CN104475303B - 一种涂布装置 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及涂布工艺技术领域，公开一种涂布装置，该涂布装置包括基座、通过驱动机构安装于基座的安装架、涂布单元，所述涂布单元包括安装于所述安装架的支架、安装于支架的喷嘴，还包括：安装于所述支架的检测装置，所述检测装置用于检测所述喷嘴与待涂布基板表面之间间距、以及喷嘴前进方向侧的基板上的障碍物信息；控制单元，与所述检测装置信号连接，用于：根据所述检测装置获得的距离信息通过所述驱动机构控制所述喷嘴与所述基板表面保持设定间距；当所述检测装置检测获得所述检测装置与所述喷嘴之间区域的基板表面存在障碍物时，通过所述驱动机构控制喷嘴停止动作。该涂布装置能够避免涂布过程中喷嘴受损或者被堵塞。
Description
技术领域
本发明涉及涂布工艺技术领域，特别涉及一种涂布装置。
背景技术
近年来LCD制造行业中采用的代表性尖端技术为ODF(One Drop Fill)，ODF工艺具体包括：在一种基板(TFT或CF)上滴注液晶，在另一张对应的基板上均匀涂布封框胶，在完成涂布与滴注时，进行高精度对盒，形成液晶盒。
但是，由于目前ODF涂胶工艺中，涂胶喷嘴与玻璃基板间距很窄，只有10个微米左右，玻璃表面或涂胶喷嘴运动方向上一旦出现异物，就很容易导致涂胶喷嘴受到碰撞而受损或者被堵塞，涂胶喷嘴一旦受到碰撞受损或者被堵塞就会造成断胶和液晶泄漏等不良，只能重新更换涂胶喷嘴，因而造成大量损失。
发明内容
本发明提供了一种涂布装置，该涂布装置能够避免涂布过程中喷嘴受损或者被堵塞。
为达到上述目的，本发明提供以下技术方案：
一种涂布装置，包括基座、通过驱动机构安装于基座的安装架、涂布单元，所述涂布单元包括安装于所述安装架的支架、安装于所述支架的喷嘴，还包括：
安装于所述支架的检测装置，所述检测装置用于检测所述喷嘴与待涂布基板表面之间间距、以及喷嘴前进方向侧的基板上的障碍物信息；
控制单元，与所述检测装置信号连接，用于：
根据所述检测装置获得的距离信息通过所述驱动机构控制所述喷嘴与所述基板表面保持设定间距；
当所述检测装置检测获得所述检测装置与所述喷嘴之间区域的基板表面存在障碍物时，通过所述驱动机构控制喷嘴停止动作。
上述涂布装置中，通过检测装置可以获得喷嘴与基板表面的距离信息，同时可以检测喷嘴的前进方向一侧区域的基板表面是否存在障碍物，根据获得的距离信息，控制单元可以通过驱动机构控制喷嘴与基板表面保持设定间距，且当检测到喷嘴前进方向一侧区域的基板表面存在障碍物时，控制单元可以通过驱动机构控制喷嘴停止动作；因此，通过检测装置的检测和利用控制单元对喷嘴的控制，可以保证喷嘴在喷涂过程中时刻与基板表面保持设定间距，并且在发现喷嘴前进方向的基板表面存在障碍物时及时控制喷嘴停止动作，从而可以保证喷嘴不会碰撞到基板表面的凸起或者障碍物。
因此，上述涂布装置能够避免涂布过程中喷嘴受损或者被堵塞。
优选地，所述检测装置包括：
具有红外发射部件和红外接收部件的红外反射式传感器；
与所述红外反射式传感器信号连接、且与所述控制单元信号连接的成像设备，所述成像设备将红外传感器接收到的信号进行分析，以得出喷嘴与待涂布基板表面之间间距、以及喷嘴前进方向侧的基板上的障碍物信息。
优选地，所述检测装置包括：
用于检测所述喷嘴与待涂布基板表面之间间距的第一检测单元；
用于检测所述喷嘴前进方向侧的基板上的障碍物信息的第二检测单元。
优选地，所述第一检测单元为超声波检测装置。
优选地，所述第二检测单元为激光检测装置。
优选地，所述激光检测装置包括：
至少一个用于向喷嘴方向发射检测激光的激光发射器；
至少一个用于当激光发射器与喷嘴之间存在障碍物时接受激光发射器发射的激光照射到障碍物上反射后的激光的反射激光接收器。
优选地，所述涂布单元还包括安装于所述支架且位于所述喷嘴前进方向侧的保护机构。
优选地，所述保护机构包括沿所述喷嘴具有的狭缝平行的方向延伸的至少一个挡板。
优选地，所述保护机构包括第一挡板和第二挡板，第二挡板位于所述第一挡板与喷嘴之间，第一挡板与第二挡板之间配合形成异物收纳槽。
优选地，所述第二挡板背离所述喷嘴的侧面与待涂布基板表面之间所呈角度为60-120度。
优选地，所述保护机构包括多个挡板，每相邻的两个挡板之间配合形成一个异物收纳槽。
优选地，所述异物收纳槽的槽底设有与吸真空装置相连的真空管道。
附图说明
图1为本发明实施例提供的一种涂布装置的结构示意图；
图2为本发明实施例提供的另一种涂布装置的结构示意图；
图3为本发明实施例提供的另一种涂布装置的结构示意图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
请参考图1，图1为本发明实施例提供的一种涂布装置的结构示意图。
如图1所示，本发明实施例提供的一种涂布装置，包括基座1、通过驱动机构2安装于基座1的安装架3、涂布单元4，所述涂布单元4包括安装于所述安装架3的支架41、安装于支架41的喷嘴42，还包括：
安装于所述支架41的检测装置43，所述检测装置43用于检测所述喷嘴42与待涂布基板表面之间间距、以及喷嘴42前进方向侧的基板上的障碍物信息；
控制单元5，与检测装置43信号连接，用于：
根据检测装置43获得的距离信息通过驱动机构2控制喷嘴42与基板表面保持设定间距：
当检测装置43检测获得检测装置43与喷嘴42之间区域的基板表面存在障碍物时，通过驱动机构2控制喷嘴42停止动作。
上述涂布装置中，通过检测装置43可以获得喷嘴42与基板表面的距离信息，同时可以检测喷嘴42的前进方向一侧区域的基板表面是否存在障碍物，根据获得的距离信息，控制单元5可以通过驱动机构2控制喷嘴42与基板表面保持设定间距，且当检测到喷嘴42前进方向一侧区域的基板表面存在障碍物时，控制单元5可以通过驱动机构2控制喷嘴42停止动作；因此，通过检测装置43的检测和利用控制单元5对喷嘴42的控制，可以保证喷嘴42在喷涂过程中时刻与基板表面保持设定间距，并且在发现喷嘴42前进方向的基板表面存在障碍物时及时控制喷嘴42停止动作，从而可以保证喷嘴42不会碰撞到基板或者基板表面的障碍物。
因此，上述涂布装置能够避免涂布过程中喷嘴42受损或者被堵塞。
一种具体的实施例中，检测装置43可以包括：
具有红外发射部件和红外接收部件的红外反射式传感器，以及与红外反射式传感器信号连接、且与控制单元5信号连接的成像设备；成像设备可以将红外传感器通过红外接收部件接收到的红外信号进行成像分析，以得出喷嘴42与待涂布基板表面之间间距、以及喷嘴42前进方向侧的基板上的障碍物信息，然后根据分析得到的信息，控制单元5可以通过驱动机构2对喷嘴42的运动进行控制。
控制单元5根据分析得到的信息可以通过驱动机构2对喷嘴42的运动进行控制，具体包括：控制单元5根据获得的喷嘴42与待涂布基板表面之间的间距信息通过驱动机构2可以控制支架41相对于安装架3上下移动，从而使安装于支架41上的喷嘴42与基板之间保持设定间距，从而避免喷嘴42与基板上的障碍物碰撞；同时，控制单元5能够根据获取的喷嘴42前进方向侧的基板上的障碍物信息通过驱动机构2控制喷嘴42及时停止前进和涂胶动作，从而能够避免喷嘴42与基板上的障碍物碰撞，提高喷嘴42工作过程中的安全性。
另一种具体的实施例中，检测装置43可以包括用于检测所述喷嘴42与待涂布基板表面之间间距的第一检测单元，以及用于检测所述喷嘴42前进方向侧的基板上的障碍物信息的第二检测单元。
一种优选的实施例中，第一检测单元可以为超声波检测装置431，如图1和图2所示超声波检测装置431可以通过检测从发射超声波到接收到回波的时间来获得喷嘴42与基板表面的距离信息，并且通过获取的距离信息也可以分析得出基板表面是否有凸起或者障碍物。
第二检测单元可以为激光检测装置432，如图1和图2所示，具体地，激光检测装置432可以包括：至少一个用于向喷嘴42方向发射检测激光的激光发射器；以及至少一个用于当激光发射器与喷嘴42之间存在障碍物时接受激光发射器发射的激光照射到障碍物上反射后的激光的反射激光接收器。当反射激光接收器接收到反射回来的激光时，说明激光检测装置432与喷嘴42之间区域的基板表面有障碍物，通过激光检测装置432可以直接测得基板表面的障碍物信息。
一种优选的实施例中，激光检测装置432可以为红外激光检测仪。
如图2和图3所示，在上述各实施例的基础上，一种具体的实施例中，涂布单元4还可以包括安装于支架41且位于喷嘴42前进方向侧的保护机构44。
如图2和图3所示，在上述实施例的基础上，一种具体的实施例中，保护机构44包括沿喷嘴42具有的狭缝平行的方向延伸的至少一个挡板。
在上述实施例的基础上，一种优选的实施例中，如图2和图3所示，保护机构44包括第一挡板441和第二挡板442，第二挡板442位于第一挡板441与喷嘴42之间，第一挡板441与第二挡板442之间配合形成异物收纳槽443。
上述第一挡板441和第二挡板442与基板之间的间距等于或者小于喷嘴42与基板之间的间距，当喷嘴42前进方向上有尺寸大于喷嘴42与基板之间的间距的障碍物时，障碍物首先会与第一档板441发生接触并可以被第一档板441推出去，以防止障碍物与喷嘴42接触到；如果障碍物与第一档板441碰撞而发生破碎，并且部分混过第一档板441时，第二档板442可以进一步阻挡尺寸较大的障碍物碎片，使其留在第一挡板441与第二挡板442之间配合形成异物收纳槽443内。
优选地，异物收纳槽443的槽底设有与吸真空装置相连的真空管道444，由于异物收纳槽443的槽底设有与吸真空装置相连的真空管道444，可以使异物收纳槽443内的气压较小，因此可以将异物收纳槽443内较小的障碍物碎片直接吸走，同时使较大的障碍物碎片可以保持在异物收纳槽443内，从而避免障碍物碎片与喷嘴42接触，因此可以保护喷嘴42不受碰撞。
如图3所示，在上述实施例的基础上，优选地，第二挡板442背离喷嘴42的侧面与待涂布基板表面之间所呈角度为60-120度。
如图3所示，在上述实施例的基础上，一种优选的实施例中，保护机构44可以包括多个挡板，每相邻的两个挡板之间可以配合形成一个异物收纳槽。如图3中的第一挡板441、第二档板442、第三档板445，第一挡板441与第二档板442之间、以及第二档板442和第三档板445之间都可以形成收纳障碍物的异物收纳槽443，并且通过多个档板对障碍物进行阻挡，可以进一步确保障碍物被完全留在异物收纳槽443内，以保证障碍物不会接触到喷嘴42，从而保证喷嘴42不会受损或者堵塞。
当然，上述每一个异物收纳槽443的槽底设有与吸真空装置相连的真空管道444、以使障碍物被吸入到所述异物收纳槽443内。
显然，本领域的技术人员可以对本发明实施例进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。
Claims (11)
1.一种涂布装置，包括基座、通过驱动机构安装于基座的安装架、涂布单元，所述涂布单元包括安装于所述安装架的支架、安装于所述支架的喷嘴，其特征在于，还包括：
安装于所述支架的检测装置，所述检测装置用于检测所述喷嘴与待涂布基板表面之间间距、以及喷嘴前进方向侧的基板上的障碍物信息；
控制单元，与所述检测装置信号连接，用于：
根据所述检测装置获得的距离信息通过所述驱动机构控制所述喷嘴与所述基板表面保持设定间距；
当所述检测装置检测获得所述检测装置与所述喷嘴之间区域的基板表面存在障碍物时，通过所述驱动机构控制喷嘴停止动作；
所述涂布单元还包括安装于所述支架且位于所述喷嘴前进方向侧的保护机构。
2.根据权利要求1所述的涂布装置，其特征在于，所述检测装置包括：
具有红外发射部件和红外接收部件的红外反射式传感器；
与所述红外反射式传感器信号连接、且与所述控制单元信号连接的成像设备，所述成像设备将红外传感器接收到的信号进行分析，以得出喷嘴与待涂布基板表面之间间距、以及喷嘴前进方向侧的基板上的障碍物信息。
3.根据权利要求1所述的涂布装置，其特征在于，所述检测装置包括：
用于检测所述喷嘴与待涂布基板表面之间间距的第一检测单元；
用于检测所述喷嘴前进方向侧的基板上的障碍物信息的第二检测单元。
4.根据权利要求3所述的涂布装置，其特征在于，所述第一检测单元为超声波检测装置。
5.根据权利要求3所述的涂布装置，其特征在于，所述第二检测单元为激光检测装置。
6.根据权利要求5所述的涂布装置，其特征在于，所述激光检测装置包括：
至少一个用于向喷嘴方向发射检测激光的激光发射器；
至少一个用于当激光发射器与喷嘴之间存在障碍物时接受激光发射器发射的激光照射到障碍物上反射后的激光的反射激光接收器。
7.根据权利要求1所述的涂布装置，其特征在于，所述保护机构包括沿所述喷嘴具有的狭缝平行的方向延伸的至少一个挡板。
8.根据权利要求7所述的涂布装置，其特征在于，所述保护机构包括第一挡板和第二挡板，第二挡板位于所述第一挡板与喷嘴之间，第一挡板与第二挡板之间配合形成异物收纳槽。
9.根据权利要求8所述的涂布装置，其特征在于，所述第二挡板背离所述喷嘴的侧面与待涂布基板表面之间所呈角度为60-120度。
10.根据权利要求7所述的涂布装置，其特征在于，所述保护机构包括多个挡板，每相邻的两个挡板之间配合形成一个异物收纳槽。
11.根据权利要求8～10任一项所述的涂布装置，其特征在于，所述异物收纳槽的槽底设有与吸真空装置相连的真空管道。
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|---|---|---|---|---|
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Family Cites Families (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| EP0901155B1 (de) * | 1997-09-05 | 2004-08-18 | ESEC Trading SA | Halbleiter-Montageeinrichtung zum Auftragen von Klebstoff auf einem Substrat |
| US6541757B2 (en) * | 2001-02-21 | 2003-04-01 | Fanuc Robotics North America, Inc. | Detection assembly for detecting dispensed material |
| KR100700176B1 (ko) | 2002-12-18 | 2007-03-27 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 액정 표시패널의 디스펜서 및 이를 이용한 노즐과 기판의갭 제어방법 |
| JP4398786B2 (ja) * | 2003-07-23 | 2010-01-13 | 東京エレクトロン株式会社 | 塗布方法及び塗布装置 |
| KR101074952B1 (ko) * | 2004-08-31 | 2011-10-18 | 엘지디스플레이 주식회사 | 포토레지스트 코팅장치 및 코팅방법 |
| US8800482B2 (en) * | 2005-12-29 | 2014-08-12 | Exatec Llc | Apparatus and method of dispensing conductive material with active Z-axis control |
| KR101175284B1 (ko) * | 2009-09-15 | 2012-08-21 | 주식회사 탑 엔지니어링 | 페이스트 디스펜서 및 그 제어방법 |
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| JP2012124380A (ja) * | 2010-12-09 | 2012-06-28 | Ntn Corp | 塗布装置、塗布方法、およびパターン修正装置 |
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