KR20050029744A

KR20050029744A - 기판 처리장치

Info

Publication number: KR20050029744A
Application number: KR1020030065481A
Authority: KR
Inventors: 기타자와히로유키; 나카가와요시유키
Original assignee: 다이닛뽕스크린 세이조오 가부시키가이샤
Priority date: 2003-09-22
Filing date: 2003-09-22
Publication date: 2005-03-28
Also published as: KR100731166B1

Abstract

기판 처리장치에 있어서, 처리 툴을 이동시키는 기구를 개선하는 것을 목적으로 한다.

기판 처리장치(1)의 본체(2)에 기판(90)을 유지하는 스테이지(3)와, 가교구조(4)와, 가교(架橋)구조(4)를 X축 방향으로 이동시키는 AC 코어리스 리니어 서보모터(50, 51)와, 가교구조(4)의 위치를 검출하는 리니어 인코더(52, 53)와, 스테이지(3)의 유지면(30)의 양측에 한쌍의 주행레일(31a)을 설치한다. 가교구조(4)에는, 레지스트액을 토출하는 슬릿노즐을 설치한 노즐지지부(40) 및 노즐지지부(40)를 Z축 방향으로 승강시키는 승강기구(43, 44)를 설치한다. 슬릿노즐이 기판에 대해서 레지스트액을 토출할 때에는, 제어시스템(6)이, 리니어 인코더(52, 53)에서의 검출결과에 의거해서, 리니어 모터(50, 51)를 각각 동기 제어함으로써, 슬릿노즐의 위치 제어를 행한다.

Description

기판 처리장치{Substrate processing apparatus}

본 발명은, 기판 처리장치에 있어서 기판에 대한 일정한 처리를 행하는 처리 툴(tool)의 이동기구 및 위치 제어기술에 관한 것이다.

기판에 대해서 약액을 도포하는 경우, 유지 플레이트상의 소정의 위치에 기판을 유지하여, 약액을 토출하는 슬릿노즐에 의한 주사(走査)에 따라, 기판의 소정의 위치에 약액을 도포하는 스캔 코팅이 일반화하는 경향에 있다. 특히, 처리 대상이 되는 기판이 대형인 경우나, 각형(角形)의 기판인 경우에는 스핀 코팅에 의해 균일한 약액 도포를 행하는 것이 어렵기 때문에, 스캔 코팅에 의한 도포가 이용된다.

스캔 코팅에서의 슬릿노즐에 의한 주사는, 슬릿노즐의 양단에 강성 결합된 2대의 이동 플레이트를, 별개의 구동모터에 의해 각각의 이동 방향으로 이동시키는 것으로 행해진다. 구동모터로서는, 예컨대 리니어(linear) 모터를 이용하는 기술이 공지이다. 당해 기술에 의하면, 스핀 모터와 볼(ball) 나사를 이용해서 처리 툴(노즐이나 센서 등)을 이동시키는 경우에 비해서, 주위로 오일 등의 윤활제가 비산하는 것을 방지할 수 있는 등의 이점이 있다.

종래부터, 이와 같은 주사를 행하는 경우, 기판의 소정의 위치에 약액을 도포하기 위해, 한쪽의 이동 플레이트에 대해서 위치 제어를 행하고, 다른쪽에 대해서는 토털(total) 제어만을 행하는 기술이 알려져 있다. 이와 같은 기술에 의하면, 슬릿노즐과 이동 플레이트는, 서로 강성 결합되어 있기 때문에, 그들 구성의 어느 것인가를 기준으로 위치 제어함으로써, 슬릿노즐을 소정의 위치로 이동시킬수 있다.

또한, 종래부터, 리니어 모터를 이용하는 경우에는, 처리 툴을 이동시키기 위한 추진력을 충분히 얻을 필요가 있으므로, 코어설치 리니어 모터가 이용되고 있다.

여기서, 슬릿노즐에서는 일정량의 약액이 토출되기 때문에, 슬릿노즐의 이동속도가 늦으면 두껍게 도포되고, 빠르면 얇게 도포되게 된다. 즉, 스캔 코팅에서의 주사에 있어서, 약액을 균일하게 도포하기 위해서는, 슬릿노즐을 일정한 속도로 이동시키는 것이 중요하다.

그러나, 강성 결합된 2대의 이동 플레이트의 구동모터중, 한쪽만 위치 제어를 행하면, 좌우의 이동 플레이트에 전송 오차가 생기기 쉽고, 이 전송 오차에 의해 리니어 가이드에 뒤틀림이 생기거나, 마찰력 변동이 생겨, 슬릿노즐의 전송 속도를 일정하게 유지할 수 없고, 약액을 균일하게 도포할 수 없다는 문제가 있었다.

이와 같은「뒤틀림」을 방지하기 위해 탄성 지지 혹은 각도 변화가 가능한 구조를 이용하는 것도 행할 수 있지만, 그 경우에는, 슬릿노즐의 유지 정밀도가 저하하거나, 기구가 복잡하게 된다는 문제가 있었다. 또한, 탄성 지지에서는 좌우의 전송 불균일이 발생한다는 문제도 있었다.

또한, 코어설치 리니어 모터를 이용하면, 철심(코어분량)만큼 장치가 대형화하고, 그 때문에 장치의 풋프린트(장치의 바닥면적)이 증가한다는 문제가 있었다.

게다가, 기판을 유지하기 위한 유지 플레이트상에 코어설치 리니어 모터를 배치하면, 그것을 위한 스페이스가 필요하게 되므로 유지 플레이트의 유지면을 넓게 할 필요가 있어, 유지면의 평면 정밀도가 저하한다는 문제가 있었다.

본 발명은, 상기 과제를 해결하기 위해, 처리 툴을 이동시키는 기구를 개선하는 것을 목적으로 한다. 특히, 그 개선에 의해, 슬릿노즐의 전송 오차를 방지하여, 약액을 균일하게 도포할 수 있는 기판 처리장치를 제공하는 것을 하나의 목적으로 한다. 또한, 상기 개선에 의해 장치의 풋프린트를 삭감하고, 또 고정밀도의 처리를 행할 수 있는 기판 처리장치를 제공하는 것을 다른 목적으로 한다.

상기 과제를 해결하기 위한, 청구항 1의 발명은, 기판을 유지하는 유지 플레이트와, 소정의 툴이 거의 수평방향으로 설치되고, 상기 유지 플레이트의 표면에 따라 걸쳐진 가교(架橋)구조와, 상기 가교구조를 상기 유지 플레이트에 유지되어 있는 기판의 표면에 따른 방향으로 이동시키는 이동수단과, 상기 이동수단을 제어하는 제어수단을 구비하고, 상기 방향으로 상기 가교구조를 이동시키면서, 상기 처리 툴에 의해 상기 기판의 표면을 주사함으로써, 상기 기판의 표면에 대해서 소정의 처리를 행하는 기판 처리장치에 있어서, 상기 이동수단이, 상기 유지 플레이트의 양측에 떨어져 배치된 복수의 단위 이동수단을 가지고, 상기 제어수단이, 상기 복수의 단위 이동수단의 각각을 위치 제어함으로써, 상기 가교구조의 양단을 이동시킨다.

또한, 청구항 2의 발명은, 청구항 1의 발명에 관한 기판 처리장치에 있어서, 상기 단위 이동수단의 각각이, 상기 유지 플레이트에 설치되어 상기 가교구조의 이동방향에 따라 신장하는 고정자와, 상기 가교구조에서 신장되어 상기 고정자에 비접촉으로 대향하는 이동자와의 전자적 상호작용에 의해 상기 가교구조를 이동시키기 위한 구동력을 생성하는 리니어 모터와, 상기 유지 플레이트에 설치된 스케일부와, 상기 가교구조에서 신장되어 상기 스케일부에 대향하는 검출단과의 위치관계를 검출함으로써, 상기 가교구조의 위치를 검출하는 리니어 인코더를 가지며, 상기 리니어 모터의 상기 고정자와 상기 리니어 인코더의 상기 스케일부가, 상기 유지 플레이트의 측면에 병렬 배치되어 있다.

또한, 청구항 3의 발명은, 청구항 2의 발명에 관한 기판 처리장치에 있어서, 상기 리니어 모터의 상기 고정자와 비교하여, 상기 유지 플레이트에서 먼 쪽에 상기 리니어 인코더의 상기 검출단부가 배치되어 있다.

또한, 청구항 4의 발명은, 청구항 2 또는 3의 발명에 관한 기판 처리장치에 있어서, 상기 유지 플레이트의 양측면에 상기 리니어 모터의 상기 고정자와 상기 리니어 인코더의 상기 스케일부가 설치되고, 각각의 리니어 인코더가 앱설루트(absolute) 타입이다.

또한, 청구항 5의 발명은, 청구항 4의 발명에 관한 기판 처리장치에 있어서, 상기 유지 플레이트의 표면에는 상기 가교구조의 상기 이동수단에 의한 이동을 안내하는 안내수단이 설치되어 있다.

또한, 청구항 6의 발명은, 청구항 5의 발명에 관한 기판 처리장치에 있어서, 상기 안내수단이, 상기 이동수단에 의한 상기 가교구조의 이동방향을 규정하는 방향 규정수단과, 상기 방향 규정수단상에 접촉하면서, 상기 가교구조를 지지하는 지지수단을 가지고, 상기 지지수단이 상기 방향 규정수단과 접촉하기 위한 복수의 볼(ball)을 가진다.

또한, 청구항 7의 발명은, 청구항 6의 발명에 관한 기판 처리장치에 있어서, 상기 지지수단이, 상기 복수의 볼의 사이에 위치하는 스페이서를 더 가진다.

또한, 청구항 8의 발명은, 청구항 7의 발명에 관한 기판 처리장치에 있어서, 상기 가교구조에, 카본파이버(carbon fiber)제의 골재가 사용되고 있다.

또한, 청구항 9의 발명은, 청구항 8의 발명에 관한 기판 처리장치에 있어서, 상기 처리 툴이 소정의 처리액을 토출하는 슬릿노즐이고, 상기 주사에 의해 상기 기판의 상기 표면상에 상기 처리액의 층이 형성된다.

또한, 청구항 10의 발명은, 청구항 9의 발명에 관한 기판 처리장치에 있어서, 상기 기판이 플랫패널 디스플레이용의 각형(角形)의 기판이고, 상기 처리액이 레지스트액 또는 유기평탄화막 형성용 도포액이다.

또한, 청구항 11의 발명은, 기판을 유지하는 유지 플레이트와, 소정의 처리 툴이 설치되어, 상기 유지 플레이트의 표면에 따라 걸쳐진 가교구조와, 상기 가교구조를 상기 유지 플레이트에 유지되어 있는 기판의 표면에 따른 방향으로 이동시키는 이동수단을 구비하고, 상기 방향으로 상기 가교구조를 이동시키면서, 상기 처리 툴에 의해 상기 기판의 표면을 주사함으로써, 상기 기판의 표면에 대해서 소정의 처리를 행하는 기판 처리장치에 있어서, 상기 이동수단이, 상기 유지 플레이트에 설치되어 상기 가교구조의 이동방향에 따라 신장하는 고정자와, 상기 가교구조에서 신장되어 상기 고정자에 비접촉으로 대향하는 이동자를 가지는 AC 코어리스 리니어 서보모터를 구비하며, 상기 AC 코어리스 리니어 서보모터의 구동력에 의해 상기 가교구조가 이동한다.

또한, 청구항 12의 발명은, 청구항 11의 발명에 관한 기판 처리장치에 있어서, 상기 고정자가, 상기 유지 플레이트의 측면에 설치되어 있다.

또한, 청구항 13의 발명은, 청구항 11 또는 12의 발명에 관한 기판 처리장치에 있어서, 상기 이동수단이, 상기 유지 플레이트에 상기 고정자와 거의 평행하게 설치된 스케일부와, 상기 가교구조에서 신장되어 상기 스케일부에 대향하는 검출단과의 위치관계를 검출함으로써, 상기 가교구조의 위치를 검출하는 리니어 인코더를 가지고, 상기 AC 코어리스 리니어 서보모터가, 상기 리니어 인코더의 검출결과에 따라서 위치 제어된다.

또한, 청구항 14의 발명은, 청구항 13의 발명에 관한 기판 처리장치에 있어서, 상기 AC 코어리스 리니어 서보모터가 상기 가교구조의 양단부에 대응하도록 각각의 단부측에 설치되고, 또 상기 리니어 인코더도 상기 가교구조의 양단부에 대응하도록 각각의 단부측에 설치되었다.

또한, 청구항 15의 발명은, 청구항 14의 발명에 관한 기판 처리장치에 있어서, 상기 유지 플레이트의 표면에는, 상기 가교구조의 상기 이동수단에 의한 이동을 안내하는 안내수단이 설치되어 있다.

또한, 청구항 16의 발명은, 청구항 15의 발명에 관한 기판 처리장치에 있어서, 상기 가교구조에, 카본파이버제의 골재가 사용되고 있다.

또한, 청구항 17의 발명은, 청구항 16의 발명에 관한 기판 처리장치에 있어서, 상기 처리 툴이 소정의 처리액을 토출하는 슬릿노즐이고, 상기 주사에 의해 상기 기판의 상기 표면상에 상기 처리액의 층이 형성된다.

또한, 청구항 18의 발명은, 청구항 17의 발명에 관한 기판 처리장치에 있어서, 상기 기판이 플랫패널 디스플레이용의 각형의 기판이고, 상기 처리액이 레지스트액이다.

(발명의 실시형태)

이하, 본 발명의 바람직한 실시형태에 대해서, 첨부된 도면을 참조하면서, 상세히 설명한다.

〈1. 실시형태〉

〈1. 1 구성의 설명〉

도 1은 본 발명의 실시형태에서의 기판 처리장치(1)의 개략을 나타내는 사시도이다. 도 2는 기판 처리장치(1)의 본체(2)를 상방에서 본 평면도이다. 또한, 도 3 및 도 4는 본체(2)의 정면도 및 측면도이다.

기판 처리장치(1)는, 본체(2)와 제어시스템(6)으로 크게 구별되고, 액정 표시장치의 화면 패널을 제조하기 위한 각형(角形) 유리기판을 피처리기판(90)으로 해 놓고, 기판(90)의 표면에 형성된 전극층 등을 선택적으로 에칭하는 프로세스에 있어서, 기판(90)의 표면에 레지스트액을 도포하는 도포장치로서 구성되어 있다. 따라서, 이 실시형태에서는, 슬릿노즐(41)은 레지스트액을 토출하도록 되어 있다. 또, 기판 처리장치(1)는, 액정 표시장치용의 유리기판 뿐만 아니라, 일반적으로 플랫패널 디스플레이용의 여러가지 기판에 처리액(약액)을 도포하는 장치로서 변형 이용하는 것도 가능하다.

본체(2)는, 피처리기판(90)을 얹어서 유지하기 위한 유지 플레이트로서 기능함과 동시에, 부속하는 각 기구의 베이스(基臺)로도 기능하는 스테이지(3)를 구비한다. 스테이지(3)는 직육면체 형상의 일체의 석제(石製)이고, 그 상면(유지면(30)) 및 측면은 평탄면으로 가공되어 있다.

스테이지(3)의 상면은 수평면으로 되어 있고, 기판(90)의 유지면(30)으로 되어 있다. 유지면(30)에는 다수의 진공 흡착구가 분포하여 형성되어 있고, 기판 처리장치(1)에 있어서 기판(90)을 처리하는 동안, 기판(90)을 흡착함으로써, 기판(90)을 소정의 수평위치에 유지한다.

이 유지면(30)중 기판(90)의 유지영역(기판(90)이 유지되는 영역)을 사이에 둔 양단부에는, 거의 수평방향으로 평행하게 신장하는 한쌍의 주행레일(31a)이 고정 설치된다. 주행레일(31a)은 가교구조(4)의 양단부에 고정 설치되는 지지블록(31b)과 함께 가교구조(4)의 이동을 안내하는 직선이동 안내기구를 구성한다.

이것에 의해, 가교구조(4)의 이동방향을 규정할 수 있음과 동시에, 가교구조(4)를 유지면(30)의 상방에 지지할 수 있다.

도 5 내지 도 7은 지지블록(31b)의 구성을 나타내는 도면이다. 지지블록(31b)은, 가교구조(4)에 강성 결합되고, 도 6에 나타내는 바와 같이 중앙부에 비해 양측면부의 하단이 하방으로 돌출한 형상(역 凹형상)으로 되어 있고, 당해 측면부가 주행레일(31a)을 양측에서 사이에 두도록 배치된다.

이것에 의해, Y축 방향의 이동이 제한되기 때문에, 가교구조(4)의 이동방향을 주행레일(31a)에 따른 X축 방향으로 규정할 수 있다.

또한, 지지블록(31b)은, 도 6 및 도 7에 나타내는 바와 같이, 내부에 링 모양의 공동(空洞)(312)이 설치되어 있고, 복수의 볼(310)과 스페이서(311)가 교대로 내포되는 구조로 되어 있다. 지지블록(31b)의 중앙부 저면에는, 개구부가 설치되고, 당해 개구부에서 볼(310)이 노출한다. 그리고, 당해 노출한 볼(310)이 주행레일(31a)의 상면에 접촉함으로써, 가교구조(4)를 스테이지(3)의 상방에 지지한다. 또, 도 5 내지 도 7에 있어서는 생략하고 있지만, 지지블록(31b)에는, 이와 같은 구조가 주행레일(31a)의 측면과 접하는 부분에도 설치되어 있다.

이것에 의해, 공기 등을 분출시키는 것에 의해, 주행레일과 지지블록을 서로 접촉시키지 않고 이동시키는 기구(비접촉식 직선인도 안내기구)를 이용하는 경우에 비해서, 공기 등의 기체를 분출시키지 않으므로 기판상에 비산하는 분진량을 삭감할 수 있다.

게다가, 지지블록(31b)이 내부에 스페이서(311)를 가지는 것에 의해, 각 볼(310) 사이의 상호 마찰을 감소시킴과 동시에, 각 볼(310)을 공동(312)내에서 균일하게 이동시킬수 있기 때문에, 보다 분진 발생량을 삭감할 수 있음과 동시에, 가교구조(4)의 속도 변동을 방지할 수 있다. 또, 이와 같은 구조를 가지는 주행레일(31a) 및 지지블록(31b)으로서, 예컨대 LM 가이드(Linear Motion Guide: 東京都品川區의 THK 주식회사의 등록상표)를 이용할 수 있다.

스테이지(3)의 상방에는, 이 스테이지(3)의 양측 부분에서 거의 수평으로 걸쳐진 가교구조(4)가 설치되어 있다. 가교구조(4)는, 카본파이버 수지를 골재로 하는 노즐지지부(40)와, 그 양단을 지지하는 승강기구(43, 44)로 주로 구성된다.

이와 같이, 가교구조(4)의 일부인 노즐지지부(40)에 카본파이버 수지제의 골재를 사용함으로써, 가교구조(4)에 필요한 강도를 유지하면서 경량화를 도모할 수 있기 때문에, 가교구조(4)를 이동시키기 위해 필요한 구동력을 경감시킬수 있고, 가교구조(4)를 이동시키기 위한 모터로서 구동력이 작은 모터를 이용할 수 있다.

노즐지지부(40)에는, 도 3에 나타내는 바와 같이 슬릿노즐(41)과 갭 센서(42)가 설치되어 있다.

수평 Y방향으로 신장하는 슬릿노즐(41)에는, 슬릿노즐(41)로 약액을 공급하는 배관이나 레지스트용 펌프를 포함하는 토출기구(도시하지 않음)가 접속되어 있다. 슬릿노즐(41)은, 레지스트용 펌프에 의해 레지스트가 보내지고, 기판(90)의 표면을 주사함으로써, 기판(90)의 표면의 소정의 영역(이하,「레지스트 도포영역」이라 부른다.)에 레지스트를 토출한다.

갭 센서(42)는, 슬릿노즐(41)의 근방으로 되도록, 노즐지지부(40)에 설치되어, 하방의 존재물(예컨대, 기판(90)의 표면이나 레지스트막의 표면)과의 사이의 고저차(gap)을 측정하고, 측정결과를 제어시스템(6)으로 전달한다.

이와 같이, 노즐지지부(40)에 슬릿노즐(41)과 갭 센서(42)가 설치되는 것에 의해, 이들의 상대적인 위치관계가 고정된다. 따라서, 제어시스템(6)은, 갭 센서(42)의 측정결과에 의거해서, 기판(90)의 표면과 슬릿노즐(41)과의 거리를 검출할 수 있다. 또, 본 실시형태에서의 기판 처리장치(1)에서는 2개의 갭 센서(42)를 구비하고 있지만, 갭 센서(42)의 수는 이것에 한정되는 것은 아니고, 더 많은 갭 센서(42)를 구비하여도 된다.

승강기구(43, 44)는 슬릿노즐(41)의 양측으로 나누어져, 노즐지지부(40)에 의해 슬릿노즐(41)과 연결되어 있다. 승강기구(43, 44)는 슬릿노즐(41)을 병진적으로 승강시킴과 동시에, 슬릿노즐의 YZ 평면내에서의 자세를 조정하기 위해서도 이용된다.

도 8 및 도 9는, 승강기구(44)의 상세(詳細)를 나타내는 도면이다. 승강기구(44)는, AC 서보모터(440), 볼 나사(441) 및 로터리 인코더(442)를 구비한다. 또, 승강기구(44)는, 도시하지 않은 결합부재를 구비하고 있고, 당해 결합부재에 AC 서보모터(440)나 로터리 인코더(442) 등의 각 구성이 설치되어, 소정의 위치에 지지된다. 또한, 승강기구(43)도 승강기구(44)와 거의 같은 구성을 구비한다.

AC 서보모터(440)는, 제어시스템(6)에서의 제어신호에 의거해서, 회전각 및 회전방향을 제어하는 것이 가능한 모터이고, 가교구조(4)의 승강 구동력을 생성한다.

볼 나사(441)는, 상방단이 AC 서보모터(440)에 접속되어 있고, 중심축 P를 중심으로 하여 회전이 가능하게 되어 있다. 노즐지지부(40)의 단부에는, 암나사 구조가 형성된 설치 홀이 설치되어 있고, 볼 나사(441)는 당해 설치 홀로 나사 입력된다. 즉, 볼 나사(441)는, AC 서보모터(440)에서의 회전구동력을 받아 회전함으로써, 노즐지지부(40)(슬릿노즐(41))를 Z축 방향으로 승강시킨다.

로터리 인코더(442)는 AC 서보모터(440)의 상부에 설치되어, AC 서보모터(440)의 회전각을 검출하는 것으로서, 검출결과를 제어시스템(6)으로 전달한다. 또, 승강기구(44)에 의해 승강하는 노즐지지부(40)의 이동량은, 볼 나사(441)의 회전각(AC 서보모터(440)의 회전각)으로 결정된다. 따라서, 제어시스템(6)은 당해 회전각을 제어함으로써, 노즐지지부(40)의 위치((슬릿노즐(41) 및 갭 센서(42)의 위치)를 제어할 수 있다.

가교구조(4)의 양단부에는, 스테이지(3)의 양측에 따라 떨어져 배치된 한쌍의 AC 코어리스 서보 리니어 모터(이하, 간단히「리니어 모터」라 약칭한다)(50, 51)가 각각 고정 설치된다.

도 10 및 도 11은, 가교구조(4)를 기판(90)의 표면에 따른 수평방향으로 이동시키는 리니어 모터(50)와, 가교구조(4)의 위치 검출을 행하는 앱설루트(absolute) 타입의 리니어 모터(52)를 나타내는 도면이다. 또, 가교구조(4)의 반대측에 설치되어 있는 리니어 모터(51) 및 리니어 인코더(53)도 거의 같은 구성을 구비하고 있다.

리니어 모터(50)는, 고정자(stator)(50a)와 이동자(50b)를 구비하고, 고정자(50a)와 이동자(50b)와의 전자적 상호작용에 의해 가교구조(4)를 X축 방향으로 이동시키기 위한 구동력을 생성하는 모터이다. 리니어 모터(50)는, 철심(core)가 없는 타입이므로, 철심이 있는 타입(코어설치 리니어 모터)에 비해서 장치의 소형화가 가능하다. 즉, AC 코어리스 리니어 서보모터에서는, 철심이 있는 리니어 모터와 같이 이동자와 고정자의 사이에 흡인력이 발생하는 일이 없으므로, 각각의 설치구조를 간소하게 할 수 있다. 또한, 고정자에 의한 반발력이 큰 경우에는 직선 이동 안내기구의 볼의 전동(轉動)에 의한 진동이 생기기 쉽게 되어, 가이드를 크게 해서 강도를 높일 필요가 생기지만, AC 코어리스 리니어 서보모터를 이용하면 그와 같은 필요도 생기지 않는다. 또, 리니어 모터(50)에 의한 이동량 및 이동방향은, 제어시스템(6)에서의 제어신호에 의해 제어 가능하게 되어 있다.

고정자(50a)는 가교구조(4)의 이동방향에 따라서 신장하도록 스테이지(3)측의 측면에 고정 설치되고, 유지면(30)보다도 낮은 위치에 수평 배치된다. 이동자(50b)는 가교구조(4)측에 고정 설치되어, 고정자(50a)에 비접촉으로 대향한다.

이와 같이, 가교구조(4)를 이동시키기 위해 리니어 모터(50, 51)를 이용하는 것에 의해, 스테핑 모터와 볼 나사를 이용하는 경우에 비해서, 장치내에 사방으로 흩어지는 오일 등의 분진 발생량을 삭감할 수 있다. 또한, 리니어 모터(50, 51)는 구조가 비교적 단순하기 때문에, 기판 처리장치(1)의 구조를 단순화할 수 있다.

게다가, 가교구조(4)를 이동시키기 위한 구동력을 AC 코어리스 리니어 서보모터(50, 51)에 의해 얻음으로써, 코어설치 리니어 모터를 이용하는 경우에 비해서, 풋프린트를 삭감할 수 있다. 또한, 리니어 모터(50, 51)의 고정자(50a, 501a)를 스테이지(3)의 측면에 설치함으로써, 유지면(30)의 면적을 작게 할 수 있으므로, 유지면(30)의 평면 정밀도의 향상을 도모할 수 있다.

리니어 인코더(52)는, 스케일부(52a) 및 검출자(52b)를 구비하고, 스케일부(52a)와 검출자(52b)와의 상대적인 위치관계를 검출하여, 제어시스템(6)으로 전달한다. 이것은, 가교구조(4)의 양단부중 검출자(52b)가 고정 설치되어 있는 측(리니어 모터(50)가 고정 설치되어 있는 측)의 X축 방향에서의 위치를 검출하는 것을 의미한다. 따라서, 제어시스템(6)은 리니어 인코더(52)에서의 검출 결과에 의거해서, 리니어 모터(50)의 위치를 검출할 수 있고, 당해 검출 결과에 의거해서 리니어 모터(50)를 제어할 수 있다.

이와 같이, 앱설루트 타입의 리니어 인코더(52, 53)를 이용해서 가교구조(4)의 위치 검출을 행함으로써, 가교구조(4)의 위치를 고정밀도로 검출할 수 있기 때문에, 제어시스템(6)이 리니어 모터(50, 51)를 고정밀도로 제어할 수 있다.

스케일부(52a)는, 스테이지(3)측의 측면에 고정 설치되어 유지면(30)보다도 낮은 위치에 수평 배치된다. 또한, 리니어 모터(50)의 고정자(50a)와 거의 수평으로 되어 있고, 스테이지(3)의 측면에 가까운 쪽에 리니어 모터(50)의 고정자(50a)가, 먼쪽에 리니어 인코더(52)의 스테일부(52a)가 배치되어 있다. 검출자(52b)는, 스케일부(52a)에 대향해서 가교구조(4)측에 설치된다.

이것에 의해, 가교구조(4)의 위치오차가 가장 크게 되는 양단부에서의 위치 검출을 행해 위치 제어할 수 있기 때문에, 동일한 분해능을 가지는 리니어 인코더(52, 53)를 다른 위치에 설치하는 경우에 비해서, 가교구조(4)의 위치 오차를 삭감할 수 있다.

이와 같이, 기판 처리장치(1)에서는, 리니어 인코더(52, 53)에 의해, 가교구조(4)의 위치를 고정밀도로 검출할 수 있기 때문에, 슬릿노즐(41)을 고정밀도로 위치 제어할 수 있다. 더구나, 가교구조(4)의 양단부에 대응하도록 리니어 모터(50, 51)를 설치하고, 또 리니어 인코더(52, 53)도 가교구조(4)의 양단부에 대응하도록 설치되어 있다. 그리고 제어시스템(6)은, 가교구조(4)의 편측 단부의 리니어 모터가 해당하는 측의 리니어 인코더의 검출 결과에 의거해서 제어하도록 구성되어 있다. 따라서, 가교구조(4)의 좌우의 위치를 독립해서 위치 제어할 수 있어, 고정밀도의 노즐 위치제어가 가능하다.

제어시스템(6)은, 프로그램에 따라서 각종 데이터를 처리하는 연산부(60), 프로그램이나 각종 데이터를 보존하는 기억부(61)를 내부에 구비한다. 또한, 전면에는, 오퍼레이터가 기판 처리장치(1)에 대해서 필요한 지시를 입력하기 위한 조작부(62) 및 각종 데이터를 표시하는 표시부(63)를 구비한다.

제어시스템(6)은, 도시하지 않은 케이블에 의해 본체(2)에 부속하는 각 기구와 접속되어 있고, 조작부(62) 및 각종 센서 등으로 부터의 신호에 의거해서, 스테이지(3), 가교구조(4), 승강기구(43, 44) 및 리니어 모터(50, 51) 등의 각 구성을 제어한다.

또, 구체적으로는, 기억부(61)로서는 데이터를 일시적으로 기억하는 RAM, 판독전용의 ROM 및 자기디스크 장치 등이 해당하고, 이동 가능한(可搬性) 광자기디스크나 메모리 카드 등의 기억매체 및 그들의 판독장치 등이라도 된다. 또한, 조작부(62)는, 버튼 및 스위치류(키보드나 마우스 등을 포함) 등이지만, 터치패널 디스플레이와 같이 표시부(63)의 기능을 겸비한 것이라도 된다. 표시부(63)는, 액정 디스플레이나 각종 램프 등이 해당한다.

〈1.2 동작의 설명〉

다음에, 기판 처리장치(1)의 동작에 대해서 설명한다. 기판 처리장치(1)에서는, 오퍼레이터 또는 도시하지 않은 반송기구에 의해, 소정의 위치에 기판(90)이 반송됨으로써, 레지스트 도포처리가 개시된다. 또, 처리를 개시하기 위한 지시는, 기판(90)의 반송이 완료한 시점에서, 오퍼레이터가 조작부(62)를 조작하는 것에 의해 입력하여도 된다.

우선, 스테이지(3)가 유지면(30)상의 소정의 위치에 기판(90)을 흡착하여 유지한다. 계속해서, 승강기구(43, 44)가, 노즐지지부(40)에 설치된 갭 센서(42)를 소정의 고도(이하,「측정고도」라 부른다)로 이동시킨다. 이때, 제어시스템(6)은 승강기구(43, 44)의 각각에 설치되어 있는 각 로터리 인코더(442)의 검출 결과에 의거해서, 각각의 승강기구(43, 44)에 제어신호를 공급함으로써, 갭 센서(42)의 위치를 제어한다.

갭 센서(42)가 측정고도에 셋트되면, 리니어 모터(50, 51)가 가교구조(4)를 X방향으로 이동시킴으로써, 갭 센서(42)를 레지스트 도포영역의 상방까지 이동시킨다. 여기서, 레지스트 도포영역이란, 기판(90)의 표면중 레지스트액을 도포하고자 하는 영역으로서, 통상 기판(90)의 전체 면적에서 단부 테두리에 따른 소정 폭의 영역을 제외한 영역이다. 이때, 제어시스템(6)은, 리니어 인코더(52, 53)의 검출 결과에 의거해서, 각각의 리니어 모터(50, 51)에 제어신호를 공급함으로써, 갭 센서(42)의 수평 위치를 제어한다.

다음에, 갭 센서(42)가 기판(90) 표면의 레지스트 도포영역에서의 기판(90) 표면과 슬릿노즐(41)과의 갭의 측정을 개시한다. 측정이 개시되면, 리니어 모터(50, 51)가 가교구조(4)를 더 X방향으로 이동시키는 것으로 갭 센서(42)가 레지스트 도포영역을 주사하고, 주사중의 측정결과를 제어시스템(6)에 전달한다. 이때, 제어시스템(6)은, 갭 센서(42)의 측정 결과를 리니어 인코더(52, 53)에 의해 검출되는 수평 위치와 관련시켜 기억부(61)에 보존한다.

가교구조(4)가 기판(90)의 상방을 X방향으로 통과하여, 갭 센서(42)에 의한 주사가 종료하면, 제어시스템(6)은, 가교구조(4)를 그 위치에서 정지시켜, 갭 센서(42)에서의 측정 결과에 의거해서, 슬릿노즐(41)의 YZ 평면에서의 자세가 적절한 자세(슬릿노즐(41)과 레지스트 도포영역과의 간극이 레지스트를 도포하기 위해 적절한 간극이 되는 자세. 이하,「적정자세」라 부른다)가 되는 노즐지지부(40)의 위치를 산출하고, 산출 결과에 의거해서, 각각의 승강기구(43, 44)에 제어신호를 공급한다. 그 제어신호에 의거해서, 각각의 승강기구(43, 44)가 노즐지지부(40)를 Z축 방향으로 이동시켜, 슬릿노즐(41)을 적정 자세로 조정한다. 게다가, 리니어 모터(50, 51)가 가교구조(4)를 -X방향으로 이동시켜, 슬릿노즐(41)을 토출 개시위치로 이동시킨다. 여기서, 토출 개시위치란, 레지스트 도포영역의 한변에 슬릿노즐(41)이 거의 따르는 위치이다.

슬릿노즐(41)이 토출 개시위치까지 이동하면, 제어시스템(6)이 제어신호를 리니어 모터(50, 51) 및 레지스트용 펌프(도시하지 않음)로 공급한다. 그 제어신호에 의거해서, 리니어 모터(50, 51)가 가교구조(4)를 -X방향으로 이동시키는 것으로 슬릿노즐(41)이 기판(90)의 표면을 주사하고, 그 슬릿노즐(41)의 주사중에 레지스트용의 펌프를 운전하는 것으로 슬릿노즐(41)에 레지스트가 보내지고, 슬릿노즐(41)이 레지스트 도포영역으로 레지스트를 토출한다. 이것에 의해, 기판(90)의 표면상에 레지스트의 층이 형성된다.

슬릿노즐(41)이 레지스트를 토출하면서 기판(90)의 표면을 주사하는 동안, 리니어 인코더(52, 53)는, 수시로 가교구조(4)의 X방향의 위치, 구체적으로는 가교구조(4)의 양단에 있는 승강기구(43, 44) 각각의 X방향의 위치를 검출하여 제어시스템(6)으로 전달한다. 제어시스템(6)은 각각의 리니어 인코더(52, 53)에서 얻어진 검출 결과에 의거해서, 각각의 리니어 모터(50, 51)를 제어하는 것에 의해, 가교구조(4)의 양단을 이동(X축 방향에 위치 어긋남을 생기게 하지 않도록 이동)시킨다.

이와 같이, 리니어 모터(50, 51)의 각각에 대해서 개별로 위치 검출을 행해 위치 제어하고 있으므로, 결과로서, X축방향에 위치 어긋남없이 고정밀도로 동기한 구동이 가능하다. 따라서, 어느 것인가 한쪽의 리니어 모터만 위치 제어하는 경우에 비해서, 가교구조(4)의 전송 오차가 감소하기 때문에, 슬릿노즐(41)의 전송 속도를 일정하게 유지할 수 있어, 높은 강성을 가지는 구조물인 가교구조(4)에 대해서, 그 양단을 각각의 주행레일(31a)상에서 주행시킨 것으로 하여도, 뒤틀림 등이 생기기 어렵고, 슬릿노즐(41)에 의한 레지스트의 도포를 균일하게 행할 수 있다.

슬릿노즐(41)이 토출 종료위치까지 이동하면, 제어시스템(6)이 제어신호를 리니어 모터(50, 51) 및 레지스트용 펌프로 공급한다. 그 제어신호에 의거해서, 레지스트용 펌프가 정지하는 것에 의해 슬릿노즐에서의 레지스트의 토출이 정지하고, 승강기구(43, 44)가 갭 센서(42)를 측정고도로 이동시킨다.

게다가, 리니어 모터(50, 51)가 가교구조(4)를 X방향으로 이동시키는 것으로 갭 센서(42)가 레지스트 도포영역을 주사하고, 기판(90)상에 형성된 레지스트막과의 갭을 측정하여 제어시스템(6)으로 전달한다. 제어시스템(6)은, 레지스트 도포 전에 측정한 갭의 값(기판(90)의 표면과의 거리)과, 레지스트 도포 후에 측정한 갭의 값(레지스트막의 표면과의 거리)를 비교함으로써, 기판(90)상의 레지스트막의 두께를 산출하여, 산출 결과를 표시부(63)에 표시한다.

레지스트막의 검사가 종료하면, 스테이지(3)는 기판(90)의 흡착을 정지하고, 오퍼레이터 또는 반송기구가 기판(90)을 유지면(30)에서 집어 들어, 다음의 처리공정으로 반송한다.

이상, 기판 처리장치(1)에서는, 가교구조(4)의 이동동작중은, 각각의 리니어 인코더(52, 53)에서의 검출 결과에 의거해서, 각각의 리니어 모터(50, 51)를 동기 제어함으로써, 슬릿노즐(41)의 전송 오차를 감소시킬수 있다. 따라서, 기판 처리장치(1)는, 슬릿노즐(41)에 의한 도포를 일정한 속도로 행할 수 있으므로, 기판에 대해서 균일한 도포를 행할 수 있다.

또한, 가교구조(4)의 위치를 검출하기 위해, 앱설루트 타입의 리니어 인코더(52, 53)를 이용함으로써, 고정밀도로 검출된 위치정보에 의거해서 리니어 모터(50, 51)를 제어할 수 있다. 게다가, 가교구조(4)에 카본파이버 수지제의 골재를 이용함으로써, 구동력이 작은 리니어 모터(50, 51)를 이용할 수 있고, 장치의 단순화를 도모함과 동시에, 오일 등의 분진 발생량을 감소시킬수 있다.

게다가, 기판 처리장치(1)에서는, 가교구조(4)를 이동시키기 위한 구동력을 AC 코어리스 리니어 서보모터(50, 51)에 의해 얻는 것으로, 풋프린트를 삭감할 수 있다. 또한, AC 코어리스 리니어 서보모터(50, 51)를 스테이지(3)의 측면에 설치함으로써, 유지면(30)의 면적을 작게 할 수 있으므로, 유지면(30)의 평면 정밀도의 향상을 도모할 수 있다. 즉, 슬릿노즐(41)을 고정밀도로 위치 제어할 수 있으므로, 레지스트 도포처리를 고정밀도로 행할 수 있다.

〈2. 변형예〉

이상, 본 발명의 실시형태에 대해서 설명해 왔지만, 본 발명은 상기 실시형태에 한정되는 것은 아니고 다양한 병형이 가능하다.

예를 들면, 리니어 인코더는, 인크리먼트(increment) 타입이라도 된다. 그 경우는, 더욱 장치의 단순화를 도모할 수 있다.

또한, 상기 실시형태는 수평한 유지면에 기판을 얹어 수평자세로 유지하는 것이었지만, 예를 들면 기판을 수직(縱)자세로 유지하여 처리하는 것 혹은 경사 자세로 유지하여 처리하는 것에 대해서도 본 발명을 적용할 수 있다.

청구항 1 내지 10 기재의 발명에서는, 제어수단이 복수의 단위 이동수단의 각각을 위치 제어함으로써, 처리 툴의 위치를 고정밀도로 제어할 수 있으므로, 기판에 대해서 고정밀도의 처리를 행할 수 있다.

청구항 2 기재의 발명에서는, 단위 이동수단의 각각이 리니어 모터와 리니어 인코더를 가지는 것에 의해 장치내에 사방으로 흩어지는 오일 등의 분진 발생량을 삭감함과 동시에, 장치의 단순화를 도모할 수 있다. 또한, 가교구조의 위치 검출을 고정밀도로 행할 수 있으므로, 가교구조의 전송 불균일을 감소시킬수 있다.

청구항 3 기재의 발명에서는, 리니너 모터의 고정자와 비교하여, 유지 플레이트에서 먼 쪽에 리니어 인코더의 검출단부가 배치되어 있는 것에 의해, 오차가 크게 되는 가교구조의 양단부에서 위치 검출을 행할 수 있고, 가교구조의 위치를 고정밀도로 검출할 수 있다.

청구항 4 기재의 발명에서는, 각각의 리니어 인코더가 앱설루트 타입인 것에 의해, 인크리먼트 타입에 비해, 가교구조의 위치를 고정밀도로 검출할 수 있다.

청구항 5 기재의 발명에서는, 유지 플레이트의 표면에는 가교구조의 이동수단에 의한 이동을 안내하는 안내수단이 설치되어 있는 것에 의해, 가교구조의 이동방향을 규정할 수 있다.

청구항 6 기재의 발명에서는, 방향 규정수단상에 접촉하면서, 가교구조를 지지하는 지지수단을 가지는 것에 의해, 공기 등의 기체를 분출시키지 않으므로 기판상에 비산하는 분진량을 삭감할 수 있다.

청구항 7 기재의 발명에서는, 지지수단이, 복수의 볼의 사이에 위치하는 스페이서를 더 가지는 것에 의해, 지지수단내의 각 볼 사이의 상호 마찰을 감소시킴과 동시에, 각 볼을 가이드내에서 균일하게 이동시킬수 있기 대문에, 보다 분진 발생량을 삭감할 수 있음과 동시에, 가교구조를 안정하게 이동시킬수 있다.

청구항 8 기재의 발명에서는, 가교구조에, 카본파이버제의 골재가 사용되고 있는 것에 의해, 가교구조의 강도를 유지하면서 경량화를 도모할 수 있고, 가교구조를 이동시키기 위해 필요한 구동력을 경감시킬수 있기 때문에, 구동력이 작은 모터를 이용할 수 있다.

또한, 청구항 11 내지 18 기재의 발명에서는, AC 코어리스 리니어 서보모터의 구동력으로 가교구조가 이동하는 것에 의해, 풋프린트를 삭감할 수 있다.

청구항 12의 발명에서는, 고정자가, 유지 플레이트의 측면에 설치되어 있는 것에 의해, 유지 플레이트의 유지면의 면적을 작게 할 수 있으므로, 유지면의 평면 정밀도의 향상을 도모할 수 있다.

청구항 13의 발명에서는, 가교구조의 위치를 검출하는 리니어 인코더를 가지고, AC 코어리스 리니어 서보모터가, 리니어 인코더의 검출결과에 따라서 위치 제어되는 것에 의해, 가교구조의 위치를 고정밀도로 검출할 수 있기 때문에, 처리 툴을 고정밀도로 위치 제어할 수 있다.

청구항 14의 발명에서는, 가교구조의 양단부에 AC 코어리스 리니어 서보모터와 리니어 인코더에 설치되는 것에 의해, 가교구조의 좌우의 위치를 독립하여 고정밀도로 위치 제어할 수 있다.

청구항 15의 발명에서는, 유지 플레이트의 표면에는, 가교구조의 이동수단에 의한 이동을 안내하는 안내수단이 설치되어 있는 것에 의해, 가교구조의 이동방향을 규정할 수 있다.

청구항 16의 발명에서는, 가교구조에, 카본파이버제의 골재가 사용되고 있는 것에 의해, 가교구조의 강도를 유지하면서 경량화를 도모할 수 있고, 가교구조를 이동시키기 위해 필요한 구동력을 경감할 수 있기 때문에, 구동력이 작은 모터를 이용할 수 있다.

도 1은 본 발명의 실시형태에서 기판 처리장치의 개략을 나타내는 사시도,

도 2는 기판 처리장치의 본체를 상방에서 본 평면도,

도 3은 본체의 정면도,

도 4는 본체의 측면도,

도 5는 지지블록을 하측에서 본 도면,

도 6은 도 5에 나타내는 Ⅵ-Ⅵ선에서 본 지지블록의 구조를 나타내는 도면,

도 7은 도 5에 나타내는 Ⅶ-Ⅶ선에서 본 지지블록의 구조를 나타내는 도면,

도 8은 승강기구의 상세를 나타내는 도면,

도 9는 승강기구의 상세를 나타내는 도면,

도 10은 리니어 모터 및 리니어 인코더를 정면(正面)에서 확대하여 나타내는 도면,

도 11은 리니어 모터 및 리니어 인코더를 측면(側面)에서 확대하여 나타내는 도면이다.

[도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명]

1 기판 처리장치, 2 본체,

3 스테이지, 30 유지면,

310 볼, 311 스페이서,

31a 주행레일, 31b 지지블록,

4 가교구조, 40 노즐지지부,

41 슬릿노즐,

50, 51 AC 코어리스 리니어 서보모터,

50a 고정자, 50b 이동자,

52, 53 리니어 인코더, 52a 스케일부,

52b 검출자, 6 제어시스템,

90 기판

Claims

기판을 유지하는 유지 플레이트와,

소정의 처리 툴이 거의 수평방향으로 설치되고, 상기 유지 플레이트의 표면에 따라 걸쳐진 가교구조와,

상기 가교구조를 상기 유지 플레이트에 유지되어 있는 기판의 표면에 따른 방향으로 이동시키는 이동수단과,

상기 이동수단을 제어하는 제어수단을 구비하고,

상기 방향으로 상기 가교구조를 이동시키면서, 상기 처리 툴에 의해 상기 기판의 표면을 주사함으로써, 상기 기판의 표면에 대해서 소정의 처리를 행하는 기판 처리장치에 있어서,

상기 이동수단이, 상기 유지 플레이트의 양측에 떨어져 배치된 복수의 단위 이동수단을 가지고,

상기 제어수단이, 상기 복수의 단위 이동수단의 각각을 위치 제어함으로써, 상기 가교구조의 양단을 이동시키는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
제 1 항에 있어서,

상기 단위 이동수단의 각각이,

상기 유지 플레이트에 설치되어 상기 가교구조의 이동방향에 따라 신장하는 고정자와,

상기 가교구조에서 신장되어 상기 고정자에 비접촉으로 대향하는 이동자와의 전자적 상호작용에 의해 상기 가교구조를 이동시키기 위한 구동력을 생성하는 리니어 모터와,

상기 유지 플레이트에 설치된 스케일부와, 상기 가교구조에서 신장되어 상기 스케일부에 대향하는 검출단과의 위치관계를 검출함으로써, 상기 가교구조의 위치를 검출하는 리니어 인코더를 가지며,

상기 리니어 모터의 상기 고정자와 상기 리니어 인코더의 상기 스케일부가 상기 유지 플레이트의 측면에 병렬 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
제 2 항에 있어서,

상기 리니어 모터의 상기 고정자와 비교하여, 상기 유지 플레이트에서 먼 쪽에 상기 리니어 인코더의 상기 검출단부가 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
제 2 항 또는 제 3 항에 있어서,

상기 유지 플레이트의 양측면에 상기 리니어 모터의 상기 고정자와 상기 리니어 인코더의 상기 스케일부가 설치되고,

각각의 리니어 인코더가 앱설루트 타입인 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
제 4 항에 있어서,

상기 유지 플레이트의 표면에는, 상기 가교구조의 상기 이동수단에 의한 이동을 안내하는 안내수단이 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
제 5 항에 있어서,

상기 안내수단이,

상기 이동수단에 의한 상기 가교구조의 이동방향을 규정하는 방향 규정수단과,

상기 방향 규정수단상에 접촉하면서, 상기 가교구조를 지지하는 지지수단과을 가지고,

상기 지지수단이, 상기 방향 규정수단과 접촉하기 위한 복수의 볼을 가지는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
제 6 항에 있어서,

상기 지지수단이, 상기 복수의 볼의 사이에 위치하는 스페이서를 더 가지는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
제 7 항에 있어서,

상기 가교구조에, 카본파이버제의 골재가 사용되고 있는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
제 8 항에 있어서,

상기 처리 툴이 소정의 처리액을 토출하는 슬릿노즐이고, 상기 주사에 의해 상기 기판의 상기 표면상에 상기 처리액의 층이 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
제 9 항에 있어서,

상기 기판이 플랫패널 디스플레이용의 각형(角形)의 기판이고,

상기 처리액이 레지스트액 또는 유기평탄화막 형성용 도포액인 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
기판을 유지하는 유지 플레이트와,

소정의 처리 툴이 설치되어, 상기 유지 플레이트의 표면에 따라 걸쳐진 가교구조와,

상기 가교구조를 상기 유지 플레이트에 유지되어 있는 기판의 표면에 따른 방향으로 이동시키는 이동수단을 구비하고,

상기 방향으로 상기 가교구조를 이동시키면서, 상기 처리 툴에 의해 상기 기판의 표면을 주사함으로써, 상기 기판의 표면에 대해서 소정의 처리를 행하는 기판 처리장치에 있어서,

상기 이동수단이,

상기 유지 플레이트에 설치되어 상기 가교구조의 이동방향에 따라 신장하는 고정자와,

상기 가교구조에서 신장되어 상기 고정자에 비접촉으로 대향하는 이동자를 가지는 AC 코어리스 리니어 서보모터를 구비하며,

상기 AC 코어리스 리니어 서보모터의 구동력에 의해 상기 가교구조가 이동하는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
제 11 항에 있어서,

상기 고정자가, 상기 유지 플레이트의 측면에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
제 11 항 또는 제 12 항에 있어서,

상기 이동수단이,

상기 유지 플레이트에 상기 고정자와 거의 평행하게 설치된 스케일부와, 상기 가교구조에서 신장되어 상기 스케일부에 대향하는 검출단과의 위치관계를 검출함으로써, 상기 가교구조의 위치를 검출하는 리니어 인코더를 가지고,

상기 AC 코어리스 리니어 서보모터가, 상기 리니어 인코더의 검출결과에 따라서 위치 제어되는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
제 13 항에 있어서,

상기 AC 코어리스 리니어 서보모터가, 상기 가교구조의 양단부에 대응하도록 각각의 단부측에 설치되고, 또 상기 리니어 인코더도 상기 가교구조의 양단부에 대응하도록 각각의 단부측에 설치된 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
제 14 항에 있어서,

상기 유지 플레이트의 표면에는, 상기 가교구조의 상기 이동수단에 의한 이동을 안내하는 안내수단이 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
제 15 항에 있어서,

상기 가교구조에, 카본파이버제의 골재가 사용되고 있는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
제 16 항에 있어서,

상기 처리 툴이 소정의 처리액을 토출하는 슬릿노즐이고, 상기 주사에 의해 상기 기판의 상기 표면상에 상기 처리액의 층이 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
제 17 항에 있어서,

상기 기판이 플랫패널 디스플레이용의 각형(角形)의 기판이고,

상기 처리액이 레지스트액인 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.