CN101875535B - 涂浆装置及涂浆方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供涂浆装置及涂浆方法。在装置的运输时,能够将装置小型化,能够顺利地进行装置的运输。在支承台(1)的上面设有载置基板的基板保持机构(8),在其两侧设置X轴方向移动机构(6a、6b),分别设置沿其磁铁板(7)和导轨(7a、7b)移动的作为支承台侧支承构件(5a、5b)的滑动件(30a、30b)。另外,在门形架(2b)的横梁(3b)的各个前端部,设置横梁侧支承构件(4a、4b),这些前端部的L形配件(31a、31b)分别设置在滑动件(30a、30b)的上面、由连接螺栓固定,这样,门形架(2b)能够移动地安装在支承台(1)。另外,通过拆下该连接螺栓,能够从支承台(1)分离门形架(2b)。另一方的门形架(2a)也同样。

Description

涂浆装置及涂浆方法
技术领域
本发明涉及在平面面板的制造过程中用于在基板上涂浆或滴下液晶的涂浆装置及涂浆方法。 
背景技术
作为以往的涂浆装置,提出有这样的涂浆装置,即,在支承台设有保持着被描绘浆料图案的基板的基板保持机构,另外,在支承台上设有能够在Y轴方向移动多个涂敷头的2个涂敷头支承机构,固定这些涂敷头支承机构中的一方,在支承台上使另一方在X轴方向移动,在这些涂敷头部朝Y轴方向移动和涂敷头支承机构朝X轴方向移动的同时,由涂敷头部在基板上涂敷浆料,这样,在基板上描绘规定的浆料图案(例如参照专利文献1)。 
[专利文献1]日本专利第3793727号公报 
发明内容
在LCD(液晶显示装置)等平面面板的领域中,用于形成该面板的玻璃基板的尺寸的大型化急速发展,随之,用于制作该面板的涂浆装置也大型化,对于对搭载玻璃基板的台进行驱动、使涂敷头部的喷嘴上下移动来描绘浆料图案的方式来说,已难以实现省空间化。 
因此,记载于上述专利文献1的涂浆装置采用这样的方式,即,将能够在X轴方向移动的涂敷头支承机构形成为跨过基板的结构的门形架(门形构架)的结构,使该门形架的一方能够在X轴方向移动,同时,在该门形架的横梁使多个涂敷头部能够在Y轴方向移动,一边改变涂敷头部与基板的相对位置关系,一边从涂敷头部的喷嘴将浆料涂敷在基板上,从而在基板上描绘浆料图案,这样,实现装置的小型 化。 
然而,随着玻璃基板的大型化,如在继续采用该方式的情况下使涂浆装置大型化,则超过输送该涂浆装置的输送车辆的宽度限度,产生运输困难这样的问题。 
本发明的目的在于解决上述问题,提供一种在运输装置时能够使装置小型化、顺利地进行装置的运输的涂浆装置及涂浆方法。 
本发明的另一目的在于提供一种在工作时也实施防尘对策,并且不降低涂敷精度,能够减小设置空间的涂浆装置及涂浆方法。 
为了达到上述目的,本发明的涂浆装置在支承台上设置门形架,在该门形架能够移动地设置从喷嘴排出口排出浆料的涂敷头,在设置于支承台上的基板载置台上载置基板,门形架相对于该基板移动,从喷嘴排出口将浆料排出在基板上;其中:在支承台上的基板载置台的外侧设置门形架的移动机构,在移动机构设置了能够装拆地安装门形架的门形架安装装置。 
另外,本发明的涂浆装置在支承台上设置门形架,在该门形架能够移动地设置从喷嘴排出口排出浆料的涂敷头,在设置于支承台上的基板载置台上载置基板,门形架相对于该基板移动,从喷嘴排出口将浆料排出在基板上;其中:在支承台上的比基板载置台处于更下侧的位置设置门形架的移动机构,在移动机构设置了能够装拆地安装门形架的门形架安装装置。 
另外,在本发明的涂浆装置中,门形架安装装置设置在比基板载置台更低的位置。 
为了达到上述目的,在本发明的涂浆方法中,涂浆装置在支承台上设置门形架,在该门形架能够移动地设置从喷嘴排出口排出浆料的涂敷头,在设置于支承台上的基板载置台上载置基板,门形架相对于该基板移动,从喷嘴排出口将浆料排出在基板上;其中:在支承台上的基板载置台的外侧设置门形架的移动机构,使门形架移动,在移动机构能够将门形架从移动机构拆卸或将门形架安装到移动机构。 
另外,在本发明的涂浆方法中,涂浆装置在支承台上设置门形架, 在该门形架能够移动地设置从喷嘴排出口排出浆料的涂敷头,在设置于支承台上的基板载置台上载置基板,门形架相对于该基板移动,从喷嘴排出口将浆料排出在基板上;其中:在支承台上的比基板载置台处于更下侧的位置设置门形架的移动机构,使门形架移动,在移动机构能够将门形架从移动机构拆卸或将门形架安装到移动机构。 
另外,在本发明的涂浆方法中,门形架的移动机构设置在比基板载置台更低的位置。 
按照本发明,能够处理大型的基板,而且,在运输时,能够由简单的分解作业使之小型化到不超过输送车的限制宽度的程度,能够没有障碍地进行其运输。 
另外,不降低设置装置之际的装置组装所要求的装置各部分的精度,运输装置之际的装置分解、组装、调整等作业也变少,装置向交货目的地的运送、交货变得容易。 
另外,由于支承门形架使其移动的移动机构比设置的基板处于更下方,所以,由该移动机构的滑动产生的灰尘等不会影响到基板。 
从以上情况可以得知,按照本发明,能够确保装置的输送的顺利化、安全化,能够在工作时进行高质量的浆料的涂敷、液晶的滴下。 
附图说明
图1为表示本发明的涂浆装置及方法的第1实施方式的立体图。 
图2为表示图1的涂敷头部的一具体例的立体图。 
图3为表示图1所示第1实施方式的主控制系统的一具体例的框图。 
图4为表示图1所示第1实施方式的副控制系统的一具体例的框图。 
图5为表示图1所示第1实施方式的整体动作的一具体例的流程图。 
图6为表示从支承台拆下了图1所示涂浆装置的门形架的状态的一具体例的立体图。 
图7为放大地表示图6中的“F部”即门形架与支承台的连接机构的立体图。 
图8为表示用于从图6所示状态成为图1所示状态的作业的流程的一具体例的流程图。 
图9为表示用于从图1所示状态成为图6所示状态的作业的流程的一具体例的流程图。 
图10为表示从基座拆下了图1所示涂浆装置的门形架的状态的另一具体例的立体图。 
图11为放大地表示图10中的门形架与支承台的连接机构的立体图。 
图12为从大体X轴方向观看本发明的涂浆装置及方法的第2实施方式的立体图。 
具体实施方式
本发明为具有由横梁构成的门形构架(门形架)的构成,该门形构架具有涂敷头的Y轴方向移动机构,该涂敷头的Y轴方向移动机构对具有喷嘴的1个或多个涂敷头部进行直动导向。 
随着由玻璃基板逐年大型化而导致的涂浆装置大型化,在将组装、调整了的装置就这样从制造地向安装地等进行陆上运输时,由道路、输送车辆的宽度等的限制产生障碍。另外,由于门形架在比玻璃基板更处于上侧的位置移动的结构较多,所以,随着该移动,由门形架的支承部的滑动产生的灰尘落下到玻璃基板的表面,存在使成为产品的涂敷了浆料或滴下了液晶的玻璃基板的质量劣化的问题。 
因此,本发明形成为能够在门形架的支承部和其移动机构的连接部将门形架与支承台分开的结构,这样,在涂浆装置的陆上运输之际,从支承台将门形架分开后对其进行运输,在安装地,将门形架组合在支承台,形成为能够简化组装作业地使用的状态。 
另外,与在支承台上的门形架的移动相关的滑动部在支承台的边部配置在比载置玻璃基板的台更处于下侧的位置,这样,在抑制了装 置的设置面积增加的同时,使得在向下流动的空调环境下发生于门形架的滑动部的灰尘难以落下到成为产品的玻璃基板。 
下面,根据附图说明本发明的实施方式。 
图1为在大体X轴方向观看本发明的涂浆装置及方法的第1实施方式的立体图,符号1为支承台,符号1a、1b为支承台侧面,符号2a、2b为门形架(门形构架),符号3a、3b为横梁,符号4a、4b为横梁侧支承构件,符号5a、5b为支承台侧支承构件,符号6a、6b为X轴方向移动机构,符号7为磁铁板,符号8为基板保持机构,符号9为涂敷头设置面,符号10为涂敷头部,符号11为包含线性轨的Y轴方向移动机构,符号12为Z轴伺服马达,符号13为Z轴移动台支承托架,符号14为Z轴移动台。 
在图1中,为了避免该附图变得烦杂,仅在图上出现的部分标注符号,此外的部分省略符号。另外,该第1实施方式涉及在基板面上描绘浆料图案(密封材料图案)的涂浆装置及方法,当然也能够适用于使液晶滴下到基板上的滴下装置。 
在图1中,在支承台1上设有基板保持机构8,输送来的图中未表示的玻璃基板搭载于该基板保持机构8。该基板保持机构8能够使搭载的基板在X、Y轴方向移动或转动(θ轴方向的移动),这样,基板的位置、姿势受到微调。 
在支承台1上的该基板保持机构8的两侧的下侧,沿支承台1的两侧的边部设置X轴方向移动机构6a、6b,支承台1的该两侧的边部沿着X轴方向。这些X轴方向移动机构6a、6b分别在这里例如形成线性马达,其磁铁板7沿X轴方向设置。在这些X轴方向移动机构6a、6b上载置、支承了2个门形架2a、2b,它们由这些X轴方向移动机构6a、6b能够在X轴方向移动。相对于使用的最大宽度的基板,为了尽可能地减小支承台1的Y轴方向的宽度(以下称横向宽度)、尽可能地小型化,使分别设置在该横向宽度方向的相向的边的磁铁板7接近支承台1的X轴方向的侧面(即支承台侧面)1a、1b地设置。 
在这里,说明图上的前面侧的门形架2b。该门形架2b由在与X 轴方向垂直的Y轴方向长的横梁3b和设于该横梁3b的两端部并支承该横梁3b的支脚状的2个横梁侧支承构件4a、4b构成,这些横梁侧支承构件4a、4b分别安装在能够移动地设于X轴方向移动机构6a、6b的支承台侧支承构件(滑动件)5a、5b。 
门形架2b的横梁3b比支承台1的Y轴方向的宽度长,因此,横梁3b的两端部从支承台1的平行于X轴的两侧的侧面即支承台侧面1a、1b突出,因此,设于该横梁3b的两端部的下面的横梁侧支承构件4a、4b也分别从支承台1的该两侧的支承台侧面1a、1b突出。这样,门形架2b形成为横梁3b用横梁侧支承构件4a、4b和支承台侧支承构件5a、5b将基板保持机构8抱入那样的形状。 
另一方的门形架2a也构成与门形架2b的以上构成同样的结构。 
在门形架2a、2b的横梁3a、3b的相互面对的涂敷头设置面9上分别设置多个涂敷头部10。在图1中,相向侧的门形架2a的涂敷头设置面9朝正面侧地表示,所以,以下关于门形架2a说明其涂敷头设置面9。 
在门形架2a的涂敷头设置面9,沿其面的纵向(即Y轴方向)设置Y轴方向移动机构11,在该Y轴方向移动机构11安装有多个涂敷头部10(在这里,仅对1个涂敷头部10标注符号)。在这些涂敷头部10分别设有Y轴方向移动机构11的线性马达,该线性马达使这些涂敷头部10沿Y轴方向移动机构11在Y轴方向移动。在以下的说明中,该X轴方向移动机构也作为Y轴方向移动机构11说明。 
在各个涂敷头部10的基座,在其背面侧(涂敷头设置面9侧)如上述那样设置作为Y轴方向移动机构11的线性马达,在其表面侧设置了具有Z轴伺服马达12的Z轴移动台支承托架13,设有由该Z轴伺服马达12使涂敷头部10上下移动的Z轴移动台14。在该Z轴移动台14,如后述那样,安装有设置了浆料收容筒(注射器)、喷嘴的喷嘴支承件、测距仪、具有照明光源的镜筒和图像识别摄像机等。 
以上的构成对前面侧的门形架2b的涂敷头设置面也同样。另外, 按照该构成,由Y轴方向移动机构11沿Y轴方向在载置于基板保持机构8的基板上驱动各涂敷头部10,另外,由X轴方向移动机构6a、6b沿X轴方向驱动门形架2a、2b,这样,各涂敷头部10同样在X轴方向受到驱动,在该基板上同时描绘多个同一形状的浆料图案。 
图2为放大地表示图1的涂敷头部10的一具体例的要部的立体图,符号15为浆料收容筒,符号16为喷嘴支承件,符号17为喷嘴,符号18为测距仪,符号19为基板。 
在该图中,设置了浆料收容筒15、喷嘴17的喷嘴支承件16及测距仪18设在Z轴移动台14(图1)。 
测距仪18按非接触式的三角测距法测量从喷嘴17的前端部到搭载于基板保持机构8(图1)的基板19的表面(上面)的距离。即,在测距仪18的箱体内设置发光元件,从该发光元件放射的激光在基板19上的测量点S反射,相应于同样设置在箱体内的受光元件的受光位置进行测量。另外,在基板19上的激光的测量点S和喷嘴17的正下位置,在基板19上偏移微小的距离ΔX及ΔY,但该微小距离程度的偏移处在基板19的表面凹凸差为能够忽视的范围,所以,在测距仪18的测量结果与从喷嘴17的前端部到基板19的表面(上面)的距离间基本上不存在差。因此,根据该测距仪18的测量结果控制Z轴移动台14,从而能够相应于基板19的表面凹凸(起伏)将从喷嘴17的前端部到基板19的表面(上面)的距离(间隔)维持一定。 
这样,将从喷嘴17的前端部到基板19的表面(上面)的距离(间隔)维持一定,而且,将从喷嘴17排出的单位时间的浆料量维持一定,从而使涂敷描绘在基板19上的浆料图案的宽度、厚度变得一样。 
虽然未在图中表示,但实际上具有能够照明的光源的镜筒和图像识别摄像机除了用于各涂敷喷嘴17的平行调整、间隔调整外,还为了基板19的对位、浆料图案的形状识别等,与基板相向地设置。 
返回到图1,在该实施方式中,具有控制以上各部的控制部。即,在支承台1的内部,设置对驱动各机构的线性马达和使台移动的伺服马达进行控制的主控制部。在该主控制部,通过电缆连接副控制部。 副控制部对驱动Z轴移动台14的Z轴伺服马达12进行控制。 
图3为表示该主控制部的构成和其控制的一具体例的框图,符号20a为主控制部,符号20aa为微机,符号20ab为马达控制器,符号20ac为图像处理装置,符号20ad为外部接口,符号20ae为数据通信总线,符号20b为副控制部,符号21为USB(通用串行总线)存储器,符号22为硬盘,符号23为监视器,符号24为键盘,符号25为调节器,符号26为阀单元,符号27a为涂敷头部移动用Y轴线性马达用驱动器,符号27b为门形架移动用X轴线性马达用驱动器,符号27c为台旋转用θ轴马达用驱动器,符号28为图像识别摄像机,符号29为通信电缆。 
在该图中,主控制部20a内装微机20aa、马达控制器20ab、图像处理装置20ac、及外部接口20ad,该马达控制器20ab控制对Y轴方向移动机构11进行驱动的涂敷头部移动用Y轴线性马达用驱动器(以下简称为Y轴驱动器)27a、对X轴方向移动机构6a、6b进行驱动的门形架移动用X轴线性马达用驱动器(以下简称为X轴驱动器)27b、在θ轴方向对搭载了基板的基板保持机构8(图1)进行驱动的台旋转用θ轴马达用驱动器(以下简称为θ轴驱动器)27c,该图像处理装置20ac对由图像识别摄像机28获得的图像信号进行处理,该外部接口20ad与副控制部20b、控制涂敷头部10的浆料涂敷动作的调节器25、阀单元26进行通信,这些微机20aa、马达控制器20ab、图像处理装置20ac、外部接口20ad通过数据通信总线20ae相互连接。在这里,副控制部20b通过通信电缆29连接在该外部接20ad。 
另外,在主控制部20a连接USB存储器21、作为外部存储装置的硬盘22、监视器23、键盘24等。从键盘24输入的数据等由监视器23显示,同时,存储保管在硬盘22、USB存储器21等存储介质。 
在微机20aa中,虽然未在图中表示,但实际上具有主运算部,存储用于进行后述的涂敷描绘的处理程序的ROM,存储在主运算部的处理结果、来自外部接20ad、马达控制器20ab的输入数据的RAM,与外部接口20ad、马达控制器20ab进行数据交换的输入输出部等。 
这些由Y轴驱动器27a驱动的作为各涂敷头部10的Y轴方向移动机构11的线性马达、由X轴驱动器27b驱动的作为门形架2a、2b的X轴方向移动机构6a、6b的线性马达设有用于检测各涂敷头部10、门形架2a、2b的位置检测用的直尺的编码器,将其检测结果分别供给到Y轴驱动器27a、X轴驱动器27b,进行涂敷头部10的X轴方向、Y轴方向的位置控制。另外,同样,在由θ轴驱动器27c驱动的基板保持机构8(图1)中内装检测该基板的旋转量的编码器,将其检测结果供给到θ轴驱动器27c,进行基板的朝向的控制。 
图4为表示图3的副控制部20b的一具体例的框图,符号20ba为微机,符号20bb为马达控制器,符号20bc为外部接口,符号20bd为数据通信总线,符号27d为Z轴马达用驱动器,在与上述附图对应的部分标注相同符号,省略重复的说明。 
在该图中,副控制部20b内装微机20ba、马达控制器20bb、进行由测距仪18获得的高度数据的输入、与主控制部20a的信号传送的外部接口20bc,它们通过数据通信总线20bd相互连接。另外,在微机20ba,虽然未在图中表示,但实际上具有主运算部,存储用于进行涂敷描绘时喷嘴17(图2)离开基板19的表面的高度控制的处理程序的ROM,存储主运算部的处理结果、来自外部接20bc及马达控制器20bb的输入数据的RAM,与外部接口20bc、马达控制器20bb进行数据交换的输入输出部等。由马达控制器20bb控制的Z轴马达用驱动器27d对各涂敷头部10设置,对其Z轴伺服马达12进行驱动,在这些Z轴伺服马达12内安装有检测其旋转量的编码器,其检测结果返回到Z轴马达用驱动器27d,进行喷嘴17的高度位置控制。 
根据主控制部20a和副控制部20b的联合的控制,各马达(线性马达、Z轴伺服马达、θ轴伺服马达)根据从键盘24(图3)输入、存储在微机20aa的RAM的数据进行移动、旋转,使保持于基板保持机构8(图1)的基板19(图2)在X轴方向移动任意的距离,而且,通过上下移动喷嘴17(图2)的Z轴移动台14,由设于横梁2a、2b的涂敷头部10的Y轴方向移动机构11使受到支承的喷嘴17在Y轴 方向移动任意的距离,在其移动过程中,在浆料收容筒15继续地加施加设定的气压,从喷嘴17的前端部的排出口排出浆料,在基板19描绘所期望的浆料图案。 
在喷嘴17朝Y轴方向水平移动的过程中,测距仪18测量喷嘴17与基板19的表面间的间隔,将其时常维持为一定间隔地通过Z轴移动台14的上下移动来控制喷嘴17。 
图5为表示图1所示实施方式的整体动作的流程图。 
在该图中,如在图1所示涂浆装置接通电源(步骤S100),则首先实施装置的初始设定(步骤S101)。在该初始设定工序中,在图1中,驱动Y轴方向移动机构11、X轴方向移动机构6a、6b的线性马达、Z轴移动台14,从而使基板保持机构8在Y轴方向移动,定位在规定的基准位置,另外,使其浆料排出口处于开始浆料涂敷的位置(即浆料涂敷开始点)地将喷嘴17(图2)的位置设定在规定的原点位置,同时,进一步设定浆料图案数据、基板位置数据、浆料排出结束位置数据。 
该数据的输入从键盘24(图3)进行,输入的数据如上述那样存储在内装于微机20aa(图3)的RAM。 
如该初始设定工序(步骤S101)结束,则接下来将基板19搭载于基板保持机构8(图1)使其受到保持(步骤S102)。 
接着,进行基板预备定位处理(步骤S103)。在该处理中,由图像识别摄像机对搭载于基板保持机构8的基板19的定位用标记进行摄影,通过图像处理从该图像信号求出定位用标记的重心位置,检测基板19在θ轴方向的倾斜,与其相应地驱动Y轴驱动器27a、X轴驱动器27b、θ轴驱动器27c(图3),使涂敷头部10在X、Y轴方向移动,另外,修正θ轴方向的倾斜。由以上步骤,结束基板预备定位处理(步骤S103)。 
然后,进行浆料图案描绘处理(步骤S104)。在该处理中,首先,使喷嘴17的排出口移动到基板19的涂敷开始位置,精密地对喷嘴位置进行定位。然后,使Z轴驱动器27d(图4)动作,将各喷嘴17的 高度设定为浆料图案描绘高度。根据喷嘴的初始移动距离数据使各喷嘴17下降与初始移动距离相当的量。在接下来的动作中,由测距仪18测定基板19的表面高度,确认喷嘴17的前端是否被设定为描绘浆料图案的高度,在未能设定为描绘高度的场合,使喷嘴17下降微小距离,反复进行上述基板19的表面测量和喷嘴17下降微小距离的动作,将喷嘴17的前端设定为浆料图案的涂敷描绘高度。 
如以上的处理结束,则接下来根据存储在微机20aa(图3)的RAM的浆料图案数据和θ轴方向的倾斜的修正,驱动Y轴方向移动机构11、X轴方向移动机构6a、6b的线性马达,这样,在喷嘴17的浆料排出口面对基板19的状态下,相应于该浆料图案数据,分别在X、Y轴方向相对于基板19移动喷嘴17,同时,在各浆料收容筒15(图2)按设定了的压力施加气压,开始从喷嘴17的浆料排出口排出浆料。这样,开始浆料图案在基板19的涂敷。 
然后,与此同时,如前面说明的那样,副控制部20b的微机20ba从测距仪18获取喷嘴17的浆料排出口与基板19的表面之间的间隔的实测数据,测定基板19的表面的起伏,相应于该测定值驱动各个Z轴伺服马达12,从而将从基板19的表面离开的喷嘴17的设定高度维持为一定。这样,能够按所期望的涂敷量涂敷浆料图案。 
如以上那样,进行浆料图案的描绘,对喷嘴17的浆料排出口是否处于基板19上的由上述浆料图案数据决定的描绘图案的终端进行判断,如不处于该终端,则再次返回到基板表面起伏的测定处理,以下,反复进行上述涂敷描绘,在形成的浆料图案到达该描绘图案的终端之前继续进行。 
然后,如到达该描绘图案终端,则驱动Z轴伺服马达12,使喷嘴17上升,该浆料图案描绘工序(步骤S104)结束。 
然后,前进到基板排出处置(步骤S105),从图1所示的基板保持机构8解除基板19,排出到装置外。 
然后,判定是否以上的整个工序相对于成为对象的所有基板19进行完毕(步骤S106),在将相同浆料图案形成在多片基板的场合, 从基板搭载处理(步骤S102)反复进行,如对全部基板结束了这一连串的处理,则作业全部结束(步骤S107)。返回到图1,设于门形架2a、2b的涂敷头设置面9的Y轴方向移动机构11超过多个涂敷头部10在基板上描绘浆料图案所需的范围在Y轴方向延伸。这样,涂敷头部10能够移动到从基板上脱离的位置。在这样的从基板脱离了的场所进行各涂敷头部10的维修、安装、拆卸等作业。 
因此,各门形架2a、2b的横梁3a、3b变得比支承台1的横向宽度长,它们的两端部从支承台1的支承台侧面1a、1b突出。另外,为了更稳定地支承该长度的横梁2a、2b,横梁侧支承构件4a、4b设在横梁2a、2b的前端部,分别安装在支承台侧支承构件5a、5b。这样,特别是横梁侧支承构件4a、4b也从支承台1的支承台侧面1a、1b突出。 
可是,例如,随着液晶面板的大型化,用于浆料图案的描绘的基板也大面积化,为了提高这样的面板的制造效率,同时在一片基板描绘多个浆料图案,因此,使用该基板的涂浆装置大型化,其支承台也大型化,但如支承台过于大型化,其横向宽度变得过大,则在例如运送涂浆装置时,导致不能搭载于搬运车辆等问题。为此,对支承台1的横向宽度施加了限制。 
然而,即使这样在支承台的横向宽度施加限制、由此能够将支承台搭载在搬运车辆上,即使为了能够使用大面积的基板而使支承台的横向宽度为能够使用该基板的最大程度限制的横向宽度,也如图1所示那样,门形架2a、2b的横梁3a、3b的两侧的前端部、横梁侧支承构件4a、4b从支承台1的支承台侧面1a、1b突出,超过支承台1的横向宽度的限制值,产生同样的问题。 
在该实施方式中,为了消除该问题,形成为支承台侧支承构件5a、5b和横梁侧支承构件4a、4b由连接螺栓结合的构成,通过拆卸该连接螺栓,支承台侧支承构件5a、5b和横梁侧支承构件4a、4b能够分离,能够从支承台1拆下门形架2b。另一方的门形架2a也为同样的构成。 
图6为表示从支承台1拆下了图1所示涂浆装置的门形架2a、2b的状态的一具体例的立体图,符号7a、7b为直动导向件,符号30a、30b为滑动件,符号31a、31b为L形配件,与图1对应的部分标注相同符号,省略重复的说明。 
在该图中,X轴方向移动机构6a包括相互平行地设置的磁铁板7和直动导向件7a,以及配置在这些磁铁板7和直动导向件7a上、能够沿这些磁铁板7和直动导向件7a移动的滑动件30a,由磁铁板7和设于滑动件30a的图中未表示的部件形成线性马达。另外,X轴方向移动机构6b也包括相互平行地设置的磁铁板7和直动导向件7b,以及配置在这些磁铁板7和直动导向件7b上、能够沿这些磁铁板7和直动导向件7b移动的滑动件30b,由磁铁板7和设于滑动件30b的图中未表示的部件形成线性马达。这些滑动件30a、30b相当于图1中的支承台侧支承构件5a、5b,其上面构成平坦面。 
另一方面,在设于门形架2b的横梁侧支承构件4a、4b,分别在其前端部一体地设置L形配件31a、31b,这些L形配件31a、31b的下面构成为平坦面。通过将这些L形配件31a、31b的下面固定在相应的滑动件30a、30b的上面,从而如图1所示那样,成为门形架2b安装在支承台侧支承构件5a、5b的状态,因此成为门形架2b安装在支承台1的状态,成为能够在基板涂敷浆料图案的状态。另外,如图5所示,解除L形配件31a、31b的下面和滑动件30a、30b的上面的固定,从而能够将门形架2b提升,从支承台1拆下。 
如上述那样,门形架2b的横梁3b的两端部、横梁侧支承构件4a、4b从支承台1的支承台侧面1a、1b突出,横梁侧支承构件4a、4b的两端面构成为相互面对的垂直面,在该垂直的端面安装L形配件31a、31b的垂直的安装面。为此,这些L形配件31a、31b从横梁侧支承构件4a、4b的前端部在水平方向相互面对地配置,这样,即使横梁侧支承构件4a、4b从支承台1的支承台侧面1a、1b突出,也能够分别同时地使L形配件31a的平坦的下面面对设于磁铁板7和直动导向件7a上的、支承台1上的滑动件30a的平坦的上面,使L形配件31b的平 坦的下面面对设于磁铁板7和直动导向件7b上的支承台1上的滑动件30b的平坦的上面。这样,能够如上述那样将门形架2b安装在滑动件30a、30b,或将其拆下。 
这样,滑动件30a、30b的上面部构成门形架2b的连接部。 
另一方的门形架2a也成为同样的构成。 
如以上那样,在该具体例中,使得能够从支承台1分离门形架2a、2b,但在该分解前的状态下,在从上面观看该涂浆装置的场合,如设作为门形架2a、2b的长度的装置短边的尺寸为A,则现在的大型基样玻璃基板的尺寸约为超过2m见方,在将其围住的门形架为一体的场合,装置的宽度A超过3.5m,扩大到4m左右。为此,在利用一般公路输送装置时,发生不能在输送车辆内部收容该装置的问题。作为其对策,通常讨论从支承台1将基板保持机构8也包含在内地分割装置的结构,在该场合,如拆卸或安装基板保持机构8,则此时装置的组装精度下降,另外,涂敷位置精度也劣化。 
然而,在该具体例的构成的场合,形成为仅限于门形架2a、2b能够分解的结构,这样,作为装置,能够小型化到支承台1的横向宽度的尺寸B。另外,作为门形架2a、2b,可以为更小的短边的宽度C,所以,分解后的装置的最大尺寸能够为B,即使用于超大型的基样玻璃基板,也能够抑制为超过3m一些的程度的宽度。结果,利用一般公路的装置输送也能没有问题地得到解决。 
图7为放大地表示图6中的“F”部即门形架2b与支承台1的连接机构的立体图,表示从支承台1拆下了门形架2b的状态,符号7b为导轨,符号30b 1为载置面,符号31b1为抵接面,符号31b2为上面,符号32、33为螺栓孔,符号34a、34b为肋,符号35为连接螺栓。在与上述图对应的部分标注相同符号,省略重复的说明。 
在该图中,设于支承台1(图6)侧的支承台侧支承构件5b由滑动件30b构成,该滑动件30b具有与磁铁板7一起构成X轴方向移动机构6b的线性马达,能够沿磁铁板7和平行于其设置的导轨7b移动。该滑动件30b的平坦的上面成为载置面30b1。该滑动件30b不从支承 台1的支承台侧面1b突出地设置。 
另一方面,门形架2b的横梁侧支承构件4b的前端部的L形配件31b的垂直部分一体化在横梁侧支承构件4b,其水平部分为结合在滑动件30b的载置面30b1的部分。为此,该L形配件31b的下面成为抵接在滑动件30b的载置面30b1的抵接面31b1,在其上面31b2设置用于加强该L形配件31b的肋34a,在该肋34a的两侧各设置多个(在这里为3个)贯通到抵接面31b1的螺栓孔32。相对于此,在滑动件30b的载置面30b1也在分别对应于L形配件31b的螺栓孔32的位置设有在内部切出螺纹的螺栓孔33。在横梁侧支承构件4b设有用于对其进行加强的肋34b。 
因此,将L形配件31b载置在滑动件30b的载置面30b1上,相对于滑动件30b对L形配件31b进行位置调整,从而能够使L形配件31b的螺栓孔32分别与滑动件30b上的相应的螺纹孔33一致,在该状态下从螺栓孔32分别插入连接螺栓35,从而能够将L形配件31b固定在滑动件30b,门形架2b的横梁侧支承构件4b安装在支承台侧支承构件5b。 
该构成对门形架2b的横梁侧支承构件4a及支承台侧支承构件5a也同样,通过分别安装这些横梁侧支承构件4a、4b和支承台侧支承构件5a、5b,能够移动地在支承台1安装门形架2b。另外,以上的情况对另一方的门形架2a也同样,同样,门形架2a也能够移动地安装在支承台1。 
因此,如图1所示那样,当处于门形架2a、2b安装在支承台1的状态时,通过从横梁侧支承构件4a、4b及支承台侧支承构件5a、5b将连接螺栓35拆下,在图7中,能够从滑动件30b分离L形配件31b,这样,能够从支承台1拆卸门形架2a、2b。 
图8为表示用于从图6所示状态成为图1所示状态的作业的流程的一具体例的流程图。以下以门形架2b为例进行说明,但对门形架2a也同样。 
在该图中,首先,将由提升用夹具提升了的门形架2b送入到支承 台1的连接部即滑动件30b的上方(步骤S200)。然后,使门形架2b下降,使横梁侧支承构件4b的前端部的L形配件31b的抵接面31b1抵接在滑动件30b的载置面30b1,成为L形配件31b载置在该载置面30b1的状态(步骤S201)。然后,使L形配件31b的螺栓孔32与滑动件30b的载置面30b1的螺栓孔33一致,将连接螺栓35从螺栓孔32插入并将其拧入,从而将L形配件31b固定在滑动件30b。这样,门形架2b固定在支承台1的支承台侧支承构件5b,门形架2b安装在支承台1(步骤S202)。 
此后,从门形架2b拆下提升用夹具(步骤S203),进行在门形架2b与支承台1的连接部的配线及配管的连接(步骤S204),一连串的组装作业结束。 
图9为表示用于从图1所示状态成为图6所示状态的作业的流程的一具体例的流程图。在以下说明中,以门形架2b为例进行说明,但对门形架2a也同样。 
在该图中,首先,拆下门形架2b与支承台1的连接部的配线及配管的连接(步骤S300),将提升用夹具安装在门形架2b(步骤S301)。然后,如在图7中说明的那样,从L形配件31b及滑动件30b拆下连接螺栓35(步骤S302),由提升用夹具将门形架2b提升(步骤S303),使其移动到别的场所(步骤S304)。这样,门形架2b从支承台1分离。 
如以上那样,能够由比较简单的作业将门形架2a、2b安装在支承台1或从支承台1将其拆下。 
图10为表示从支承台1拆下了图1所示涂浆装置的门形架2a、2b的状态的另一具体例的立体图,在与图6对应的部分标注同一符号,省略重复的说明。 
图6及图7所示具体例在水平面连接门形架2b的横梁侧支承构件4a、4b和支承台侧支承构件5a、5b,该具体例如图10所示那样,在垂直面对其进行连接。 
在图10中,横梁侧支承构件4a、4b的前端面构成垂直面,作为支承台侧支承构件5a、5b的滑动件30a、30b的抵接面也构成垂直面。 使横梁侧支承构件4a、4b的前端面抵接在滑动件30a、30b的抵接面,由连接螺栓对其进行连接,从而将门形架2b安装在支承台1。 
图11为放大地表示图10中的门形架2b与支承台1的连接机构的立体图,表示将门形架2b从支承台1分离的状态,符号31b3为顶面,符号36、37为抵接面,符号38为突出部,符号39为螺栓孔,在与图7对应的部分标注同一符号,省略重复的说明。 
在该图中,支承台侧支承构件5b成为在图7所示滑动件30b上一体地搭载图7所示L形配件31b的构成,该L形配件31b的垂直部的外面构成抵接面36。该抵接面36在支承台1的侧面1b按不从该处突出的程度靠近配置。 
另一方面,横梁侧支承构件4b的前端形成平坦的垂直面,该垂直面构成抵接面37,在该抵接面的上边设置台阶部,形成突出部38。然后,在该抵接面37设置多个贯通到其相反侧的面的螺栓孔39。 
使横梁侧支承构件4b的抵接面37抵接在支承台侧支承构件5b侧的L形配件31b的抵接面36,从而将横梁侧支承构件4b安装在支承台侧支承构件5b,在该状态下,横梁侧支承构件4b的前端的抵接面37与突出部38间的台阶部抵接在支承台侧支承构件5b侧的L形配件31b的顶面31b3,突出部38载置在该顶面31b3,这样,横梁侧支承构件4b的抵接面37相对于L形配件31b的抵接面36进行上下方向的定位。 
另外,在L形配件31b的抵接面36,虽然图中未表示,但实际上设有与横梁侧支承构件4b的抵接面37处的螺栓孔39分别对应的螺栓孔,在这些螺栓孔切有螺纹。 
因此,在L形配件31b的抵接面36,如上述那样,抵接横梁侧支承构件4b的抵接面37,以在该抵接面37处的螺栓孔39分别与设于L形配件31b的抵接面36的螺栓孔一致的方式调整横梁侧支承构件4b的抵接面37的位置,然后,从横梁侧支承构件4b侧通过抵接面37的螺栓孔39将连接螺栓插入到L形配件31b的抵接面36的螺栓孔、再拧入,从而将横梁侧支承构件4b的抵接面37固定在L形配件31b 的抵接面36,因而固定在支承台侧支承构件5b。然后,同样,横梁侧支承构件4a也固定在支承台侧支承构件5a,从而能够移动地将门形架2b安装在支承台1。 
按照该构成,拆下对横梁侧支承构件4a和支承台侧支承构件5a进行固定的连接螺栓,从而能够简单地从支承台1拆下门形架2b 。 
以上,为涉及门形架2b的内容,但对另一方的门形架2a也同样。 
该具体例也能够获得与图6、图7所示具体例同样的效果。 
图12为从大体X轴方向观看本发明的涂浆装置及方法的第2实施方式的立体图,符号40a、40b为X轴方向移动机构设置面,在与图1对应的部分标注同一符号,省略重复的说明。 
在图12中,与图1同样,该图为了避免烦杂,仅对出现在图上的部分标注符号,此外的部分省略符号。另外,该第2实施方式涉及在基板面上描绘浆料图案(密封材料图案)的涂浆装置及方法,但当然也能够适用于在基板上滴下液晶的滴下装置。 
在图12中,在支承台1的左右的侧面1a、1b侧,相对于这些侧面1a、1b设置凹下了台阶D的平坦的垂直面的X轴方向移动机构设置面40a、40b,在这些X轴方向移动机构设置面40a、40b设置X轴方向的X轴方向移动机构6a、6b。在这里,该台阶D按X轴方向移动机构6a、6b的支承台侧支承构件5a、5b(但是,支承台侧支承构件5b未图示)不从侧面1a、1b突出的程度设定。 
支承台侧支承构件5a例如与图7所示滑动件30b等同,其抵接面构成垂直面。另外,作为门形架2b的横梁侧支承构件4a的前端面的抵接面也构成垂直面,横梁侧支承构件4a的抵接面抵接在支承台侧支承构件5a的抵接面,用连接螺栓紧固,从而将门形架2b的横梁侧支承构件4a固定在支承台侧支承构件5a,门形架2b设置在支承台1。另外,通过拆卸该连接螺栓,将门形架2b从支承台1分离,能够将涂浆装置分离成门形架2b和支承台1。 
以上内容对于另一方的门形架2a也同样。 
另外,门形架2a、2b在支承台1的安装作业与前面图8所示作业 相同,门形架2a、2b从支承台1的拆卸作业也与前面图9所示作业同样。另外,该第2实施方式的在基板的涂浆动作也与图5所示第1实施方式同样。 
如以上那样,在该第2实施方式中,能够将门形架2a、2b从支承台1拆下或安装在支承台1,所以,能够获得与前面的第1实施方式同样的效果,但由于将用于使门形架2a、2b移动的X轴方向移动机构6a、6b设在支承台1的侧面1a、1b,所以,与图1所示第1实施方式相比,不需要用于设置在支承台1的上面的X轴方向移动机构6a、6b的空间,所以,能够使支承台1的横向宽度B2(图12)比在图6所示第1实施方式下的支承台1的横向宽度B1狭小,能够相应地使装置小型化。 

Claims (6)

1.一种涂浆装置,在支承台上设置门形架,从喷嘴排出口排出浆料的涂敷头设置于该门形架的竖直侧面,利用移动机构使该涂敷头在该门形架的长度方向移动,在设置于该支承台上的基板载置台上载置基板,该门形架相对于该基板移动,从该喷嘴排出口将浆料排出到基板上;其特征在于:
在该支承台上的基板载置台的外侧设置该门形架的移动机构,
在该门形架的移动机构设置了由连接螺栓固定该门形架的门形架安装装置,
该门形架形成为该门形架的两端部从该支承台的侧面突出的尺寸,涂敷头移动到离开该基板的上部的位置。
2.一种涂浆装置,在支承台上设置门形架,从喷嘴排出口排出浆料的涂敷头设置于该门形架的竖直侧面,利用移动机构使该涂敷头在该门形架的长度方向移动,在设置于该支承台上的基板载置台上载置基板,该门形架相对于该基板移动,从该喷嘴排出口将浆料排出到基板上;其特征在于:
在该支承台上的比该基板载置台处于更下侧的位置设置该门形架的移动机构,
在该门形架的移动机构设置了由连接螺栓固定该门形架的门形架安装装置,
该门形架形成为该门形架的两端部从该支承台的侧面突出的尺寸,涂敷头移动到离开该基板的上部的位置。
3.根据权利要求1所述的涂浆装置,其特征在于:上述门形架的移动机构和上述门形架安装装置设置在比上述基板载置台更低的位置。
4.一种涂浆方法,其特征在于:在支承台上设置门形架,从喷嘴排出口排出浆料的涂敷头设置于该门形架的竖直侧面,利用移动机构使该涂敷头在该门形架的长度方向移动,在设置于该支承台上的基板载置台上载置基板,该门形架相对于该基板移动,从该喷嘴排出口将浆料排出到基板上;
在该支承台上的基板载置台的外侧设置该门形架的移动机构,使该门形架移动,
在该门形架的移动机构包括门形架安装装置,该门形架安装装置由连接螺栓将该门形架从该门形架的移动机构拆卸或将该门形架安装到该门形架的移动机构,
该门形架形成为该门形架的两端部从该支承台的侧面突出的尺寸,涂敷头移动到离开该基板的上部的位置。
5.一种涂浆方法,其特征在于:在支承台上设置门形架,从喷嘴排出口排出浆料的涂敷头设置于该门形架的竖直侧面,利用移动机构使该涂敷头在该门形架的长度方向移动,在设置于该支承台上的基板载置台上载置基板,该门形架相对于该基板移动,从该喷嘴排出口将浆料排出到基板上;
在该支承台上的比该基板载置台处于更下侧的位置设置该门形架的移动机构,使该门形架移动,
在该门形架的移动机构,由连接螺栓将该门形架从该门形架的移动机构拆卸或将该门形架安装到该门形架的移动机构,
该门形架形成为该门形架的两端部从该支承台的侧面突出的尺寸,涂敷头移动到离开该基板的上部的位置。
6.根据权利要求4所述的涂浆方法,其特征在于:上述门形架的移动机构和上述门形架安装装置设置在比上述基板载置台更低的位置。
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Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102019207185A1 (de) * 2019-05-16 2020-11-19 Siemens Aktiengesellschaft Druckeinrichtung und Verfahren zum Bedrucken eines Gegenstands
CN112623700A (zh) * 2020-12-04 2021-04-09 深圳市韩安特科技有限公司 显示屏维修设备

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101274313A (zh) * 2007-03-29 2008-10-01 东丽工程株式会社 涂布装置及涂布方法
CN101326625A (zh) * 2006-03-06 2008-12-17 株式会社爱发科 台架装置

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05329728A (ja) * 1992-05-29 1993-12-14 Mitsubishi Heavy Ind Ltd 切削機械
JP2002200450A (ja) * 2000-12-28 2002-07-16 Chugai Ro Co Ltd 非接触移動式テーブルコータ
JP3793727B2 (ja) * 2002-02-04 2006-07-05 株式会社 日立インダストリイズ ペースト塗布機
JP2003229055A (ja) * 2002-02-05 2003-08-15 Tatsumo Kk プラズマディスプレイパネルの蛍光体層充填装置及び充填方法
KR100746304B1 (ko) 2006-08-10 2007-08-03 주식회사 탑 엔지니어링 평판 디스플레이용 디스펜서
KR20080051607A (ko) * 2006-12-06 2008-06-11 엘지디스플레이 주식회사 디스펜싱 장치
JP2008221444A (ja) * 2007-03-15 2008-09-25 Danaher Motion Japan Kk ガントリー型xyステージ
JP4328364B2 (ja) * 2007-03-27 2009-09-09 住友重機械工業株式会社 ステージ装置
CN101663098B (zh) * 2007-04-23 2013-02-27 武藏工业株式会社 作业装置以及作业装置用外盖
DE102007020779B3 (de) * 2007-05-03 2008-12-18 Siemens Ag Bestückautomat zum Bestücken von elektrischen und/oder optischen Bauteilen auf Substrate

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101326625A (zh) * 2006-03-06 2008-12-17 株式会社爱发科 台架装置
CN101274313A (zh) * 2007-03-29 2008-10-01 东丽工程株式会社 涂布装置及涂布方法

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
JP特开2003-225606A 2003.08.12

Also Published As

Publication number Publication date
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JP2010253446A (ja) 2010-11-11
KR101139043B1 (ko) 2012-04-30
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KR20100118502A (ko) 2010-11-05

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