CN202765819U - 基板搬运装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种能够抑制零件安装线正常动作过程中的电力消耗的基板搬运装置。控制装置(90)使背撑装置(80)的背撑板(83)上升并使基板(P)的上表面两侧缘与第一、第二导轨(15、16)的紧固部(15b、16b)抵接而进行紧固，之后，将对宽度变更装置(70)的宽度变更机构(72)进行驱动的宽度变更驱动用马达(71)的励磁设为关闭。由此，由第一、第二导轨(15、16)紧固的基板(P)发挥梁的作用，即使将宽度变更驱动用马达(71)设为励磁关闭，也可维持基板(P)的定位状态，而不会因机械振动等使第一、第二导轨(15、16)移动。因此，能够抑制零件安装线正常动作过程中例如可安装状态下的电力消耗。

Description

基板搬运装置

技术领域

本实用新型涉及用于在将零件安装到基板上的零件安装线上搬运基板的基板搬运装置。 

背景技术

在将零件安装到基板上的零件安装线中，当产生基板搬运错误等异常动作时，导致基板不会被从线上游侧搬入到该装置，或基板不能从该装置向线下游侧搬出。在这种情况下，有时该装置维持电源接通状态，直至作业者完成恢复作业，造成白白地消耗电力。因此，例如专利文献1中公开了如下装置：基于从安装线上游侧的装置或安装线下游侧的装置输入至该装置的各种信号信息，将该装置设成节能模式来减小供电量或者设成断电模式的装置。 

专利文献1：日本特开2001-320199号公报(第0003～0007段、图4) 

根据上述专利文献1的记载，仅在零件安装线产生异常动作时，才能够抑制该装置的电力消耗。因此，在零件安装线的正常动作过程中，不能抑制电力消耗。 

实用新型内容

本实用新型鉴于上述问题而提出，其目的在于提供一种能够抑制零件安装线正常动作过程中的电力消耗的基板搬运装置。 

为解决上述问题，技术方案1涉及的基板搬运装置，其具备：一对支撑部件，沿着基板的搬运方向延伸、且以能够在与该搬运方向垂 直的方向上相对移动的方式进行架装；一对导轨，并列设置于上述一对支撑部件上，并设有对由该基板搬运装置所搬运的基板的侧面进行引导的引导部和配置于上述引导部上方的紧固部；宽度变更机构，由电动马达驱动以改变上述一对支撑部件的间隔；背撑装置，以能够相对上述导轨升降的方式进行配置；及控制装置，在通过使上述背撑装置上升而完成对上述基板的紧固之后，使上述电动马达的励磁关闭。 

技术方案2所述的基板搬运装置，在技术方案1的基础上，上述一对支撑部件中的一个支撑部件为固定支撑部件，另一个支撑部件为可动支撑部件，上述宽度变更机构具备由上述电动马达驱动旋转的进给丝杠和固定于上述可动支撑部件的进给螺母。 

技术方案3所述的基板搬运装置，在技术方案1或2的基础上，上述基板搬运装置具备检测上述背撑装置的升降的传感器，上述控制装置根据来自上述传感器的信号使上述电动马达的励磁关闭。 

实用新型效果 

根据技术方案1涉及的基板搬运装置，控制装置使背撑装置上升而使基板的上表面两侧缘抵接于一对导轨的紧固部以进行紧固。由此，由一对导轨所紧固的基板发挥梁的作用，即使在之后将驱动宽度变更机构的电动马达的励磁设为关闭，也可维持基板的高精度的定位状态，而不会因机械振动等使导轨移动。因此，能够抑制零件安装线正常动作过程中例如可安装状态下的电力消耗。 

根据技术方案2涉及的基板搬运装置，宽度变更机构具备由电动马达驱动旋转的进给丝杠和固定于可动支撑部件的进给螺母。由此，宽度变更机构能够由简单的机构来构成。因此，通过采用这些装置结构，能够将马达的励磁切断而抑制电力消耗。 

根据技术方案3涉及的基板搬运装置，控制装置从用于检测背撑 装置的升降的传感器来接收信号。由此，在基板的上表面两侧缘切实地抵接于一对导轨的紧固部而被紧固之后，控制装置能够将电动马达的励磁设为关闭。因此，无需在对基板进行紧固前将电动马达的励磁设为关闭，即可防止基板的位置偏差。 

附图说明

图1是表示具备本实用新型的实施方式涉及的基板搬运装置的零件安装装置的概略结构的立体图。 

图2是图1的基板搬运装置的概略立体图。 

图3是表示沿着图2的A-A线向视方向剖开的基板搬运装置的主要搬运装置的结构的纵剖视图。 

图4是表示沿着图2的B-B线向视方向剖开的基板搬运装置的主要搬运装置的固定支撑部件等的纵剖视图。 

图5是表示沿着图2的C-C线向视方向剖开的基板搬运装置的主要搬运装置的可动支撑部件等的纵剖视图。 

图6是表示沿着图2的D-D线向视方向剖开的基板搬运装置的主要宽度变更装置的结构的纵剖视图。 

图7是主要表示图2的基板搬运装置的背撑装置的结构的俯视图。 

图8是图7的背撑装置的升降装置的纵剖视图。 

图9是表示升降装置的其他例的纵剖视图。 

图10是表示控制图1的基板搬运装置的动作的控制装置框图。 

图11是用于说明图1的基板搬运装置的动作的时间图。 

图12是用于说明图1的基板搬运装置的动作的时间图。 

标号说明 

1...零件安装装置、10...基板搬运装置、11...搬运装置、 

13...固定支撑部件、14...可动支撑部件、15...第一导轨、 

16...第二导轨、15a...第一引导部、16a...第二引导部、 

15b...第一紧固部、16b...第二紧固部、17...第一输送带、 

18...第二输送带、20...零件供给装置、30...零件移载装置、 

65...搬运驱动用马达、70...宽度变更装置、 

71...宽度变更驱动用马达、72...宽度变更机构、75...进给丝杠、 

76...进给螺母、80...背撑装置、81...升降驱动用马达、 

90...控制装置、98...搬运传感器、99...升降传感器。 

具体实施方式

以下，对具备本实用新型涉及的基板搬运装置的一实施方式的零件安装装置进行说明。如图1所示，零件安装装置1具备：基板搬运装置10，设置于基框3上且对基板P(参照图3、图6)进行搬运；零件供给装置20，设置于该基板搬运装置10的一侧且供给向基板安装的零件；及零件移载装置30，配置于基板搬运装置10及零件供给装置20的上方，拾取由零件供给装置20所供给的零件并安装到被支撑于基板搬运装置10的基板上。 

另外，在图1中，表示将两台零件安装装置1并排搭载于一个架台2上的状态；在零件安装线中，也存在仅由一台零件安装装置1构成或由多台零件安装装置1并列设置而成的情况。在以下的说明中，将两台零件安装装置1的并列方向即基板的搬运方向称为X轴方向，在水平面内，将与X轴方向垂直的方向称为Y轴方向，将与X轴方向及Y轴方向垂直的方向称为Z轴方向。 

如图1所示，基板搬运装置10是并列设置有两列结构基本相同的搬运装置11的所谓双输送机型。如图2所示，该基板搬运装置10大体由搬运装置11、宽度变更装置70、背撑装置80及控制装置90(参照图10)构成。 

如图2及图3所示，搬运装置11具备：彼此相向地在X轴方向上延伸并以能够在Y轴方向上相对移动的方式架装于基台12上的固定支撑部件13及可动支撑部件14。在固定支撑部件13及可动支撑部件14上分别架装有：在一端侧即零件供给装置20侧的侧壁上沿X轴方向设 置的导轨15(第一导轨)和与该第一导轨15相向的导轨16(第二导轨)。而且，以能够循环的方式张设有：在一端侧的侧壁上沿X轴方向设置的输送带17(第一输送带)和与该第一输送带17相向的输送带18(第二输送带)。 

即，一对第一、第二导轨15、16以能够引导基板P的方式而彼此平行且水平地并列设置，一对第一、第二输送带17、18以能够对基板P进行支撑并进行搬运的方式分别平行地并列设置于第一、第二导轨15、16。在第一、第二导轨15、16上分别设有：对所搬运的基板P的侧面进行引导的第一、第二引导部15a、16a；和在第一、第二引导部15a、16a的上方内侧以能够与基板P的上表面侧缘抵接的方式突出地设置并对基板P进行紧固的第一、第二紧固部15b、16b。 

如图2、图3及图4所示，固定支撑部件13具备：安装有第一导轨15及第一输送带17的第一安装框架41和将该第一安装框架41支撑于基台12的一对第一左右支撑框架42、43。第一安装框架41是垂直地配置左右方向(图2中的左右方向)上细长的板件而成的，在第一安装框架41的上端安装有第一导轨15。在第一安装框架41的侧壁的左右端部，以能够旋转的方式支承有张设第一输送带17的一对搬运带轮44、45。在第一安装框架41的侧壁的两个搬运带轮44、45之间安装有与第一输送带17的下表面抵接而进行支撑的第一支撑板46。 

在第一安装框架41的左右端部分别安装有形成为L字形截面的细长的第一左右支撑框架42、43的各上端部。在第一左支撑框架42的侧壁上，以能够旋转的方式支承有与后述的搬运用花键轴47卡合而进行旋转的第一驱动带轮48。在第一安装框架41及第一左右支撑框架42、43的各侧壁上，以能够旋转的方式支承有四个张紧带轮49。接着，在第一驱动带轮48、搬运带轮44、45及各张紧带轮49上张设有第一输送带17。另外，第一左右支撑框架42、43的各下端通过螺钉固定方式而固定于基台12的规定位置(基准位置)。由此，固定支撑部件13 被定位固定于基台12上的基准位置，其结果为，第一导轨15及第一输送带17被定位并固定于基准位置。 

如图2、图3及图5所示，可动支撑部件14与固定支撑部件13大致相同地构成，具备安装有第二导轨16及第二输送带18的第二安装框架51和将该第二安装框架51支承于基台12的一对第二左右支撑框架52、53。第二安装框架51是垂直地配置左右方向(图2中的左右方向)上细长的板件的部件而成的，在第二安装框架51的上端安装有第二导轨16。在第二安装框架51的侧壁的左右端部，以能够旋转的方式支承有张设第二输送带18的一对搬运带轮54、55。在第二安装框架51的侧壁的两个搬运带轮54、55之间安装有与第二输送带18的下表面抵接而进行支撑的第二支撑板56。 

在第二安装框架51的左右端部分别安装有形成为L字形截面的细长的第二左右支撑框架52、53的各上端部。在第二左支撑框架52的侧壁上，以能够旋转的方式支承有与搬运用花键轴47卡合而进行旋转的第二驱动带轮58。在第二安装框架51及第二左右支撑框架52、53的各侧壁上，也以能够旋转的方式支承有四个张紧带轮59。接着，在第二驱动带轮58、搬运带轮54、55及各张紧带轮59上张设有第二输送带18。 

另外，作为与固定支撑部件13不同的结构，第二左右支撑框架52、53的各下端通过螺钉固定方式而固定于一对支撑部件滑块74、74上，上述一对支撑部件滑块74、74能够沿着在Y轴方向上延伸且配置于基台12上的一对支撑部件用导轨73、73进行移动。由此，可动支撑部件14以能够在Y轴方向即与第二导轨16的长度方向正交的方向上调整位置的方式进行安装，其结果为，第二导轨16及第二输送带18被调整至规定的位置并定位、固定。 

如图3所示，上述的搬运用花键轴47以能够绕轴旋转的方式轴支 撑于固定支撑部件13的第一左支撑框架42和马达支撑框架61之间。该搬运用花键轴47通过搬运驱动用马达65的驱动而以能够旋转的方式与搬运驱动用马达65连接。即，在搬运用花键轴47的另一端同轴地安装固定有传动带轮62。在搬运驱动用马达65的输出轴上同轴地安装固定有驱动带轮63。接着，在传动带轮62及驱动带轮63上张设有带64。 

如图2及图6所示，宽度变更装置70大体由作为电动马达的宽度变更驱动用马达71、宽度变更机构72、一对支撑部件用导轨73、73及支撑部件滑块74、74构成。宽度变更驱动用马达71安装于马达支撑框架61的右背面侧(图2中的右背面侧)。宽度变更机构72具备彼此平行且水平地并列设置的一对进给丝杠75、75和能够与各进给丝杠75、75螺合的一对进给螺母76、76。 

各进给丝杠75、75以能够旋转的方式轴支撑于固定支撑部件13的第一左右支撑框架42、43和马达支撑框架61之间。各进给螺母76、76嵌装到可动支撑部件14的第二左右支撑框架52、53中。在第一右支撑框架43侧的进给丝杠75的马达支撑框架61侧的端部，同轴地安装固定有宽度变更带轮77a。在宽度变更驱动用马达71的输出轴上，同轴地安装固定有驱动带轮78。接着，在宽度变更带轮77a及驱动带轮78之间张设有带79a。进而，在各进给丝杠75、75的马达支撑框架61侧的端部，同轴地安装固定有传动带轮77b、77b。在传动带轮77b、77b上张设有带79b。 

如图2及图7所示，背撑装置80大体由升降驱动用马达81、四个升降装置82及背撑板83构成。升降驱动用马达81以输出轴朝向Z轴上方的方式安装于基台12上的马达支撑板61侧的大致中央处。各升降装置82以升降轴821朝向Z轴上方的方式分别安装于基台12上的由固定支撑部件13、一对进给丝杠75、75及可动支撑部件14围成的范围内的四角。 

在升降驱动用马达81的输出轴上，同轴地安装固定有驱动带轮84，在各升降装置82的升降轴821上，同轴地安装固定有升降带轮85。接着，在以能够旋转的方式支承于驱动带轮84、升降带轮85及基台12上的张紧带轮86上，张设有带87。背撑板83形成为能够载置于各升降装置82的升降轴821上的矩形板状。在该背撑板83上，从下方支撑基板P的多个背撑销(省略图示)以规定间隔进行配置。另外，在基板为柔性基板的情况下，能够取代背撑销，而将以面来支撑柔性基板的第二背撑板(省略图示)载置于背撑板83上。 

如图8所示，升降装置82大体由升降轴821、进给螺母822、螺母支撑部823、径向轴承824及轴支撑部825构成。在升降轴821上，在一端侧(图中上端侧)设有外螺纹部821a，在另一端侧(图中下端侧)设有作为止转部的双倒棱部821b。在升降轴821的一端面上突出地设置有能够嵌入到在背撑板83上开设的定位凹部83a中的定位凸部821c。在进给螺母822上设有能够与升降轴821的外螺纹部821a螺合的内螺纹部822a。径向轴承824的内周部与进给螺母822的外周部嵌合。径向轴承824的外周部与螺母支撑部823的内周部823a嵌合。轴支撑部825通过螺钉固定方式而固定于螺母支撑部823的下部。在轴支撑部825的中央开有供升降轴821的双倒棱部821b嵌入的孔部825a。 

如图10所示，控制装置90具有微型计算机91，微型计算机91具备经由总线而分别连接的输入输出接口、CPU、RAM及ROM(均省略图示)。在该微型计算机91上连接有显示装置92、通信装置93、存储装置94、搬运控制部95、宽度变更控制部96、升降控制部97、搬运传感器98及升降传感器99。显示装置92显示基板信息及基板搬运状态信息、警告等。通信装置93经由LAN(省略图示)与主机(省略图示)连接而收发信号。存储装置94存储由主机发送来的基板信息等。 

搬运控制部95与搬运驱动用马达65连接，并控制搬运驱动用马达65的励磁接通/关闭。宽度变更控制部96与宽度变更驱动用马达71连接，并控制宽度变更驱动用马达71的励磁接通/关闭。升降控制部97与升降驱动用马达81连接，并控制升降驱动用马达81的励磁接通/关闭。搬运传感器98例如为由发光元件及受光元件构成的传感器，在用于搬入时，安装于固定支撑部件13的第一右支撑框架43及可动支撑部件14的第二左支撑框架52上，而在用于搬出时，安装于固定支撑部件13的第一左支撑框架42及可动支撑部件14的第二右支撑框架53上(参照图2)。升降传感器99例如也是由发光元件及受光元件构成的传感器，并安装于可动支撑部件14的第二左右支撑框架52、53上(参照图2)。 

如图1所示，零件供给装置20为在基框3上并列设置多个供料器21而构成的盒式零件供给装置。供料器21具备可分离地安装于基框3的主体22、可装卸地安装于主体22的后部的供给带盘23及设置在主体22的前端的零件供给部24。将以规定间距密封有零件的载带卷绕保持在供给带盘23上。在该零件供给装置20中，通过链轮(省略图示)而以规定间距从供给带盘23拉出载带，以将解除了密封状态的零件依次送入零件供给部24。 

如图1所示，零件移载装置30为架装于基框3的上部且配置于基板搬运装置10及零件供给装置20的上方的XY机械手型的零件移载装置。零件移载装置30具备通过Y轴伺服马达31Y而在Y轴方向上移动的Y轴滑块32Y和通过X轴伺服马达31X而在X轴方向上移动的X轴滑块32X。该X轴滑块32X以能够在X轴方向上移动的方式被Y轴滑块32Y引导。在X轴滑块32X上安装有将零件安装于基板P的零件安装头34。 

在零件安装头34上安装有从头主体35朝下方突出地设置的吸嘴座部361、设置于该吸嘴座部361的下端部并对零件进行吸附保持的零 件吸嘴362及从头主体35朝下方突出地设置且对基板P进行拍摄以识别基板位置的基板拍摄相机37。零件吸嘴362安装于吸嘴座部361的下端部，上述吸嘴座部361能够通过伺服马达(省略图示)在Z轴方向上升降、且能够绕Z轴旋转地支承于零件安装头34。接着，零件吸嘴362与真空泵(省略图示)连接，使得能够在吸嘴前端吸引零件。另外，对吸附保持于零件吸嘴362的零件进行拍摄的零件摄像相机38设置在基板搬运装置10与零件供给装置20之间。 

在该零件移载装置30中，零件安装头34在待机状态下通过Y轴滑块32Y及X轴滑块32X如图1所示地移动至基框3的后方，在向基板P安装零件时移动至基框3的前方。接着，零件被吸附保持于零件吸嘴362，所吸附保持的零件的保持位置由零件拍摄相机38来识别，在零件没有问题时，将零件安装于由基板搬运装置10所搬运的基板P上。 

接着，参照图11的时间图对零件搬运装置10的动作进行说明。控制装置90基于由主机发送的基板信息而将宽度变更驱动用马达71设为励磁接通，使各进给丝杠75、75分别绕轴旋转(时刻t1)，使可动支撑部件14的支撑部件滑块74、74沿支撑部件用导轨71、71移动，并将第一输送带17与第二输送带18的间隔变更为与基板P相对应的间隔。此时，为了保持第一、第二输送带17、18的间隔恒定，宽度变更驱动用马达71维持励磁接通状态。 

控制装置90将搬运驱动用马达65设为励磁接通，使搬运用花键轴47绕轴旋转(时刻t2)，使第一、第二驱动带轮48、58同步旋转，使第一、第二输送带17、18同步驱动。由此，支撑于第一、第二输送带17、18的基板P由第一、第二导轨15、16的第一、第二引导部15a、16a引导并由第一、第二输送带17、18在X轴方向上搬入。接着，当输入来自搬入侧的搬运传感器98的基板P的前端的检测信号(时刻t3)时，例如使搬运驱动用马达65旋转规定的脉冲数，使基板P定位于背 撑板83的上方的规定安装位置。此时，为了保持基板P的定位状态，搬运驱动用马达65维持励磁接通状态。 

控制装置90将升降驱动用马达81设为励磁接通，使各升降装置82的升降带轮84旋转(时刻t4)，使升降轴821朝上方突出并使背撑板83上升。由此，定位于安装位置的基板P通过配置于背撑板83上的背撑销而被从第一、第二输送带17、18上推，并紧固于第一、第二导轨15、16的第一、第二紧固部15b、16b之间而被定位固定。 

当输入来自升降传感器99的基板P的检测信号时，控制装置90将宽度变更驱动用马达71设为励磁关闭(时刻t5)。此时，由两侧的第一、第二导轨15、16进行紧固的基板P发挥梁的作用，因此，即使将宽度变更驱动用马达71设为励磁关闭，也可维持基板P的定位状态，而不会因机械振动等使第一、第二导轨15、16移动。而且，能够抑制零件安装线正常动作过程中的电力消耗。进而，基于同样的理由，能够将搬运驱动用马达65设为励磁关闭(图中，搬运驱动用马达65也设为励磁关闭)。因此，能够进一步抑制零件安装线正常动作过程中的电力消耗。另外，为了保持基板P的紧固状态，升降驱动用马达81维持励磁接通状态。 

当向基板P的零件安装结束时，为了保持第一、第二输送带17、18的间隔恒定，控制装置90将宽度变更驱动用马达71设为励磁接通(时刻t6)。同时，将搬运驱动用马达65设为励磁接通(时刻t6)。接着，使升降驱动用马达81朝与刚才相反的方向旋转并使各升降装置82的升降带轮84朝与刚才相反的方向旋转(时刻t7)，将升降轴821向下方拉入并使背撑板83下降。由此，未紧固的基板P离开第一、第二导轨15、16的第一、第二紧固部15b、16b，并被载置于第一、第二输送带17、18上。当基板P被载置于第一、第二输送带17、18上之后，使搬运用花键轴47绕轴旋转，使第一、第二驱动带轮48、58同步旋转并使第一、第二输送带17、18同步旋转。 

由此，零件安装结束的基板P被第一、第二导轨15、16的第一、第二引导部15a、16a引导并被第一、第二输送带17、18在X轴方向上搬出，下一个尚未安装零件的基板P被搬入。以后，反复进行从时刻t3至t7的处理，直至相同种类的基板P的零件安装结束。在上述的实施方式中，是通过升降传感器99来检测背撑装置80的背撑板83的升降的结构，但是，如图12所示，也可以是通过升降驱动用马达81的转矩变动来检测背撑板83的升降的结构。由此，不需要升降传感器99，因此能够降低装置成本。 

如上所述，根据本实施方式的基板搬运装置10，控制装置90使背撑装置80的背撑板83上升并使基板P的上表面两侧缘抵接于第一、第二导轨15、16的紧固部15b、16b而进行紧固，之后，将驱动宽度变更装置70的宽度变更机构72的宽度变更驱动用马达71的励磁设为关闭。由此，由第一、第二导轨15、16所紧固的基板P发挥梁的作用，即使将宽度变更驱动用马达71设为励磁关闭，也可维持基板P的定位状态，而不会因机械振动等使第一、第二导轨15、16移动。因此，能够抑制零件安装线正常动作过程中例如可安装状态下的电力消耗。 

另外，宽度变更机构72具备由宽度变更驱动用马达71驱动旋转的进给丝杠75、75和固定于可动支撑部件14的进给螺母76、76。由此，宽度变更机构72能够由简单的机构构成。因此，通过采用这些装置结构，能够切断宽度变更驱动用马达71的励磁而抑制电力消耗。 

另外，控制装置90根据来自对背撑装置80的背撑板83的升降进行检测的升降传感器99的信号而将宽度变更驱动用马达71的励磁设为关闭。由此，在基板P的上表面两侧缘切实地与第一、第二导轨15、16的紧固部15b、16b抵接并进行紧固之后，控制装置90能够将宽度变更驱动用马达71的励磁设为关闭。因此，在对基板P进行紧固前无需切断宽度变更驱动用马达71的励磁即可防止基板P的位置偏差。 

另外，在上述的实施方式中，背撑装置80由升降装置82构成，该升降装置82具备通过升降驱动用马达81而进行旋转的进给螺母822和能够通过进给螺母822的旋转而在Z轴方向上移动的升降轴821，但是，例如，如图9所示，也可以由利用了气缸88的升降装置100构成。该气缸88在比嵌入到缸体88a的内周部的活塞88b的下方配置有压缩螺旋弹簧89，在缸体88a的周壁的上部开设有压缩空气进出的空气口88c。接着，在从活塞88b向上方延伸的活塞杆88d的一端面上，突出地设置有能够嵌入到在背撑板83上开设的定位凹部83a中的定位凸部88e。 

当未对基板P进行紧固时，压缩空气从空气口88c进入到缸体88a的内周部，压缩螺旋弹簧89被活塞88b压缩。由此，能够使背撑板83下降。另一方面，当对基板P进行紧固时，将缸体88a的内周部的压缩空气从空气口88c排出，通过压缩螺旋弹簧89的复原力上推活塞88b。由此，能够使背撑板83上升。 

因此，当使基板P抵接于第一、第二导轨15、16的紧固部15b、16b而进行紧固时，能够将用于供给压缩空气的泵的驱动设为关闭，因此，能够抑制零件安装线正常动作过程中的电力消耗。另外，根据具备利用了该气缸88的升降装置100的背撑装置80，不需要升降驱动用马达81、带轮84、85、86及带87，因此能够降低装置成本。 

此外，对将本实施方式的基板搬运装置10应用于零件安装装置1的情况进行了说明，但是，也可以适用于在基板P上印刷焊料的印刷装置或对印刷后的焊料进行检查的检查装置等。 

Claims (3)

1.一种基板搬运装置，其特征在于，具备：

一对支撑部件，沿着基板的搬运方向延伸、且以能够在与该搬运方向垂直的方向上相对移动的方式进行架装；

一对导轨，并列设置于所述一对支撑部件上，并设有对由该基板搬运装置所搬运的基板的侧面进行引导的引导部和配置于所述引导部上方的紧固部；

宽度变更机构，由电动马达驱动以改变所述一对支撑部件的间隔；

背撑装置，以能够相对所述导轨升降的方式进行配置；及

控制装置，在通过使所述背撑装置上升而完成对所述基板的紧固之后，使所述电动马达的励磁关闭。

2.根据权利要求1所述的基板搬运装置，其特征在于，

所述一对支撑部件中的一个支撑部件为固定支撑部件，另一个支撑部件为可动支撑部件，

所述宽度变更机构具备由所述电动马达驱动旋转的进给丝杠和固定于所述可动支撑部件的进给螺母。

3.根据权利要求1或2所述的基板搬运装置，其特征在于，

所述基板搬运装置具备检测所述背撑装置的升降的传感器，

所述控制装置根据来自所述传感器的信号使所述电动马达的励磁关闭。

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