JPH0652302B2 - 直動ステ−ジ - Google Patents
直動ステ−ジInfo
- Publication number
- JPH0652302B2 JPH0652302B2 JP61284287A JP28428786A JPH0652302B2 JP H0652302 B2 JPH0652302 B2 JP H0652302B2 JP 61284287 A JP61284287 A JP 61284287A JP 28428786 A JP28428786 A JP 28428786A JP H0652302 B2 JPH0652302 B2 JP H0652302B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- leaf spring
- guide bar
- frame
- linear motion
- guide
- Prior art date
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70691—Handling of masks or workpieces
- G03F7/70716—Stages
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［発明の分野］ 本発明は、直線的に移動する直動ステージに関し、特に
２本の平行なガイドバー上にま跨がって摺動する例えば
Ｘ線露光装置に使用する縦型ステージ等高精度な直進制
御を必要とする直動ステージに関する。
２本の平行なガイドバー上にま跨がって摺動する例えば
Ｘ線露光装置に使用する縦型ステージ等高精度な直進制
御を必要とする直動ステージに関する。
［従来の技術］ 従来の直動ステージは、フレームに２本の平行なガイド
バーを固定し、各ガイドバー上に摺動可能な軸受を装着
し、両ガイドバーの軸受同士を連結板で連結し、この連
結板にステージ本体を取付けて、２本のガイドバーに沿
って直線的に移動可能に構成していた。
バーを固定し、各ガイドバー上に摺動可能な軸受を装着
し、両ガイドバーの軸受同士を連結板で連結し、この連
結板にステージ本体を取付けて、２本のガイドバーに沿
って直線的に移動可能に構成していた。
しかしながら、このような従来の直動ステージにおいて
は、２本のガイドバーの平行度を高精度に保ってフレー
ムに固定する作業が容易ではなく平行度の狂いを生ずる
場合があった。また、両ガイドバーの軸受同士を連結す
る連結板の両軸受保持部間の間隔を両ガイドバーの間隔
に合せて同じ精度に組立て加工しなければならず製造作
業が容易ではなかった。また、熱応力、振動等の外的要
因によりガイドバーの平行度が変化した場合または連結
板の間隔が変化した場合等にステージの円滑な摺動動作
が妨げられる場合があった。特にＸ線露光装置等の高精
度の動作が要求される縦型直動ステージにおいては、ガ
イドバーの平行度の狂いやステージの組立誤差、製造誤
差等は製品の品質に大きく影響するため重大であった。
は、２本のガイドバーの平行度を高精度に保ってフレー
ムに固定する作業が容易ではなく平行度の狂いを生ずる
場合があった。また、両ガイドバーの軸受同士を連結す
る連結板の両軸受保持部間の間隔を両ガイドバーの間隔
に合せて同じ精度に組立て加工しなければならず製造作
業が容易ではなかった。また、熱応力、振動等の外的要
因によりガイドバーの平行度が変化した場合または連結
板の間隔が変化した場合等にステージの円滑な摺動動作
が妨げられる場合があった。特にＸ線露光装置等の高精
度の動作が要求される縦型直動ステージにおいては、ガ
イドバーの平行度の狂いやステージの組立誤差、製造誤
差等は製品の品質に大きく影響するため重大であった。
［発明の目的］ 本発明は前記従来技術の欠点に鑑みなされたものであっ
て、２本のガイドバーの平行度の狂いやステージの軸受
間隔とガイドバー間隔との誤差等を吸収して常に円滑な
直進動作が達成される直動ステージの提供を目的とす
る。
て、２本のガイドバーの平行度の狂いやステージの軸受
間隔とガイドバー間隔との誤差等を吸収して常に円滑な
直進動作が達成される直動ステージの提供を目的とす
る。
［実施例］ 第１図は本発明に係る縦型の直動ステージの一実施例の
立面図であり、第２図はそのII−II方向からみた平面図
である。フレーム１に２本の平行なガイドバー２ａ，２
ｂが固定されている。各ガイドバー２ａ，２ｂはフラン
ジ付保持スリーブ３を介してフレーム１に装着され端部
には抜け防止用の押え板４が設けられている。両ガイド
バー２ａ，２ｂに沿って矢印Ａのように上下に移動可能
なステージ５が取付けられる。ガイドバー２ａ上には連
結管８ａにより相互に連結された２個の軸受６ａ，７ａ
が摺動可能に装着される。同様にガイドバー２ｂ上にも
連結管８ｂにより相互に連結された２個の軸受６ｂ，７
ｂが摺動可能に装着される。ステージ５は、これらの軸
受６ａ，６ｂ，７ａ，７ｂと、２本のガイドバー２ａ，
２ｂ上の軸受同士を上下２ケ所で連結する連結板９と、
上下の連結板９に取付けられたステージ本体10とにより
構成されている。連結板９は、第２図に示すように、第
１部材11、第２部材12および第３部材13の３つの部分に
より構成されている。第１部材11は一方のガイドバー２
ｂの軸受６ｂを保持し、第３部材13は他方のガイドバー
２ａの軸受６ａを保持している。第１部材11と第２部材
12同士は、ガイドバーの軸に垂直な平面内で第２図のＸ
方向に弾性変形するＸ方向板バネ15を介して相互に連結
されている。この第２部材12と第３部材13同士は、前記
Ｘ方向と直角なＹ方向に弾性変形するＹ方向板バネ14を
介して相互に連結されている。各板バネ14，15は、第３
図に示すように、連結板９を構成する第１，第２および
第３部材11，12，13と一体の部材により構成されている
（第３図はＹ方向板バネ14のみを示す）。２本のガイド
バーのうち一方のガイドバー２ａはステージ直進動作の
ガイド基準とするため高精度に加工、組立が行なわれて
いる。
立面図であり、第２図はそのII−II方向からみた平面図
である。フレーム１に２本の平行なガイドバー２ａ，２
ｂが固定されている。各ガイドバー２ａ，２ｂはフラン
ジ付保持スリーブ３を介してフレーム１に装着され端部
には抜け防止用の押え板４が設けられている。両ガイド
バー２ａ，２ｂに沿って矢印Ａのように上下に移動可能
なステージ５が取付けられる。ガイドバー２ａ上には連
結管８ａにより相互に連結された２個の軸受６ａ，７ａ
が摺動可能に装着される。同様にガイドバー２ｂ上にも
連結管８ｂにより相互に連結された２個の軸受６ｂ，７
ｂが摺動可能に装着される。ステージ５は、これらの軸
受６ａ，６ｂ，７ａ，７ｂと、２本のガイドバー２ａ，
２ｂ上の軸受同士を上下２ケ所で連結する連結板９と、
上下の連結板９に取付けられたステージ本体10とにより
構成されている。連結板９は、第２図に示すように、第
１部材11、第２部材12および第３部材13の３つの部分に
より構成されている。第１部材11は一方のガイドバー２
ｂの軸受６ｂを保持し、第３部材13は他方のガイドバー
２ａの軸受６ａを保持している。第１部材11と第２部材
12同士は、ガイドバーの軸に垂直な平面内で第２図のＸ
方向に弾性変形するＸ方向板バネ15を介して相互に連結
されている。この第２部材12と第３部材13同士は、前記
Ｘ方向と直角なＹ方向に弾性変形するＹ方向板バネ14を
介して相互に連結されている。各板バネ14，15は、第３
図に示すように、連結板９を構成する第１，第２および
第３部材11，12，13と一体の部材により構成されている
（第３図はＹ方向板バネ14のみを示す）。２本のガイド
バーのうち一方のガイドバー２ａはステージ直進動作の
ガイド基準とするため高精度に加工、組立が行なわれて
いる。
上記構成の直動ステージにおいて、ステージ５は、各軸
受６ａ，６ｂ，７ａ，７ｂが各々ガイドバー２ａ，２ｂ
上を摺動することにより矢印Ａのように上下に移動す
る。このとき、２本のガイドバー２ａ，２ｂの平行度が
正確でなく狂いが生じていた場合、この平行度の狂いは
Ｘ方向板バネ15およびＹ方向板バネ14からなる弾性構造
により吸収されステージ５は円滑な直進動作を行なう。
例えばガイドバー２ａに対しガイドバー２ｂがＸ方向に
傾いていた場合にはＸ方向板バネ15がこの傾きに追従し
て弾性変形するため軸受６ｂ，７ｂはガイドバー２ｂ上
を円滑に摺動する。また、ガイドバー２ａに対しガイド
バー２ｂがＹ方向に傾いていた場合にはＹ方向板バネ14
がこの傾きに追従して弾性変形するため軸受６ｂ，７ｂ
はガイドバー２ｂ上を円滑に摺動する。また、Ｘ方向，
Ｙ方向の中間方向に傾いた場合には、両板バネ14，15の
弾性変形により軸受６ｂ，７ｂは円滑にガイドバー２ｂ
上を摺動する。
受６ａ，６ｂ，７ａ，７ｂが各々ガイドバー２ａ，２ｂ
上を摺動することにより矢印Ａのように上下に移動す
る。このとき、２本のガイドバー２ａ，２ｂの平行度が
正確でなく狂いが生じていた場合、この平行度の狂いは
Ｘ方向板バネ15およびＹ方向板バネ14からなる弾性構造
により吸収されステージ５は円滑な直進動作を行なう。
例えばガイドバー２ａに対しガイドバー２ｂがＸ方向に
傾いていた場合にはＸ方向板バネ15がこの傾きに追従し
て弾性変形するため軸受６ｂ，７ｂはガイドバー２ｂ上
を円滑に摺動する。また、ガイドバー２ａに対しガイド
バー２ｂがＹ方向に傾いていた場合にはＹ方向板バネ14
がこの傾きに追従して弾性変形するため軸受６ｂ，７ｂ
はガイドバー２ｂ上を円滑に摺動する。また、Ｘ方向，
Ｙ方向の中間方向に傾いた場合には、両板バネ14，15の
弾性変形により軸受６ｂ，７ｂは円滑にガイドバー２ｂ
上を摺動する。
第４図は本発明に係る直動ステージの別の実施例の立面
図であり、第５図はそのＶ−Ｖ方向から見た平面図であ
る。この実施例においては、前述の平行度の狂いを吸収
するためのＸ方向板バネおよびＹ方向板バネからなる弾
性構造はフレーム１に設けられている。すなわち、一方
のガイドバー２ｂは第１部材16に保持され、この第１部
材16はＸ方向板バネ17を介して第２部材18に連結されて
いる。第２部材18はＹ方向板バネ19を介してフレーム１
に連結されている。これによりステージの移動に伴いガ
イドバー自身が弾性変位してガイドバーまたは連結板の
製造、組立誤差を吸収する。この例では軸受６ａ，６ｂ
および７ａ，７ｂ同士を連結する連結板９には弾性構造
を設ける必要はない。その他の構成、作用、効果は前述
の実施例と同様である。
図であり、第５図はそのＶ−Ｖ方向から見た平面図であ
る。この実施例においては、前述の平行度の狂いを吸収
するためのＸ方向板バネおよびＹ方向板バネからなる弾
性構造はフレーム１に設けられている。すなわち、一方
のガイドバー２ｂは第１部材16に保持され、この第１部
材16はＸ方向板バネ17を介して第２部材18に連結されて
いる。第２部材18はＹ方向板バネ19を介してフレーム１
に連結されている。これによりステージの移動に伴いガ
イドバー自身が弾性変位してガイドバーまたは連結板の
製造、組立誤差を吸収する。この例では軸受６ａ，６ｂ
および７ａ，７ｂ同士を連結する連結板９には弾性構造
を設ける必要はない。その他の構成、作用、効果は前述
の実施例と同様である。
なお、前記各実施例において、弾性構造を構成するＸ方
向およびＹ方向板バネは連結板またはフレームと一体の
部材により構成しているが、このような一体構成に代え
て、板バネを別部材により構成し、各板バネを連結板ま
たはフレームに対し適当な手段で一体的に取付けてもよ
い。
向およびＹ方向板バネは連結板またはフレームと一体の
部材により構成しているが、このような一体構成に代え
て、板バネを別部材により構成し、各板バネを連結板ま
たはフレームに対し適当な手段で一体的に取付けてもよ
い。
また、各ガイドバー２ａ，２ｂをフレーム１に取付ける
場合、ガイドバーの軸方向（Ｚ方向）に弾性変形可能
な、例えば金属ダイヤフラム等を介してフレームに取付
けてもよい。このような軸方向に変位可能な弾性手段を
介してガイドバーをフレームに取付けることにより、フ
レームまたはガイドバーが熱応力または振動等により変
形した場合でも軸方向への変位によりこれを吸収し各部
材に対し無理な力が加わることを防止できる。
場合、ガイドバーの軸方向（Ｚ方向）に弾性変形可能
な、例えば金属ダイヤフラム等を介してフレームに取付
けてもよい。このような軸方向に変位可能な弾性手段を
介してガイドバーをフレームに取付けることにより、フ
レームまたはガイドバーが熱応力または振動等により変
形した場合でも軸方向への変位によりこれを吸収し各部
材に対し無理な力が加わることを防止できる。
［発明の効果］ 以上説明したように、本発明においては、弾性構造を介
して２本のガイドバーを連結しているため、２本のガイ
ドバー同士の平行度に狂いが生じた場合または連結板の
軸受間の間隔と２本のガイドバー間の間隔が一致しない
場合等の加工、組立上の寸法誤差または組立後の熱、振
動等の外的要因による変形等を弾性構造により吸収し、
常に円滑なステージの直進動作が達成される。また加
工、組立時に精度を要求されないため製造作業が容易に
なる。
して２本のガイドバーを連結しているため、２本のガイ
ドバー同士の平行度に狂いが生じた場合または連結板の
軸受間の間隔と２本のガイドバー間の間隔が一致しない
場合等の加工、組立上の寸法誤差または組立後の熱、振
動等の外的要因による変形等を弾性構造により吸収し、
常に円滑なステージの直進動作が達成される。また加
工、組立時に精度を要求されないため製造作業が容易に
なる。
第１図は本発明の実施例の立面図、第２図は第１図の実
施例のII−II方向から見た平面図、第３図は第１図の実
施例の部分詳細図、第４図は本発明の別の実施例の立面
図、第５図は第４図の実施例のＶ−Ｖ方向から見た平面
図である。 １：フレーム、 ２ａ，２ｂ：ガイドバー、 ６ａ，６ｂ，７ａ，７ｂ：軸受、 ９：連結板、 15，17：Ｘ方向板バネ、 14，19：Ｙ方向板バネ。
施例のII−II方向から見た平面図、第３図は第１図の実
施例の部分詳細図、第４図は本発明の別の実施例の立面
図、第５図は第４図の実施例のＶ−Ｖ方向から見た平面
図である。 １：フレーム、 ２ａ，２ｂ：ガイドバー、 ６ａ，６ｂ，７ａ，７ｂ：軸受、 ９：連結板、 15，17：Ｘ方向板バネ、 14，19：Ｙ方向板バネ。
Claims (11)
- 【請求項１】フレームに取付けた２本の平行なガイドバ
ーと、該２本の各ガイドバー上に摺動可能に装着した軸
受と、２本のガイドバー上の軸受同士を連結する連結板
と、該連結板に取付けられたステージ本体と、前記２本
のガイドバーのうち少くとも１本のガイドバーに係合し
て前記軸受の摺動方向に垂直な平面内で弾性的に変位可
能な弾性構造とを具備したことを特徴とする直動ステー
ジ。 - 【請求項２】前記弾性構造は、前記連結板に設けられた
ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の直動ステ
ージ。 - 【請求項３】前記連結板は、一方のガイドバーの軸受を
保持する第１部材と、該第１部材に対し、前記平面内の
Ｘ方向に弾性変形するＸ方向板バネと、該Ｘ方向板バネ
を介して前記第１部材に連結された第２部材と、該第２
部材に対し前記Ｘ方向に直角なＹ方向に弾性変形するＹ
方向板バネと、該Ｙ方向板バネを介して前記第２部材に
連結されかつ他方のガイドバーの軸受を保持する第３部
材とにより構成したことを特徴とする特許請求の範囲第
２項記載の直動ステージ。 - 【請求項４】前記Ｘ方向板バネおよびＹ方向板バネは、
前記第１，第２および第３部材と一体の部材により構成
したことを特徴とする特許請求の範囲第３項記載の直動
ステージ。 - 【請求項５】前記Ｘ方向板バネおよびＹ方向板バネは、
前記第１，第２および第３部材と別の部材により構成
し、これを前記第１，第２および第３部材に対し一体的
に固定したことを特徴とする特許請求の範囲第３項記載
の直動ステージ。 - 【請求項６】前記弾性構造は、前記フレームのガイドバ
ー保持部に設けられたことを特徴とする特許請求の範囲
第１項記載の直動ステージ。 - 【請求項７】前記フレームの一方のガイドバー保持部
は、ガイドバーを保持する第１部材と、該第１部材に対
し前記平面内のＸ方向に弾性変形するＸ方向板バネと、
該Ｘ方向板バネを介して前記第１部材に連結された第２
部材と、該第２部材に対し前記Ｘ方向に直角なＹ方向に
弾性変形するＹ方向板バネとからなり、該Ｙ方向板バネ
を介して前記第２部材を前記フレームに連結したことを
特徴とする特許請求の範囲第６項記載の直動ステージ。 - 【請求項８】前記Ｘ方向板バネおよびＹ方向板バネは、
前記第１部材、第２部材およびフレームと一体の部材に
より構成したことを特徴とする特許請求の範囲第７項記
載の直動ステージ。 - 【請求項９】前記Ｘ方向板バネおよびＹ方向板バネは、
前記第１部材、第２部材およびフレームと別の部材によ
り構成し、これを該第１部材、第２部材およびフレーム
に対し一体的に固定したことを特徴とする特許請求の範
囲第７項記載の直動ステージ。 - 【請求項１０】前記フレームのガイドバー保持部に、該
ガイドバーをその軸方向に弾性変位可能とするための弾
性手段を設けたことを特徴とする特許請求の範囲第１項
から第９項までのいずれか１項記載の直動ステージ。 - 【請求項１１】前記弾性手段は、前記ガイドバーの端部
に設けた金属ダイヤフラムからなることを特徴とする特
許請求の範囲第10項記載の直動ステージ。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61284287A JPH0652302B2 (ja) | 1986-12-01 | 1986-12-01 | 直動ステ−ジ |
| US07/125,566 US4993696A (en) | 1986-12-01 | 1987-11-25 | Movable stage mechanism |
| DE3740561A DE3740561C2 (de) | 1986-12-01 | 1987-11-30 | Aufnahmevorrichtung |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61284287A JPH0652302B2 (ja) | 1986-12-01 | 1986-12-01 | 直動ステ−ジ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63138292A JPS63138292A (ja) | 1988-06-10 |
| JPH0652302B2 true JPH0652302B2 (ja) | 1994-07-06 |
Family
ID=17676577
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61284287A Expired - Fee Related JPH0652302B2 (ja) | 1986-12-01 | 1986-12-01 | 直動ステ−ジ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0652302B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101690338B1 (ko) * | 2008-08-18 | 2016-12-27 | 마퍼 리쏘그라피 아이피 비.브이. | 하전 입자 빔 리소그래피 시스템 및 타겟 위치 결정 장치 |
| US8796644B2 (en) | 2008-08-18 | 2014-08-05 | Mapper Lithography Ip B.V. | Charged particle beam lithography system and target positioning device |
| JP7306975B2 (ja) * | 2019-11-29 | 2023-07-11 | ファナック株式会社 | 支持構造 |
| JP7355621B2 (ja) * | 2019-11-29 | 2023-10-03 | ファナック株式会社 | 支持構造 |
| CN110961777A (zh) * | 2019-12-31 | 2020-04-07 | 深圳市海目星激光智能装备股份有限公司 | 激光加工设备 |
-
1986
- 1986-12-01 JP JP61284287A patent/JPH0652302B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63138292A (ja) | 1988-06-10 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |