JP2000005676A - 塗布装置 - Google Patents
塗布装置Info
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- G11C—STATIC STORES
- G11C7/00—Arrangements for writing information into, or reading information out from, a digital store
- G11C7/10—Input/output [I/O] data interface arrangements, e.g. I/O data control circuits, I/O data buffers
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- G11C7/103—Read-write modes for single port memories, i.e. having either a random port or a serial port using serially addressed read-write data registers
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Abstract
良くシール剤を塗布する。 【解決手段】 塗布装置21により、液晶セルのガラス基
板11同士を張り合わせるシール剤を塗布する。ガラス基
板11は、移動可能なステージ23上に支持する。ステージ
23を跨ぐ櫓25に、シリンジ26を取り付ける。シリンジ26
およびニードル37の中心軸を、櫓25の中心軸に位置合わ
せする。ニードル37の先端部の吐出部38は、櫓25の振動
中心に位置合わせする。ステージ23が高速に移動する振
動が櫓25に伝わった場合にも、吐出部38とガラス基板11
との距離が変動しにくく、塗布量の均一性を向上でき
る。
Description
を精度良く塗布する塗布装置に関する。
ルタ基板などのガラス基板を枠状に塗布した接着剤で貼
り合わせて液晶セルを形成し、これら基板間に液晶を注
入した液晶ディスプレイ装置(Liquid Crystal Displa
y)が用いられている。そして、この液晶表示装置は、
軽薄短小、低消費電力という特徴からノート型のパソコ
ンのディスプレイや携帯機器のディスプレイとして広く
使われている。そして、用途が広がるに従い、より大き
な画面とより良い可搬性という相反する性能が求められ
ている。そして、これらの性能を満たすため、液晶表示
装置に設けられるバックライトやガラス基板の厚さ寸法
を小さくする構成や、表示部以外のいわゆる額縁寸法を
小さくする構成が考えられる。そして、この額縁寸法を
小さくするためには、液晶表示装置の液晶セルを構成す
る2枚のガラス基板を接着する接着剤の幅を細くする、
すなわち、接着剤を正確な位置に少量塗布する必要があ
る。
求められ、製造コストの低減が求められている。そし
て、液晶表示装置の製造に用いる装置は高価なものが多
く、できるだけ減価償却を少なくするため、1台の装置
で大量生産を行うことが求められ、例えば、ガラス基板
に接着剤を塗布する塗布装置については、1台の塗布装
置で多くの基板に接着剤を塗布する必要がある。
す塗布装置1が知られている。この塗布装置1は、ガラ
ス基板が載置されるステージ2と、このステージ2の上
側を跨いで設けられた櫓3と、この櫓3の側部に取り付
けられたシリンジ4とを備え、このシリンジ4に取り付
けたニードル5の先端部から、移動するステージ2上の
ガラス基板に接着剤を吐出するようになっている。
ような塗布装置1において、塗布速度を早くしようとす
ると、ステージ2が移動する振動が櫓3に伝わり、さら
に、この振動は、櫓3の側部に取り付けたシリンジ4に
は振幅が増幅された状態で伝わる。そして、シリンジ4
が激しく振動すると、ニードル5の先端部とガラス基板
との間の距離が変動し、塗布量の均一性が悪化する問題
を有している。
ので、被塗布物に塗布物を精度良く塗布できる塗布装置
を提供することを目的とする。
塗布物に塗布物を供給するシリンジと、前記被塗布物を
支持し、前記シリンジに対して相対的に移動するステー
ジと、前記ステージに対して前記シリンジを支持する支
持部とを具備し、前記シリンジの中心軸と、前記支持部
の中心軸とが位置合わせされたものである。そして、こ
の構成では、ステージが相対的に移動し、支持部が振動
した場合にも、シリンジの振動の増幅は抑制され、シリ
ンジとステージの被塗布物との位置関係の変動が抑制さ
れて、塗布量の均一性が高められる。
部を、支持部の振動の中心部と位置合わせすることによ
り、シリンジの振動の増幅は抑制され、シリンジとステ
ージの被塗布物との位置関係の変動が抑制されて、塗布
量の均一性が高められる。
の形態を図面を参照して説明する。
ス基板で、このガラス基板11は、例えば、薄膜トランジ
スタ(Thin Film Transistor)や画素電極などをガラス
基板上にアレイ状に形成したアレイ基板あるいはカラー
フィルタ基板(Color Filter)である。そして、これら
ガラス基板11を、枠状に塗布した図示しない塗布物とし
ての接着剤であるシール剤で貼り合わせて空の液晶セル
を形成し、この液晶セルに注入口から液晶を注入して注
入口を封止し、さらに、偏光膜を貼り付け、駆動回路を
電気的に接続するなどして、液晶表示装置(Liquid Cry
stal Display)である液晶モジュールが構成される。
装置で、この塗布装置21は、液晶表示装置の製造装置を
構成し、ガラス基板11にシール剤を塗布するディスペン
サであるいわゆるシールディスペンサで、架台部22と、
この架台部22上に設けられたステージ23と、このステー
ジ23を跨ぐようにして設けられた支持部としての櫓25
と、この櫓25に取り付けられたシリンジ(Syringe )26
と、各部を制御する図示しない制御装置となどを備えて
いる。
11を支持するとともに、制御手段に制御された駆動手段
によりXY方向にスライドするXYステージとなってい
る。
31と、この脚部31,31の上端部同士を接続する支持辺部
32とを備えている。さらに、この支持辺部32の中央部は
正面側が凹設され、取付部33が形成されている。
35を介して櫓25の支持辺部32に取り付けられ、取付部33
に配置されている。そして、このシリンジ26は、円柱状
をなすシリンジ本体36と、このシリンジ本体36の中心軸
に沿って下端部から下方に向かって取り付けられたニー
ドル37とを備え、このニードル37の先端部が吐出部38と
なっている。そして、このシリンジ26は、制御装置の制
御に従い、吐出部38から所定量のシール剤を吐出する。
また、このシリンジ26は、制御装置に制御されるシリン
ジ支持装置35により、中心軸をステージ23すなわちガラ
ス基板11に対してほぼ垂直に支持されるとともに、上下
方向に進退駆動されるようになっている。
の中心軸は、櫓25の中心軸すなわち重心を通る垂線と一
致するように位置合わせされている。さらに、ニードル
37の先端部の吐出部38は、下降した位置すなわちシール
剤を吐出する位置で、櫓25の振動中心すなわち櫓25に振
動が伝わった際に最も振幅が小さい位置に位置合わせさ
れている。
では、シリンジ26が上昇した状態で、図示しないロボッ
トによりステージ23上にガラス基板11が載置される。次
いで、シリンジ26が下降してガラス基板11に接近し、ニ
ードル37の吐出部38が僅かな間隔でガラス基板11に対向
する。この状態で、ステージ23が所定の方向および寸法
に移動するとともに、吐出部38から所定のタイミングで
所定量のシール剤が吐出され、ガラス基板11の外周部に
沿って、注入口を残した略枠状にシール剤が塗布され
る。そして、シリンジ26は再び上昇し、ロボットにより
ステージ23からガラス基板11が取り去られ、このガラス
基板11に対向するガラス基板が重ねられ、貼り合わせら
れるようになっている。
しやすく塗布の精度に影響を与えるシリンジ26すなわち
ニードル37の中心軸を、このシリンジ26が取り付けられ
る櫓25の中心軸に位置合わせしたため、ステージ23が移
動する振動が櫓25に伝わった場合にも、特に、塗布装置
21の塗布速度を速くして櫓25に大きな振動が伝わった場
合にも場合などにも、シリンジ26の振動の増幅を抑制で
き、振動によりニードル37の先端の吐出部38とガラス基
板11との位置関係すなわち距離が変動しにくく、塗布量
を安定させ塗布量の均一性を向上できる。
は、シール剤を吐出する位置で、櫓25の振動中心に位置
合わせしたため、ステージ23が移動する振動が櫓25に伝
わった場合にも、特に、塗布装置21の塗布速度を速くし
て櫓25に大きな振動が伝わった場合にも場合などにも、
振動によりニードル37の先端の吐出部38とガラス基板11
との位置関係すなわち距離が変動しにくく、塗布量を安
定させ塗布量の均一性を向上できる。
ドル37について振動の影響を受けにくくできるため、ガ
ラス基板11にシール剤を精度良く塗布でき、塗布のみだ
れを抑制でき、シール剤の塗布部分を細く形成でき、液
晶表示装置の表示セルの表示部分を外径寸法に対して大
きく確保して、表示部分が大きく軽量な液晶表示装置を
実現できる。
動を抑制できるため、櫓25などの剛性を必要以上に高め
る必要がなく、塗布装置21を軽量化できる。
の精度が求められる液晶表示装置の液晶セルのガラス基
板11にシール剤を塗布する塗布装置(シールディスペン
サ)21について説明したが、これに限られるものではな
く、液体または粘ちょう体である塗布物を、被塗布物に
精度良く塗布する装置に広く適用できる。
相対的に移動し、支持部が振動した場合にも、シリンジ
の振動の増幅を抑制でき、シリンジとステージの被塗布
物との位置関係の変動を抑制して、塗布量の均一性を向
上できる。
である。
Claims (2)
- 【請求項1】 被塗布物に塗布物を供給するシリンジ
と、 前記被塗布物を支持し、前記シリンジに対して相対的に
移動するステージと、 前記ステージに対して前記シリンジを支持する支持部と
を具備し、 前記シリンジの中心軸と、前記支持部の中心軸とが位置
合わせされたことを特徴とする塗布装置。 - 【請求項2】 シリンジは、塗布物を吐出する吐出部を
備え、この吐出部は、支持部の振動の中心部と位置合わ
せされたことを特徴とする請求項1記載の塗布装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10175898A JP2000005676A (ja) | 1998-06-23 | 1998-06-23 | 塗布装置 |
KR10-1999-0023299A KR100367159B1 (ko) | 1998-06-23 | 1999-06-21 | 반도체 메모리소자 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP10175898A JP2000005676A (ja) | 1998-06-23 | 1998-06-23 | 塗布装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000005676A true JP2000005676A (ja) | 2000-01-11 |
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ID=16004170
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10175898A Pending JP2000005676A (ja) | 1998-06-23 | 1998-06-23 | 塗布装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2000005676A (ja) |
KR (1) | KR100367159B1 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1323765C (zh) * | 2003-07-18 | 2007-07-04 | 住友重机械工业株式会社 | 台式涂敷机用工作台装置 |
WO2007125901A1 (ja) * | 2006-04-26 | 2007-11-08 | Sharp Kabushiki Kaisha | 液滴吐出装置及び液滴吐出方法 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100315042B1 (ko) * | 1999-12-23 | 2001-11-29 | 박종섭 | 버츄얼 채널 디램 |
-
1998
- 1998-06-23 JP JP10175898A patent/JP2000005676A/ja active Pending
-
1999
- 1999-06-21 KR KR10-1999-0023299A patent/KR100367159B1/ko not_active IP Right Cessation
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CN1323765C (zh) * | 2003-07-18 | 2007-07-04 | 住友重机械工业株式会社 | 台式涂敷机用工作台装置 |
WO2007125901A1 (ja) * | 2006-04-26 | 2007-11-08 | Sharp Kabushiki Kaisha | 液滴吐出装置及び液滴吐出方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20000006325A (ko) | 2000-01-25 |
KR100367159B1 (ko) | 2003-01-06 |
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