KR101408056B1 - 공기베어링을 이용한 위치 제어 시스템 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 지면에 설치될 수 있는 베이스모듈; 상기 베이스모듈에 자력을 가진 고정자가 분리 가능하게 고정되고, 상기 고정자의 자력에 의해 이동자가 밀착됨으로써 프리로드가 인가되도록 하며, 상기 이동자에 코일이 권선됨으로써 상기 이동자가 상기 고정자와의 상호 작용에 의해 이동하는 리니어모터모듈; 상기 베이스모듈 상에 상기 리니어모터모듈과 나란하도록 분리 가능하게 고정되는 가이드모듈; 및 상기 이동자에 이송부재가 고정되고, 상기 이송부재에 다수로 고정되는 공기베어링이 공기압에 의해 상기 가이드모듈로부터 에어갭을 가짐으로써 상기 이동자가 상기 고정자를 따라 이동하도록 가이드하는 공기베어링모듈을 포함하고, 상기 베이스모듈, 상기 리니어모터모듈, 상기 가이드모듈 및 상기 공기베어링모듈은 각각 분리 가능하도록 모듈화됨으로써, 모듈별 교체 내지 변경이 가능하도록 하는 공기베어링을 이용한 위치 제어 시스템에 관한 것이다.
본 발명에 따르면, 공기베어링의 비접촉 방식에 의해 마찰을 없애고, LCD, OLED, 반도체 제조 분야 등과 같이 고정밀의 위치 제어를 요구시 이를 만족시키며, 모듈화로 인해 조건 변화에 유연한 대처가 가능하며, 공기베어링의 조립이 용이할 뿐만 아니라, 공기베어링의 컴팩트한 마운팅 구조를 가능하도록 할 수 있다.

Description

공기베어링을 이용한 위치 제어 시스템{POSITION CONTROLL SYSTEM USING AIR BEARING}
본 발명은 공기베어링을 이용한 위치 제어 시스템에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 고정밀의 위치 제어를 요구시 이를 만족시키며, 모듈화로 인해 조건 변화에 유연한 대처가 가능하며, 공기베어링의 컴팩트한 마운팅 구조를 가능하도록 하는 공기베어링을 이용한 위치 제어 시스템에 관한 것이다.
일반적으로 LED, OLED, 반도체 등의 제조 공정을 비롯하여 다양한 분야의 공정에서 필요한 장치나 부재의 위치를 제어하기 위하여, 위치 제어 시스템이 사용된다.
이러한 위치 제어 시스템은 회전모터나 리니어모터의 구동력을 이용하여 이송대상을 직선 왕복 운동시키는데, 그 용도나 이송대상의 특성에 따라 다양한 방식과 구조를 가진다.
종래의 위치 제어 시스템으로는 한국등록실용신안 제20-0237536호의 "리니어 액츄에이터"가 개시된 바 있는데, 이는 베이스부재의 상면 가장자리에 대하여 길이방향을 따라 각각 결합되는 제1 및 제2트랙롤러 가이드블록과, 상기 제1트랙롤러 가이드블록의 내측면 중앙에 사각형상으로 형성된 오목홈의 내부에 대하여 그 상하면에 길이방향을 따라 수평으로 각각 압입 고정되는 제1 및 제2트랙롤러 원형가이드바와, 상기 제2트랙롤러 가이드블록의 내측면 중앙에 사각형상으로 형성된 오목홈(30d)의 내부에 대하여 그 하면에 길이방향을 따라 수평으로 압입 고정되는 제3트랙롤러 원형가이드바와, 상기 제1 및 제2트랙롤러 가이드블록의 상면과 내측벽에 일정간격을 두고 대향되도록 안착되는 이동부재와, 상기 이동부재의 양외측벽에 대하여 길이방향을 따라 일정거리를 두고 각각 회전자유롭게 설치되어 상기 제1 내지 제3트랙롤러 원형가이드바에 각각 구름운동가능케 밀착되는 다수의 제1 및 제2트랙롤러와, 상기 이동부재의 하면 중앙과 상기 베이스부재의 상면 중앙에 서로 일정간격을 두고 각각 대향되게 설치되어 자장의 변화에 따라 이동부재를 평면 위에서 직선 이송시키도록 가동부와 고정부로 이루어진 리니어모터로 구성된다. 또한, 상기 다수의 제1 및 제2트랙롤러는 상기 이동부재의 양측벽에 돌설된 고정축의 외주에 앵귤러 콘택트 볼베어링을 매개로 회전 자유롭게 지지된다.
그러나 이와 같은 종래의 위치 제어 시스템은 고정축의 외주에 마련되는 앵귤러 콘택트 볼베어링의 접촉에 의해 마찰이 발생하고, 이로 인해 고정밀 위치 제어에 한계를 가진다.
또한 종래의 위치 제어 시스템은 모듈화가 어려워 조건 변화에 유연한 대처가 어렵다는 문제점을 가지고 있었다.
상기한 바와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명은 공기베어링의 비접촉 방식에 의해 마찰을 없애고, LCD, OLED, 반도체 제조 분야 등과 같이 고정밀의 위치 제어를 요구시 이를 만족시키며, 모듈화로 인해 조건 변화에 유연한 대처가 가능하며, 공기베어링의 조립이 용이할 뿐만 아니라, 공기베어링의 컴팩트한 마운팅 구조를 가능하도록 하는데 목적이 있다.
본 발명의 다른 목적들은 이하의 실시예에 대한 설명을 통해 쉽게 이해될 수 있을 것이다.
상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 일측면에 따르면, 위치 제어 시스템에 있어서, 지면에 설치될 수 있는 베이스모듈; 상기 베이스모듈에 자력을 가진 고정자가 분리 가능하게 고정되고, 상기 고정자와의 사이에 자력으로 인한 인력이 작용하는 이동자에 의해 프리로드가 인가되도록 하며, 상기 이동자에 코일이 권선됨으로써 상기 이동자가 상기 고정자와의 상호 작용에 의해 이동하는 리니어모터모듈; 상기 베이스모듈 상에 상기 리니어모터모듈과 나란하도록 분리 가능하게 고정되는 가이드모듈; 및 상기 이동자에 이송부재가 고정되고, 상기 이송부재에 다수로 고정되는 공기베어링이 공기압에 의해 상기 가이드모듈로부터 에어갭을 가짐으로써 상기 이동자가 상기 고정자를 따라 이동하도록 가이드하는 공기베어링모듈을 포함하고, 상기 베이스모듈, 상기 리니어모터모듈, 상기 가이드모듈 및 상기 공기베어링모듈은 각각 분리 가능하도록 모듈화됨으로써, 모듈별 교체 내지 변경이 가능하도록 하는 공기베어링을 이용한 위치 제어 시스템이 제공된다.
상기 공기베어링모듈은 상기 이송부재의 횡단면이 "ㄱ"자 형상을 가짐으로써 상기 가이드모듈의 상면과 측면에 각각 대향되도록 설치되고, 상기 상면과 상기 측면에 각각 대응되는 면마다 상기 공기베어링이 다수로 설치되고, 상기 리니어모터모듈은 상기 고정자가 상기 측면에 위치하는 상기 공기베어링 측으로 하향 경사지게 설치될 수 있다.
상기 리니어모터모듈을 기준으로 상기 가이드모듈의 반대측에 나란하게 위치하도록 상기 베이스모듈에 분리 가능하게 고정되는 보조가이드모듈을 더 포함하고, 상기 공기베어링모듈은 상기 이송부재가 상기 보조가이드모듈의 상측에 위치하도록 수평되게 연장 형성되고, 상기 보조가이드모듈의 상면에 대응되는 면에 상기 공기베어링이 다수로 설치될 수 있다.
상기 공기베어링모듈은 상기 공기베어링 각각에 대응되도록 상기 이송부재에 관통하도록 나사 결합되고, 상기 공기베어링이 고정되는 스템; 상기 이송부재의 일면에 상기 스템의 끝단 주위에 위치할 수 있도록 형성되는 확장홈; 상기 확장홈 내측에 위치하여 상기 스템의 끝단에 삽입되는 웨이브와셔; 및 상기 스템의 끝단에 나사 결합되어 상기 확장홈 내에 삽입됨으로써, 상기 웨이브와셔로부터 탄성력을 제공받음과 아울러, 상기 이송부재의 일면에 설치되는 장치와의 간섭이 회피되는 고정너트를 더 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 공기베어링을 이용한 위치 제어 시스템에 의하면, 공기베어링의 비접촉 방식에 의해 마찰을 없애고, LCD, OLED, 반도체 제조 분야 등과 같이 고정밀의 위치 제어를 요구시 이를 만족시키며, 모듈화로 인해 조건 변화에 유연한 대처가 가능하며, 공기베어링의 조립이 용이할 뿐만 아니라, 공기베어링의 컴팩트한 마운팅 구조를 가능하도록 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 공기베어링을 이용한 위치 제어 시스템을 도시한 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 공기베어링을 이용한 위치 제어 시스템을 도시한 정면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 공기베어링을 이용한 위치 제어 시스템을 분해하여 도시한 정면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른공기베어링을 이용한 위치 제어 시스템의 공기베어링모듈을 분해하여 도시한 사시도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 공기베어링을 이용한 위치 제어 시스템의 공기베어링모듈을 도시한 정단면도이다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고, 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고, 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니고, 본 발명의 기술 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 식으로 이해되어야 하고, 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 하기 실시예에 한정되는 것은 아니다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 실시예를 상세히 설명하며, 도면 부호에 관계없이 동일하거나 대응하는 구성요소에 대해서는 동일한 참조 번호를 부여하고, 이에 대해 중복되는 설명을 생략하기로 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 공기베어링을 이용한 위치 제어 시스템을 도시한 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 공기베어링을 이용한 위치 제어 시스템을 도시한 정면도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 공기베어링을 이용한 위치 제어 시스템(100)은 베이스모듈(110), 리니어모터모듈(120), 가이드모듈(130) 및 공기베어링모듈(140)을 포함할 수 있다.
베이스모듈(110)은 지면에 설치될 수 있도록 판상부재로 이루어질 수 있고, 양단에 파지할 수 있는 엔드플레이트(111)가 각각 볼트 등으로 결합될 수 있으며, 엔드플레이트(111)의 서로 마주보는 면에 후술하게 될 공기베어링모듈(140)의 이송부재(141)에 대한 이동 거리를 제한하도록 스톱퍼(112)가 각각 마련될 수 있다. 여기서 스톱퍼(112)는 이송부재(141)와의 충격을 완화하도록 충격흡수가 가능한 재질, 예컨대 탄성을 가진 고무나 합성수지 등으로 제작될 수 있다.
리니어모터모듈(120)은 베이스모듈(110)에 자력을 가진 고정자(121)가 분리 가능하게 고정되고, 고정자(121)와의 사이에 자력으로 인한 인력이 작용하는 이동자(122)에 의해 프리로드(preload)가 인가되도록 하며, 이동자(122)에 코일(coil; 미도시)이 권선됨으로써 이동자(122)가 고정자(121)와의 상호 작용에 의해 이동한다.
고정자(121)는 볼트나 스크루 등에 의해 베이스모듈(110) 상에 착탈 가능하도록 고정될 수 있고, 자장 형성을 위하여 상면에 베이스모듈(110)의 길이방향을 따라 다수로 배열되는 마그네트(121a)를 가진다.
이동자(122)는 마그네트(121a)에 부착되기 위한 철 등의 금속이나 금속합금으로 이루어질 수 있고, 일례로 다수의 규소강판 적층으로 이루어질 수 있으며, 적층된 규소강판에 코일이 다수로 권선된 상태에서 몰딩될 수 있다. 따라서, 이동자(122)는 규소강판과 고정자(121)의 마그네트(121a)간에 발생되는 인력에 의해 프리로드를 인가할 수 있다. 또한 이동자(122)는 외부로부터 동작에 필요한 전원이 코일에 인가시 고정자(121)와의 전자기적 상호 작용에 의해 고정자(121)의 길이방향을 따라 왕복 이동하게 된다. 이와 같이 고정자(121)와 이동자(122)는 리니어모터를 구성하게 된다.
리니어모터모듈(120)은 이동자(122)가 후술하게 될 공기베어링모듈(140)의 이송부재(141)에 볼트나 스크루 등으로 분리 가능하게 직접 고정되거나, 본 실시예에서처럼 이동자(122) 상에 고정되는 코일블록(123)이 이송부재(141)에 볼트나 스크루 등으로 분리 가능하게 고정됨으로써 공기베어링모듈(140)이 분리 가능하게 결합될 수 있다.
가이드모듈(130)은 베이스모듈(110) 상에 리니어모터모듈(120)과 나란하도록 볼트나 스크루 등에 의해 분리 가능하게 고정될 수 있다. 가이드모듈(130)은 일례로 직육면체로 이루어질 수 있으며, 단일로도 공기베어링모듈(140)과의 에어갭에 의해 리니어모터모듈(120)의 이동자(122)가 안정적으로 이동할 수 있도록 하기 위한 공기 분사 면적 및 규격을 가질 수 있다.
공기베어링모듈(140)은 이송부재(141)가 이동자(122)에 직접 고정되거나, 본 실시예에서처럼 코일블록(123)을 매개로 이동자(122)에 고정될 수 있고, 이송부재(141)에 다수로 고정되는 공기베어링(142)이 공기의 토출에 의한 공기압에 의해 가이드모듈(130)로부터 에어갭(air gap)을 가짐으로써 이동자(122)가 고정자(121)를 따라 이동하도록 가이드한다. 따라서 공기베어링(142)으로부터 토출되는 공기에 의해 이동자(122)가 고정자(121)로부터 정해진 간격을 유지한 상태에서 이동하도록 한다.
공기베어링모듈(140)은 이송부재(141)의 횡단면이 "ㄱ"자 형상을 가짐으로써 가이드모듈(130)의 상면과 측면에 각각 대향되도록 설치되고, 가이드모듈(130)의 상면(131)과 측면(132)에 각각 대응되는 면(141a,141b)마다 공기베어링(142)이 다수, 예컨대 2개씩 설치될 수 있다. 이때, 리니어모터모듈(120)은 고정자(121)가 가이드모듈(130)의 측면(132)에 위치하는 공기베어링(142) 측으로 하향 경사지게 설치될 수 있다.
베이스모듈(110) 상에는 보조가이드모듈(150)이 마련될 수 있는데, 이러한 보조가이드모듈(150)은 리니어모터모듈(120)을 기준으로 가이드모듈(130)의 반대측에 나란하게 위치하도록 베이스모듈(110)에 볼트나 스크루 등으로 분리 가능하게 고정된다. 이때, 공기베어링모듈(140)은 이송부재(141)가 보조가이드모듈(150)의 상측에 위치하도록 수평되게 연장 형성되고, 보조가이드모듈(150)의 상면에 대응되는 면에 공기베어링(142)이 다수로 설치된다.
이송부재(141)는 횡단면이 "ㄱ"자 형상을 가지도록 단일로 이루어지거나, 본 실시예에서처럼 수평부재(141d)와 수직부재(141e)가 볼트나 스크루 등으로 결합될 수 있고, 수평부재(141d)의 하면(141a)과 수직부재(141e)의 측면(141b)에 가이드모듈(130)의 상면(131) 및 측면(132)과 보조가이드모듈(150)의 상면에 각각 위치하도록 공기베어링(142)이 다수로 설치될 수 있다. 이송부재(141)는 위치 제어가 필요한 장치나 부재를 볼트나 스크루 등으로 고정하기 위한 고정나사홀(141c)이 다수로 형성될 수 있고, 베이스모듈(110)을 향하는 면에 피드백모듈(160)이 볼트나 스크루 등에 의해 분리 가능하게 결합될 수 있다. 여기서 피드백모듈(160)은 리니어모터에 대한 폐루프 제어(closed control)를 수행할 수 있도록 하는데, 이동자(122)의 속도 및 위치 검출을 위한 마그네트(121a)와 이동자(122)의 코일 간에 상대 위치를 파악하기 위하여 홀센서(hall sensor)나 앱솔루트 엔코더(absolute encoder) 등을 포함할 수 있다.
공기베어링(142)은 피팅(142a)을 통해서 공급되는 고압의 공기를 가이드모듈(130)과 보조가이드모듈(150)에 분사함으로써 이들과의 사이에 에어갭을 가지도록 하여 이동자(122)가 고정자(121)로부터 일정한 유격을 유지할 수 있도록 한다.
도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 공기베어링을 이용한 위치 제어 시스템(100)은 상기한 바와 같은 구조에 의하여, 베이스모듈(110), 리니어모터모듈(120), 가이드모듈(130), 공기베어링모듈(140), 보조가이드모듈(150) 및 피드백모듈(160)이 각각 분리 가능하도록 모듈화됨으로써, 조건 변화에 유연한 대처가 가능하도록 모듈별 교체 내지 변경이 가능하도록 한다.
도 4 및 도 5를 참조하면, 공기베어링모듈(140)은 공기베어링(142) 각각에 대응되도록 이송부재(141)에 관통하도록 나사 결합되고, 공기베어링(142)이 고정되는 스템(143)과, 이송부재(141)의 일면에 스템(143)의 끝단 주위에 위치할 수 있도록 형성되는 확장홈(144)과, 확장홈(144) 내측에 위치하여 스템(143)의 끝단에 삽입되는 웨이브와셔(145)와, 스템(143)의 끝단에 나사 결합되어 확장홈(144) 내에 삽입됨으로써, 웨이브와셔(145)로부터 탄성력을 제공받음과 아울러, 이송부재(141)의 일면에 설치되는 장치와의 간섭이 회피되는 고정너트(146)를 더 포함할 수 있다. 스템(143)은 공기베어링(142)에 나사 결합 등으로 고정되기 위한 결합부(143a)가 끝단에 마련될 수 있다. 웨이브와셔(145)는 탄성을 제공함으로써 고정너트(146)의 풀림을 방지하기 위하여, 휨에 대한 복원력을 가지는 재질로 제작되되, 웨이브 형상의 주름구조를 가질 수 있다. 고정너트(146)는 지그(jig)를 이용하여 회전시킬 수 있도록 십자 형태의 지그홈(146a)이 형성될 수 있다.
이와 같은 본 발명에 따른 공기베어링을 이용한 위치 제어 시스템의 작용을 설명하기로 한다.
공기베어링모듈(140)이 공기베어링(142) 각각으로부터 토출되는 공기에 의해 가이드모듈(130)과 보조가이드모듈(150)로부터 에어갭을 가지게 되고, 이로 인해 리니어모터, 즉 이동자(122)와 고정자(121) 간의 전자기적 상호 작용에 의해 이동자(122)가 공기베어링모듈(140)과 함께 고정자(121)를 따라 왕복 이동할 수 있다. 이때 이동자(122)는 마그네트(121a)의 자력에 의한 인력에 의해 마그네트(121a)측으로 밀착됨으로써 이동자(122)가 고정자(121)로부터 이탈되지 못하도록 프리로드를 인가하게 된다.
본 발명의 일 실시예에 따른 공기베어링을 이용한 위치 제어 시스템(100)은 도 3에 도시된 바와 같이, 베이스모듈(110), 리니어모터모듈(120), 가이드모듈(130), 공기베어링모듈(140), 보조가이드모듈(150) 및 피드백모듈(160)이 서로 착탈 가능하도록 결합될 수 있는 구조를 가질 수 있으며, 이로 인해 조건 변화에 유연한 대처가 가능하다. 즉, 전체가 모듈별로 각각 분리되어, 모멘트 변화시 리니어모터모듈(120)만의 각도 조절이 가능하고, 가이드모듈(130)과 보조가이드모듈(150)의 변화를 통한 정밀도 변화가 가능하며, 공기베어링(142) 변경시 베이스모듈(110)과 가이드모듈(130) 및 보조가이드모듈(150)만 변경하면 되고, 유저 조건에 따라 베이스모듈(110)만의 구조 변경이 가능하다.
또한, 스템(143), 확장홈(144), 웨이브와셔(145) 및 고정노트(146)를 이용한 공기베어링(142)의 마운팅 구조에 의하여, 이송 대상인 장치나 부재가 고정되기 위한 이송부재(141)의 일면으로부터 이들 구조가 돌출되지 않도록 할 뿐만 아니라, 공기베어링(142)의 콤팩트한 결합 구조를 가능하도록 하고, 공기베어링(142)의 조립시 4~5㎛의 공간을 조정해야 하는데, 이때 웨이브와셔(145)의 탄성력에 의해 유격없이 조정이 가능하도록 한다.
이와 같이 공기베어링(142)의 비접촉 방식에 의해 마찰을 없애고, LCD, OLED, 반도체 제조 분야 등과 같이 고정밀의 위치 제어를 요구시 이를 만족시키며, 모듈화로 인해 조건 변화에 유연한 대처가 가능하며, 공기베어링(142)의 조립이 용이할 뿐만 아니라, 공기베어링(142)의 컴팩트한 마운팅 구조를 가능하도록 한다.
이와 같이 첨부된 도면을 참조하여 본 발명을 설명하였으나, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 수정 및 변형이 이루어질 수 있음은 물론이다. 그러므로, 본 발명의 범위는 설명된 실시예에 한정되어서는 아니되며, 후술하는 특허청구범위뿐만 아니라 이러한 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.
110 : 베이스모듈 111 : 엔드플레이트
112 : 스톱퍼 120 : 리니어모터모듈
121 : 고정자 121a : 마그네트
122 : 이동자 123 : 코일블록
130 : 가이드모듈 131 : 상면
132 : 측면 140 : 공기베어링모듈
141 : 이송부재 141a : 하면
141b : 측면 141c : 고정나사홀
141d : 수평부재 141e : 수직부재
142 : 공기베어링 142a : 피팅
143 : 스템 143a : 결합부
144 : 확장홈 145 : 웨이브와셔
146 : 고정너트 146a : 지그홈
150 : 보조가이드모듈 160 : 피드백모듈

Claims (4)

  1. 위치 제어 시스템에 있어서,
    지면에 설치될 수 있는 베이스모듈;
    상기 베이스모듈에 자력을 가진 고정자가 분리 가능하게 고정되고, 상기 고정자와의 사이에 자력으로 인한 인력이 작용하는 이동자에 의해 프리로드가 인가되도록 하며, 상기 이동자에 코일이 권선됨으로써 상기 이동자가 상기 고정자와의 상호 작용에 의해 이동하는 리니어모터모듈;
    상기 베이스모듈 상에 상기 리니어모터모듈과 나란하도록 분리 가능하게 고정되는 가이드모듈; 및
    상기 이동자에 이송부재가 고정되고, 상기 이송부재에 다수로 고정되는 공기베어링이 공기압에 의해 상기 가이드모듈로부터 에어갭을 가짐으로써 상기 이동자가 상기 고정자를 따라 이동하도록 가이드하는 공기베어링모듈을 포함하고,
    상기 베이스모듈, 상기 리니어모터모듈, 상기 가이드모듈 및 상기 공기베어링모듈은 각각 분리 가능하도록 모듈화됨으로써, 모듈별 교체 내지 변경이 가능하도록 하고,
    상기 공기베어링모듈은,
    상기 공기베어링 각각에 대응되도록 상기 이송부재에 관통하도록 나사 결합되고, 상기 공기베어링이 고정되는 스템;
    상기 이송부재의 일면에 상기 스템의 끝단 주위에 위치할 수 있도록 형성되는 확장홈;
    상기 확장홈 내측에 위치하여 상기 스템의 끝단에 삽입되는 웨이브와셔; 및
    상기 스템의 끝단에 나사 결합되어 상기 확장홈 내에 삽입됨으로써, 상기 웨이브와셔로부터 탄성력을 제공받음과 아울러, 상기 이송부재의 일면에 설치되는 장치와의 간섭이 회피되는 고정너트를 더 포함하는, 공기베어링을 이용한 위치 제어 시스템.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 공기베어링모듈은,
    상기 이송부재의 횡단면이 "ㄱ"자 형상을 가짐으로써 상기 가이드모듈의 상면과 측면에 각각 대향되도록 설치되고, 상기 상면과 상기 측면에 각각 대응되는 면마다 상기 공기베어링이 다수로 설치되고,
    상기 리니어모터모듈은,
    상기 고정자가 상기 측면에 위치하는 상기 공기베어링 측으로 하향 경사지게 설치되는, 공기베어링을 이용한 위치 제어 시스템.
  3. 제 2 항에 있어서, 상기 리니어모터모듈을 기준으로 상기 가이드모듈의 반대측에 나란하게 위치하도록 상기 베이스모듈에 분리 가능하게 고정되는 보조가이드모듈을 더 포함하고,
    상기 공기베어링모듈은,
    상기 이송부재가 상기 보조가이드모듈의 상측에 위치하도록 수평되게 연장 형성되고, 상기 보조가이드모듈의 상면에 대응되는 면에 상기 공기베어링이 다수로 설치되는, 공기베어링을 이용한 위치 제어 시스템.
  4. 삭제
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