JPH11168111A - 基板に対して接着剤を塗布するための半導体取付装置 - Google Patents
基板に対して接着剤を塗布するための半導体取付装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 半導体取付装置における接着剤塗布機構に関
し、駆動速度を高めること。 【解決手段】 基板１のチップ取付表面２に対して接着
剤を塗布するための半導体取付装置であって、接着剤塗
布ヘッド５と、アクチュエータ１２，１４によってｘ、
ｙ方向に可動とされた第１キャリッジ１０と、第３アク
チュエータによってｚ方向に可動とされかつ塗布ヘッド
５を搭載した第２キャリッジ２０と、を具備してなり、
第３アクチュエータは、固定状態の駆動モータ３０と、
補助キャリッジ３２と、を備え、補助キャリッジ３２
は、ｚ方向に変位可能とされているとともに位置決め表
面３８を有し、第２キャリッジ２０には、位置決め表面
３８に対して常に当接状態に維持される係止部２６が設
けられている。
し、駆動速度を高めること。 【解決手段】 基板１のチップ取付表面２に対して接着
剤を塗布するための半導体取付装置であって、接着剤塗
布ヘッド５と、アクチュエータ１２，１４によってｘ、
ｙ方向に可動とされた第１キャリッジ１０と、第３アク
チュエータによってｚ方向に可動とされかつ塗布ヘッド
５を搭載した第２キャリッジ２０と、を具備してなり、
第３アクチュエータは、固定状態の駆動モータ３０と、
補助キャリッジ３２と、を備え、補助キャリッジ３２
は、ｚ方向に変位可能とされているとともに位置決め表
面３８を有し、第２キャリッジ２０には、位置決め表面
３８に対して常に当接状態に維持される係止部２６が設
けられている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、基板のチップ取付
表面領域に対して接着剤を塗布するための半導体取付装
置に関するものである。
表面領域に対して接着剤を塗布するための半導体取付装
置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】接着剤（たいていはエポキシをベースと
したもの）を使用した半導体チップの取付に関して非常
に広く利用されている方法においては、取付表面上に、
所定量の接着剤を計量して塗布する方法を採用してい
る。これにより、その後チップが配置されたときには、
接着剤層は、チップの表面全体にわたってできる限り一
様に広がっており、空気を巻き込むことがない。これを
得るために、チップの形式、接着剤のタイプ、および、
他のパラメータに応じて、単なる斜め交差パターンから
複数の枝を有したラインパターンに至るまでの、様々な
「修飾の多い」塗布パターンが使用されている。
したもの）を使用した半導体チップの取付に関して非常
に広く利用されている方法においては、取付表面上に、
所定量の接着剤を計量して塗布する方法を採用してい
る。これにより、その後チップが配置されたときには、
接着剤層は、チップの表面全体にわたってできる限り一
様に広がっており、空気を巻き込むことがない。これを
得るために、チップの形式、接着剤のタイプ、および、
他のパラメータに応じて、単なる斜め交差パターンから
複数の枝を有したラインパターンに至るまでの、様々な
「修飾の多い」塗布パターンが使用されている。
【０００３】「ダイボンダー」として知られている自動
取付手段内においては、接着剤を塗布するために、基板
上にわたって塗布器を移動させるような、特別の装置が
使用されている。上記のように、所望の塗布パターン
は、様々な方法で作ることができる。例えば、パターン
に応じて複数列配置で設けられた多数のノズルを備えた
ダイタイプの塗布ツール（複数チューブ塗布器）が使用
される。このようなツールは、個別に製造されなければ
ならず、また、各パターンに対して変更される必要があ
る。他の塗布装置は、パターンに応じてプログラムされ
た動きでもって基板上を案内されそれによりラインパタ
ーンを「描く」ような単一ノズルを備えている（プログ
ラマブル塗布器）。この装置の大きな利点は、任意のパ
ターンを、同じ装置でもって、比較的単純なツールでも
って、かつ、単にソフトウェアを変更することによっ
て、作ることができることである。それでもなお、枝分
かれのあるパターンであっても短いサイクル時間で「描
く」ことができるように、十分な精度でもって、とりわ
け高速で、プログラムされた動きを行う必要がある。
取付手段内においては、接着剤を塗布するために、基板
上にわたって塗布器を移動させるような、特別の装置が
使用されている。上記のように、所望の塗布パターン
は、様々な方法で作ることができる。例えば、パターン
に応じて複数列配置で設けられた多数のノズルを備えた
ダイタイプの塗布ツール（複数チューブ塗布器）が使用
される。このようなツールは、個別に製造されなければ
ならず、また、各パターンに対して変更される必要があ
る。他の塗布装置は、パターンに応じてプログラムされ
た動きでもって基板上を案内されそれによりラインパタ
ーンを「描く」ような単一ノズルを備えている（プログ
ラマブル塗布器）。この装置の大きな利点は、任意のパ
ターンを、同じ装置でもって、比較的単純なツールでも
って、かつ、単にソフトウェアを変更することによっ
て、作ることができることである。それでもなお、枝分
かれのあるパターンであっても短いサイクル時間で「描
く」ことができるように、十分な精度でもって、とりわ
け高速で、プログラムされた動きを行う必要がある。
【０００４】上記タイプとされた公知の装置は、 −３つの座標方向（ｘ、ｙ、ｚ）に移動可能な接着剤塗
布ヘッドと、 −関連する第１アクチュエータおよび第２アクチュエー
タによって取付表面に対して平行な２方向（ｘ、ｙ）に
移動可能な第１キャリッジと、 −第１キャリッジに連結されたガイド部材上において、
第３アクチュエータによって取付表面に対して垂直な第
３方向（ｚ）に移動可能な第２キャリッジであって、塗
布ヘッドを搭載している第２キャリッジと、を備えてい
る。
布ヘッドと、 −関連する第１アクチュエータおよび第２アクチュエー
タによって取付表面に対して平行な２方向（ｘ、ｙ）に
移動可能な第１キャリッジと、 −第１キャリッジに連結されたガイド部材上において、
第３アクチュエータによって取付表面に対して垂直な第
３方向（ｚ）に移動可能な第２キャリッジであって、塗
布ヘッドを搭載している第２キャリッジと、を備えてい
る。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】公知の実施形態の１つ
は、それぞれにアクチュエータを有した３つの重なり合
ったキャリッジを備えた「標準的な」３軸制御ユニット
である。他のケースにおいては、第１キャリッジのｘ方
向アクチュエータとｙアクチュエータとが互いに連結さ
れていないけれども、第３（ｚ）アクチュエータとこれ
に関連するキャリッジとは、第１ｘ／ｙキャリッジ上に
取り付けられ、第１ｘ／ｙキャリッジとともに移動す
る。従来技術によるこのような装置にあっては、要求さ
れた機械的安定性および３軸動作表面全体にわたっての
制御精度を得ることが困難である。というのは、制御部
材の加速度および速度に制限があるからであり、それ
は、駆動力の大きな駆動モータが重いこと、またそのた
めに、対応して安定なキャリッジガイド部材が必要なこ
と、結局、重い部材を移動させなければならないこと、
による。
は、それぞれにアクチュエータを有した３つの重なり合
ったキャリッジを備えた「標準的な」３軸制御ユニット
である。他のケースにおいては、第１キャリッジのｘ方
向アクチュエータとｙアクチュエータとが互いに連結さ
れていないけれども、第３（ｚ）アクチュエータとこれ
に関連するキャリッジとは、第１ｘ／ｙキャリッジ上に
取り付けられ、第１ｘ／ｙキャリッジとともに移動す
る。従来技術によるこのような装置にあっては、要求さ
れた機械的安定性および３軸動作表面全体にわたっての
制御精度を得ることが困難である。というのは、制御部
材の加速度および速度に制限があるからであり、それ
は、駆動力の大きな駆動モータが重いこと、またそのた
めに、対応して安定なキャリッジガイド部材が必要なこ
と、結局、重い部材を移動させなければならないこと、
による。
【０００６】本発明の目的は、従来技術の欠点や制限を
克服することであって、塗布ヘッドの加速度および制御
速度をより高速としてこれにより接着剤パターンを「描
く」ためのサイクル時間を短くし得るよう、このような
装置の動特性を改良することである。
克服することであって、塗布ヘッドの加速度および制御
速度をより高速としてこれにより接着剤パターンを「描
く」ためのサイクル時間を短くし得るよう、このような
装置の動特性を改良することである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この目的は、上記のタイ
プの装置であって、第３アクチュエータが、固定的に取
り付けられた駆動モータと、このモータによって駆動さ
れる補助キャリッジと、を備え、補助キャリッジは、固
定されたガイド部材上を第３方向（ｚ）に変位可能とさ
れているとともに、取付表面に対して平行な位置決め表
面を有し、さらに、第２キャリッジには、補助キャリッ
ジの位置決め表面に対して常に当接状態に維持される係
止部が設けられている、という本発明によって達成され
る。
プの装置であって、第３アクチュエータが、固定的に取
り付けられた駆動モータと、このモータによって駆動さ
れる補助キャリッジと、を備え、補助キャリッジは、固
定されたガイド部材上を第３方向（ｚ）に変位可能とさ
れているとともに、取付表面に対して平行な位置決め表
面を有し、さらに、第２キャリッジには、補助キャリッ
ジの位置決め表面に対して常に当接状態に維持される係
止部が設けられている、という本発明によって達成され
る。
【０００８】本発明の構成においては、特に、塗布ヘッ
ド周辺の領域における質量が除去されて激減する。とい
うのは、第３アクチュエータをなす駆動モータおよび補
助キャリッジが固定的に設けられているからである。塗
布ヘッドを付帯している第２キャリッジは、これら駆動
モータおよび補助キャリッジに相当する質量が軽減さ
れ、したがって、軽量化される。これにより、精度や長
期信頼性を損なうことなく、３座標方向のすべての方向
の加速度が増大する。
ド周辺の領域における質量が除去されて激減する。とい
うのは、第３アクチュエータをなす駆動モータおよび補
助キャリッジが固定的に設けられているからである。塗
布ヘッドを付帯している第２キャリッジは、これら駆動
モータおよび補助キャリッジに相当する質量が軽減さ
れ、したがって、軽量化される。これにより、精度や長
期信頼性を損なうことなく、３座標方向のすべての方向
の加速度が増大する。
【０００９】請求項１において規定された装置の他の有
利な形態は、従属請求項に記載されている。
利な形態は、従属請求項に記載されている。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、本発明を、添付図面ととも
にいくつかの実施形態を参照して詳細に説明する。
にいくつかの実施形態を参照して詳細に説明する。
【００１１】図１は、第１実施形態を簡略化して示す斜
視図であって、３つの座標方向も示されている。図２
は、（ｙ方向から見た）側面図である。図３は、第２実
施形態を、同様に簡略化しつつもより詳細な構成までも
示した、（ｘ方向から見た）側面図である。
視図であって、３つの座標方向も示されている。図２
は、（ｙ方向から見た）側面図である。図３は、第２実
施形態を、同様に簡略化しつつもより詳細な構成までも
示した、（ｘ方向から見た）側面図である。
【００１２】半導体の取付時に接着剤を塗布するための
図１に示す装置は、静止ベース構造８上において、ダイ
ボンダーの一構成要素として構成されている。このダイ
ボンダーにおいては、公知なように、例えば金属製のス
トリップ形状とされた「リードフレーム」のような基板
１が、支持体４上を、搬送デバイス（図示せず）によっ
て、矢印方向にステップ単位で搬送される。基板１に
は、チップ取付表面２（「チップアイランド」としても
知られている）が設けられている。各取付表面２には、
３つの座標方向（ｘ、ｙ、ｚ）に可動とされた塗布ヘッ
ド５によって、接着剤パターン３が塗布されている。典
型的にはエポキシをベースとした流動可能な接着剤は、
フレキシブルなライン６により供給され、例えば図示さ
れていない公知の体積ポンプにより一定量が測られる。
公知のようにして、基板１は、ダイボンダー内へとさら
に搬送され、それから、各接着剤パターン３上にチップ
が配置される。これにより、接着剤は、チップの表面上
にわたって広がり、チップを基板に対して接着する。
図１に示す装置は、静止ベース構造８上において、ダイ
ボンダーの一構成要素として構成されている。このダイ
ボンダーにおいては、公知なように、例えば金属製のス
トリップ形状とされた「リードフレーム」のような基板
１が、支持体４上を、搬送デバイス（図示せず）によっ
て、矢印方向にステップ単位で搬送される。基板１に
は、チップ取付表面２（「チップアイランド」としても
知られている）が設けられている。各取付表面２には、
３つの座標方向（ｘ、ｙ、ｚ）に可動とされた塗布ヘッ
ド５によって、接着剤パターン３が塗布されている。典
型的にはエポキシをベースとした流動可能な接着剤は、
フレキシブルなライン６により供給され、例えば図示さ
れていない公知の体積ポンプにより一定量が測られる。
公知のようにして、基板１は、ダイボンダー内へとさら
に搬送され、それから、各接着剤パターン３上にチップ
が配置される。これにより、接着剤は、チップの表面上
にわたって広がり、チップを基板に対して接着する。
【００１３】接着剤は、しばしば、取付表面２上を斜め
に走る枝付きラインパターンとして、塗布される。この
ために、塗布ヘッド５は、ｘ方向およびｙ方向にプログ
ラムされた順序で移動しなければならない。同時に、塗
布開口は、取付表面２の上方において所定距離に維持さ
れる。つまり、ラインが途切れるときや、基板が移動す
るときには、塗布ヘッドが、（ｚ方向に）持ち上げられ
なければならない。これらのすべての移動は、高精度で
もって行わなければならず、かつ、サイクル時間を短く
するためにできるだけ迅速に行わなければならない。
に走る枝付きラインパターンとして、塗布される。この
ために、塗布ヘッド５は、ｘ方向およびｙ方向にプログ
ラムされた順序で移動しなければならない。同時に、塗
布開口は、取付表面２の上方において所定距離に維持さ
れる。つまり、ラインが途切れるときや、基板が移動す
るときには、塗布ヘッドが、（ｚ方向に）持ち上げられ
なければならない。これらのすべての移動は、高精度で
もって行わなければならず、かつ、サイクル時間を短く
するためにできるだけ迅速に行わなければならない。
【００１４】ベース８上に取り付けられているととも
に、（第１および第２の）アクチュエータ１２，１４を
備えている第１キャリッジ１０は、塗布ヘッド５をｘ方
向およびｙ方向に移動させるよう、すなわち、それぞれ
の取付表面２に対して平行に移動させるよう、機能す
る。これら部材は、概略的に図示されているのみであっ
て、公知の様々な方法で製造することができる。例え
ば、長さ方向キャリッジおよび横方向キャリッジを備え
た複合テーブルとすることができる（この場合、例えば
ｘ方向アクチュエータだけが固定的に取り付けられてお
り、ｙ方向の駆動源は、キャリッジとともにｘ方向に移
動する）。しかしながら、好ましくは、ｘ方向およびｙ
方向が「連結」されておらず、駆動源１２，１４の双方
が固定的とされる。
に、（第１および第２の）アクチュエータ１２，１４を
備えている第１キャリッジ１０は、塗布ヘッド５をｘ方
向およびｙ方向に移動させるよう、すなわち、それぞれ
の取付表面２に対して平行に移動させるよう、機能す
る。これら部材は、概略的に図示されているのみであっ
て、公知の様々な方法で製造することができる。例え
ば、長さ方向キャリッジおよび横方向キャリッジを備え
た複合テーブルとすることができる（この場合、例えば
ｘ方向アクチュエータだけが固定的に取り付けられてお
り、ｙ方向の駆動源は、キャリッジとともにｘ方向に移
動する）。しかしながら、好ましくは、ｘ方向およびｙ
方向が「連結」されておらず、駆動源１２，１４の双方
が固定的とされる。
【００１５】キャリッジ１０に対しては、ガイド部材１
６が連結されている。ガイド部材１６は、第２キャリッ
ジ２０を、取付表面２に対して垂直なｚ方向に変位させ
るよう、案内する。実質的に矩形形状とされた（corner
-shaped） キャリッジ２０は、塗布ヘッド５を着脱可能
に保持するための一方のアーム２２と、ガイド部材１６
内に挿入されるガイドウェイが設けられた他方のアーム
２４と、を備えている。
６が連結されている。ガイド部材１６は、第２キャリッ
ジ２０を、取付表面２に対して垂直なｚ方向に変位させ
るよう、案内する。実質的に矩形形状とされた（corner
-shaped） キャリッジ２０は、塗布ヘッド５を着脱可能
に保持するための一方のアーム２２と、ガイド部材１６
内に挿入されるガイドウェイが設けられた他方のアーム
２４と、を備えている。
【００１６】キャリッジ２０をｚ方向に移動させるため
の（第３）アクチュエータとして機能する構成につい
て、以下、説明する。
の（第３）アクチュエータとして機能する構成につい
て、以下、説明する。
【００１７】駆動モータ（位置決めモータ）３０が、ベ
ース８上に固定的に取り付けられている。このモータ３
０によって駆動される補助キャリッジ３２は、固定され
ているガイド部材３６内において、取付表面２に対して
垂直なｚ方向に移動可能である。図示の例においては、
駆動機構として、補助キャリッジ３２上のナット３３に
対してクリアランスなしで係合するスクリュースピンド
ル３１を備えたスピンドル機構が設けられている。補助
キャリッジ３２には、水平アーム３４と、ガイド部材３
６内をスライドする鉛直アーム３５と、が設けられてい
る。水平アームの底面は、精密な平面であるように機械
加工されかつ基板１の取付表面２に対して平行であるよ
うに（基板支持体４の支持表面に対しても平行であるよ
うに）位置合わせされた位置決め表面３８を形成してい
る。位置決め表面３８の延長は、少なくともｘ方向およ
びｙ方向におけるキャリッジ１０の移動範囲と、塗布ヘ
ッド５の動作領域と、のそれぞれに対応している。キャ
リッジ２０に設けられた係止部２５，２６は、常に位置
決め表面３８に対して当接しており、位置決め表面３８
と共働している。定常的な当接は、キャリッジ２０とガ
イド部材１６との間に張設された引きスプリング２８に
よって、下方から保証されている。
ース８上に固定的に取り付けられている。このモータ３
０によって駆動される補助キャリッジ３２は、固定され
ているガイド部材３６内において、取付表面２に対して
垂直なｚ方向に移動可能である。図示の例においては、
駆動機構として、補助キャリッジ３２上のナット３３に
対してクリアランスなしで係合するスクリュースピンド
ル３１を備えたスピンドル機構が設けられている。補助
キャリッジ３２には、水平アーム３４と、ガイド部材３
６内をスライドする鉛直アーム３５と、が設けられてい
る。水平アームの底面は、精密な平面であるように機械
加工されかつ基板１の取付表面２に対して平行であるよ
うに（基板支持体４の支持表面に対しても平行であるよ
うに）位置合わせされた位置決め表面３８を形成してい
る。位置決め表面３８の延長は、少なくともｘ方向およ
びｙ方向におけるキャリッジ１０の移動範囲と、塗布ヘ
ッド５の動作領域と、のそれぞれに対応している。キャ
リッジ２０に設けられた係止部２５，２６は、常に位置
決め表面３８に対して当接しており、位置決め表面３８
と共働している。定常的な当接は、キャリッジ２０とガ
イド部材１６との間に張設された引きスプリング２８に
よって、下方から保証されている。
【００１８】図示のように、この場合には、係止部は、
位置決め表面３８の底面上を摺接する滑性材料からなる
（好ましくは、取替可能な）挿入体２６を有した、スラ
イドヘッドとして構成されている。滑性材料（例えば、
グラファイトをベースとした固体混合体）の適切な選択
により、および／または、材料の組合せの適切な選択に
より、位置決め表面３８が摩耗を受けないことが保証さ
れる。係止部を、スライドヘッドとすることに代えて、
転がりボールや類似物として構成することも可能であ
る。
位置決め表面３８の底面上を摺接する滑性材料からなる
（好ましくは、取替可能な）挿入体２６を有した、スラ
イドヘッドとして構成されている。滑性材料（例えば、
グラファイトをベースとした固体混合体）の適切な選択
により、および／または、材料の組合せの適切な選択に
より、位置決め表面３８が摩耗を受けないことが保証さ
れる。係止部を、スライドヘッドとすることに代えて、
転がりボールや類似物として構成することも可能であ
る。
【００１９】図１に示す装置の動作時には、ｘ方向およ
びｙ方向における塗布ヘッド５のプログラムされた迅速
な「書込」移動が、アクチュエータ１２，１４によって
キャリッジ１０を介して行われる。その場合、ヘッド５
の高さ位置（ｚ値）は、係止部２５，２６を介して補助
キャリッジ３２の位置により与えられる。ヘッド５とは
別に、キャリッジ１０は、比較的軽くかつｚ方向にはア
クチュエータによって妨害されていないキャリッジ２０
を移動させることだけが必要である。というのは、モー
タ３０および補助キャリッジ３２は、固定的に取り付け
られており、そのため、モータ３０および補助キャリッ
ジ３２の質量からくる加速力が、キャリッジ２０に対し
て発生しないからである。
びｙ方向における塗布ヘッド５のプログラムされた迅速
な「書込」移動が、アクチュエータ１２，１４によって
キャリッジ１０を介して行われる。その場合、ヘッド５
の高さ位置（ｚ値）は、係止部２５，２６を介して補助
キャリッジ３２の位置により与えられる。ヘッド５とは
別に、キャリッジ１０は、比較的軽くかつｚ方向にはア
クチュエータによって妨害されていないキャリッジ２０
を移動させることだけが必要である。というのは、モー
タ３０および補助キャリッジ３２は、固定的に取り付け
られており、そのため、モータ３０および補助キャリッ
ジ３２の質量からくる加速力が、キャリッジ２０に対し
て発生しないからである。
【００２０】ヘッド５付きのキャリッジ２０の鉛直方向
移動のためには、モータ３０が、（付加的に）補助キャ
リッジ３２を移動させてスプリング２８の力に打ち勝た
なければならない。モータ３０が固定的に取り付けられ
ていることにより、このことは、何ら特別の問題を生じ
ることなく行うことができる。動特性を考慮すれば、ｚ
位置を調節するためには、スライド性挿入体２６と位置
決め表面３８との間の一定の当接が保証されなければな
らない。上記構成においては、所定高さにまで急速に下
げられた後におけるキャリッジ２０の係止が重要であ
る。これに関しては、引っ張りスプリング２８の力が、
キャリッジ２０の高さ位置が下がるにつれて増大し、そ
のため、表面３８を押し上げようとする傾向がさらに強
くなることにより有利である。
移動のためには、モータ３０が、（付加的に）補助キャ
リッジ３２を移動させてスプリング２８の力に打ち勝た
なければならない。モータ３０が固定的に取り付けられ
ていることにより、このことは、何ら特別の問題を生じ
ることなく行うことができる。動特性を考慮すれば、ｚ
位置を調節するためには、スライド性挿入体２６と位置
決め表面３８との間の一定の当接が保証されなければな
らない。上記構成においては、所定高さにまで急速に下
げられた後におけるキャリッジ２０の係止が重要であ
る。これに関しては、引っ張りスプリング２８の力が、
キャリッジ２０の高さ位置が下がるにつれて増大し、そ
のため、表面３８を押し上げようとする傾向がさらに強
くなることにより有利である。
【００２１】塗布ヘッド５は、上述のように、交換可能
である。特に、装置は、図１のような「書込」塗布ヘッ
ドに対してだけでなく、ダイタイプ（「複数チュー
ブ」）ヘッドに対しても動作可能である。そのような
「複数チューブ」ヘッドは、通常、ｚ方向の移動だけを
必要とする（しかしながら、ヘッドを取付表面２上にお
いてセンタリングする場合や、あるいは、動作位置から
一時的にヘッドを退避させる場合など、必要に応じて
は、ｘ方向およびｙ方向に移動させる必要がある）。異
なるサイズの塗布ヘッドが適用可能であるように、スプ
リング２８は、交換式とすることもできるし、または、
張力を調整可能とすることもできる。
である。特に、装置は、図１のような「書込」塗布ヘッ
ドに対してだけでなく、ダイタイプ（「複数チュー
ブ」）ヘッドに対しても動作可能である。そのような
「複数チューブ」ヘッドは、通常、ｚ方向の移動だけを
必要とする（しかしながら、ヘッドを取付表面２上にお
いてセンタリングする場合や、あるいは、動作位置から
一時的にヘッドを退避させる場合など、必要に応じて
は、ｘ方向およびｙ方向に移動させる必要がある）。異
なるサイズの塗布ヘッドが適用可能であるように、スプ
リング２８は、交換式とすることもできるし、または、
張力を調整可能とすることもできる。
【００２２】図２および図３に示す他の実施形態におい
ては、第１実施形態における部材と同じ機能を有した部
材については、多少構成や配置が異なっている場合であ
っても、図１のものと同じ符号とされている。アクチュ
エータおよびｘ−ｙキャリッジ１０については、図示が
省略されている。
ては、第１実施形態における部材と同じ機能を有した部
材については、多少構成や配置が異なっている場合であ
っても、図１のものと同じ符号とされている。アクチュ
エータおよびｘ−ｙキャリッジ１０については、図示が
省略されている。
【００２３】図２および図３に示す装置においては、駆
動モータ３０と補助キャリッジ３２との間の駆動機構
が、とりわけ図１のものとは異なっている。
動モータ３０と補助キャリッジ３２との間の駆動機構
が、とりわけ図１のものとは異なっている。
【００２４】モータ３０のロータシャフト３９には、カ
ムプレート４０が、張力に対抗し得るようにして取り付
けられている。ローラヘッド４４は、カムプレートのカ
ム４１と共働する。ここで、ローラヘッドは、補助キャ
リッジ３２に保持された軸ボルト４２上に取り付けられ
ている。カム上におけるローラヘッドのクリアランスの
ない当接は、この場合、スライド性挿入体２６を介して
補助キャリッジ３２へとさらにはローラヘッド４４へと
伝達されるスプリング２８による力によって、維持され
ている。しかしながら、この目的のために、補助キャリ
ッジ３２とベース構造８との間に別のスプリングを張設
することもまた可能である。
ムプレート４０が、張力に対抗し得るようにして取り付
けられている。ローラヘッド４４は、カムプレートのカ
ム４１と共働する。ここで、ローラヘッドは、補助キャ
リッジ３２に保持された軸ボルト４２上に取り付けられ
ている。カム上におけるローラヘッドのクリアランスの
ない当接は、この場合、スライド性挿入体２６を介して
補助キャリッジ３２へとさらにはローラヘッド４４へと
伝達されるスプリング２８による力によって、維持され
ている。しかしながら、この目的のために、補助キャリ
ッジ３２とベース構造８との間に別のスプリングを張設
することもまた可能である。
【００２５】公知構成の直流モータまたはステップモー
タが、駆動モータ３０として特に適切である（これは、
図１における、ｘ方向およびｙ方向の駆動モータ１２，
１４に対しても当てはまる）。上記構成においては、立
上カム４１に対するローラヘッド４４の付勢力がロータ
シャフト３９にトルクをもたらすことにより、特別のｚ
位置を維持し得るためには、対応した対抗トルクがモー
タ３０によって印加されなければならない。モータの保
持トルクを小さくするためには、カム４１の立ち上がり
をできるだけ小さくしなければならない。これに関して
は、図２に示すように、カムとして、線状の螺旋（回転
角度とともに径が大きくなる）が有利であることがわか
った。小さな立ち上がり角度でもってｚ方向に必要な持
上ストロークを作り出すためには、３６０°以上にわた
る螺旋が有利である。
タが、駆動モータ３０として特に適切である（これは、
図１における、ｘ方向およびｙ方向の駆動モータ１２，
１４に対しても当てはまる）。上記構成においては、立
上カム４１に対するローラヘッド４４の付勢力がロータ
シャフト３９にトルクをもたらすことにより、特別のｚ
位置を維持し得るためには、対応した対抗トルクがモー
タ３０によって印加されなければならない。モータの保
持トルクを小さくするためには、カム４１の立ち上がり
をできるだけ小さくしなければならない。これに関して
は、図２に示すように、カムとして、線状の螺旋（回転
角度とともに径が大きくなる）が有利であることがわか
った。小さな立ち上がり角度でもってｚ方向に必要な持
上ストロークを作り出すためには、３６０°以上にわた
る螺旋が有利である。
【００２６】スプリングが大いに引っ張られたときに
は、つまり、キャリッジ２０の下方位置において引っ張
られたときには、スプリングによる力は、したがって、
カム４１に対するローラヘッド４４の支持力は、増加す
る。しかしながら、これに対応してモータに要求される
保持トルクの増加は、上記螺旋の場合には、螺旋の接線
と半径との間の角度が半径が増大するにつれて小さくな
っていくことのために、部分的に補償される。カム４１
およびスプリング２８の寸法に関しては、動作時におけ
る塗布ヘッド５付きのキャリッジ２０のすべての加速時
において、係止部２５，２６と位置決め表面３８との間
の当接が維持され得るように決められなければならない
ることに注意する必要がある。
は、つまり、キャリッジ２０の下方位置において引っ張
られたときには、スプリングによる力は、したがって、
カム４１に対するローラヘッド４４の支持力は、増加す
る。しかしながら、これに対応してモータに要求される
保持トルクの増加は、上記螺旋の場合には、螺旋の接線
と半径との間の角度が半径が増大するにつれて小さくな
っていくことのために、部分的に補償される。カム４１
およびスプリング２８の寸法に関しては、動作時におけ
る塗布ヘッド５付きのキャリッジ２０のすべての加速時
において、係止部２５，２６と位置決め表面３８との間
の当接が維持され得るように決められなければならない
ることに注意する必要がある。
【００２７】キャリッジ２０に対しての、とりわけアー
ム２４に対しての、測定ライン４７付きのセンサ４６の
組込が、図２に示されている。測定ライン４７付きのセ
ンサ４６は、ｚ方向におけるキャリッジの位置を連続的
に決定するための部材であって、図示されていない公知
の測定装置の一部をなす部材である（例えば、スライド
体１６内に組み込まれたガラス測定ロッドとともにパル
ス発生器としてのフォトトランジスタ；もちろん、逆の
構成も可能である）。この領域における測定装置は、
（基板１の高さに応じた校正の後において）塗布開口の
ｚ位置を直接的に「真近で」測定するという点におい
て、駆動モータ３０を制御するための位置制御ループに
おいて実際値センサとして好適である。キャリッジ２０
のｚ位置のフィードバック制御のおかげで、あるいはそ
れに代えて、位置決め表面３８のｚ位置のフィードバッ
ク制御のおかげで、センサ４６からの信号によって、い
かなるスライドヘッドの摩耗をも補償することができ
る。
ム２４に対しての、測定ライン４７付きのセンサ４６の
組込が、図２に示されている。測定ライン４７付きのセ
ンサ４６は、ｚ方向におけるキャリッジの位置を連続的
に決定するための部材であって、図示されていない公知
の測定装置の一部をなす部材である（例えば、スライド
体１６内に組み込まれたガラス測定ロッドとともにパル
ス発生器としてのフォトトランジスタ；もちろん、逆の
構成も可能である）。この領域における測定装置は、
（基板１の高さに応じた校正の後において）塗布開口の
ｚ位置を直接的に「真近で」測定するという点におい
て、駆動モータ３０を制御するための位置制御ループに
おいて実際値センサとして好適である。キャリッジ２０
のｚ位置のフィードバック制御のおかげで、あるいはそ
れに代えて、位置決め表面３８のｚ位置のフィードバッ
ク制御のおかげで、センサ４６からの信号によって、い
かなるスライドヘッドの摩耗をも補償することができ
る。
【００２８】本発明による装置は、ダイとともに接着剤
を塗布するために使用することができる、すなわち、チ
ップ取付表面２に対してのｘ方向および／またはｙ方向
における塗布ヘッドの書込移動を行うことなく使用する
ことができる。この使用のためには、ベース構造８に対
して図示しない調節手段が設けられる。これにより、ベ
ース構造８は、ダイのエッジがチップ取付表面２に対し
て平面平行であるように、したがって、チップ取付表面
に対してぴったりと位置決めされるように、調節可能と
される。
を塗布するために使用することができる、すなわち、チ
ップ取付表面２に対してのｘ方向および／またはｙ方向
における塗布ヘッドの書込移動を行うことなく使用する
ことができる。この使用のためには、ベース構造８に対
して図示しない調節手段が設けられる。これにより、ベ
ース構造８は、ダイのエッジがチップ取付表面２に対し
て平面平行であるように、したがって、チップ取付表面
に対してぴったりと位置決めされるように、調節可能と
される。
【図１】 第１実施形態を簡略化して示す斜視図であ
る。
る。
【図２】 第２実施形態を（ｙ方向から見た）側面図で
ある。
ある。
【図３】 第２実施形態を、同様に簡略化しつつもより
詳細な構成までも示した、（ｘ方向から見た）側面図で
ある。
詳細な構成までも示した、（ｘ方向から見た）側面図で
ある。
１ 基板 ２ チップ取付表面 ５ 塗布ヘッド １０ 第１キャリッジ １２ 第１アクチュエータ １４ 第２アクチュエータ １６ ガイド部材 ２０ 第２キャリッジ ２６ 挿入体 ２８ スプリング ３０ 駆動モータ ３２ 補助キャリッジ ３６ ガイド部材 ３８ 位置決め表面 ４０ カムプレート ４１ カム ４４ ローラヘッド ４６ センサ（経路測定手段） ４７ 測定ライン（経路測定手段）
Claims (7)
- 【請求項１】 基板（１）のチップ取付表面（２）の領
域に対して接着剤を塗布するための半導体取付装置であ
って、−３つの座標方向（ｘ、ｙ、ｚ）に移動可能とさ
れた接着剤塗布ヘッド（５）と、−関連する第１および
第２アクチュエータ（１２，１４）によって、前記取付
表面（２）に対して平行な２つの方向（ｘ、ｙ）に移動
可能とされた第１キャリッジ（１０）と、−第３アクチ
ュエータによって、前記取付表面（２）に対して垂直な
第３方向（ｚ）に、前記第１キャリッジ（１０）に連結
されたガイド部材（１６）上を移動可能とされた第２キ
ャリッジ（２０）であり、かつ、前記塗布ヘッド（５）
が搭載された第２キャリッジ（２０）と、を具備してな
り、 前記第３アクチュエータは、固定的に取り付けられた駆
動モータ（３０）と、該モータによって駆動される補助
キャリッジ（３２）と、を備え、 前記補助キャリッジ（３２）は、固定されたガイド部材
（３６）上を、前記第３方向（ｚ）に変位可能とされて
いるとともに、前記取付表面（２）に対して平行な位置
決め表面（３８）を有し、 前記第２キャリッジ（２０）には、前記補助キャリッジ
（３２）の前記位置決め表面（３８）に対して常に当接
状態に維持される係止部が設けられていることを特徴と
する半導体取付装置。 - 【請求項２】 前記位置決め表面（３８）は、前記補助
キャリッジ（３２）のうちの、前記基板（１）を向く底
面によって形成され、 前記係止部は、前記第２キャリッジ（２０）と前記ガイ
ド部材（１６）との間に張設されたスプリング（２８）
によって、前記位置決め表面（３８）に対して下側から
保持されていることを特徴とする請求項１記載の装置。 - 【請求項３】 前記係止部は、スライドヘッドによって
形成されているとともに、前記位置決め表面（３８）に
沿った該位置決め表面の摩耗を起こすことのないスライ
ド移動を保証する滑性材料から形成された挿入体（２
６）を有していることを特徴とする請求項１または２記
載の装置。 - 【請求項４】 前記第３アクチュエータは、前記駆動モ
ータ（３０）によって駆動されるカムプレート（４０）
と、前記補助キャリッジ（３２）に取り付けられかつ前
記カムプレートのカム（４１）と共働するローラヘッド
（４４）と、を備えていることを特徴とする請求項１記
載の装置。 - 【請求項５】 前記カム（４１）は、螺旋であるととも
に、その回転角度が３６０°以上にわたって延在してい
ることを特徴とする請求項４記載の装置。 - 【請求項６】 前記螺旋は、線状螺旋であることを特徴
とする請求項５記載の装置。 - 【請求項７】 第２キャリッジ（２０）の前記第３方向
（ｚ）における実際位置を決定するための、経路測定手
段（４６，４７）が前記第２キャリッジに設けられてい
ることを特徴とする請求項１記載の装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CH208997 | 1997-09-05 | ||
| CH19972089/97 | 1997-09-05 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11168111A true JPH11168111A (ja) | 1999-06-22 |
Family
ID=4225641
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10251441A Pending JPH11168111A (ja) | 1997-09-05 | 1998-09-04 | 基板に対して接着剤を塗布するための半導体取付装置 |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6129040A (ja) |
| EP (1) | EP0901155B1 (ja) |
| JP (1) | JPH11168111A (ja) |
| KR (1) | KR100543108B1 (ja) |
| DE (1) | DE59811823D1 (ja) |
| SG (1) | SG68071A1 (ja) |
| TW (1) | TW393742B (ja) |
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