KR100731166B1 - 기판 처리장치 - Google Patents
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- 기판을 유지하는 유지 플레이트와,소정의 처리 툴이 거의 수평방향으로 설치되고, 상기 유지 플레이트의 표면에 따라 걸쳐진 가교구조와,상기 가교구조를 상기 유지 플레이트에 유지되어 있는 기판의 표면에 따른 방향으로 이동시키는 비접촉식의 이동수단과,상기 이동수단을 제어하는 제어수단과,상기 가교구조의 상기 이동수단에 의한 이동을 안내하는 접촉식의 안내수단을 구비하고,상기 방향으로 상기 가교구조를 이동시키면서, 상기 처리 툴에 의해 상기 기판의 표면을 주사함으로써, 상기 기판의 표면에 대해서 소정의 처리를 행하는 기판 처리장치에 있어서,상기 이동수단이, 상기 유지 플레이트의 양측에 떨어져 배치된 복수의 단위 이동수단을 가지고,상기 제어수단이, 상기 복수의 단위 이동수단의 각각을 위치 제어함으로써, 상기 가교구조의 양단을 이동시키고,상기 단위 이동수단의 각각이,상기 유지 플레이트에 설치되어 상기 가교구조의 이동방향에 따라 신장하는 고정자와, 상기 가교구조에서 신장되어 상기 고정자에 비접촉으로 대향하는 이동자와의 전자적 상호작용에 의해 상기 가교구조를 이동시키기 위한 구동력을 생성하는 리니어 모터와,상기 유지 플레이트에 설치된 스케일부와, 상기 가교구조에서 신장되어 상기 스케일부에 대향하는 검출단과의 위치관계를 검출함으로써, 상기 가교구조의 위치를 검출하는 리니어 인코더를 가지며,상기 리니어 모터의 상기 고정자와 상기 리니어 인코더의 상기 스케일부가 상기 유지 플레이트의 측면에 병렬 배치되어 있고,상기 유지 플레이트의 양측면에 상기 리니어 모터의 상기 고정자와 상기 리니어 인코더의 상기 스케일부가 설치되고,각각의 리니어 인코더가 앱설루트 타입이며,상기 안내수단은, 상기 유지 플레이트의 표면에 설치되어 있고,상기 안내수단이,상기 이동수단에 의한 상기 가교구조의 이동방향을 규정하는 방향 규정수단과,상기 방향 규정수단 상에 접촉하면서, 상기 가교구조를 지지하는 지지수단을 가지고,상기 지지수단이, 상기 방향 규정수단과 접촉하기 위한 복수의 볼을 가지고,상기 지지수단이, 상기 복수의 볼의 사이에 위치하는 스페이서를 더 가지고,상기 가교구조에, 카본파이버제의 골재가 사용되고 있는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
- 제 19 항에 있어서,상기 리니어 모터의 상기 고정자와 비교하여, 상기 유지 플레이트에서 먼 쪽에 상기 리니어 인코더의 상기 검출단부가 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
- 삭제
- 제 20 항에 있어서,상기 처리 툴이 소정의 처리액을 토출하는 슬릿노즐이고,상기 주사에 의해 상기 기판의 상기 표면상에 상기 처리액의 층이 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
- 제 22 항에 있어서,상기 기판이 플랫패널 디스플레이용의 각형(角形)의 기판이고, 상기 처리액이 레지스트액 또는 유기평탄화막 형성용 도포액인 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
- 기판을 유지하는 유지 플레이트와,소정의 처리 툴이 설치되어, 상기 유지 플레이트의 표면에 따라 걸쳐진 가교구조와,상기 가교구조를 상기 유지 플레이트에 유지되어 있는 기판의 표면에 따른 방향으로 이동시키는 비접촉식의 이동수단과,상기 가교구조의 상기 이동수단에 의한 이동을 안내하는 접촉식의 안내수단을 구비하고,상기 방향으로 상기 가교구조를 이동시키면서, 상기 처리 툴에 의해 상기 기판의 표면을 주사함으로써, 상기 기판의 표면에 대해서 소정의 처리를 행하는 기판 처리장치에 있어서,상기 이동수단이,상기 유지 플레이트에 설치되어 상기 가교구조의 이동방향에 따라 신장하는 고정자와, 상기 가교구조에서 신장되어 상기 고정자에 비접촉으로 대향하는 이동자를 가지는 AC 코어리스 리니어 서보모터를 구비하며,상기 AC 코어리스 리니어 서보모터의 구동력에 의해 상기 가교구조가 이동하고,상기 이동수단이,상기 유지 플레이트에 상기 고정자와 거의 평행하게 설치된 스케일부와, 상기 가교구조에서 신장되어 상기 스케일부에 대향하는 검출단과의 위치관계를 검출함으로써, 상기 가교구조의 위치를 검출하는 리니어 인코더를 가지고,상기 AC 코어리스 리니어 서보모터가, 상기 리니어 인코더의 검출결과에 따라서 위치 제어되고,상기 AC 코어리스 리니어 서보모터가, 상기 가교구조의 양단부에 대응하도록 각각의 단부측에 설치되고, 또 상기 리니어 인코더도 상기 가교구조의 양단부에 대응하도록 각각의 단부측에 설치되고,상기 안내수단은, 상기 유지 플레이트의 표면에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
- 제 24 항에 있어서,상기 고정자가, 상기 유지 플레이트의 측면에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
- 제 24 항 또는 제 25 항에 있어서,상기 가교구조에, 카본파이버제의 골재가 사용되고 있는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
- 제 26 항에 있어서,상기 처리 툴이 소정의 처리액을 토출하는 슬릿노즐이고,상기 주사에 의해 상기 기판의 상기 표면상에 상기 처리액의 층이 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
- 제 27 항에 있어서,상기 기판이 플랫패널 디스플레이용의 각형(角形)의 기판이고, 상기 처리액이 레지스트액인 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
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Applications Claiming Priority (1)
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KR1020030065481A KR100731166B1 (ko) | 2003-09-22 | 2003-09-22 | 기판 처리장치 |
Publications (2)
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Family Applications (1)
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KR1020030065481A KR100731166B1 (ko) | 2003-09-22 | 2003-09-22 | 기판 처리장치 |
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JP2000347740A (ja) * | 1999-06-04 | 2000-12-15 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 真空内リニアアクチュエータ機構及びその制御方法 |
JP2002200450A (ja) * | 2000-12-28 | 2002-07-16 | Chugai Ro Co Ltd | 非接触移動式テーブルコータ |
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2003
- 2003-09-22 KR KR1020030065481A patent/KR100731166B1/ko active IP Right Grant
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