기 갠트리의 양단부를 볼트 체결하는 것에 의한 것인 것을 특징으로 하는, 반송 및 조립 방법.
7. 제5항에 있어서, 상기 상하 이동 수단은 전동기에 의해 구동하는 것을 특징으로 하는, 반송 및 조립 방법.
8. 제7항에 있어서, 상기 전동기에 의해 구동되는 상기 각각의 반송 대차의 상기 상하 이동 수단은 높이를 변화시킬 때에 동시에 상하 동작을 개시하고, 또한 동일한 속도에 의해 연동하여 동작하는 것을 특징으로 하는, 반송 및 조립 방법.

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