JPH05299461A - ボンダの空気軸受装置 - Google Patents
ボンダの空気軸受装置Info
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- JPH05299461A JPH05299461A JP4106340A JP10634092A JPH05299461A JP H05299461 A JPH05299461 A JP H05299461A JP 4106340 A JP4106340 A JP 4106340A JP 10634092 A JP10634092 A JP 10634092A JP H05299461 A JPH05299461 A JP H05299461A
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- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 加工成形が容易で軽量化でき、しかも空気軸
受のギャップが狂いにくいボンダの空気軸受装置を提供
する。 【構成】 ガイドブロック１とスライダ３の間に設けら
れる磁性体２、マグネット４，９、コイル部８などの磁
気手段の磁気力Ｆが、スライダ３の接合面３ａ１をガイ
ドブロック１の壁部１ａに押し付ける方向に作用するよ
うにした。 【効果】 磁気手段２，４，８，９の磁気力Ｆの水平方
向の分力Ｆ１により、空気軸受の空気の反力を打ち消
し、空気軸受のギャップＧ１を一定に保持できる。
受のギャップが狂いにくいボンダの空気軸受装置を提供
する。 【構成】 ガイドブロック１とスライダ３の間に設けら
れる磁性体２、マグネット４，９、コイル部８などの磁
気手段の磁気力Ｆが、スライダ３の接合面３ａ１をガイ
ドブロック１の壁部１ａに押し付ける方向に作用するよ
うにした。 【効果】 磁気手段２，４，８，９の磁気力Ｆの水平方
向の分力Ｆ１により、空気軸受の空気の反力を打ち消
し、空気軸受のギャップＧ１を一定に保持できる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はボンダの空気軸受装置に
係り、詳しくは、ボンディング部を水平方向に移動させ
る移動手段に使用される空気軸受装置に関する。
係り、詳しくは、ボンディング部を水平方向に移動させ
る移動手段に使用される空気軸受装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体の電極と基板の電極をワイヤで接
続するワイヤボンダなどのボンダにおいて、ホーンを保
持するワイヤボンディング部を高速度でＸＹ方向にスラ
イドさせる手段として、空気軸受式リニアモータが多用
されている。
続するワイヤボンダなどのボンダにおいて、ホーンを保
持するワイヤボンディング部を高速度でＸＹ方向にスラ
イドさせる手段として、空気軸受式リニアモータが多用
されている。
【０００３】図８は従来のワイヤボンダを示すものであ
って、Ｘ方向のリニアモータ装置１００ＸとＹ方向のリ
ニアモータ装置１００Ｙが互いに直交して上下２段組み
立てられており、上段のリニアモータ装置１００Ｘにワ
イヤボンディング部３１が載置されている。このワイヤ
ボンディング部３１の駆動部３２からホーン３３が延出
しており、ホーン３３の先端部にはキャピラリツール３
４が保持されている。３５はキャピラリツール３４に挿
通されたワイヤである。
って、Ｘ方向のリニアモータ装置１００ＸとＹ方向のリ
ニアモータ装置１００Ｙが互いに直交して上下２段組み
立てられており、上段のリニアモータ装置１００Ｘにワ
イヤボンディング部３１が載置されている。このワイヤ
ボンディング部３１の駆動部３２からホーン３３が延出
しており、ホーン３３の先端部にはキャピラリツール３
４が保持されている。３５はキャピラリツール３４に挿
通されたワイヤである。
【０００４】次にリニアモータ装置１００（１００Ｘ，
１００Ｙ）の構造を説明する。１０１はガイドブロック
であり、その内部にコイル部１０２を有している。１０
３はガイドブロック１０１上にスライド自在に載置され
たスライダであり、コイル部１０２に対向する位置にマ
グネット１０４が装着されている。スライダ１０２に穿
孔されたエア吹出部１０５から吹き出される空気の空気
圧により、ガイドブロック１０１とスライダ１０３は、
僅かなギャップＧをおいて近接した状態を保持し、コイ
ル部１０２に通電すると、その磁気力により、スライダ
１０３はガイドブロック１０１に沿ってスライドし、ワ
イヤボンディング部３１をＸ方向やＹ方向に移動させ
る。１０６は駆動部３２を載置する台板である。
１００Ｙ）の構造を説明する。１０１はガイドブロック
であり、その内部にコイル部１０２を有している。１０
３はガイドブロック１０１上にスライド自在に載置され
たスライダであり、コイル部１０２に対向する位置にマ
グネット１０４が装着されている。スライダ１０２に穿
孔されたエア吹出部１０５から吹き出される空気の空気
圧により、ガイドブロック１０１とスライダ１０３は、
僅かなギャップＧをおいて近接した状態を保持し、コイ
ル部１０２に通電すると、その磁気力により、スライダ
１０３はガイドブロック１０１に沿ってスライドし、ワ
イヤボンディング部３１をＸ方向やＹ方向に移動させ
る。１０６は駆動部３２を載置する台板である。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところが上記従来手段
には、次のような問題点があった。
には、次のような問題点があった。
【０００６】（イ）ギャップＧは一般に５μｍ程度であ
ってきわめて小さく、厳密な間隔精度が要求されるた
め、ガイドブロック１０１やスライダ１０３に要求され
る寸法精度はきわめて厳しく、それだけ成形加工が困難
であってコストアップとなる。
ってきわめて小さく、厳密な間隔精度が要求されるた
め、ガイドブロック１０１やスライダ１０３に要求され
る寸法精度はきわめて厳しく、それだけ成形加工が困難
であってコストアップとなる。
【０００７】（ロ）コイル部１０２に通電している間に
このコイル部１０２は次第に発熱し、その熱によりスラ
イダ１０３が熱膨張して伸長する結果、ギャップＧの大
きさが変化し、このため磁気力に狂いを生じるだけでな
く、場合によってはガイドブロック１０１とスライダ１
０３の接合面が摺接し、スライダ１０３がスムーズにス
ライドできなくなる。
このコイル部１０２は次第に発熱し、その熱によりスラ
イダ１０３が熱膨張して伸長する結果、ギャップＧの大
きさが変化し、このため磁気力に狂いを生じるだけでな
く、場合によってはガイドブロック１０１とスライダ１
０３の接合面が摺接し、スライダ１０３がスムーズにス
ライドできなくなる。
【０００８】（ハ）ガイドブロック１０１の両側部に
は、スライダ１０３の両側端部を包囲する壁部１０１Ａ
（影線部分）が必要であり、それだけガイドブロック１
０１の重量が増す。このため下段のリニアモータ１００
Ｙの重量負荷は大きく、ワイヤボンディング部３１の高
速移動が困難となる。
は、スライダ１０３の両側端部を包囲する壁部１０１Ａ
（影線部分）が必要であり、それだけガイドブロック１
０１の重量が増す。このため下段のリニアモータ１００
Ｙの重量負荷は大きく、ワイヤボンディング部３１の高
速移動が困難となる。
【０００９】そこで本発明は、上記従来手段の問題点を
解消できるボンダの空気軸受装置を提供することを目的
とする。
解消できるボンダの空気軸受装置を提供することを目的
とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】このために本発明は、ガ
イドブロックとスライダの間に設けられるマグネットや
コイル部などの磁気手段の磁気力が、スライダの側面を
ガイドブロックの壁部に押し付ける方向に作用するよう
にしている。
イドブロックとスライダの間に設けられるマグネットや
コイル部などの磁気手段の磁気力が、スライダの側面を
ガイドブロックの壁部に押し付ける方向に作用するよう
にしている。
【００１１】
【作用】上記構成によれば、エア吹出部から空気を吹き
出すと、この空気の反力により、スライダはガイドブロ
ックの壁部と反対方向に押し出されようとするが、磁気
手段の水平方向の磁気力によりこの反力は打ち消され
て、壁部とスライダとの接合面間は適正なギャップが保
たれる。また磁気手段としてコイル部を使用した場合、
コイル部の発熱によりスライダは熱膨張するが、スライ
ダは壁部と反対側に自由に伸長できるので、ギャップは
適正に保たれる。
出すと、この空気の反力により、スライダはガイドブロ
ックの壁部と反対方向に押し出されようとするが、磁気
手段の水平方向の磁気力によりこの反力は打ち消され
て、壁部とスライダとの接合面間は適正なギャップが保
たれる。また磁気手段としてコイル部を使用した場合、
コイル部の発熱によりスライダは熱膨張するが、スライ
ダは壁部と反対側に自由に伸長できるので、ギャップは
適正に保たれる。
【００１２】
【実施例】（実施例１）次に、図面を参照しながら本発
明の実施例を説明する。まず、ワイヤボンダに使用され
る空気軸受装置の基本構造を説明する。図１は空気軸受
装置の斜視図、図２は断面図であり、この空気軸受装置
１０は次のように構成されている。１はガイドブロック
であって、その内部には鉄などの磁性体２が設けられて
いる。このガイドブロック１の断面は略Ｌ字形であっ
て、その一側部のみに壁部１ａが立設されており、この
壁部１ａの内側面がスライド用の接合面１ａ１となって
いる。
明の実施例を説明する。まず、ワイヤボンダに使用され
る空気軸受装置の基本構造を説明する。図１は空気軸受
装置の斜視図、図２は断面図であり、この空気軸受装置
１０は次のように構成されている。１はガイドブロック
であって、その内部には鉄などの磁性体２が設けられて
いる。このガイドブロック１の断面は略Ｌ字形であっ
て、その一側部のみに壁部１ａが立設されており、この
壁部１ａの内側面がスライド用の接合面１ａ１となって
いる。
【００１３】３はプレート状のスライダであって、この
ガイドブロック１上にスライド自在に載置されている。
図２において、４はマグネットであり、磁性体２と対向
するように、スライダ３の下面に取り付けられている。
図示するように、磁性体２とマグネット４の対向面は傾
斜面となっており、したがって斜方向の磁気力Ｆが発生
する。Ｆ１は垂直方向の分力であり、スライダ３ががた
つかないように、ガイドブロック１に垂直に押し付ける
方向に作用する。また水平方向の分力Ｆ２は、スライダ
３を壁部１ａに押し付ける方向に作用する。
ガイドブロック１上にスライド自在に載置されている。
図２において、４はマグネットであり、磁性体２と対向
するように、スライダ３の下面に取り付けられている。
図示するように、磁性体２とマグネット４の対向面は傾
斜面となっており、したがって斜方向の磁気力Ｆが発生
する。Ｆ１は垂直方向の分力であり、スライダ３ががた
つかないように、ガイドブロック１に垂直に押し付ける
方向に作用する。また水平方向の分力Ｆ２は、スライダ
３を壁部１ａに押し付ける方向に作用する。
【００１４】スライダ３の左側の接合面３ａ１には空気
軸受を構成するエア吹出部５ａが形成されており、この
エア吹出部５ａから壁部１ａへ吹き出される空気の反力
に上記水平方向の分力Ｆ２が対抗することにより、接合
面１ａ１と接合面３ａ１の間に所定のギャップＧ１が確
保される。また同様に、スライダ３の両側部下面には、
ガイドブロック１の上面へ空気を吹き出すエア吹出部５
ｂ，５ｃが形成されており、このエア吹出部５ｂ，５ｃ
から吹き出される空気の反力により、スライダ３はガイ
ドブロック１上にギャップＧ２をおいて浮上する。
軸受を構成するエア吹出部５ａが形成されており、この
エア吹出部５ａから壁部１ａへ吹き出される空気の反力
に上記水平方向の分力Ｆ２が対抗することにより、接合
面１ａ１と接合面３ａ１の間に所定のギャップＧ１が確
保される。また同様に、スライダ３の両側部下面には、
ガイドブロック１の上面へ空気を吹き出すエア吹出部５
ｂ，５ｃが形成されており、このエア吹出部５ｂ，５ｃ
から吹き出される空気の反力により、スライダ３はガイ
ドブロック１上にギャップＧ２をおいて浮上する。
【００１５】ガイドブロック１の右側には、スライダ３
の右側の側面３ｂ１に相対する空気軸受を構成する壁部
は存在せず、フラットな水平面１ｂ１となっている。し
たがってこの空気軸受装置によれば、図８に示した従来
手段のように、ガイドブロック１やスライダ３に厳密な
寸法精度は要求されず、加工成形はきわめて簡単であ
り、またガイドブロック１を軽量化できる。
の右側の側面３ｂ１に相対する空気軸受を構成する壁部
は存在せず、フラットな水平面１ｂ１となっている。し
たがってこの空気軸受装置によれば、図８に示した従来
手段のように、ガイドブロック１やスライダ３に厳密な
寸法精度は要求されず、加工成形はきわめて簡単であ
り、またガイドブロック１を軽量化できる。
【００１６】（実施例２）図３及び図４はワイヤボンダ
に使用される空気軸受装置２０の基本構造を示してい
る。ガイドブロック１にはコイル部８が設けられてお
り、またスライダ３にはこのコイル部８に対向するマグ
ネット９が設けられている。図示するように、コイル部
８の鉄芯８ａの上面と、マグネット９の下面は傾斜して
いるので実施例１と同様に斜方向の磁気力Ｆが得られ
る。このものは、コイル部８に通電すると、その磁気力
によりスライダ３がガイドブロック１の長さ方向にスラ
イドするものであり、コイル部８とマグネット９はリニ
アモータを構成している。
に使用される空気軸受装置２０の基本構造を示してい
る。ガイドブロック１にはコイル部８が設けられてお
り、またスライダ３にはこのコイル部８に対向するマグ
ネット９が設けられている。図示するように、コイル部
８の鉄芯８ａの上面と、マグネット９の下面は傾斜して
いるので実施例１と同様に斜方向の磁気力Ｆが得られ
る。このものは、コイル部８に通電すると、その磁気力
によりスライダ３がガイドブロック１の長さ方向にスラ
イドするものであり、コイル部８とマグネット９はリニ
アモータを構成している。
【００１７】長時間運転する間に、コイル部８は次第に
発熱し、その熱によりスライダ３は熱膨張して伸長する
が、スライダ３の右側の側面３ｂ１は自由端面であるの
で、スライダ３は熱膨張により右方へ自由に伸長でき、
上記ギャップＧ１は適正に保持される。したがって従来
手段において生じるような壁部１ａの接合面１ａ１とス
ライダ３の接合面３ａ１の不要な摩擦は無くなり、小さ
な磁気力であっても高速度でスムーズにスライドさせる
ことができる。
発熱し、その熱によりスライダ３は熱膨張して伸長する
が、スライダ３の右側の側面３ｂ１は自由端面であるの
で、スライダ３は熱膨張により右方へ自由に伸長でき、
上記ギャップＧ１は適正に保持される。したがって従来
手段において生じるような壁部１ａの接合面１ａ１とス
ライダ３の接合面３ａ１の不要な摩擦は無くなり、小さ
な磁気力であっても高速度でスムーズにスライドさせる
ことができる。
【００１８】次に、実施例１の空気軸受装置１０と実施
例２の空気軸受装置２０を、ワイヤボンダに適用した例
を説明する。
例２の空気軸受装置２０を、ワイヤボンダに適用した例
を説明する。
【００１９】図５及び図６において、１０は図１及び図
２に示した空気軸受装置である。また２０ＡはＸ方向の
空気軸受装置、２０ＢはＹ方向の空気軸受装置であり、
図３及び図４に示した空気軸受装置２０と同じものであ
る。上述したように、この空気軸受装置２０（２０Ａ，
２０Ｂ）はリニアモータ装置を兼務しており、以下リニ
アモータと称する。
２に示した空気軸受装置である。また２０ＡはＸ方向の
空気軸受装置、２０ＢはＹ方向の空気軸受装置であり、
図３及び図４に示した空気軸受装置２０と同じものであ
る。上述したように、この空気軸受装置２０（２０Ａ，
２０Ｂ）はリニアモータ装置を兼務しており、以下リニ
アモータと称する。
【００２０】リニアモータ２０Ａとリニアモータ２０Ｂ
は、段積せずに同一平面上にＸＹ方向に直交させて配置
されている。このように段積みせずに配置することによ
り、図８に示す従来手段のように、上段のリニアモータ
装置が下段のリニアモータ装置の重量負荷とならないよ
うにし、下段のリニアモータ装置による高速移動を可能
にしている。また空気軸受装置１０は、リニアモータ２
０Ａのスライダ３上に設置される。３１はワイヤボンダ
であって、図８に示したものと同じものであり、その説
明は省略する。２２は駆動部３２をスライダ３上に設置
するプレートである。
は、段積せずに同一平面上にＸＹ方向に直交させて配置
されている。このように段積みせずに配置することによ
り、図８に示す従来手段のように、上段のリニアモータ
装置が下段のリニアモータ装置の重量負荷とならないよ
うにし、下段のリニアモータ装置による高速移動を可能
にしている。また空気軸受装置１０は、リニアモータ２
０Ａのスライダ３上に設置される。３１はワイヤボンダ
であって、図８に示したものと同じものであり、その説
明は省略する。２２は駆動部３２をスライダ３上に設置
するプレートである。
【００２１】次に、空気軸受装置１０とＹ方向のリニア
モータ２０Ｂの連結手段を説明する。１５は台板であ
り、ボルト１６によりスライダ３上に固着される。この
台板１５上にはブラケット４１上が固着されている。４
２はこのブラケット４１から空気軸受装置１０のスライ
ダ３上へ延出するアームである。このアーム４２の先端
部は下方に屈曲している。図６に示すように、このアー
ム４２の内方には、上記プレート２２の側端部に立設さ
れた立壁２６を挟むように、空気軸受けを構成するブロ
ック４３が設けられている。図７に示すように、このブ
ロック４３には、立壁２６に空気を吹き出す吹出孔４４
が穿孔されている。したがってこの連結部４０は、空気
軸受装置１０がリニヤモータ２０Ａの駆動により、Ｘ方
向にスライドするのを許容する。
モータ２０Ｂの連結手段を説明する。１５は台板であ
り、ボルト１６によりスライダ３上に固着される。この
台板１５上にはブラケット４１上が固着されている。４
２はこのブラケット４１から空気軸受装置１０のスライ
ダ３上へ延出するアームである。このアーム４２の先端
部は下方に屈曲している。図６に示すように、このアー
ム４２の内方には、上記プレート２２の側端部に立設さ
れた立壁２６を挟むように、空気軸受けを構成するブロ
ック４３が設けられている。図７に示すように、このブ
ロック４３には、立壁２６に空気を吹き出す吹出孔４４
が穿孔されている。したがってこの連結部４０は、空気
軸受装置１０がリニヤモータ２０Ａの駆動により、Ｘ方
向にスライドするのを許容する。
【００２２】図７において、ブロック４３とブラケット
４１及びアーム４２の間にはベヤリング４５が介装され
ており、ブロック４３は若干首振りできるようになって
いる。このようにブロック４３を首振り自在とすること
により、組立て誤差を吸収し、空気軸受装置１０のスラ
イダ３がスムーズにスライドできるようにしている。
４１及びアーム４２の間にはベヤリング４５が介装され
ており、ブロック４３は若干首振りできるようになって
いる。このようにブロック４３を首振り自在とすること
により、組立て誤差を吸収し、空気軸受装置１０のスラ
イダ３がスムーズにスライドできるようにしている。
【００２３】本装置は上記のような構成より成り、次に
全体の動作を説明する。リニアモータ２０Ａ，２０Ｂを
駆動することにより、ワイヤボンダ３１をＸＹ方向にス
ライドさせて、ワイヤボンディングやバンプ形成などの
ボンディング作業を行う。この場合、一方のリニアモー
タ２０Ａは他方のリニアモータ２０Ｂ上に設置せずに、
その側方に並設されているので、リニアモータ２０Ａの
荷重がリニアモータ２０Ｂの負荷となることはなく、ワ
イヤボンダ３１を高速度でスムーズにＸＹ方向に移動さ
せることができる。また実施例１及び実施例２で説明し
たように、各々のガイドブロック１には、図８を参照し
ながら説明した両側部の壁部１０１Ａは不要であるの
で、ガイドブロック１はそれだけ軽量化されており、リ
ニアモータ２０Ａ，２０Ｂの重量負荷は軽減されて、ワ
イヤボンダ３１を高速移動させることができる。また長
時間運転する間に、コイル部２が発熱し、その熱により
各々のスライダ３が熱膨張して伸長しても、スライダ３
の接合面３ａ１が壁部１ａの接合面１ａ１に不要に摺接
してスライド動作の負荷となることはなく、ギャップＧ
１は適正に保持されるので、ワイヤボンダ３１は高速度
でしかも安定してＸ方向やＹ方向に移動できる。
全体の動作を説明する。リニアモータ２０Ａ，２０Ｂを
駆動することにより、ワイヤボンダ３１をＸＹ方向にス
ライドさせて、ワイヤボンディングやバンプ形成などの
ボンディング作業を行う。この場合、一方のリニアモー
タ２０Ａは他方のリニアモータ２０Ｂ上に設置せずに、
その側方に並設されているので、リニアモータ２０Ａの
荷重がリニアモータ２０Ｂの負荷となることはなく、ワ
イヤボンダ３１を高速度でスムーズにＸＹ方向に移動さ
せることができる。また実施例１及び実施例２で説明し
たように、各々のガイドブロック１には、図８を参照し
ながら説明した両側部の壁部１０１Ａは不要であるの
で、ガイドブロック１はそれだけ軽量化されており、リ
ニアモータ２０Ａ，２０Ｂの重量負荷は軽減されて、ワ
イヤボンダ３１を高速移動させることができる。また長
時間運転する間に、コイル部２が発熱し、その熱により
各々のスライダ３が熱膨張して伸長しても、スライダ３
の接合面３ａ１が壁部１ａの接合面１ａ１に不要に摺接
してスライド動作の負荷となることはなく、ギャップＧ
１は適正に保持されるので、ワイヤボンダ３１は高速度
でしかも安定してＸ方向やＹ方向に移動できる。
【００２４】
【発明の効果】本発明によれば、従来、ガイドブロック
の両側部に必要であった壁部のうち、一方の壁部を不要
にできるので、単に軽量化できるだけでなく、ガイドブ
ロックやスライダに厳しい加工精度は必要でないので、
コストを大巾に低減できる。
の両側部に必要であった壁部のうち、一方の壁部を不要
にできるので、単に軽量化できるだけでなく、ガイドブ
ロックやスライダに厳しい加工精度は必要でないので、
コストを大巾に低減できる。
【００２５】また磁気手段としてコイル部を採用した場
合、長時間運転する間に、コイル部の発熱によりスライ
ダが熱膨張するが、スライダはガイドブロックの壁部と
反対側に自由に伸長できるので、空気軸受部のギャップ
が狂ったり、スライダの接合面が壁部に摺接することは
なく、スライダはスムーズに摺動できる。
合、長時間運転する間に、コイル部の発熱によりスライ
ダが熱膨張するが、スライダはガイドブロックの壁部と
反対側に自由に伸長できるので、空気軸受部のギャップ
が狂ったり、スライダの接合面が壁部に摺接することは
なく、スライダはスムーズに摺動できる。
【００２６】また本発明の空気軸受装置を、ワイヤボン
ダなどのボンダの移動手段として適用すれば、ボンダを
高速度でＸ方向やＹ方向に移動させながら、ワイヤボン
ディングやバンプ形成等の諸作業を行うことができ、し
たがってボンダの移動手段として特に有用である。
ダなどのボンダの移動手段として適用すれば、ボンダを
高速度でＸ方向やＹ方向に移動させながら、ワイヤボン
ディングやバンプ形成等の諸作業を行うことができ、し
たがってボンダの移動手段として特に有用である。
【図１】本発明の実施例１に係る空気軸受装置の斜視図
【図２】本発明の実施例１に係る空気軸受装置の断面図
【図３】本発明の実施例２に係る空気軸受装置の斜視図
【図４】本発明の実施例２に係る空気軸受装置の断面図
【図５】本発明に係るワイヤボンダの斜視図
【図６】本発明に係るワイヤボンダの側面図
【図７】本発明に係るワイヤボンダの部分断面図
【図８】従来のワイヤボンダの正面図
１ ガイドブロック １ａ 壁部 ２ 磁性体（磁気手段） ３ スライダ ４ マグネット（磁気手段） ５ エア吹出部 ８ コイル部（磁気手段） ９ マグネット（磁気手段）
Claims (3)
- 【請求項１】ガイドブロックと、このガイドブロックに
スライド自在に載置されるスライダとを備え、上記ガイ
ドブロックに壁部を設けるとともに、この壁部に対向す
る上記スライダの側面にエア吹出部を設けて空気軸受と
なし、且つ上記ガイドブロックとスライダに磁気手段を
設け、この磁気手段の磁気力が上記側面を上記壁部に押
し付ける方向に作用するようにしたことを特徴とするボ
ンダの空気軸受装置。 - 【請求項２】前記磁気手段が、マグネットと磁性体から
成ることを特徴とする請求項１記載のボンダの空気軸受
装置。 - 【請求項３】前記磁気手段が、前記スライダに設けられ
たマグネットと、前記ガイドブロックに設けられたコイ
ル部とから成り、この磁気手段がこのスライダをこのガ
イドブロックに沿ってスライドさせるリニアモータを兼
務することを特徴とする請求項１記載のボンダの空気軸
受装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4106340A JP3021949B2 (ja) | 1992-04-24 | 1992-04-24 | ボンダの空気軸受装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4106340A JP3021949B2 (ja) | 1992-04-24 | 1992-04-24 | ボンダの空気軸受装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05299461A true JPH05299461A (ja) | 1993-11-12 |
| JP3021949B2 JP3021949B2 (ja) | 2000-03-15 |
Family
ID=14431117
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4106340A Expired - Fee Related JP3021949B2 (ja) | 1992-04-24 | 1992-04-24 | ボンダの空気軸受装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3021949B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101408056B1 (ko) * | 2012-11-16 | 2014-06-18 | 주식회사 에어로시스템 | 공기베어링을 이용한 위치 제어 시스템 |
| JPWO2022176182A1 (ja) * | 2021-02-22 | 2022-08-25 |
-
1992
- 1992-04-24 JP JP4106340A patent/JP3021949B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101408056B1 (ko) * | 2012-11-16 | 2014-06-18 | 주식회사 에어로시스템 | 공기베어링을 이용한 위치 제어 시스템 |
| JPWO2022176182A1 (ja) * | 2021-02-22 | 2022-08-25 | ||
| WO2022176182A1 (ja) * | 2021-02-22 | 2022-08-25 | 株式会社新川 | ワイヤボンディング装置 |
| TWI825590B (zh) * | 2021-02-22 | 2023-12-11 | 日商新川股份有限公司 | 打線接合裝置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3021949B2 (ja) | 2000-03-15 |
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