KR100591941B1 - 테이블 코터기용 스테이지 장치 - Google Patents

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KR100591941B1
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가기히로마코토
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스미도모쥬기가이고교 가부시키가이샤
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Abstract

미소 진동에 의한 도포 얼룩의 발생을 방지할 수 있는 테이블 코터기용 스테이지 장치를 제공한다.
본 스테이지 장치는, 노즐부(60)를, 슬라이더에 의하여 가설대(10) 상에 설치된 돌정반(20) 상에 배치된 기판 테이블(30)의 상방을 일축 방향으로 반송한다. 슬라이더는, 돌정반의 양측에 있어서 서로 평행하게 일축 방향으로 뻗도록 설치된 2개의 레일부(21A, 21B)를 따라서 주행 가능한 가동부를 가지는 2개의 리니어 모터에 의한 2개의 Y축 구동기구(40A, 40B)를 포함한다. 각 리니어 모터의 요크부를 돌(石)정반에서 구조적으로 분리하여 설치한 일축 방향으로 뻗는 아암(11A, 11B)을 통하여 레일부를 따르도록 배치하고, 가설대와 돌정반 사이에는 적어도 1개의 제진(除振) 유닛(25)을 설치하였다.
테이블, 코터, 스테이지, 정반, 슬라이더, 요크, 제진

Description

테이블 코터기용 스테이지 장치{Stage apparatus for table coater}
도 1은, 본 발명의 제1 실시형태에 의한 테이블 코터기용 스테이지 장치의 정면도이다.
도 2는, 도 1에 나타낸 스테이지 장치의 사시도이다.
도 3은, 도 1에 나타낸 Y축 구동기구를 구성하는 리니어 모터와 그 요크부를 설치하기 위한 아암 및 돌정반의 관계를 설명하기 위한 도면이다.
도 4는, 도 3에 나타낸 리니어 모터의 가동부와 그 주행을 안내하는 레일부 및 리니어 스케일과 리니어 센서 헤드의 관계를 설명하기 위한 도면이다.
도 5는, 본 발명의 제2 실시형태에 의한 테이블 코터기용 스테이지 장치의 정면도이다.
도 6은, 대형 처리기판용으로서 제안되어 있는 테이블 코터기용 스테이지 장치의 측면도이다.
도 7은, 도 6에 나타낸 테이블 코터기용 스테이지 장치의 정면도이다.
도 8은, 테이블 코터기에 있어서의 노즐부를 설명하기 위한 사시도이다.
[부호의 설명]
10, 150 : 가설대
11A, 11B, 71A, 71B : 아암
20, 160 : 돌정반
21A, 21B, 110A, 110B : 레일부
30, 100 : 기판 테이블
40A, 40B, 120A, 120B : Y축 구동기구
41B : 요크부
42B : 영구자석
43B : 가동 코일부
44B : 가동부
45B : 리니어 스케일
46B : 리니어 센서 헤드
47-1B, 47-2B : 정압 공기베어링
50A, 50B, 130A, 130B : Z축 구동기구
60, 140 : 노즐부
본 발명은 스테이지(stage) 장치에 관한 것으로서, 특히 테이블(table) 코터(coater)기에 적용한 스테이지 장치에 관한 것이다.
코터기의 일례로서, 예컨대 액정판의 제조 과정에 있어서 유리기판에 특정의 재료에 의한 박막을 도포 형성하는 코터기가 있다. 지금까지, 이 종류의 코터기는 스핀 코팅 방식에 의한, 소위 스핀 코터기가 주류였다. 그러나, 스핀 코터기는, 그 기구상, 기판상에 떨어뜨린 고가의 도포 재료의 거의가 버려져 버린다는 문제점을 가지고 있다.
그래서, 근년에는 스핀 코터기 대신에 테이블 코터기가 제공되기 시작하고 있다. 테이블 코터기는, 어떤 길이의 도포재료의 분사구를 가지는 노즐부 또는 피처리기판을 탑재하고 있는 테이블을 일축 방향으로 슬라이드시킴으로써 도포를 행하는 것으로서, 도포재료의 폐기량이 적도록 처리하는 잇점을 가진다(예컨대 특허문헌 1 참조).
그러나, 최근에는 피처리기판이 대형화(예컨대 2m × 2m)하고 있어서, 이에 대응 가능한 스테이지 장치가 요구되고 있다.
도 6, 도 7을 참조하여, 대형의 피처리기판용으로서 제안되어 있는 테이블 코터기용 스테이지 장치의 일례에 대하여 설명한다. 도 6, 도 7에 있어서, 가설대(150) 상에 돌(石)정반(160)이 고정되어 있다. 돌정반(160)은 상면 측에 오목부를 가지고, 이 오목부에는, 피처리기판을 탑재하여 흡착 유지하기 위한 기판 테이블(100)이 설치되어 있다. 기판 테이블(100)의 양측에 대응하는 돌정반(160)의 양측, 즉 오목부보다 높게 되어 있는 부분에는, 서로 평행하게 뻗도록 레일부(110A, 110B)가 설치되어 있다. 이하에서는, 이 뻗어 있는 방향을 Y축이라고 부른다. 이들 레일부(110A, 110B)에는 각각, 레일부(110A, 110B)를 따라서 주행 가능하도록 Y축 구동기구(120A, 120B)가 조합된다. Y축 구동기구(120A, 120B)는 리니어 모터에 의하여 실현된다. 즉, 레일부(110A, 110B)를 따라서 리니어 모터의 고정자석부(요크 부)가 배치되고, Y축 구동기구(120A, 120B)는 리니어 모터의 가동 코일부를 가진다.
Y축 구동기구(120A, 120B)에는 또한, 거기서 상방으로 뻗도록 Z축 구동기구(130A, 130B)가 설치되어 있다. Z축 구동기구(130A, 130B)는, Z축 방향, 즉 상하방향으로의 구동원으로서, 이들 사이에 걸쳐진 노즐부(140)를 Z축 방향으로 구동하기 위한 것이다.
노즐부(140)는, Y축 구동기구(120A, 120B)에 의하여 Z축 구동기구(130A, 130B)와 함께 Y축 방향으로 이동 가능하며, Z축 구동기구(130A, 130B)에 의하여 Z축 방향으로 이동 가능하다.
본 스테이지 장치에 부착되는 노즐부(140)는, 도 8에 나타내는 바와 같이, 기판 테이블(100) 상에 탑재되는 피처리기판(도시하지 않음)의 폭보다 큰 길이를 가지며, 그 최하부에 길이 방향을 따라서 형성되어 있는 미소(微小) 사이즈의 슬릿에서 도포재료를 분사 혹은 방울방울 떨어뜨린다.
이하에서는, Y축 구동기구(120A, 120B), Z축 구동기구(130A, 130B), 노즐부(140)를 포함하는 가동부 전체를 슬라이더부라고 칭하여 설명을 행한다.
상기와 같은 테이블 코터기용 스테이지 장치로 구동되는 슬라이더부의 도포시 동작은 이하와 같이 된다.
가. 노즐부(140)를 도포 높이까지 내려서, 피처리기판의 직전에서 일단, 정지한다.
나. 정지 상태에서 일정 속도가 되기까지 도포하면서 가속한다.
다. 도포하면서 피처리기판의 종단측으로 일정 속도로 이동한다.
라. 도포하면서 피처리기판의 종단 직전에서 감속 정지한다.
마. 정지 후, 노즐부(140)를 일정 높이만큼 올려서, 도포 개시위치까지 돌아간다.
상기와 같이, 종래의 테이블 코터기는 이하와 같은 구성으로 되어 있다.
A. 슬라이더부에 노즐부(140)를 탑재하고 있다.
B. 슬라이더부를 구동하기 위한 리니어 모터는 돌정반(160) 상에 배치되어 있다.
C. 슬라이더부가 활주하는 레일부(110A, 110B)나 기판 테이블(100)도 같은 돌정반(160) 상에 탑재되어 있다.
그 결과, 슬라이더부가 가감속 시에 발생하는 반력(反力)은 돌정반(160)이 직접 받는 것이 된다. 이 때문에, 슬라이더부의 가감속 시에 돌정반(160) 자체가 진동하여 도포 얼룩을 발생시키는 원인이 되고 있다.
즉, 종래의 테이블 코터기는, 피처리기판에 도포를 행할 때에 발생하는 진동의 영향으로 도포 얼룩이 생기는 영역이 넓었다. 성막(成膜; 막 형성) 기판에 있어서 도포 얼룩이 생긴 부분은 사용할 수가 없어서 폐기시킬 수 밖에 없는 영역이다.
[특허문헌 1] 일본국 특허공개2000-167463호 공보
그래서, 본 발명은, 진동원인 리니어 모터의 요크부와 도포기구부를 분리함으로써, 도포시에 발생하는 진동의 영향을 저감하여 도포 얼룩이 생기는 영역을 최 소한으로 하는 것을 과제로 하고 있다.
본 발명에 의하면, 가설대 상에 설치된 정반 상을, 일축 방향으로 노즐부를 반송 가능하게 하는 제1 슬라이더를 포함하는 테이블 코터기용 스테이지 장치에 있어서, 상기 제1 슬라이더를 리니어 모터로 구성하고, 이 리니어 모터의 가동부를 상기 정반에 설치한 상기 일축 방향으로 뻗는 레일부를 따라서 주행 가능하게 하며, 상기 리니어 모터의 요크부는 상기 정반으로부터 구조적으로 분리하여 설치한 상기 일축 방향으로 뻗는 아암을 통하여 상기 레일부를 따르도록 배치하고, 상기 가설대와 상기 정반 사이에는 적어도 1개의 제진(除振) 유닛을 설치한 것을 특징으로 하는 테이블 코터기용 스테이지 장치가 제공된다.
그리고, 상기 제1 슬라이더는, 상기 정반의 양측에 있어서 서로 평행하게 상기 일축 방향으로 뻗도록 설치한 2개의 상기 레일부를 따라서 주행 가능한 2개의 리니어 모터에 의한 2개의 구동기구로 이루어지고, 상기 아암도 서로 평행하게 상기 일축 방향으로 뻗도록 2개 설치되며, 상기 2개의 구동기구에는 각각 상하방향으로 움직일 수 있는 상하 구동기구가 조합되고, 이들 2개의 상하 구동기구의 상하운동부 사이에 상기 노즐부가 걸쳐진다.
상기 아암은 상기 가설대, 혹은 상기 가설대가 설치되는 바닥에 설치된다.
상기 정반은 돌(石)정반으로서 그 상면에는 오목부가 마련되어 있고, 이 오목부에 피처리기판을 탑재하기 위한 기판 테이블이 설치되며, 이 기판 테이블의 양측에 대응하는 위치에 있어서 상기 오목부의 바닥부보다 높게 되어 있는 부분에 각 각 상기 돌정반과 동일한 돌 재료에 의한 상기 레일부가 설치된다.
상기 레일부에 상기 일축 방향으로 뻗는 리니어 스케일을 설치하고, 상기 리니어 모터의 가동부에 있어서의 상기 리니어 스케일의 대향 위치에 리니어 센서 헤드가 설치된다.
상기 리니어 모터의 가동부는, 상기 레일부에 대하여 정압(靜壓)공기 베어링으로 상기 일축 방향의 안내가 행하여진다.
[발명을 실시하기 위한 최량의 형태]
도 1 내지 도 4를 참조하여, 본 발명에 의한 테이블 코터기용 스테이지 장치의 제1 실시형태에 대하여 설명한다. 본 발명에 의한 스테이지 장치의 특징을 요약하면, Y축 구동기구의 구성 형태 및 가설대와 정반의 관계를 개량한 점에 있다. 따라서, 2개의 Z축 구동기구 및 이들 사이에 걸쳐지는 노즐부의 형태는 도 6, 도 7에서 설명한 것과 동일하여도 좋다. 그러므로, 이하에서는 2개의 Z축 구동기구 및 이들 사이에 걸쳐지는 노즐부에 대하여는 상세한 설명을 생략한다.
도 1, 도 2에 있어서, 가설대(10) 상에 복수의 제진 유닛(25)을 통하여 돌정반(20)이 배치되어 있다. 돌정반(20)은 상면 측 중앙부를 크게 연삭하여 형성한 오목부를 가지며, 이 오목부에는, 피처리기판을 탑재하여 흡착 유지하기 위한 기판 테이블(30)이 설치되어 있다. 기판 테이블(30)의 양측에 대응하는 돌정반(20)의 양측, 즉 오목부보다 높게 되어 있는 부분에는, 돌정반(20)과 동일 돌 재료에 의하여 서로 평행하게 뻗도록 레일부(21A, 21B)가 설치되어 있다. 이들 레일부(21A, 21B)에는 각각, 레일부(21A, 21B)를 따라서 주행 가능한 가동부를 가지는 Y축 구동기구 (40A, 40B)가 설치된다. Y축 구동기구(40A, 40B)는 리니어 모터에 의하여 실현되는데, 상세한 구조에 대하여는 후술한다.
도 6, 도 7에서 설명한 바와 같이, Y축 구동기구(40A, 40B)에는, Z축 구동기구(50A, 50B)가 설치되어 있다. Z축 구동기구(50A, 50B)는, Z축 방향, 즉 상하방향으로의 구동원으로서, 이들 사이에 걸쳐진 노즐부(60)를 Z축 방향으로 구동하기 위한 것이다. 노즐부(60)는, Y축 구동기구(40A, 40B)에 의하여 Z축 구동기구(50A, 50B)와 함께 Y축 방향으로 이동 가능하며, Z축 구동기구(50A, 50B)에 의하여 Z축 방향으로 이동 가능하다.
가설대(10)의 양측에는, 정반(20)의 양측을 따라서 레일부(21A, 21B)의 높이 위치까지 상방으로 뻗고, 또한 레일부(21A, 21B)와 같은 방향으로 뻗어 있는 아암(11A, 11B)이 설치되어 있다.
도 3에 나타내는 바와 같이, Y축 구동기구(40B)를 구성하는 리니어 모터의 요크부(고정자석부)(41B)는 아암(11B)의 상단부에 설치된다. 요크부(고정자석부)(41B)는, ㄷ자 형상의 요크의 상하의 내면측에 다수의 영구자석(42B)이 일정 간격을 두고 고착되어 이루어진다. 한편, 요크부(41B)와의 사이에서 자기적으로 서로 작용하는 가동 코일부(43B)는, 레일부(21B)를 주행하는 가동부(44B)에서 요크부(41B) 측으로 뻗도록 구성되어 있다.
도 4에 나타내는 바와 같이, 레일부(21B)의 측면에는 주행 방향으로 뻗는 리니어 스케일(45B)이 설치되고, Y축 구동기구(40B)의 가동부(44B)에 있어서의 리니어 스케일(45B)의 대향 위치에는 리니어 센서 헤드(46B)가 설치되어 있다.
게다가, 가동부(44B)는, 그 단면 형상이 레일부(21B)의 적어도 3면을 에워싸는 형상으로 되고, 적어도 2면과 서로 대향하는 내면 측에는 각각 적어도 1개의 정압(靜壓) 공기베어링(47-1B, 47-2B)이 설치되어 있다. 정압 공기베어링(47-1B, 47-2B)은, 레일부(21B)에 대하여 압축공기를 스프레이함으로써 가동부(44B)가 레일부(21B)에서 부상한 상태로 주행하도록 하고 있다.
상기 구조는, Y축 구동기구(40A)에 대하여도 완전히 동일하다.
이상의 구조를 요약하면 이하와 같다.
a. 도포 노즐(60)은 슬라이더, 즉 2개의 Y축 구동기구(40A, 40B)의 사이에 걸쳐진다.
b. 슬라이더를 구동하기 위한 리니어 모터의 요크부(41A, 41B)는 가설대(10)에 설치된 아암(11A, 11B)에 고정된다.
c. 슬라이더가 주행하는 레일부(21A, 21B)나 기판 테이블(30)은 돌정반(20) 상에 고정된다.
d. 가설대(10)와 돌정반(20) 사이에는 제진(除振) 유닛(25)이 설치되어 있다.
상기의 구조에 의하면, 슬라이더의 가감속 시에 요크부(41A, 41B)에 발생하는 반력(反力)은 아암(11A, 11B)을 통하여 가설대(10)가 받는 것으로 된다. 그리고, 제진 유닛(25)이 가설대(10)와 돌정반(20) 사이에 설치되어 있기 때문에, 돌정반(20) 이외로부터 오는 진동은 저감된다. 제진 유닛(25)에 의한 진동 저감 효과를 향상시키기 위하여는, 제진 유닛(25)을 돌정반(20)의 바닥면 측에 적어도 3개 배치 함이 바람직하다. 3개의 경우에는, 돌정반(20)의 정밀도를 내기 쉽게 하기 때문에, 정3각형의 정점에 대응하는 위치에 배치함이 바람직하다.
슬라이더의 가감속 시에 발생하는 반력이 돌정반(20)에 작용함이 저감되므로, 리니어 스케일(45A(도시하지 않음), 45B)와 리니어 센서 헤드(46A(도시하지 않음), 46B) 사이의 진동에 기인하는 오차도 저감된다.
그리고, 본 발명에 있어서 문제로 하고 있는 상기 반력에 의한 진동은 미소 진동으로서, 상기 반력에 의한 요크부(41A, 41B) 측이 미소 진동했다고 하여도, 가동 코일부(43A(도시하지 않음), 43B)와 영구자석(42A(도시하지 않음), 42B) 사이의 갭은 이보다 크므로 슬라이더의 주행, 즉 Y축 구동기구(40A, 40B)의 가동부(44A(도시하지 않음), 44B)의 주행에 지장을 가져오지는 않는다.
도 5는, 본 발명의 제2 실시형태를 나타낸다. 본 형태는 요크부(41A, 41B)를 설치하기 위한 아암(71A, 71B)을 가설대(10)가 아니라, 가설대(10)가 설치되는 바닥에 설치하도록 한 것이다. 이 경우, 슬라이더의 가감속 시에 발생하는 반력에 기인하는 미소 진동은 바닥을 통하여 가설대(10)에 전달될 가능성이 있지만, 앞서 말한 바와 같이, 가설대(10)와 돌정반(20) 사이에 제진 유닛(25)이 개재하고 있음으로 인하여, 돌정반(20)으로의 진동은 저감된다. 그리고, 아암(71A, 71B)의 형상은, 제1 실시형태에 있어서의 아암(11A, 11B)와 동일하여도 좋다.
이상, 본 발명을 2개의 실시형태에 대하여 설명했는데, 돌정반(20) 및 레일부(21A, 21B)는, 돌 재료 대신에 다른 재료, 예컨대 세라믹재로 실현되어도 좋다. 본 발명에 의한 스테이지 장치는 또한, 이하와 같은 동작도 가능하다. 즉, 2개의 Y 축 구동기구(40A, 40B)의 추력(推力; thrust)에 차를 줌으로써, 노즐부(60)에 미소 회전운동을 부여할 수가 있다. 미소 회전운동이라는 것은, 노즐부(60)의 길이 방향의 중심부를 중심으로 하는 수평면 내에서의 말하자면 수평 요동운동이다.
[산업상의 이용가능성]
본 발명은, 피구동부를 일축 방향으로 반송 가능하게 하는 슬라이더를 포함하는 스테이지 장치로서 피구동부에 있어서의 진동을 가능한 한 저감하는 것이 요구되는 스테이지 장치 전반에 적용 가능하다.
종래의 테이블 코터기용 스테이지 장치의 구조는 슬라이더가 가감속 시에 발생시키는 반력을 정반이 직접 받기 때문에, 정반 자체가 진동하여 버려서 도포 얼룩의 원인이 되고 있었다. 이에 대하여, 본 발명에 의한 스테이지 장치의 구조에서는 반력을 직접 정반에서 받는 것이 아니라 가설대에서 받기 때문에, 반력에 의하여 가설대가 진동하여도, 가설대와 정반 사이에 설치된 제진(除振) 유닛에 의하여 진동이 저감되고, 이에 의하여 미소 진동에 기인하는 도포 얼룩의 발생이 방지된다. 물론, 어떠한 원인에 의하여 마루 자체가 진동한다고 해도, 이 진동도 제진 유닛에 의하여 저감된다.

Claims (25)

  1. 가설대 상에 설치된 정반 상을, 일축 방향으로 노즐부를 반송 가능하게 하는 제1 슬라이더를 포함하는 테이블 코터기용 스테이지 장치에 있어서,
    상기 제1 슬라이더를 리니어 모터로 구성하고,
    이 리니어 모터의 가동부를 상기 정반에 설치한 상기 일축 방향으로 뻗는 레일부를 따라서 주행 가능하게 하며,
    상기 리니어 모터의 요크부는 상기 정반으로부터 구조적으로 분리하여 설치한 상기 일축 방향으로 뻗는 아암을 통하여 상기 레일부를 따르도록 배치하고,
    상기 가설대와 상기 정반 사이에는 적어도 1개의 제진(除振) 유닛을 설치한 것을 특징으로 하는 테이블 코터기용 스테이지 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1 슬라이더는, 상기 정반의 양측에 있어서 서로 평행하게 상기 일축 방향으로 뻗도록 설치한 2개의 상기 레일부를 따라서 주행 가능한 2개의 리니어 모터에 의한 2개의 구동기구로 이루어지고,
    상기 아암도 서로 평행하게 상기 일축 방향으로 뻗도록 2개 설치되며,
    상기 2개의 구동기구에는 각각 상하방향으로 움직일 수 있는 상하 구동기구가 조합되고,
    이들 2개의 상하 구동기구의 상하운동부 사이에 상기 노즐부가 걸쳐지는 것 을 특징으로 하는 테이블 코터기용 스테이지 장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 아암은 상기 가설대에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 테이블 코터기용 스테이지 장치.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 아암은 상기 가설대가 설치되는 바닥에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 테이블 코터기용 스테이지 장치.
  5. 제2항에 있어서,
    상기 정반은 돌(石)정반으로서 그 상면에는 오목부가 마련되어 있고, 이 오목부에 피처리기판을 탑재하기 위한 기판 테이블이 설치되며, 이 기판 테이블의 양측에 대응하는 위치에 있어서 상기 오목부의 바닥부보다 높게 되어 있는 부분에 각각 상기 돌정반과 동일한 돌 재료에 의한 상기 레일부가 설치되는 것을 특징으로 하는 테이블 코터기용 스테이지 장치.
  6. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 레일부에 상기 일축 방향으로 뻗는 리니어 스케일을 설치하고, 상기 리니어 모터의 가동부에 있어서의 상기 리니어 스케일의 대향 위치에 리니어 센서 헤드를 설치한 것을 특징으로 하는 테이블 코터기용 스테이지 장치.
  7. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 리니어 모터의 가동부를 상기 레일부에 대하여 정압(靜壓)공기 베어링으로 상기 일축 방향의 안내를 행하도록 한 것을 특징으로 하는 테이블 코터기용 스테이지 장치.
  8. 제3항에 있어서,
    상기 정반은 돌(石)정반으로서 그 상면에는 오목부가 마련되어 있고, 이 오목부에 피처리기판을 탑재하기 위한 기판 테이블이 설치되며, 이 기판 테이블의 양측에 대응하는 위치에 있어서 상기 오목부의 바닥부보다 높게 되어 있는 부분에 각각 상기 돌정반과 동일한 돌 재료에 의한 상기 레일부가 설치되는 것을 특징으로 하는 테이블 코터기용 스테이지 장치.
  9. 제4항에 있어서,
    상기 정반은 돌(石)정반으로서 그 상면에는 오목부가 마련되어 있고, 이 오목부에 피처리기판을 탑재하기 위한 기판 테이블이 설치되며, 이 기판 테이블의 양측에 대응하는 위치에 있어서 상기 오목부의 바닥부보다 높게 되어 있는 부분에 각각 상기 돌정반과 동일한 돌 재료에 의한 상기 레일부가 설치되는 것을 특징으로 하는 테이블 코터기용 스테이지 장치.
  10. 제3항에 있어서,
    상기 레일부에 상기 일축 방향으로 뻗는 리니어 스케일을 설치하고, 상기 리니어 모터의 가동부에 있어서의 상기 리니어 스케일의 대향 위치에 리니어 센서 헤드를 설치한 것을 특징으로 하는 테이블 코터기용 스테이지 장치.
  11. 제4항에 있어서,
    상기 레일부에 상기 일축 방향으로 뻗는 리니어 스케일을 설치하고, 상기 리니어 모터의 가동부에 있어서의 상기 리니어 스케일의 대향 위치에 리니어 센서 헤드를 설치한 것을 특징으로 하는 테이블 코터기용 스테이지 장치.
  12. 제5항에 있어서,
    상기 레일부에 상기 일축 방향으로 뻗는 리니어 스케일을 설치하고, 상기 리니어 모터의 가동부에 있어서의 상기 리니어 스케일의 대향 위치에 리니어 센서 헤드를 설치한 것을 특징으로 하는 테이블 코터기용 스테이지 장치.
  13. 제8항에 있어서,
    상기 레일부에 상기 일축 방향으로 뻗는 리니어 스케일을 설치하고, 상기 리니어 모터의 가동부에 있어서의 상기 리니어 스케일의 대향 위치에 리니어 센서 헤드를 설치한 것을 특징으로 하는 테이블 코터기용 스테이지 장치.
  14. 제9항에 있어서,
    상기 레일부에 상기 일축 방향으로 뻗는 리니어 스케일을 설치하고, 상기 리니어 모터의 가동부에 있어서의 상기 리니어 스케일의 대향 위치에 리니어 센서 헤드를 설치한 것을 특징으로 하는 테이블 코터기용 스테이지 장치.
  15. 제3항에 있어서,
    상기 리니어 모터의 가동부를 상기 레일부에 대하여 정압(靜壓)공기 베어링으로 상기 일축 방향의 안내를 행하도록 한 것을 특징으로 하는 테이블 코터기용 스테이지 장치.
  16. 제4항에 있어서,
    상기 리니어 모터의 가동부를 상기 레일부에 대하여 정압(靜壓)공기 베어링으로 상기 일축 방향의 안내를 행하도록 한 것을 특징으로 하는 테이블 코터기용 스테이지 장치.
  17. 제5항에 있어서,
    상기 리니어 모터의 가동부를 상기 레일부에 대하여 정압(靜壓)공기 베어링으로 상기 일축 방향의 안내를 행하도록 한 것을 특징으로 하는 테이블 코터기용 스테이지 장치.
  18. 제8항에 있어서,
    상기 리니어 모터의 가동부를 상기 레일부에 대하여 정압(靜壓)공기 베어링으로 상기 일축 방향의 안내를 행하도록 한 것을 특징으로 하는 테이블 코터기용 스테이지 장치.
  19. 제9항에 있어서,
    상기 리니어 모터의 가동부를 상기 레일부에 대하여 정압(靜壓)공기 베어링으로 상기 일축 방향의 안내를 행하도록 한 것을 특징으로 하는 테이블 코터기용 스테이지 장치.
  20. 제6항에 있어서,
    상기 리니어 모터의 가동부를 상기 레일부에 대하여 정압(靜壓)공기 베어링으로 상기 일축 방향의 안내를 행하도록 한 것을 특징으로 하는 테이블 코터기용 스테이지 장치.
  21. 제10항에 있어서,
    상기 리니어 모터의 가동부를 상기 레일부에 대하여 정압(靜壓)공기 베어링으로 상기 일축 방향의 안내를 행하도록 한 것을 특징으로 하는 테이블 코터기용 스테이지 장치.
  22. 제11항에 있어서,
    상기 리니어 모터의 가동부를 상기 레일부에 대하여 정압(靜壓)공기 베어링으로 상기 일축 방향의 안내를 행하도록 한 것을 특징으로 하는 테이블 코터기용 스테이지 장치.
  23. 제12항에 있어서,
    상기 리니어 모터의 가동부를 상기 레일부에 대하여 정압(靜壓)공기 베어링으로 상기 일축 방향의 안내를 행하도록 한 것을 특징으로 하는 테이블 코터기용 스테이지 장치.
  24. 제13항에 있어서,
    상기 리니어 모터의 가동부를 상기 레일부에 대하여 정압(靜壓)공기 베어링으로 상기 일축 방향의 안내를 행하도록 한 것을 특징으로 하는 테이블 코터기용 스테이지 장치.
  25. 제14항에 있어서,
    상기 리니어 모터의 가동부를 상기 레일부에 대하여 정압(靜壓)공기 베어링으로 상기 일축 방향의 안내를 행하도록 한 것을 특징으로 하는 테이블 코터기용 스테이지 장치.
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