CN101885585A - 台车式输送装置和其输送及组装方法 - Google Patents

Abstract

通过分离涂浆装置的门形架和支承台，将装置小型化后输送，在组装它们时能够进行精密的定位。涂浆装置能够从支承台(1)拆卸门形架(2B)。台车式输送装置由2台输送台车(40a、40b)构成，它们具有相同的结构。输送台车(40a)的下方张开的“匚”字状的外侧支脚(43a)和“H”字状的内侧支脚(44a)在中央附近能够旋转地安装，外侧支脚(43a)和内侧支脚(44a)的上端部能够移动地抵接在顶板(46a)，它们的下端部能够移动地抵接在底板(45a)。这样，相应于输送台车用伺服马达单元(42a)的伸缩动作，外侧支脚(43a)和内侧支脚(44a)转动，顶板(46a)上下移动。在输送台车(40a、40b)的各个顶板(46a、46b)上搭载门形架(2B)的横梁(2a)的端部并将其固定。

Description

台车式输送装置和其输送及组装方法

技术领域

本发明涉及在平面面板的制造过程中用于在基板上涂浆或用于使液晶滴下的涂浆装置，特别是涉及用于将安装了涂敷喷嘴的门形架安装在支承台或将其拆下的台车式输送装置和其输送及组装方法。

背景技术

作为以往的涂浆装置的一个例子，已知包含门形架构架的门形的底座单元和载置基板的台单元能够分离的结构(例如参照专利文献1)。

在用卡车等移送该涂浆装置的场合，一旦从门形底座单元拆下台单元，使其分离移动到门形底座单元的外方，从而在门形底座单元的内方设置空间，然后，旋转门形架构架，形成为折叠的状态。这样，在由卡车等移送时，能够使占有空间变小地变形。关于由折叠动作获得的位置再现性，使用绝对值编码器，记忆数值，从而使位置调整容易。

另外，作为其它例子，已知如下的涂浆装置，该涂浆装置具有设置了涂敷头的门形架结构，涂敷头在玻璃基板上部进行涂浆动作(例如参照专利文献2)。

在该涂浆装置中，在支承台上部设置了2台的门形架，涂敷头在这些门形架的横梁上朝Y轴方向受到驱动，另外，门形架自身由线性马达在X轴方向驱动。

[专利文献1]日本特开2008-55554号公报

[专利文献2]日本专利第3701882号公报

发明内容

在LCD等平面面板领域，玻璃基板尺寸的大型化急剧地推进，与此相随，涂浆装置也大型化，仅是对搭载玻璃基板的XY台进行驱动、使涂敷喷嘴上下移动而进行描绘的方式已难以实现省空间化。

因此，在记载于上述专利文献1、2的涂浆装置中，提出这样的方式，在进行浆料描绘时，在X轴台上使玻璃基板移动，由设置于上部的门形构架上的能够在Y轴方向移动地设置的涂敷喷嘴进行浆料描绘。这是一边使玻璃基板和涂敷喷嘴改变相对位置关系一边涂浆的方式，能够实现装置的小型化。

然而，如玻璃基板尺寸的大型化进一步发展，仍然按照该方式成比例地增大涂浆装置，则超出输送车的宽度极限，成为难以运输的状况。

因此，提出了这样的结构，即，能够在搭载基板的台的外侧或下侧的位置分离门形架和对固定地设置在支承台的该门形架的移动机构进行支承的部分，该门形架具有设置了涂敷喷嘴和其移动机构的横梁。

然而，在这样的结构的情形，如何以良好的精度将分离了的门形架组装在支承台成为课题。即使要新增加可动部，通过测量位置以再现高精度的组装状态，也很难完全消除在可动部的微小偏移，即使要这样通过位置测量再现组装状态，也同样很难实现完全的再现。另外，由卡车等进行的移送是专门为了在目的地安装涂浆装置而进行的，涂浆装置一旦安装，则很少频繁地对其进行移送，与其说是装置的移送，不如说优先考虑组装时可靠的定位的场合更多。

本发明的目的在于解决该问题，提供一种能够应对涂浆装置等的小型轻量的简便的台车式输送装置和输送及组装方法，通过分离门形架和支承台，将装置小型化后输送，在此后组装它们时能够进行精密的定位。

另外，本发明的另一目的在于提供一种即使在分解时也能够通过与组装时相反的程序确实地拆下，在此后的组装中不对位置再现性带来障碍的小型轻量、简便的台车式输送装置和输送及组装方法。

为了达到上述目的，本发明的台车式输送装置用于输送涂浆装置的门形架，该涂浆装置中，上述门形架能够移动地设置有从喷嘴排出口排出浆料的涂敷头，该门形架设置在支承台上，基板载置在设于支承台上的基板载置台，门形架相对于该基板移动，从喷嘴排出口将浆料排出到基板上；其特征在于：该台车式输送装置由支承门形架的各个端部的2台输送台车构成，输送台车具有能够改变支承的门形架的端部高度的上下移动装置。

另外，本发明的台车式输送装置的特征在于：门形架的两端的支承通过用螺栓将门形架的两端连接在输送台车上的安装面而实现。

另外，本发明的台车式输送装置的特征在于：上下移动装置由电动机驱动。

另外，本发明的台车式输送装置的特征在于：由电动机驱动的各个输送台车的上下移动装置在改变高度时大体同时地开始上下动作，而且，按大体相同速度联动地动作。

另外，为了达到上述目的，本发明提供由输送台车实现的门形架的输送及组装方法，该输送台车用于输送涂浆装置的门形架，该涂浆装置中，上述门形架能够移动地设置有从喷嘴排出口排出浆料的涂敷头，该门形架设置在支承台上，基板载置在设于支承台上的基板载置台，门形架相对于该基板移动，从喷嘴排出口将浆料排出到基板上；其特征在于：输送台车将2台作为一组，由输送台车支承门形架的各个端部，在各个输送台车，由上下移动装置改变受到支承的门形架的两端的高度。

另外，本发明的输送及组装方法的特征在于：门形架的两端的支承通过用螺栓将门形架的两端连接在输送台车上的安装面而实现。

另外，本发明的输送及组装方法的特征在于：上下移动装置由电动机驱动。

另外，本发明的输送及组装方法的特征在于：由电动机驱动的各个输送台车的上下移动装置在改变高度时大体同时地开始上下动作，而且，按大体相同速度联动地动作。

按照本发明，第1，即使处理的玻璃基板大型化，由此使支承涂敷头的门形架大型化，也能够进行门形架的安装、拆卸，能够使装置更小型后进行输送；第2，能够简便而且精度良好地进行门形架的安装、拆卸；第3，通过用作输送从支承台分开了的状态的门形架的手段，不需要追加准备输送装置、上升、下降装置。

附图说明

图1为表示本发明台车式输送装置和输送及组装方法的一实施方式的立体图。

图2为表示涂浆装置的一具体例的组装了的状态的立体图。

图3为放大地表示图2所示涂敷头部中的头部分的立体图。

图4为表示图2所示涂浆装置的控制系统的一具体例的框图。

图5为表示图4的副控制部的一具体例的框图。

图6为表示图2所示涂浆装置的整体动作的一具体例的流程图。

图7为表示图2的门形架和支承台的安装部的一具体例的立体图。

图8为表示图1所示实施方式的输送台车的速度控制特性曲线的图。

图9为表示使用图1所示实施方式的台车输送装置将门形架安装在支承台的作业的顺序的一具体例的流程图。

图10为表示使用图1所示实施方式的台车输送装置从支承台1拆卸门形架的作业的顺序的一具体例的流程图。

具体实施方式

随着装置的大型化，在保持组装、调整作业后的装置一体状态不变从制造地向安装目的地等进行陆上运输时，由于道路的宽度限制等，成为产生障碍的状况。

因此，在本发明中，在门形架侧与直动导向件侧能够在门形架的支承体和直动导向件的连接部附近分开的状态下，由输送台车支承门形架侧，能够这样支承着进行长时间保持。这样，陆上运输时，能够将门形架侧和直动导向件侧分离后进行输送，在安装目的地，能够不降低精度地进行组装连接，将装置准备成能够运行的状态。此时，搭载于输送台车的门形架维持着水平状态不变，形成为能够上下动作的结构。

下面，使用附图说明本发明的实施方式。

以下说明的实施方式涉及门形构架结构的、在基板面上描绘浆料图案(密封材料图案)的涂浆装置，但当然能够同样地适用到门形构架结构的、使液晶滴下到基板上的滴下装置。

图1为表示本发明台车式输送装置和输送及组装方法的一实施方式的立体图，符号1为支承台，符号2B为门形架，符号2b为横梁，符号5为基板载置台(基板保持机构)，符号18ab为马达驱动器，符号40为台车式输送装置，符号40a、40b为输送台车，符号41a、41b为门形架固定构件，符号42a、42b为输送台车用伺服马达单元，符号43a、43b为外侧支脚，符号44a、44b为内侧支脚，符号45a、45b为底板，符号46a、46b为顶板，符号50a、50b为台车马达驱动器。在与图1对应的部分标注相同符号。

在该图中，本实施方式的台车式输送装置40由2台输送台车40a、40b和用于对其进行驱动的台车马达驱动器50a、50b构成。这些输送台车40a、40b利用台车马达驱动器50a、50b对门形架(门形构架部)进行输送，该台车马达驱动器50a、50b由设于支承台1内部的主控制部的马达控制器17ab控制，该门形架对涂浆装置的1个或多个涂敷头部(未图示)进行直动引导。

在这里，该涂浆装置形成为在支承台1上能够沿X轴方向移动地安装2台门形架的构成，该支承台1在上面侧设置了基板载置台5，这些门形架能够从支承台1拆卸或安装在支承台1。在输送该涂浆装置之际，为了从支承台1拆卸门形架或将门形架安装在支承台1，使用输送台车40a、40b。

图1表示从支承台1拆下的一方的门形架2B载置在台车式输送装置即2台输送台车40a、40b的状态。

下面，首先说明使用了本发明的台车式输送装置及使用其输送方法的涂浆装置的具体例，关于图1所示实施方式，以该涂浆装置为例在后面说明。

图2为表示涂浆装置的一具体例的组装了的状态的立体图，符号1为支承台，符号2A、2B为门形架，符号2a、2b为横梁，符号3为Y轴方向移动机构(线性轨)，符号4a、4b为轨，符号5为基板保持机构，符号6a、6b为X轴方向移动机构，符号7a、7b为横梁侧支承构件，符号8a、8b为支承台侧支承构件，符号9为Z轴移动台支承托架，符号10为Z轴移动台，符号11为Z轴伺服马达，符号12为涂敷头部。

对置地设置的多个涂敷头各部为了避免麻烦而省略了符号，但为同样的构成。

在该图中，在支承台1上设置在X轴方向排列、相互对置的2个门形架2A、2B。门形架2B由长度方向为Y轴方向的横梁2b和固定地设置在其两端侧的横梁侧支承构件7a、7b构成，一方的横梁侧支承构件7a连接在沿轨4a由X轴方向移动机构6a移动的支承台侧支承构件8a，该轨4a设在支承台1的沿X轴的一方的边侧，另一方的横梁侧支承构件7b也同样连接在沿轨4b由X轴方向移动机构6b移动的支承台侧支承构件8b，该轨4b设在支承台1的沿X轴的另一方的边侧。这样，门形架2b由2个X轴方向移动机构6a、6b在X轴方向移动。

门形架2A也同样，由横梁2a和固定地设置在该横梁2a的两端侧的横梁侧支承构件(省略了符号)构成，各个横梁侧支承构件连接在沿轨4a、4b在X轴方向移动的支承台侧支承构件。这样，门形架2a也由X轴方向移动机构在X轴方向移动。

在轨4a、4b间设有保持基板(未图示)的基板载置台5，上述构成的门形架2A、2B将该基板载置台5抱入地安装在支承台1，这些门形架2A、2B的横梁2a、2b在沿Y轴方向整个地横过基板载置台5的状态下沿X轴方向移动。

在门形架2A的横梁2a的与门形架2B面对的一侧的面设有Y轴方向的直动导向件，沿着该直动导向件在Y轴方向排列地设置具有线性马达的多个涂敷头部12。这些涂敷头部12分别由Y轴方向移动机构(线性轨)3沿门形架2A的面在Y轴方向移动。

在多个涂敷头部12分别具有Z轴移动台支承托架9，该Z轴移动台支承托架9在背面侧设置用于支承这些涂敷头部12的Y轴方向移动用线性伺服马达，在表面侧设置了Z轴伺服马达11。在该Z轴移动台支承托架9，设有由该Z轴伺服马达11使浆料涂敷部上下移动的Z轴移动台10。

门形架2B也同样，在横梁2b的与门形架2A面对的一侧的面，在Y轴方向排列地设置分别具有线性马达的多个涂敷头部，这些涂敷头部分别由Y轴方向移动机构(线性轨)沿门形架2B的面在Y轴方向移动。

图3为放大地表示图2所示涂敷头部中的头部分的立体图，符号13为浆料收容筒(注射器)，符号14为喷嘴支承件，符号15为喷嘴，符号16为测距仪，符号17为基板。

在该图中，在Z轴移动台10(图2)安装有设置了浆料收容筒13、喷嘴15的喷嘴支承件14，测距仪16，具有可照明的光源的镜筒(图中未表示)，及图像识别摄像机(图中未表示)。从浆料收容筒13到喷嘴15的前端由喷嘴支承件14支承。

上述镜筒、图像识别摄像机面对基板17地设置，除了用于各涂敷头部12的涂敷喷嘴的平行调整、间隔调整外，还用于基板17的对位、浆料图案的形状识别等。

测距仪16按非接触式的三角测距法相对于喷嘴15的前端部测量直到由玻璃构成的基板17的表面(上面)的距离。即，在测距仪16的箱体内安装发光元件，从该发光元件放射出的激光由基板17上的测量点S反射，由同样设于箱体内的受光元件受光，相应于受光位置测量喷嘴15的前端部与基板17间的距离。另外，基板17上的激光的测量点S与喷嘴15的正下位置，在基板17上偏移很小的距离ΔX及ΔY，但该很小的距离偏移处在基板17的表面的凹凸的差为能忽略的范围，所以，在测距仪16的测量结果与从喷嘴15的前端部到基板17的表面(上面)的距离间基本不存在差别。因此，根据该测距仪16的测量结果控制Z轴移动台10(图2)，从而能够将对应于基板17的表面的凹凸(起伏)的从喷嘴15的前端部到基板17的表面(上面)的距离(间隔)维持为一定。

这样，将从喷嘴15的前端部到基板17的表面(上面)的距离(间隔)维持一定，而且，将从喷嘴15排出的单位时间的浆料量维持一定，从而使涂敷描绘在基板17上的浆料图案的宽度、厚度变得一样。

图4为表示图2所示涂浆装置的控制系统的一具体例的框图，符号18a为主控制部，符号18aa为微机，符号18ab为马达控制器，符号18ac为数据通信总线，符号18ad为外部接口，符号18ae为图像识别装置，符号18af为各涂敷头移动用的Y轴线性马达驱动器，符号18ag为调整涂敷头的间隔的X轴的线性马达驱动器，符号18ah为θ轴台的马达驱动器，符号18b为副控制部，符号18c为硬盘，符号18d为USB存储器，符号18e为通信电缆，符号18f为监视器，符号18g为键盘，符号19为调节器，符号20为阀单元，符号21为图像识别摄像机。

在该图中，控制进行各机构的驱动的线性马达和使台移动的伺服马达的主控制部18a设在支承台1(图2)的内部。主控制部18a通过通信电缆18e连接在副控制部18b。副控制部18b对驱动Z轴移动台10(图2)的伺服马达10(图2)进行控制。在主控制部18a连接监视器18f、键盘18g、作为外部存储装置的硬盘18c、USB存储器18d。从键盘18g输入的数据等被存储保管在作为外部存储装置的硬盘18c、USB存储器18d等存储介质。

台车马达驱动器50a、50b如图1所示，为成为台车式输送装置的输送台车40a、40b的上下移动的驱动源的输送台车用伺服马达单元42a、42b的驱动器。虽然也存在一边测量2台的输送台车40a、40b的高度一边用手动使其上下移动的方法，但在本实施方式中，为采用了马达的例子。

主控制部18a内装微机18aa，马达控制器18ab，X轴、Y轴、θ轴等的各轴驱动器18af～18ah，处理各位置的能够由多个图像识别摄像机21的任一个获得的图像信号的图像处理装置18ae，对副控制部18b、调节器19、阀单元20进行控制的外部接口18ad。

另外，在微机18aa具有图中未表示的主运算部，存储用于进行后述的涂敷描绘的处理程序的ROM，存储主运算部的处理结果、来自外部接口18ad及马达控制器18ab的输入数据的RAM，及与外部接口18ad、马达控制器18ab进行数据交换的输入输出部等。

在各马达，内装检测位置的直尺和检测旋转量的编码器，将其检测结果返回到X轴、Y轴、台Y轴等的各轴驱动器18f～17h，进行位置控制。

图5为表示图4的副控制部18b的一具体例的框图，符号18ba为微机，符号18bb为马达控制器，符号18bc为数据通信总线，符号18bd为外部接口，符号18bi为Z轴马达用驱动器，在与上述附图对应的部分标注同一符号。

在该图中，副控制部18b内装微机18ba，马达控制器18bb，Z轴驱动器18bi，进行由测距仪16获得的高度数据的输入、与主控制部18a的信号传送的外部接口18bd。另外，在微机18ba具有图中未表示的主运算部，存储用于进行后述的涂敷描绘时的喷嘴15的高度控制的处理程序的ROM，存储主运算部的处理结果、来自外部接口18bd及马达控制器18bb的输入数据的RAM，及与外部接口18bd、马达控制器18bb进行数据交换的输入输出部等。在Z轴马达10(图2)内装检测旋转量的编码器，将其检测结果返回到Z轴驱动器18bi，进行Z轴马达10的位置控制。

根据以上的主控制部18a和副控制部18b的联合的控制，图2所示涂浆装置中的各马达根据从键盘18g输入、存储在微机18aa的RAM的数据进行移动、旋转，从而使保持在基板载置台5(图2)的基板17(图3)在X轴方向移动任意的距离，而且经由使喷嘴部上下移动的Z轴移动台10(图2)，由横梁2a、2b(图2)的涂敷头的Y轴方向移动机构3(图2)使受到了支承的喷嘴15(图3)在Y轴方向移动任意的距离，在其移动过程中，在浆料收容筒13(图3)继续施加设定的气压，从喷嘴15的前端部的排出口排出浆料，在基板17涂敷所期望的浆料图案。

在喷嘴15朝X轴方向进行水平移动过程中，测距仪16(图3)测量喷嘴15与基板17的间隔，使其时常维持为一定间隔地通过Z轴移动台10的上下移动控制喷嘴15。

图6为表示图2所示涂浆装置的整体动作的一具体例的流程图。

在该图中，如接通电源(步骤100)，则首先实施涂浆装置的初始设定(步骤101)。在该初始设定工序中，在图2中，驱动各轴移动用的马达及Z轴移动台10，从而使基板载置台5在X轴方向移动，定位在规定的基准位置，另外，使其浆料排出口处于开始浆料涂敷的位置(即浆料涂敷开始点)地将喷嘴15(图3)设定在规定的原点位置，同时，进一步设定浆料图案数据、基板位置数据、浆料排出结束位置数据。

该数据的输入从键盘18g(图4)进行，输入的数据如上述那样存储在内装于微机18aa(图4)的RAM。

如该初始设定工序(步骤101)结束，则接下来将基板17搭载于基板吸附机构5(图2)使其受到保持(步骤102)。

接着，进行基板预备定位处理(步骤103)。在该处理中，从多个图像识别摄像机21中使用设定的图像识别摄像机对搭载于基板载置台5的基板17的定位用标记进行摄影，通过图像处理求出定位用标记的重心位置，检测在基板17的θ方向的倾斜，与其相应地控制各轴驱动器18af～18ah(图4)，驱动各轴伺服马达，使涂敷头在Y轴方向移动，修正该θ方向的倾斜。由以上步骤，结束基板预备定位处理(步骤103)。

然后，进行浆料图案描绘处理(步骤104)。在该处理中，首先，使各涂敷头部12(图2)的喷嘴15的排出口移动到基板17的涂敷开始位置，精密地对喷嘴位置进行定位。

然后，使各涂敷头部12的伺服马达及Z轴移动台10(图2)动作，将喷嘴15的高度设定为浆料图案描绘高度。

根据喷嘴的初始移动距离数据使喷嘴15下降与初始移动距离相当的量。在接下来的动作中，由各涂敷头部12的测距仪16(图3)测定基板17的表面高度，确认各涂敷头部12的喷嘴15的前端是否被设定为描绘浆料图案的高度，在未能设定为描绘高度的场合，使喷嘴15下降微小距离，反复进行上述基板17的表面测量和喷嘴15下降微小距离的动作，将喷嘴15的前端设定为浆料图案的涂敷描绘高度。

如以上的处理结束，则接下来根据存储在微机18aa(图4)的RAM的浆料图案数据和θ方向的倾斜的修正，在X轴方向驱动门形架2A、2B，在Y轴方向上驱动在这些门形架的涂敷头部12，这样，在各头部13中的喷嘴15的浆料排出口面对基板17的状态下，相应于该浆料图案数据，分别在X、Y轴方向移动喷嘴15和基板17，同时，在浆料收容筒13(图3)施加设定了的气压，开始从喷嘴15的浆料排出口排出浆料。

这样，开始浆料图案在基板17的涂敷。

然后，与此同时，如用图5在前面说明的那样，副控制部18b的微机18ba从各涂敷头部12的测距仪16输入喷嘴15的的浆料排出口与基板17的表面的间隔的实测数据，这样，测定基板17的表面的起伏，相应于该测定值控制Z轴驱动器18bi，驱动Z轴伺服马达11(图2)，从而将从基板17的表面离开的喷嘴15的设定高度维持为一定。这样，能够按所期望的涂敷量涂敷浆料图案。

如以上那样，进行浆料图案的描绘，但通过判断喷嘴15的浆料排出口是否处于基板17上的由上述浆料图案数据决定的描绘图案的终端，如不处于该终端，则再次返回到基板的表面起伏的测定处理，以下，反复进行上述涂敷描绘，在浆料图案形成到达描绘图案的终端之前继续进行。

然后，如到达该描绘图案终端，则驱动Z轴伺服马达11，使喷嘴15上升，该浆料图案描绘工序(步骤104)结束。

然后，前进到基板排出处置(步骤105)，解除基板保持机构2(图2)对基板17的保持，排出到装置外。

然后，判定是否停止以上的整个工序(步骤106)，在按相同图案在多片基板形成浆料膜的场合(步骤106的“否”)，从基板搭载处理(步骤102)反复进行，如对全部基板结束了这一连串的处理(步骤106的“是”)，则作业全部结束(步骤107)。

图7为作为图2的F部表示的门形架2(门形架2A、2B的总称)和支承台1的安装部的一具体例的立体图，符号22为连接螺栓，对与上述附图对应的部分标注同一符号，省略重复的说明。

在该图中，在门形架2的横梁侧支承构件7a的前端固定支承台侧支承构件8a，在X轴方向移动机构6的上面载置该支承台侧支承构件8a，该X轴方向移动机构6在设于支承台1的轨4a上移动。然后，在这样将支承台侧支承构件8a载置在X轴方向移动机构6上的状态下，由连接螺栓22将支承台侧支承构件8a紧固在这些X轴方向移动机构6上加以固定。这样，各个门形架2能够固定在X轴方向移动机构6，能够沿X轴方向在支承台1上移动。

另外，当从支承台1分离门形架2时，将连接螺栓22拆除即可。

下面，说明图1所示本发明的台车式输送装置和输送及组装方法的一实施方式。输送台车40a和输送台车40b为相同结构，所以，说明一方的输送台车40a。

在该图中，外侧支脚43a通过在上部连接2根杆状构件，形成为下方张开的“匚”字形状，内侧支脚44a通过在中央连接2根杆状构件，形成为“H”字形状，外侧支脚43a与内侧支脚44a在中央附近用旋转铰链连接左右，能够旋转地安装。外侧支脚43a的下侧端按能够在铅垂面方向旋转的状态固定在底板45a，外侧支脚43a的上侧端安装有滚轮，该滚轮在顶板46a的背面滚动地抵接。另一方面，在内侧支脚44a的下侧端安装有滚轮，该滚轮在底板45a上滚动地抵接。内侧支脚44a的上侧端按能够在铅垂面方向旋转的状态固定在顶板46a的背面。

输送台车用伺服马达单元42a在轴前端安装小齿轮，与支承在导向件的齿条啮合，从而进行直线状即伸缩动作。

在内侧支脚44a的中央附近的横向的杆，以能够在铅垂面方向旋转的状态固定输送台车用伺服马达单元42a。输送台车用伺服马达单元42a的另一端以能够在铅垂方向旋转的状态固定在底板45a。这样，相应于输送台车用伺服马达单元42a的伸缩动作，外侧支脚43a与内侧支脚44a一边利用滚轮滚动一边利用旋转铰链部相互改变角度地倾斜，从而顶板46a上下移动。

该输送台车用伺服马达单元42a从马达控制器18ab通过台车马达驱动器50a进行控制驱动。在这里，输送台车40a的输送台车用伺服马达单元42a和输送台车40b的输送台车用伺服马达单元42b这2个系统分别连接到台车马达驱动器50a、50b，由共用的1台马达控制器18ab同时起动及停止以及等速驱动地控制。

动作特性曲线如图8所示那样为梯形驱动，通过平稳地加速、减速进行起动、停止，能够在相同位置停止。

在成为在输送台车40a、40b长时间装载门形架的状态的场合，如使其高度处于最低位置，则重心变低，所以，其装载状态安全。另外，如输送台车用伺服马达单元42a、42b的马达采用带有电磁制动的方式，在切断电源时施加制动，则更为理想。

下面说明利用图1所示台车式输送装置的门形架2向支承台1的安装、从支承台1的分解作业。

图9为表示使用本实施方式的台车输送装置在支承台1安装门形架2的作业的顺序的一具体例的流程图。在这里，说明门形架2B。

在该图中，使主体装置即涂浆装置停止后(步骤200)，由安装在输送台车40a、40b的输送台车用伺服马达使其原点复位，使2台输送台车40a、40b的台座的顶板46a、46b的高度在规定的高度且相同(步骤201)，确认正常地定位在停止高度位置(步骤202)。原点复位动作步骤201为在以门形架2B未搭载于输送台车40a、40b的状态开始的场合实施的步骤，能够选择地进行。此时，如另行用测量仪测量台座的高度，则更为理想。

然后，由起重机等手段，将门形架2B下降到输送台车40a、40b的台座的顶板46a、46b上，将该门形架2B的两端装载在门形架固定构件41a、41b加以固定(步骤203)。虽然图中未表示，但门形架固定构件41a、41b在台座的顶板46a、46b的固定用的专用螺栓在与在支承台的连接部位不同的位置连接。

此后，在包含横梁2a的门形架2B的两侧分别装载在输送台车40a、40b的状态下，使输送台车40a、40b移动，从而将门形架2B移动到支承台1上的其连接部的上部(步骤204)。然后，由伴随着输送台车用伺服马达单元42a、42b的旋转而伸缩的升降移动机构，使门形架2B下降直到支承台1侧的接触面(步骤205)，连接(搭载)在连接部(即图7的X轴方向移动机构6)(步骤206)，如图7说明的那样，由连接螺栓22(图7)连接(步骤207)。这样，门形架2B固定在X轴方向移动机构6，从而安装在支承台1。

在由连接螺栓22连接后，从支承台1移走输送台车40a、40b(步骤208)，连接门形架2B侧与支承台1侧的配线及配管(步骤209)。

之后，原本在支承台1安装了2台以上的门形架，此时，如另外存在必须安装于支承台1的门形架(例如门形架2A：步骤210的“是”)，则对于该门形架反复进行从步骤110到步骤150的顺序。如另外没有应安装的门形架(步骤210的“否”)，则结束安装(步骤211)。

图10为表示使用本实施方式的台车输送装置从支承台1拆卸门形架2的作业的顺序的一具体例的流程图。该作业顺序基本上为图9中的安装作业相反的顺序。在这里也对门形架2B进行说明。

在该图中，设置了主体装置即涂浆装置的支承台1后(步骤300)，使输送台车40a、40b的输送台车用伺服马达单元42a、42b原点复位，使2台输送台车40a、40b的台座的顶板46a、46b的高度为规定高度且相同(步骤301)，确认被正常地定位在规定的停止高度位置(步骤302)。该台座的高度最好另行用测量仪测量。

拆下门形架2B侧和支承台1侧的配线及配管的连接(步骤303)，将输送台车40a、40b送入到支承台1附近，使其接触门形架2B与支承台1的连接部(步骤304)。然后，拆下连接门形架2B与支承台1的连接螺栓22(图7)(步骤305)，将门形架2B从支承台1分开、固定在输送台车40a、40b(步骤306)，使用由输送台车用伺服马达单元42a、42b的旋转产生的伸缩的升降移动机构，从支承台1提升门形架2B(步骤307)。

此后，在用输送台车40a、40b分别装载了门形架2B的横梁2b的两侧的状态下，与支承台1分离，输送到支承台1的外面位置而将其取出(步骤308)。然后，拆下固定在座面的螺栓，用起重机等手段解除固定在输送台车的台座的顶板46a、46b上的、处于两端的门形架固定构件41a、41b的螺栓连接，逐个拆卸门形架2B(步骤309)。在这里，也可不追加设置多余的起吊装置地进行组装、拆卸及输送，在该场合，也可在输送台车40a、40b上安装了门形架2B的状态下进行输送、保管，在该场合，不需要步骤309。

原本在支承台1上安装2台以上的门形架，此时，如另外存在要拆卸的门形架2(例如门形架2A：步骤310的“是”)，则反复进行从步骤301到步骤310的顺序。如另外不存在必须拆卸的门形架(步骤310的“否”)，则结束安装作业(步骤312)。

如以上那样，在本发明中，形成为这样的结构，即，能够在搭载基板的台(基板载置台5)的外侧或下侧位置，使用输送台车40a、40b维持门形架2的水平姿势不变地分离和组装横梁侧支承构件7a、7b和支承台侧支承构件8a、8b，该横梁侧支承构件7a、7b与对设置了涂敷喷嘴的横梁的移动机构侧进行支承的门形架部分相连，该支承台侧支承构件8a、8b与固定设置在支承台1的、对门形架2的移动机构进行支承的部分相连。由于采用该结构，能够不降低精度地使分解后的装置的最大尺寸狭小化。处理对象即使为超过2(m)的大型基样玻璃基板用途，也能够将装置的最大尺寸抑制在3(m)左右以内的宽度，进而还能够解决利用一般公路运输装置时的问题。当安装时，能够简便地再现与分解前相同的状态。这样，有利于提高制造物(液晶面板)的质量。

Claims (8)

1.一种台车式输送装置，用于输送涂浆装置的门形架，该涂浆装置中，上述该门形架能够移动地设置有从喷嘴排出口排出浆料的涂敷头，该门形架设置在支承台上，基板载置在设于该支承台上的基板载置台，该门形架相对于该基板移动，从该喷嘴排出口将浆料排出到该基板上；其特征在于：该台车式输送装置由支承该门形架的各个端部的2台输送台车构成，

该输送台车具有能够改变支承的门形架的端部高度的上下移动装置。

2.根据权利要求1所述的台车式输送装置，其特征在于：上述门形架的两端的支承通过用螺栓将上述门形架的两端连接在上述输送台车上的安装面而实现。

3.根据权利要求1所述的台车式输送装置，其特征在于：上述上下移动装置由电动机驱动。

4.根据权利要求3所述的台车式输送装置，其特征在于：由上述电动机驱动的上述各个输送台车的上述上下移动装置在改变高度时大体同时地开始上下动作，而且，按大体相同速度联动地动作。

5.一种由输送台车实现的门形架的输送及组装方法，该输送台车用于输送涂浆装置的该门形架，该涂浆装置中，上述门形架能够移动地设置有从喷嘴排出口排出浆料的涂敷头，该门形架设置在支承台上，基板载置在设于该支承台上的基板载置台，该门形架相对于该基板移动，从该喷嘴排出口将浆料排出到该基板上；其特征在于：该输送台车将2台作为一组，由该输送台车支承该门形架的各个端部，在该各个输送台车，由上下移动装置改变受到支承的门形架的两端的高度。

6.根据权利要求5所述的输送及组装方法，其特征在于：上述门形架的两端的支承通过用螺栓将上述门形架的两端连接在上述输送台车上的安装面而实现。

7.根据权利要求5所述的输送及组装方法，其特征在于：上述上下移动装置由电动机驱动。

8.根据权利要求7所述的输送及组装方法，其特征在于：由上述电动机驱动的上述各个输送台车的上述上下移动装置在改变高度时大体同时地开始上下动作，而且，按大体相同速度联动地动作。

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