JP2000056051A - 移動ステ―ジ装置 - Google Patents
移動ステ―ジ装置Info
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- JP2000056051A JP2000056051A JP11175508A JP17550899A JP2000056051A JP 2000056051 A JP2000056051 A JP 2000056051A JP 11175508 A JP11175508 A JP 11175508A JP 17550899 A JP17550899 A JP 17550899A JP 2000056051 A JP2000056051 A JP 2000056051A
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- main stage
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- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70691—Handling of masks or workpieces
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 配線配管部の重量や剛性が大きい場合であっ
ても、主ステージを高精度に移動させ、かつ、一連の動
作を迅速に完了することができるようにする。 【構成】 ステージ連結部１４は、リニアモータ４が発
生するｘ軸方向に沿う推力によって駆動される主ステー
ジ２と、配線配管１２が接続されて外乱を受ける可能性
のある副ステージ８とを、ｘ軸方向に沿った力だけが伝
達されるように連結する。
ても、主ステージを高精度に移動させ、かつ、一連の動
作を迅速に完了することができるようにする。 【構成】 ステージ連結部１４は、リニアモータ４が発
生するｘ軸方向に沿う推力によって駆動される主ステー
ジ２と、配線配管１２が接続されて外乱を受ける可能性
のある副ステージ８とを、ｘ軸方向に沿った力だけが伝
達されるように連結する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、移動ステージ装置に関
し、特に、プリント基板やレチクルにパターンを光学的
に描画する装置等に使用される移動ステージ装置に関す
る。
し、特に、プリント基板やレチクルにパターンを光学的
に描画する装置等に使用される移動ステージ装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】移動ステージがエアベリングを有し、リ
ニアモーターによって駆動される移動ステージ装置は、
特開昭６３−１３９２９１号公報に開示されている。こ
の場合の移動ステージで用いられるベアリングの軸受け
剛性は、機械式の軸受けに比べて、多数の電源ケーブル
や配管類を移動ステージに直接接続すると、多数の電源
ケーブルや配管類の重量や剛性等による力が外乱として
移動ステージに作用し、走り精度に悪影響を及ぼす。こ
のため外乱を低滅する為に最小限度の配線および配管に
する必要があった。
ニアモーターによって駆動される移動ステージ装置は、
特開昭６３−１３９２９１号公報に開示されている。こ
の場合の移動ステージで用いられるベアリングの軸受け
剛性は、機械式の軸受けに比べて、多数の電源ケーブル
や配管類を移動ステージに直接接続すると、多数の電源
ケーブルや配管類の重量や剛性等による力が外乱として
移動ステージに作用し、走り精度に悪影響を及ぼす。こ
のため外乱を低滅する為に最小限度の配線および配管に
する必要があった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、このような
状況に鑑みてなされたものであり、移動精度を確保しつ
つ、迅速に動作を完了することができる移動ステージ装
置を提供することを目的とする。
状況に鑑みてなされたものであり、移動精度を確保しつ
つ、迅速に動作を完了することができる移動ステージ装
置を提供することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】請求項１に記載の移動ス
テージ装置は、ステージ架台と、ステージ架台上に非接
触ベアリングを介して設けられ、試料を所定の方向に移
動する主ステージと、主ステージと連動して所定の方向
に移動する副ステージと、副ステージに連結された配線
配管部と、主ステージと副ステージとを所定の方向に駆
動するリニアモータと、主ステージと副ステージとを相
対移動可能に連結する連結部とを備えることを特徴とす
る。
テージ装置は、ステージ架台と、ステージ架台上に非接
触ベアリングを介して設けられ、試料を所定の方向に移
動する主ステージと、主ステージと連動して所定の方向
に移動する副ステージと、副ステージに連結された配線
配管部と、主ステージと副ステージとを所定の方向に駆
動するリニアモータと、主ステージと副ステージとを相
対移動可能に連結する連結部とを備えることを特徴とす
る。
【０００５】請求項２に記載の移動ステージ装置は、非
接触ベアリングがエアベアリングであることを特徴とす
る。
接触ベアリングがエアベアリングであることを特徴とす
る。
【０００６】請求項１に記載の移動ステージ装置におい
ては、主ステージと副ステージとが相対移動可能となる
ように連結部で連結され、副ステージに、配線配管部が
連結される。従って、配線配管部の重量や剛性が大きく
ても、主ステージの移動精度がそれにより悪影響を受け
るおそれが少なくなり、主ステージを高精度に移動させ
ることが可能となる。従って、装置本体から移動ステー
ジ装置に配管および配線を直接接続できる。
ては、主ステージと副ステージとが相対移動可能となる
ように連結部で連結され、副ステージに、配線配管部が
連結される。従って、配線配管部の重量や剛性が大きく
ても、主ステージの移動精度がそれにより悪影響を受け
るおそれが少なくなり、主ステージを高精度に移動させ
ることが可能となる。従って、装置本体から移動ステー
ジ装置に配管および配線を直接接続できる。
【０００７】請求項２に記載の移動ステージ装置におい
ては、ステージ架台と主ステージとの間の非接触ベアリ
ングが、エアベアリングとされる。従って移動精度を非
常に高くすることができる。
ては、ステージ架台と主ステージとの間の非接触ベアリ
ングが、エアベアリングとされる。従って移動精度を非
常に高くすることができる。
【０００８】
【発明の実施の形態】図１は、本発明の移動ステージ装
置の実施の形態の構成を示す。ステージ架台１上には、
主ステージ２用の精密エアガイド６、副ステージ８用の
メカニカルガイド１０、ならびに主および副ステージの
駆動用リニアモータ４が、延設されている。
置の実施の形態の構成を示す。ステージ架台１上には、
主ステージ２用の精密エアガイド６、副ステージ８用の
メカニカルガイド１０、ならびに主および副ステージの
駆動用リニアモータ４が、延設されている。
【０００９】主ステージ２の下面には、ブロックとエア
パッドとにより構成されるエアベアリングが設けられて
いる。リニアモータ４のキャリッジは、主ステージ２に
固定されており、制御電流に応じて、主ステージ２は、
エアガイド６によって案内されてｘ軸方向に移動させら
れる。エアガイド６を使用しているため、この移動精度
は、非常に高いが、エアガイド６は、メカニカルガイド
１０ほど剛性は高くない。主ステージ２上に設けられる
試料台（図示せず）の上面には、プリント基板等（図示
せず）が載置される。
パッドとにより構成されるエアベアリングが設けられて
いる。リニアモータ４のキャリッジは、主ステージ２に
固定されており、制御電流に応じて、主ステージ２は、
エアガイド６によって案内されてｘ軸方向に移動させら
れる。エアガイド６を使用しているため、この移動精度
は、非常に高いが、エアガイド６は、メカニカルガイド
１０ほど剛性は高くない。主ステージ２上に設けられる
試料台（図示せず）の上面には、プリント基板等（図示
せず）が載置される。
【００１０】副ステージ８は、メカニカルガイド１０に
よって案内され、主ステージ２とは独立にｘ軸方向へ移
動可能である。
よって案内され、主ステージ２とは独立にｘ軸方向へ移
動可能である。
【００１１】電力や圧縮空気などを伝達する配線および
配管は、重量も大きく、また剛性も大きいため、装置本
体（図示せず）から引き出して主ステージ２に直接接続
してしまうと、ｘ、ｙおよびｚ軸方向の力ならびに各軸
まわりのモーメントが作用し、主ステージ２の走り精度
が悪化してしまう。そこで、本実施の形態では、外乱を
生じさせる配線配管１２を、剛性は高いが、走り精度は
悪くても良い副ステージ８に接続している。
配管は、重量も大きく、また剛性も大きいため、装置本
体（図示せず）から引き出して主ステージ２に直接接続
してしまうと、ｘ、ｙおよびｚ軸方向の力ならびに各軸
まわりのモーメントが作用し、主ステージ２の走り精度
が悪化してしまう。そこで、本実施の形態では、外乱を
生じさせる配線配管１２を、剛性は高いが、走り精度は
悪くても良い副ステージ８に接続している。
【００１２】本実施の形態では、リニアモータ４の推力
を大きくし、ｘ軸方向のみの外乱を受け持つことができ
るように構成されている。ステージ連結部１４は、主ス
テージ２の駆動軸上すなわちリニアモータ４の推力軸に
設置されており、リニアモータ４の推力を、主ステージ
２だけでなく、副ステージ８にも伝達し、副ステージ８
専用の駆動源を設けずに副ステージ８の駆動を可能にし
ている。また、ステージ連結部１４は、主ステージ２が
ｘ軸方向のみの力を推力軸上に受け、ｙおよびｚ軸方向
の力ならびにｘ、ｙおよびｚ軸まわりの回転モーメント
を受けないようにして、主ステージ２の走り精度を高く
できるようにしている。
を大きくし、ｘ軸方向のみの外乱を受け持つことができ
るように構成されている。ステージ連結部１４は、主ス
テージ２の駆動軸上すなわちリニアモータ４の推力軸に
設置されており、リニアモータ４の推力を、主ステージ
２だけでなく、副ステージ８にも伝達し、副ステージ８
専用の駆動源を設けずに副ステージ８の駆動を可能にし
ている。また、ステージ連結部１４は、主ステージ２が
ｘ軸方向のみの力を推力軸上に受け、ｙおよびｚ軸方向
の力ならびにｘ、ｙおよびｚ軸まわりの回転モーメント
を受けないようにして、主ステージ２の走り精度を高く
できるようにしている。
【００１３】図２は、図１のステージ連結部１４の一構
成例を示す。ｘ、ｙおよびｚ軸まわりの回転が可能な２
つの玉軸受け１４２および１４６は、互いに対向するよ
うに、玉軸受け１４２が、主ステージ２に固定され、玉
軸受け１４６が、支持部材１４４の一端に固定されてい
る。支持部材１４４の他端は、主ステージ２に固定され
ている。副ステージ８のアーム８０が、対向する玉軸受
け１４２および１４６の間に挿入される。玉軸受け１４
２および１４６ならびにアーム８０に適当な予圧を与え
るために、ネジ部１４８Ｓおよびナット１４８Ｎにより
構成される予圧調整部１４８が設けられている。
成例を示す。ｘ、ｙおよびｚ軸まわりの回転が可能な２
つの玉軸受け１４２および１４６は、互いに対向するよ
うに、玉軸受け１４２が、主ステージ２に固定され、玉
軸受け１４６が、支持部材１４４の一端に固定されてい
る。支持部材１４４の他端は、主ステージ２に固定され
ている。副ステージ８のアーム８０が、対向する玉軸受
け１４２および１４６の間に挿入される。玉軸受け１４
２および１４６ならびにアーム８０に適当な予圧を与え
るために、ネジ部１４８Ｓおよびナット１４８Ｎにより
構成される予圧調整部１４８が設けられている。
【００１４】ステージ連結部１４をこのように構成する
ことにより、主ステージ２と副ステージ８の力学的結合
は、ｘ軸方向の力Ｆｘのみとなり、ｙおよびｚ軸方向の
力ＦｙおよびＦｚならびに回転モーメントＭｘ、Ｍｙお
よびＭｚは、結合されない。従って、メカニカルガイド
１０の走り誤差や、配線配管１２の外乱によって、副ス
テージ８の走り精度が悪くなっても、主ステージ２には
悪影響を与えることなく、リニアモータ４の推力を副ス
テージ８に伝達することができる。
ことにより、主ステージ２と副ステージ８の力学的結合
は、ｘ軸方向の力Ｆｘのみとなり、ｙおよびｚ軸方向の
力ＦｙおよびＦｚならびに回転モーメントＭｘ、Ｍｙお
よびＭｚは、結合されない。従って、メカニカルガイド
１０の走り誤差や、配線配管１２の外乱によって、副ス
テージ８の走り精度が悪くなっても、主ステージ２には
悪影響を与えることなく、リニアモータ４の推力を副ス
テージ８に伝達することができる。
【００１５】図３は、図１のステージ連結部の別の構成
例を示す。このステージ連結部２４は、ｘ，ｙおよびｚ
軸まわりの回転が可能な玉軸受け２４２Ａおよび２４２
Ｂが互いに背向するように組まれた玉軸受けユニット２
４２が、副ステージ８の先端に固定され、主ステージ２
および支持部材２４４によって玉軸受けユニット２４２
を挟み込む構成となっている。予圧調整は、固定ねじ２
４８および２４９によって、主ステージ２と支持部材２
４４との間隔を調整することによって行う。このような
構成のステージ連結部２４によっても、図２のステージ
連結部１４と同様な利点が得られる。
例を示す。このステージ連結部２４は、ｘ，ｙおよびｚ
軸まわりの回転が可能な玉軸受け２４２Ａおよび２４２
Ｂが互いに背向するように組まれた玉軸受けユニット２
４２が、副ステージ８の先端に固定され、主ステージ２
および支持部材２４４によって玉軸受けユニット２４２
を挟み込む構成となっている。予圧調整は、固定ねじ２
４８および２４９によって、主ステージ２と支持部材２
４４との間隔を調整することによって行う。このような
構成のステージ連結部２４によっても、図２のステージ
連結部１４と同様な利点が得られる。
【００１６】なお、図１の実施の形態において、主ステ
ージ２と副ステージ８との間の電気および空圧等の伝達
は、両ステージの間隔が小さく、ほとんど変化しないの
で、フレキシブルケーブルや、気密性樹脂をライニング
した布製蛇腹等を使用しておこなえばよい。
ージ２と副ステージ８との間の電気および空圧等の伝達
は、両ステージの間隔が小さく、ほとんど変化しないの
で、フレキシブルケーブルや、気密性樹脂をライニング
した布製蛇腹等を使用しておこなえばよい。
【００１７】
【発明の効果】請求項１の移動ステージ装置によれば、
副ステージに配線配管部を連結し、主ステージと副ステ
ージとを、連結部により相対移動可能に連結するように
したので、配線配管部の重量や剛性が大きい場合であっ
ても、主ステージを高精度に移動させ、かつ、一連の動
作を迅速に完了することができる。
副ステージに配線配管部を連結し、主ステージと副ステ
ージとを、連結部により相対移動可能に連結するように
したので、配線配管部の重量や剛性が大きい場合であっ
ても、主ステージを高精度に移動させ、かつ、一連の動
作を迅速に完了することができる。
【００１８】請求項２の移動ステージ装置によれば、非
接触ベアリングをエアベアリングとしたので、非常に高
い移動精度を確保することができる。
接触ベアリングをエアベアリングとしたので、非常に高
い移動精度を確保することができる。
【図１】本発明の移動ステージ装置の実施の形態の構成
を示す斜視図である。
を示す斜視図である。
【図２】図１のステージ連結部１４の構成例を示す平面
図である。
図である。
【図３】図１のステージ連結部の別の構成例を示す平面
図である。
図である。
２ 主ステージ ４ リニアモータ ６ 精密エアガイド ８ 副ステージ １０ メカニカルガイド １２ 配線配管 １４，２４ ステージ連結部 ８０ アーム １４２、１４６ 玉軸受け ２４２ 玉軸受けユニット ２４２Ａ，２４２Ｂ 玉軸受け
Claims (2)
- 【請求項１】 ステージ架台と、 前記ステージ架台上に非接触ベアリングを介して設けら
れ、試料を所定の方向に移動する主ステージと、 前記主ステージと連動して前記所定の方向に移動する副
ステージと、 前記副ステージに連結された配線配管部と、 前記主ステージと前記副ステージとを前記所定の方向に
駆動するリニアモータと、 前記主ステージと前記副ステージとを相対移動可能に連
結する連結部とを備えることを特徴とする移動ステージ
装置。 - 【請求項２】 前記非接触ベアリングはエアベアリング
であることを特徴とする請求項１記載の移動ステージ装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17550899A JP3262228B2 (ja) | 1999-06-22 | 1999-06-22 | 移動ステージ装置およびステージ移動方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17550899A JP3262228B2 (ja) | 1999-06-22 | 1999-06-22 | 移動ステージ装置およびステージ移動方法 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP04040241A Division JP3141490B2 (ja) | 1992-01-30 | 1992-01-30 | 移動ステージ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000056051A true JP2000056051A (ja) | 2000-02-25 |
| JP3262228B2 JP3262228B2 (ja) | 2002-03-04 |
Family
ID=15997285
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17550899A Expired - Fee Related JP3262228B2 (ja) | 1999-06-22 | 1999-06-22 | 移動ステージ装置およびステージ移動方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3262228B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003053249A (ja) * | 2001-08-22 | 2003-02-25 | Dainippon Printing Co Ltd | 枚葉式塗工装置 |
| JP2008042201A (ja) * | 2006-08-08 | 2008-02-21 | Asml Netherlands Bv | ケーブル接続、ケーブル接続用の制御システム、およびケーブル接続を経て振動が第１の対象から第２の対象へと伝達されることを軽減する方法 |
| JPWO2005122242A1 (ja) * | 2004-06-07 | 2008-04-10 | 株式会社ニコン | ステージ装置、露光装置及び露光方法 |
| US8472008B2 (en) | 2009-06-19 | 2013-06-25 | Nikon Corporation | Movable body apparatus, exposure apparatus and device manufacturing method |
| JPWO2016139744A1 (ja) * | 2015-03-03 | 2017-05-25 | 三菱電機株式会社 | 半導体製造装置 |
| CN113015346A (zh) * | 2019-12-19 | 2021-06-22 | 鸿劲精密股份有限公司 | 薄型化平台与应用该薄型化平台的作业设备 |
-
1999
- 1999-06-22 JP JP17550899A patent/JP3262228B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP4655039B2 (ja) * | 2004-06-07 | 2011-03-23 | 株式会社ニコン | ステージ装置、露光装置及び露光方法 |
| JP2011077528A (ja) * | 2004-06-07 | 2011-04-14 | Nikon Corp | ステージ装置、露光装置及び露光方法 |
| US8325326B2 (en) | 2004-06-07 | 2012-12-04 | Nikon Corporation | Stage unit, exposure apparatus, and exposure method |
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| US8743344B2 (en) | 2006-08-08 | 2014-06-03 | Asml Netherlands B.V. | Cable connection, control system, and method to decrease the passing on of vibrations from a first object to a second object |
| US8472008B2 (en) | 2009-06-19 | 2013-06-25 | Nikon Corporation | Movable body apparatus, exposure apparatus and device manufacturing method |
| TWI502284B (zh) * | 2009-06-19 | 2015-10-01 | 尼康股份有限公司 | 移動體裝置、曝光裝置及裝置製造方法 |
| WO2010147242A3 (en) * | 2009-06-19 | 2015-10-22 | Nikon Corporation | Movable body apparatus, exposure apparatus and device manufacturing method |
| JPWO2016139744A1 (ja) * | 2015-03-03 | 2017-05-25 | 三菱電機株式会社 | 半導体製造装置 |
| CN113015346A (zh) * | 2019-12-19 | 2021-06-22 | 鸿劲精密股份有限公司 | 薄型化平台与应用该薄型化平台的作业设备 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3262228B2 (ja) | 2002-03-04 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20011122 |
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